CN112177903A - 一种矩形腔柔性膜双振子无阀压电泵 - Google Patents
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- 239000012528 membrane Substances 0.000 title claims abstract description 11
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 35
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 14
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 10
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 7
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 25
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 19
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 3
- 230000005764 inhibitory process Effects 0.000 claims description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 abstract description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 abstract 3
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000005034 decoration Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 1
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
- F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
- F04B43/04—Pumps having electric drive
- F04B43/043—Micropumps
- F04B43/046—Micropumps with piezoelectric drive
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B53/00—Component parts, details or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B23/00 or F04B39/00 - F04B47/00
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B53/00—Component parts, details or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B23/00 or F04B39/00 - F04B47/00
- F04B53/16—Casings; Cylinders; Cylinder liners or heads; Fluid connections
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B53/00—Component parts, details or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B23/00 or F04B39/00 - F04B47/00
- F04B53/22—Arrangements for enabling ready assembly or disassembly
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Abstract
本发明公布了一种矩形腔柔性膜双振子无阀压电泵,由上层泵体、上层泵腔密封圈、泵体内六角圆柱头螺钉、压电振子、上压电陶瓷片、振子铜基板、下压电陶瓷片、振子内六角圆柱头螺钉、弹性薄膜、流出口、下层泵体、下层泵腔密封圈、流入孔组成。所述下层泵体与流出口、流出口阻流体、流入口、流入口阻流体为一体结构,流入流出口为沿流体流动方向逐渐扩大的喇叭口形状,内有半圆形沟槽的波板以及“倒L”形状的复合阻流体。本发明中,压电振子与上层泵体装配,悬置于上层泵体中,同时与弹性薄膜紧贴并粘接,压电振子接入两组独立的电源,用以调整振子的工作模式,实现泵的最佳工作模式。
Description
技术领域
本发明涉及一种矩形腔柔性膜双振子无阀压电泵,属于流体机械领域。
背景技术
将压电陶瓷的逆压电效应运用到无阀压电泵上,可以实现液体的循环输出,由于无阀压电泵具有体积小、不受电磁干扰等优点,近年来备受人们关注,然而无阀压电泵同样存在着回流严重、输出流量低的缺点,使得无阀压电泵很难在日常生活中得到广泛的应用。
发明内容
本发明针对目前无阀压电泵存在的问题,提出一种能够缓解回流、输出流量高的无阀压电泵。
本发明采用的技术方案是:一种矩形腔柔性膜双振子无阀压电泵,由上层泵体(1)、上层泵腔密封圈(1-1)、泵体内六角圆柱头螺钉(2)、压电振子(3)、上压电陶瓷片(3-1)、振子铜基板(3-2)、下压电陶瓷片(3-3)、振子内六角圆柱头螺钉(3-5)、弹性薄膜(4)、流出口(5)、下层泵体(6)、下层泵腔密封圈(6-1)、流入孔(7)组成;
所述上层泵体(1)开设上层泵腔密封圈凹槽(1-2)、泵体内六角圆柱头螺钉孔(2-1)、压电振子基座(3-4)、压电振子内六角圆柱头螺钉孔(3-6),所述泵体内六角圆柱头螺钉(2)用于上层泵体(1)、下层泵体(6)的配合,所述压电振子(3)开设振子内六角圆柱头螺钉孔(3-6),压电振子(3)的上压电陶瓷片(3-1)和下压电陶瓷片(3-3)粘接于振子铜基板(3-2)的一侧,所述弹性薄膜(4)为透明柔性的薄膜,所述流出口(5)开设流出口阻流体(5-1),所述下层泵体(6)开设下层泵腔密封圈凹槽(6-2)、泵体内六角圆柱头螺钉孔(2-1),所述流入口(7)开设流入口阻流体(7-1),所述压电振子(3)与压电振子(3)、振子支座(3-4)上的振子内六角圆柱头螺钉孔(3-6)由振子内六角圆柱头螺钉(3-5)配合,将压电振子(3)固定在振子支座(3-4)上,所述上层泵体(1)与压电振子基座(3-4)为一体结构,相应位置开泵体内六角圆柱头螺钉孔(2-1),所述下层泵体(6)与流出口(5)、流出口阻流体(5-1)、流入口(7)、流入口阻流体(7-1)为一体结构,相应位置开泵体内六角圆柱头螺钉孔(2-1),上层泵体(1)和下层泵体(6)分别通过上层泵体(1)、下层泵体(6)的泵体内六角圆柱头螺钉孔(2-1)由泵体内六角圆柱头螺钉(2)配合,上层泵体(1)的上层泵腔密封圈凹槽(1-2)、下层泵体(6)的下层泵腔密封圈凹槽(6-2)内安放上层泵腔密封圈(1-1)、下层泵腔密封圈(6-1),上层泵体(1)的上层泵腔密封圈凹槽(1-2)与下层泵体(6)的下层泵腔密封圈凹槽(6-2)配合,上层泵腔密封圈(1-1)与下层泵腔密封圈(6-1)之间夹入弹性薄膜(4),并与下层泵体(6)内侧的边缘配合,形成密封,所述压电振子(3)与弹性薄膜(4)边缘紧贴并粘接,达到装配整个泵的目的;
作为上述技术方案的进一步改进,所述压电振子(3)为两组分别接通独立电源的压电振子,可通过调整两组独立电源的输出波形,调整两组振子的振动相位差,使弹性薄膜(4)的振动模式发生变化,同时对回流起到一定的抑制作用,从而找到泵的最佳工作模式;
作为上述技术方案的进一步改进,所述压电振子(3)与上层泵体(1)装配,通过压电振子(3)、振子支座(3-4)上的振子内六角圆柱头螺钉孔(3-6)由振子内六角圆柱头螺钉(3-5)配合,悬置于上层泵体(1)中,同时与弹性薄膜(4)紧贴并粘接,将压电振子(3)的振动传递到弹性薄膜(4)上,用以改变泵腔容积,推动液体流动,同时将压电振子(3)与被泵送的液体隔离,实现振子部分的防水,保证使用环境的安全;
作为上述技术方案的进一步改进,所述流出口(5)、流入口(7)为环形喇叭口状,沿液体流入流出方向半径逐渐增加,流出口(5)、流入口(7)内壁的流出口阻流体(5-1)、流入口阻流体(7-1)为环形波板状,截面剖视为半圆形沟槽的环状,且在相邻两环形波板之间径向设置“倒L”形阻流体,流出口阻流体(5-1)、流入口阻流体(7-1)在轴向上同轴心排列,且沿液体流入流出方向径向长度逐渐增加,喇叭口状波板和“倒L”形阻流体配合,用以减缓液体回流,提高泵的输送效率。
本发明的有益效果是:
此发明的压电振子结构悬置于上层腔体中,与弹性薄膜紧贴且粘接,将压电振子的运动和力传递到弹性薄膜上用以改变泵腔容积,同时通过调整两压电振子的电源相位差,调整泵的工作模式,使输出流量得到提升;
此发明流出口、流入口的复合阻流结构能够有效的缓解液体的回流,显著提高输出流量。
附图说明
图1所示为本发明的主视剖面图。
图2所示为本发明的振子剖面图。
图3所示为本发明的爆炸示意图。
图4所示为本发明的示意图。
图5所示为本发明的上层泵体示意图。
具体实施方式
为了使本领域技术人员更好地理解本发明的技术方案,下面结合附图对本发明进行详细描述,本部分的描述仅是示范性和解释性,不应对本发明的保护范围有任何的限制作用。
请参阅图1~5,本发明实施例中,具体结构包括:
一种矩形腔柔性膜双振子无阀压电泵,由上层泵体(1)、上层泵腔密封圈(1-1)、泵体内六角圆柱头螺钉(2)、压电振子(3)、上压电陶瓷片(3-1)、振子铜基板(3-2)、下压电陶瓷片(3-3)、振子内六角圆柱头螺钉(3-5)、弹性薄膜(4)、流出口(5)、下层泵体(6)、下层泵腔密封圈(6-1)、流入孔(7)组成;所述上层泵体(1)开设上层泵腔密封圈凹槽(1-2)、泵体内六角圆柱头螺钉孔(2-1)、压电振子基座(3-4)、压电振子内六角圆柱头螺钉孔(3-6),所述泵体内六角圆柱头螺钉(2)用于上层泵体(1)、下层泵体(6)的配合,所述压电振子(3)开设振子内六角圆柱头螺钉孔(3-6),压电振子(3)的上压电陶瓷片(3-1)和下压电陶瓷片(3-3)粘接于振子铜基板(3-2)的一侧,所述弹性薄膜(4)为透明柔性的薄膜,所述流出口(5)开设流出口阻流体(5-1),所述下层泵体(6)开设下层泵腔密封圈凹槽(6-2)、泵体内六角圆柱头螺钉孔(2-1),所述流入口(7)开设流入口阻流体(7-1),所述压电振子(3)与压电振子(3)、振子支座(3-4)上的振子内六角圆柱头螺钉孔(3-6)由振子内六角圆柱头螺钉(3-5)配合,将压电振子(3)固定在振子支座(3-4)上,所述上层泵体(1)与压电振子基座(3-4)为一体结构,相应位置开泵体内六角圆柱头螺钉孔(2-1),所述下层泵体(6)与流出口(5)、流出口阻流体(5-1)、流入口(7)、流入口阻流体(7-1)为一体结构,相应位置开泵体内六角圆柱头螺钉孔(2-1),上层泵体(1)和下层泵体(6)分别通过上层泵体(1)、下层泵体(6)的泵体内六角圆柱头螺钉孔(2-1)由泵体内六角圆柱头螺钉(2)配合,上层泵体(1)的上层泵腔密封圈凹槽(1-2)、下层泵体(6)的下层泵腔密封圈凹槽(6-2)内安放上层泵腔密封圈(1-1)、下层泵腔密封圈(6-1),上层泵体(1)的上层泵腔密封圈凹槽(1-2)与下层泵体(6)的下层泵腔密封圈凹槽(6-2)配合,上层泵腔密封圈(1-1)与下层泵腔密封圈(6-1)之间夹入弹性薄膜(4),并与下层泵体(6)内侧的边缘配合,形成密封,所述压电振子(3)与弹性薄膜(4)边缘紧贴并粘接,达到装配整个泵的目的;
作为上述技术方案的进一步改进,所述压电振子(3)为两组分别接通独立电源的压电振子,可通过调整两组独立电源的输出波形,调整两组振子的振动相位差,使弹性薄膜(4)的振动模式发生变化,同时对回流起到一定的抑制作用,从而找到泵的最佳工作模式;
作为上述技术方案的进一步改进,所述压电振子(3)与上层泵体(1)装配,通过压电振子(3)、振子支座(3-4)上的振子内六角圆柱头螺钉孔(3-6)由振子内六角圆柱头螺钉(3-5)配合,悬置于上层泵体(1)中,同时与弹性薄膜(4)紧贴并粘接,将压电振子(3)的振动传递到弹性薄膜(4)上,用以改变泵腔容积,推动液体流动,同时将压电振子(3)与被泵送的液体隔离,实现振子部分的防水,保证使用环境的安全;
作为上述技术方案的进一步改进,所述流出口(5)、流入口(7)为环形喇叭口状,沿液体流入流出方向半径逐渐增加,流出口(5)、流入口(7)内壁的流出口阻流体(5-1)、流入口阻流体(7-1)为环形波板状,截面剖视为半圆形沟槽的环状,且在相邻两环形波板之间径向设置“倒L”形阻流体,流出口阻流体(5-1)、流入口阻流体(7-1)在轴向上同轴心排列,且沿液体流入流出方向径向长度逐渐增加,喇叭口状波板和“倒L”形阻流体配合,用以减缓液体回流,提高泵的输送效率。
本发明的工作过程分为第一工作过程和第二工作过程:
第一工作过程:施加交流电信号于压电振子(3),压电振子(3)带动弹性薄膜(4)在竖直方向移动,在泵腔内形成负压,流入口(7)处液体顺阻流体方向充入泵腔,流出口(5)处液体逆阻流体方向,回流被抑制;
第二工作过程:压电振子(3)在反向交流电信号的激励下带动弹性薄膜(4)在竖直方向反向移动,泵腔内压力增大,流出口(5)处液体顺阻流体方向离开泵腔,流入口(7)处液体逆阻流体方向,回流被抑制,经过上述两个工作过程的循环工作,实现了液体的连续输出。
本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述,以上说明只适用于帮助理解本发明的方法及其核心思想。以上所述仅是本发明的优选实施方式,应当指出,由于文字表达的有限性,而客观上存在无限的具体结构,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以做出若干改进、润饰或变化,也可以将上述技术特征以适当的方式进行组合;这些改进润饰、变化或组合,或未经改进将发明的构思和技术方案直接应用于其它场合的,均应视为本发明的保护范围。
此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (4)
1.一种矩形腔柔性膜双振子无阀压电泵,由上层泵体(1)、上层泵腔密封圈(1-1)、泵体内六角圆柱头螺钉(2)、压电振子(3)、上压电陶瓷片(3-1)、振子铜基板(3-2)、下压电陶瓷片(3-3)、振子内六角圆柱头螺钉(3-5)、弹性薄膜(4)、流出口(5)、下层泵体(6)、下层泵腔密封圈(6-1)、流入孔(7)组成;所述上层泵体(1)开设上层泵腔密封圈凹槽(1-2)、泵体内六角圆柱头螺钉孔(2-1)、压电振子基座(3-4)、压电振子内六角圆柱头螺钉孔(3-6),所述泵体内六角圆柱头螺钉(2)用于上层泵体(1)、下层泵体(6)的配合,所述压电振子(3)开设振子内六角圆柱头螺钉孔(3-6),压电振子(3)的上压电陶瓷片(3-1)和下压电陶瓷片(3-3)粘接于振子铜基板(3-2)的一侧,所述弹性薄膜(4)为透明柔性的薄膜,所述流出口(5)开设流出口阻流体(5-1),所述下层泵体(6)开设下层泵腔密封圈凹槽(6-2)、泵体内六角圆柱头螺钉孔(2-1),所述流入口(7)开设流入口阻流体(7-1),所述压电振子(3)与压电振子(3)、振子支座(3-4)上的振子内六角圆柱头螺钉孔(3-6)由振子内六角圆柱头螺钉(3-5)配合,将压电振子(3)固定在振子支座(3-4)上,所述上层泵体(1)与压电振子基座(3-4)为一体结构,相应位置开泵体内六角圆柱头螺钉孔(2-1),所述下层泵体(6)与流出口(5)、流出口阻流体(5-1)、流入口(7)、流入口阻流体(7-1)为一体结构,相应位置开泵体内六角圆柱头螺钉孔(2-1),上层泵体(1)和下层泵体(6)分别通过上层泵体(1)、下层泵体(6)的泵体内六角圆柱头螺钉孔(2-1)由泵体内六角圆柱头螺钉(2)配合,上层泵体(1)的上层泵腔密封圈凹槽(1-2)、下层泵体(6)的下层泵腔密封圈凹槽(6-2)内安放上层泵腔密封圈(1-1)、下层泵腔密封圈(6-1),上层泵体(1)的上层泵腔密封圈凹槽(1-2)与下层泵体(6)的下层泵腔密封圈凹槽(6-2)配合,上层泵腔密封圈(1-1)与下层泵腔密封圈(6-1)之间夹入弹性薄膜(4),并与下层泵体(6)内侧的边缘配合,形成密封,所述压电振子(3)与弹性薄膜(4)边缘紧贴并粘接,达到装配整个泵的目的。
2.根据权利要求1所述的一种矩形腔柔性膜双振子无阀压电泵,其特征在于:所述压电振子(3)为两组分别接通独立电源的压电振子,可通过调整两组独立电源的输出波形,调整两组振子的振动相位差,使弹性薄膜(4)的振动模式发生变化,同时对回流起到一定的抑制作用,从而找到泵的最佳工作模式。
3.根据权利要求1所述的一种矩形腔柔性膜双振子无阀压电泵,其特征在于:所述压电振子(3)与上层泵体(1)装配,通过压电振子(3)、振子支座(3-4)上的振子内六角圆柱头螺钉孔(3-6)由振子内六角圆柱头螺钉(3-5)配合,悬置于上层泵体(1)中,同时与弹性薄膜(4)紧贴并粘接,将压电振子(3)的振动传递到弹性薄膜(4)上,用以改变泵腔容积,推动液体流动,同时将压电振子(3)与被泵送的液体隔离,实现振子部分的防水,保证使用环境的安全。
4.根据权利要求1所述的一种矩形腔柔性膜双振子无阀压电泵,其特征在于:所述流出口(5)、流入口(7)为环形喇叭口状,沿液体流入流出方向半径逐渐增加,流出口(5)、流入口(7)内壁的流出口阻流体(5-1)、流入口阻流体(7-1)为环形波板状,截面剖视为半圆形沟槽的环状,且在相邻两环形波板之间径向设置“倒L”形阻流体,流出口阻流体(5-1)、流入口阻流体(7-1)在轴向上同轴心排列,且沿液体流入流出方向径向长度逐渐增加,喇叭口状波板和“倒L”形阻流体配合,用以减缓液体回流,提高泵的输送效率。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202011050814.8A CN112177903A (zh) | 2020-09-29 | 2020-09-29 | 一种矩形腔柔性膜双振子无阀压电泵 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202011050814.8A CN112177903A (zh) | 2020-09-29 | 2020-09-29 | 一种矩形腔柔性膜双振子无阀压电泵 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN112177903A true CN112177903A (zh) | 2021-01-05 |
Family
ID=73945874
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202011050814.8A Withdrawn CN112177903A (zh) | 2020-09-29 | 2020-09-29 | 一种矩形腔柔性膜双振子无阀压电泵 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN112177903A (zh) |
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PB01 | Publication | ||
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