CN204921322U - 一种声驱动微型泵 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种声驱动微型泵。包括泵体下片、驱动环、转子底座、转子、转子上片、泵体上片和驱动底座,泵体下片安装在驱动环的底部,泵体下片和驱动环一起安装在驱动底座内,转子底座安装在泵体下片中心,转子底座顶部的转子腔内安装有转子并通过转子上片加盖密封,泵体上片安装驱动环上作为泵的顶盖。本实用新型采用高阶贝塞尔信号驱动压电片,利用合成声场带动转子腔里面的转子旋转,实现微流体流量与流速的精确控制以及微流体的双向流动控制。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种微型泵,具体涉及一种声驱动微型泵,用超声作为驱动源。
背景技术
随着科学技术的不断深入发展,人类的研究领域逐渐从宏观领域转向了微观世界。尤其是在生物、化学、医疗等学科领域,人们更倾向于从微观上来探究宏观现象的机理。在整个研究过程中,往往是以微尺度下液体的流动作为一种有效的技术手段,因此对能够有效控制微量液体流速与流量的设备有着强烈的需求。微型泵作为微量液体的驱动源,有着精确控制液体流速与流量的特点,已然成为这些领域中不可或缺的实验设备。例如,在化工领域可用微型泵驱动微量液体来实现液体化学成分的分析以及贵重药物的精确配置;在生命科学领域可用微型泵驱动微量液体来实现细胞的分离与融合;在生物制药领域可用微型泵驱动微量液体来实现活性药物的输送与药物的筛选。不仅如此,在其它领域,微型泵同样也具备着极高的应用价值:在微电子领域,可用微型泵来实现微电子冷却系统中的冷却液输送;在航天领域,可用微型泵来实现对微型探测器的燃料输送。此外,微型泵还具有集成度高、体积小、操作简单、可批量生产等优势,在各行各业都具有极大的应用价值。
针对微型泵,目前已授权的专利有:申请号为200610164016.1的实用新型专利提出了一种基于微型马达驱动的机械式微型泵;申请号为200610111204.8以及200810203962.1的实用新型专利分别提出了一种基于压电式驱动的单向流道微型泵,利用压电片的高频振动引起腔室内压强变化来驱动微流体;申请号为200980158664.8的实用新型专利提出了一种可以处理小流体体积的磁驱动式微型泵;申请号为200980100646.4及201010609684.7的实用新型专利分别提出了气体驱动以及毛细力驱动的微型泵。由此可见,目前微型泵的驱动方式主要是微型马达驱动、压电式驱动、电磁驱动、气体驱动、毛细力驱动等。
常规的机械式微型泵是一种缩小版的宏观泵,不可避免地继承了机械式泵固有的缺陷;新型的压电式微型泵往往会使大部分的机械功转变成了热量,驱动效率不是很高;毛细力驱动型微型泵对输送液体的性质有着特殊的要求,通常只能输送可湿润型液体。此外,在目前现有的微型泵中,它的驱动源与执行件往往是直接接触,不利于微型泵的设计制造,且通常会影响整个流道中微流体的自身环境,同时此类微型泵往往也只能用来实现微流体的单向流动。
实用新型内容
为了解决现有微型泵效率低、普适性差、易影响输送液体自身环境以及无法实现微流体双向流动的不足,本实用新型的目的是提出一种声驱动微型泵,是一种非接触型声驱动微型泵,采样高阶贝塞尔信号驱动环形分布的压电片,使转子腔内形成特定声场,带动转子运动,实现对微流体流量、流速及流向的精确控制。
本实用新型的技术方案如下:
本实用新型包括泵体下片、驱动环、转子底座、转子、转子上片、泵体上片和驱动底座,泵体下片安装在驱动环的底部,泵体下片和驱动环一起安装在驱动底座内,转子底座安装在泵体下片中心,转子底座顶部的转子腔内安装有转子并通过转子上片加盖密封,泵体上片安装驱动环上作为泵的顶盖。
所述的泵体下片包括圆片形的下片基体和凸耳,下片基体对称的两侧均设有两个平行的凸耳,泵体下片的中心开有环形的转子底座槽,转子底座通过防水胶粘接于泵体下片中的转子底座槽上;各个凸耳侧面设有侧通孔,转子底座槽设有四个与凸耳侧通孔对应的侧壁孔,泵体下片各个凸耳侧通孔通过各自的圆柱形流道与转子底座槽侧壁孔之间相通。
所述的转子底座包含转子底座基体和弹性薄膜,转子底座基体顶部的转子腔对称的两侧设有弹性薄膜;每个弹性薄膜两侧附近的转子腔内壁均设有转子底座上流口,其中一弹性薄膜两侧的转子底座上流口与另一弹性薄膜两侧的转子底座上流口的呈对称分布;弹性薄膜两侧的转子底座基体底部外侧壁上均设有与所述转子底座槽上各对应侧壁孔相通的转子底座下流口,其中一弹性薄膜两侧的转子底座下流口与另一弹性薄膜两侧的转子底座下流口的呈对称分布;一弹性薄膜其中一侧的转子底座上流口和转子底座下流口与另一弹性薄膜以转子底座基体中心对称一侧的转子底座上流口和转子底座下流口通过转子底座基体内部管道均相通。
所述的驱动环包含驱动环基体、压电片、驱动环电极和卡环,驱动环基体的内侧壁沿圆周间隔均布设有压电片,驱动环基体外圆周中间固定有一圈卡环,卡环下部的驱动环基体外圆侧壁间隔均布设有驱动环电极,各个驱动环电极与各自的压电片通过驱动环基体内部的管线对应连接;驱动环底部对称的两侧设有用于凸耳嵌入的凸耳槽;凸耳槽的中间开有与驱动底座定位配合的定位槽。
所述的驱动底座包含驱动底座基体、驱动底座电极、定位块、管口和通讯口,驱动底座基体底部对称的两侧壁设有用于泵体下片凸耳嵌入安装的管口,驱动底座基体侧面设有通讯口;驱动底座基体内圆周的中间设有一道环形的卡槽,所述驱动环的卡环嵌入卡槽中实现驱动底座和驱动环基体的轴向定位安装;驱动底座基体内侧壁间隔均布设有与所述驱动环驱动环电极对应连接的驱动底座电极,驱动底座电极数量及位置分布与驱动环电极相同,驱动底座电极均通过驱动底座基体内部管线连接到通讯口;驱动底座基体每侧的两个管口之间的内侧壁上设有嵌入驱动环定位槽中配合定位的定位块。
所述的转子由反声刚性有机材料构成,转子主要由两个相等弧长的弧形挡板对称固定连接而成,转子的高度与转子腔高度相等,弧形挡板能覆盖转子底座上任一弹性薄膜两侧的两个转子底座上流口。
所述的转子上片由透明且透声的材料制成,其半径与转子底座外圆半径相同。
所述的泵体上片由透明且吸声的材料制成,其半径与驱动环基体外圆半径相同,泵体上片上开有一圆孔,圆孔位于驱动环基体内圆与转子底座槽外圆之间。
转子底座基体的其外圆半径与泵体下片上转子底座槽外圆半径相同。
优选的压电片至少4个以上。
优选的弹性薄膜由透声材料构成且粘接在转子底座基体上。
优选的驱动环基体由吸声材料制成,驱动底座基体由绝缘刚性材料制成,转子底座基体由透声材料制成。
本实用新型的有益效果是:
本实用新型是利用合成声场来驱动转子腔里面的转子,属于驱动源与执行件非接触的微型泵,不会改变微流体的自身环境。
本实用新型采用至少4个以上的压电片来合成声场,声场稳定性高,可实现转子的高精度可控旋转。
本实用新型采用高阶贝塞尔信号同时驱动压电片,相比常规正弦信号驱动,其合成声场能量更为集中,对转子形成的驱动力更大,可实现对更大微流体流量及更高流速的驱动。
本实用新型装置可实现微流体的双向流动,对使用环境及微流体性质没有特殊要求,实用性更广。
本实用新型具有体积小、重量轻、功耗低、易集成化、可批量生产等优势。
附图说明
图1是本实用新型的主体结构示意图。
图2是本实用新型泵体下片的立体示意图。
图3是本实用新型泵体下片俯视图。
图4是本实用新型驱动环三维示意图。
图5是本实用新型驱动环侧视图。
图6是本实用新型转子底座三维示意图之一。
图7是本实用新型转子底座三维示意图之二。
图8是本实用新型转子底座剖视图。
图9是本实用新型转子结构示意图。
图10是本实用新型转子上片结构示意图。
图11是本实用新型泵体上片结构示意图。
图12是本实用新型驱动底座的三维示意图。
图13是本实用新型驱动底座的剖视图。
图14是本实用新型除去转子上片与泵体上片后的总装配示意图。
图中:泵体下片1、驱动环2、转子底座3、转子4、转子上片5、泵体上片6、驱动底座7、下片基体1-1、转子底座槽1-2、凸耳1-3、圆柱形流道1-4、驱动环基体2-1、压电片2-2、驱动环电极2-3、定位槽2-4、两组对称分布凸耳槽2-5、卡环2-6、转子底座基体3-1、转子腔3-2、弹性薄膜3-3、转子底座下流口3-4、转子底座上流口3-5、弧形挡板4-1、驱动底座基体7-1、驱动底座电极7-2、卡槽7-3、定位块7-4、两组对称分布的管口7-5、通讯口7-6。
具体实施方式
下面结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。
如图1所示,本实用新型包括泵体下片1、驱动环2、转子底座3、转子4、转子上片5、泵体上片6和驱动底座7,泵体下片1安装在驱动环2的底部,泵体下片1和驱动环2一起安装在驱动底座7内,转子底座3安装在泵体下片1中心,转子底座3顶部的转子腔3-2内安装有转子4并通过转子上片5加盖密封,泵体上片6安装驱动环2上作为泵的顶盖。转子4放置在转子底座3的转子腔3-2里面,转子上片5固定在转子底座3上面,泵体上片6固定在驱动环2上。
如图2和图3所示,泵体下片1包括圆片形的下片基体1-1和凸耳1-3,下片基体1-1对称的两侧均设有两个平行的凸耳1-3,泵体下片1的中心开有环形的转子底座槽1-2,转子底座3通过防水胶粘接于泵体下片1中的转子底座槽1-2上;各个凸耳1-3侧面设有侧通孔,转子底座槽1-2设有四个与凸耳1-3侧通孔对应的侧壁孔,泵体下片1各个凸耳1-3侧通孔通过各自的圆柱形流道与转子底座槽1-2侧壁孔之间相通。
转子底座3的底部设有四个转子底座下流口3-4,转子底座3通过防水胶粘接于泵体下片1中的转子底座槽1-2上,且粘接过程中保证泵体下片1中四个圆柱形流道1-4的中心轴分别与转子底座3中的四个转子底座下流口3-4的中心轴重合,进而保证从泵体下片1中四个圆柱形流道流进或流出的液体可以顺利经过四个转子底座下流口,整个转子底座3均由透声材料构成,尽量减小其对合成声场的影响。
如图6~图8所示,转子底座3包含转子底座基体3-1和弹性薄膜3-3,转子底座基体3-1顶部的转子腔3-2对称的两侧设有弹性薄膜3-3;每个弹性薄膜3-3两侧附近的转子腔3-2内壁均设有转子底座上流口3-5,其中一弹性薄膜3-3两侧的转子底座上流口3-5与另一弹性薄膜3-3两侧的转子底座上流口3-5的呈对称分布;弹性薄膜3-3两侧的转子底座基体3-1底部外侧壁上均设有与所述转子底座槽1-2上各对应侧壁孔相通的转子底座下流口3-4,其中一弹性薄膜3-3两侧的转子底座下流口3-4与另一弹性薄膜3-3两侧的转子底座下流口3-4的呈对称分布;一弹性薄膜3-3其中一侧的转子底座上流口3-5和转子底座下流口3-4与另一弹性薄膜3-3以转子底座基体3-1中心对称一侧的转子底座上流口3-5和转子底座下流口3-4通过转子底座基体3-1内部管道均相通。
如图4和图5所示,驱动环2包含驱动环基体2-1、压电片2-2、驱动环电极2-3和卡环2-6,驱动环基体2-1的内侧壁沿圆周间隔均布设有压电片2-2,驱动环基体2-1外圆周中间固定有一圈卡环2-6,卡环2-6下部的驱动环基体2-1外圆侧壁间隔均布设有驱动环电极2-3,各个驱动环电极2-3与各自的压电片2-2通过驱动环基体2-1内部的管线对应连接;驱动环2底部对称的两侧设有用于凸耳1-3嵌入的凸耳槽2-5,泵体下片1通过其两组对称分布的凸耳1-3粘接于驱动环2底部两组对称分布的凸耳槽2-5内,泵体下片1的下片基体1-1用防水胶粘接与驱动环2的基体2-1上,使其与基体2-1形成一个凹形腔;凸耳槽2-5的中间开有与驱动底座7定位配合的定位槽2-4,定位槽2-4开在任一个凸耳槽2-5的中间且高度不超过卡环2-6。
如图12和图13所示,驱动底座7包含驱动底座基体7-1、驱动底座电极7-2、定位块7-4、管口7-5和通讯口7-6,驱动底座基体7-1底部对称的两侧壁设有用于泵体下片1凸耳1-3嵌入安装的管口7-5,驱动底座基体7-1侧面设有通讯口7-6;驱动底座基体7-1内圆周的中间设有一道环形的卡槽7-3,所述驱动环2的卡环2-6嵌入卡槽7-3中实现驱动底座7和驱动环基体2-1的轴向定位安装;驱动底座基体7-1内侧壁间隔均布设有与所述驱动环2驱动环电极2-3对应连接的驱动底座电极7-2,驱动底座电极7-2数量及位置分布与驱动环电极2-3相同,驱动底座电极7-2均通过驱动底座基体7-1内部管线连接到通讯口7-6;驱动底座基体7-1每侧的两个管口7-5之间的内侧壁上设有嵌入驱动环2定位槽2-4中配合定位的定位块7-4,通过驱动底座7上的定位块7-4与驱动环2上的定位槽2-4的结合保证驱动底座7上的驱动底座电极7-2与驱动环2上的电极片2-3一一对应。
本实用新型上述的卡槽7-3的宽度略大于驱动环2上卡环2-6的宽度,定位块7-4的位置与定位槽2-4相对应且其宽度、高度与定位槽2-4相同,管口7-5的大小、位置与泵体下片1中的凸耳1-3相对应,所有驱动底座电极7-2通过驱动底座基体7-1内部走线与通讯口7-6相连。
如图9所示,转子4由反声刚性有机材料构成,转子4主要由两个相等弧长的弧形挡板4-1对称固定连接而成,转子4的高度与转子腔高度3-2相等,弧形挡板4-1的弧长大于一弹性薄膜3-3两侧转子底座上流口3-5之间的弧长距离,使得弧形挡板4-1能覆盖转子底座上任一弹性薄膜3-3两侧的两个转子底座上流口3-5。
如图10所示,转子上片6由透明且透声的材料制成,其半径与转子底座3外圆半径相同。
如图11所示,泵体上片7由透明且吸声的材料制成,其半径与驱动环基体2-1外圆半径相同,泵体上片7上开有一圆孔,圆孔位于驱动环基体2-1内圆与转子底座槽1-2外圆之间。
转子4放置在转子底座3的转子腔3-2里面,转子4的高度与转子腔3-2等高,转子4在声场的作用下可以在转子腔3-2内自由旋转,推动转子底座3中的两片弹性薄膜3-3来回运动。
转子上片5用防水胶固定在转子底座3上面,对转子腔进行封闭处理,弹性薄膜3-3的四周分别粘接与转子底座基体3-1与转子上片5,当弹性薄膜3-3来回运动时将实现密封腔内容积变化。
泵体上片6固定在驱动环2上,通过泵体上片6上的圆孔6-1可以向下片基体1-1、驱动环基体2-1及转子底座3所形成的凹槽注入耦合液体,可以减少声衰减,进而增大转子驱动力。
驱动底座7通过卡槽7-3与驱动环2上卡环2-6的结合固定在驱动环2上,实现驱动底座7上的驱动底座电极7-2与驱动环2上的电极2-3紧密接触,通过驱动底座7上的定位块7-4与驱动环2上的定位槽2-4来确保换能器的顺序,保证压电片能按预期的顺序或预期的信号进行触发,形成所需要的声场,上位机通过驱动底座7上的通讯口7-6向压电片触发所需的高阶贝塞尔驱动信号。
本实用新型装置的具体实施过程如下:
一、将微流管与泵体下片流道进行连接;
二、上位机通过数据线接于驱动底座的驱动口上;
三、通过泵体上片的圆孔向泵体下片、驱动环基体及转子底座所形成的凹槽注满耦合液体,以便压电片产生的声波以最小的衰减传播到转子腔里面;
四、根据微流体流动方向确定转子的旋转方向;
五、根据转子的旋转方向以及压电片的数量上位机按照一定算法计算出各个压电片应加载的贝塞尔信号的阶数、幅值、初始相位信息;
六、设定微流体的流速及流量,计算出转子旋转的速度与圈数,从而算出压电片驱动信号参数更改的频率;
七、上位机按照所计算的频率发送各个压电片应加载的贝塞尔信号参数,使合成的矩形声压节点朝向按一定的速度发生变化,进而带动转子按一定的速度转动相应的圈数,实现微流体以一定的速度流入或留出一定的流量。
本实用新型优选的实施例可在装置中采用的主要技术参数:泵体下片1的下片基体1-1外圆直径15mm,高度3mm;四个圆柱形流道直径均为0.1mm;转子底座槽1-2的外圆直径为4mm,深度为2mm。驱动环2由9个中心频率为2MHz的压电片2-2组成;压电片2-2的长、宽分别为4mm、3mm;压电片的驱动信号峰峰值为80V。转子底座3的外圆直径与转子底座槽1-2的直径相同为4mm,其高度也为4mm;转子底座上、下流口直径均为0.1mm。
转子腔3-2的内圆直径为2mm且高度为1mm。转子4的弧形挡板4-1外圆直径为2mm,高度与转子腔3-2高度相同为1mm。泵体下片1与转子底座3由三维打印形成。
本实用新型的工作原理如下:
按上述具体操作实施后最终装配如图14所示(为方便描述转子上片与泵体上片未装配)。压电片加载驱动信号之后会在空间产生相应形式的声波,当同时对多路压电片加载驱动信号时,所产生的声波将会在空间叠加,即实现声场合成,按照特定算法调整每路压电片的驱动信号就可以得到所需要的声场。
本实用新型使用中心频率为2MHz压电片,压电片的长、宽分别为4mm、3mm,驱动信号的电压峰峰值为80V,驱动信号采用贝塞尔函数形式,使其可以合成单一节点的声场,声场能量更为集中,驱动力更大。调整各路贝塞尔信号的阶数、幅值及初相位,通过上位机同时下发各路参数,触发压电片产生连续声波并在转子腔内形成矩形声压节点,转子在声压梯度的作用下会保持与矩形声压节点朝向一致,当调整贝塞尔信号的阶数、幅值及初相位时,矩形声压节点朝向会发生变化导致声压梯度朝向也发生变化,声压梯度的变化会促使转子朝向继续保持与矩形声压节点朝向一致,从而实现了转子的旋转,进而带动腔内液体的流动。以图9中转子4逆时针旋转为例:
转子4逆时针旋转时,转子4上两侧的弧形挡板4-1先逐渐地挡住弹性薄膜其中一侧的两个转子底座上流口3-5,然后开始推动两侧的弹性薄膜3-3,弹性薄膜3-3在弧形挡板4-1的推动下逐渐向外扩张,使得整个转子腔3-2的容积逐渐变大,腔内压强随之逐渐减小,促使微流体从对称的其中两边的泵体下片流道1-4经转子底座下流口3-4最终从转子底座上流口3-5流入转子腔3-2内,实现微流体的流入。随着转子4的转动,弹性薄膜3-3将被弧形挡板4-1撑至最大,此时转子腔3-2内吸入的微流体量达到最大值。转子4继续转动,弧形挡板4-1逐渐挡住弹性薄膜另一侧的两个转子底座上流口3-5,随后放开转子底座上流口3-5。随着弧形挡板4-1逐渐离开弹性薄膜3-3,弹性薄膜3-3在自身恢复力的作用下逐渐恢复原态,使得转子腔3-2内的压强逐渐增大,促使腔内微流体从对称的另外两边的转子底座上流口3-5经转子底座下流口3-4最终从泵体下片流道1-4流出,实现微流体的流出。
随着矩形声压节点朝向的连续变化,转子4也跟着产生连续的旋转,从而实现微流体的连续高效的流入、流出。通过调整压电片的驱动信号更改频率可以实现对转子4转速的精确控制,进而实现对流入、流出的微流体流速的精确控制。通过当调整调整压电片的驱动信号作用总时间可以实现对转子4所转圈数的精确控制,进而实现对流入、流出的微流体流量的精确控制。当上位机下发的参数使得合成声场中矩形声压节点的朝向按相反方向运动时,微流体的流入、流出方向将发生变化,因此通过简单地调整压电片参数就可以实现对微流体流向的精确控制。
上述具体实施方式用来解释说明本实用新型,而不是对本实用新型进行限制,在本实用新型的精神和权利要求的保护范围内,对本实用新型作出的任何修改和改变,都落入本实用新型的保护范围。
Claims (9)
1.一种声驱动微型泵,其特征在于:包括泵体下片(1)、驱动环(2)、转子底座(3)、转子(4)、转子上片(5)、泵体上片(6)和驱动底座(7),泵体下片(1)安装在驱动环(2)的底部,泵体下片(1)和驱动环(2)一起安装在驱动底座(7)内,转子底座(3)安装在泵体下片(1)中心,转子底座(3)顶部的转子腔(3-2)内安装有转子(4)并通过转子上片(5)加盖密封,泵体上片(6)安装驱动环(2)上作为泵的顶盖。
2.根据权利要求1所述的一种声驱动微型泵,其特征在于:所述的泵体下片(1)包括圆片形的下片基体(1-1)和凸耳(1-3),下片基体(1-1)对称的两侧均设有两个平行的凸耳(1-3),泵体下片(1)的中心开有环形的转子底座槽(1-2),转子底座(3)通过防水胶粘接于泵体下片(1)中的转子底座槽(1-2)上;各个凸耳(1-3)侧面设有侧通孔,转子底座槽(1-2)设有四个与凸耳(1-3)侧通孔对应的侧壁孔,泵体下片(1)各个凸耳(1-3)侧通孔通过各自的圆柱形流道与转子底座槽(1-2)侧壁孔之间相通。
3.根据权利要求1所述的一种声驱动微型泵,其特征在于:所述的转子底座(3)包含转子底座基体(3-1)和弹性薄膜(3-3),转子底座基体(3-1)顶部的转子腔(3-2)对称的两侧设有弹性薄膜(3-3);每个弹性薄膜(3-3)两侧附近的转子腔(3-2)内壁均设有转子底座上流口(3-5),其中一弹性薄膜(3-3)两侧的转子底座上流口(3-5)与另一弹性薄膜(3-3)两侧的转子底座上流口(3-5)的呈对称分布;弹性薄膜(3-3)两侧的转子底座基体(3-1)底部外侧壁上均设有与所述转子底座槽(1-2)上各对应侧壁孔相通的转子底座下流口(3-4),其中一弹性薄膜(3-3)两侧的转子底座下流口(3-4)与另一弹性薄膜(3-3)两侧的转子底座下流口(3-4)的呈对称分布;一弹性薄膜(3-3)其中一侧的转子底座上流口(3-5)和转子底座下流口(3-4)与另一弹性薄膜(3-3)以转子底座基体(3-1)中心对称一侧的转子底座上流口(3-5)和转子底座下流口(3-4)通过转子底座基体(3-1)内部管道均相通。
4.根据权利要求1所述的一种声驱动微型泵,其特征在于:所述的驱动环(2)包含驱动环基体(2-1)、压电片(2-2)、驱动环电极(2-3)和卡环(2-6),驱动环基体(2-1)的内侧壁沿圆周间隔均布设有压电片(2-2),驱动环基体(2-1)外圆周中间固定有一圈卡环(2-6),卡环(2-6)下部的驱动环基体(2-1)外圆侧壁间隔均布设有驱动环电极(2-3),各个驱动环电极(2-3)与各自的压电片(2-2)通过驱动环基体(2-1)内部的管线对应连接;驱动环(2)底部对称的两侧设有用于凸耳(1-3)嵌入的凸耳槽(2-5);凸耳槽(2-5)的中间开有与驱动底座(7)定位配合的定位槽(2-4)。
5.根据权利要求1~4任一所述的一种声驱动微型泵,其特征在于:所述的驱动底座(7)包含驱动底座基体(7-1)、驱动底座电极(7-2)、定位块(7-4)、管口(7-5)和通讯口(7-6),驱动底座基体(7-1)底部对称的两侧壁设有用于泵体下片(1)凸耳(1-3)嵌入安装的管口(7-5),驱动底座基体(7-1)侧面设有通讯口(7-6);驱动底座基体(7-1)内圆周的中间设有一道环形的卡槽(7-3),所述驱动环(2)的卡环(2-6)嵌入卡槽(7-3)中实现驱动底座(7)和驱动环基体(2-1)的轴向定位安装;驱动底座基体(7-1)内侧壁间隔均布设有与所述驱动环(2)驱动环电极(2-3)对应连接的驱动底座电极(7-2),驱动底座电极(7-2)数量及位置分布与驱动环电极(2-3)相同,驱动底座电极(7-2)均通过驱动底座基体(7-1)内部管线连接到通讯口(7-6);驱动底座基体(7-1)每侧的两个管口(7-5)之间的内侧壁上设有嵌入驱动环(2)定位槽(2-4)中配合定位的定位块(7-4)。
6.根据权利要求1~4任一所述的一种声驱动微型泵,其特征在于:所述的转子(4)由反声刚性有机材料构成,转子(4)主要由两个相等弧长的弧形挡板(4-1)对称固定连接而成,转子(4)的高度与转子腔高度(3-2)相等,弧形挡板(4-1)能覆盖转子底座上任一弹性薄膜(3-3)两侧的两个转子底座上流口(3-5)。
7.根据权利要求1~4任一所述的一种声驱动微型泵,其特征在于:所述的转子上片(6)由透明且透声的材料制成,其半径与转子底座(3)外圆半径相同。
8.根据权利要求1~4任一所述的一种声驱动微型泵,其特征在于:所述的泵体上片(7)由透明且吸声的材料制成,其半径与驱动环基体(2-1)外圆半径相同,泵体上片(7)上开有一圆孔,圆孔位于驱动环基体(2-1)内圆与转子底座槽(1-2)外圆之间。
9.根据权利要求4任一所述的一种声驱动微型泵,其特征在于:所述的压电片(2-2)至少4个以上。
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