JP2005083805A - 走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡は、試料12に対向する探針20を有するカンチレバー21、探針が試料の表面を走査するとき探針と試料の間で生じる原子間力等を測定する測定部(光てこ式光学顕微鏡やフィードバックサーボ制御ループ)、探針と試料の位置を相対的に変化させ走査動作を行わせる移動機構を備える。さらに走査型プローブ顕微鏡は、アライメントのための参照用パターンを取得・登録する取得登録手段と、この取得登録手段によって画像パターンをレシピに登録した時の照度に光量をレシピに登録するレシピ化手段とを備える。
【選択図】 図1
Description
11 試料ステージ
12 試料
14 XYステージ
15 Zステージ
16 試料ホルダ
18 光学顕微鏡
19 TVカメラ
20 探針
21 カンチレバー
33 第1制御装置
34 第2制御装置
61 照明装置
62 光量制御部
Claims (3)
- 試料に対向する探針を有する探針部と、前記探針が前記試料の表面を走査するとき前記探針と前記試料の間で生じる物理量を測定する測定部と、前記探針と前記試料の位置を相対的に変化させ走査動作を行わせる移動機構とを備え、前記測定部で前記物理量を一定に保ちながら前記移動機構により前記探針で前記試料の表面を走査して前記試料の表面を測定する走査型プローブ顕微鏡において、
アライメントのための画像パターンを取得・登録する取得登録手段と、
前記取得登録手段によって前記画像パターンをレシピに登録した時の照度に係る光量を前記レシピに登録するレシピ化手段と、
を備えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。 - 前記照度を有する照明を与える照明装置と、
前記レシピの実行時に前記レシピに登録された前記照度に係る光量を前記照明装置に設定する設定手段と、
を備えることを特徴とする請求項1記載の走査型プローブ顕微鏡。 - 前記光量は試料ごとに調整され、光量が調整された画像についてのパターン認識が行われることを特徴とする請求項1または2記載の走査型プローブ顕微鏡。
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