JP4095942B2 - 走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
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Description
11 試料ステージ
12 試料
14 XYステージ
15 Zステージ
16 試料ホルダ
18 光学顕微鏡
19 TVカメラ
20 探針
21 カンチレバー
33 第1制御装置
34 第2制御装置
61 照明装置
62 光量制御部
Claims (2)
- 試料の表面を撮像するために前記試料の上方に設けた光学顕微鏡および撮像装置と、前記光学顕微鏡と前記試料との位置関係を変える駆動機構と、前記試料の表面を照らす照明装置と、前記試料に対向する探針を有する探針部と、前記探針が前記試料の表面を走査するとき前記探針と前記試料の間で生じる物理量を測定する測定部と、前記探針と前記試料の位置を相対的に変化させ走査動作を行わせる移動機構とを備え、前記測定部で前記物理量を一定に保ちながら前記移動機構により前記探針で前記試料の表面を走査して前記試料の表面を測定する走査型プローブ顕微鏡において、
アライメントに、参照用試料を用意し前記駆動機構により前記参照用試料の表面に設けた参照用パターン位置へ前記光学顕微鏡を移動させ、前記参照用パターンから参照用画像パターンを取得・登録する取得登録手段と、
前記取得登録手段によって前記画像パターンをレシピに登録した時の前記照明装置よる照度に係る光量を前記レシピに登録すると共に、登録した前記レシピに基づき前記アライメントの確認を実行し、アライメントが正常に行われるかどうかを判断し、正常に行われない場合には前記画像パターンの取得・登録からやり直すように設定されたレシピ化手段と、
前記レシピの実行時に前記レシピに登録された前記照度に係る光量を前記照明装置に設定する設定手段と、
を備えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。 - 前記光量は試料ごとに調整され、光量が調整された画像についてのパターン認識が行われることを特徴とする請求項1記載の走査型プローブ顕微鏡。
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