JP2005071992A - 減圧雰囲気下における加熱、冷却方法及び画像表示装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 チャンバ内の減圧雰囲気下に配置された板状体を、前記板状体に対向配置された加熱手段により加熱する工程と、前記加熱手段を挟んで前記板状体に対向配置された熱反射機能を有する冷却板により当該板状体の冷却を行う工程とを有し、前記冷却板の熱放射率が0.50以上0.80以下である。また、前記冷却板の熱放射率は、前記加熱工程に要する時間と前記冷却工程に要する時間との和を最小とする値である。
【選択図】 図1
Description
前記加熱手段を挟んで前記板状体に対向配置された熱反射機能を有する冷却板により当該板状体の冷却を行う工程とを有し、
前記冷却板の熱放射率が0.50以上0.80以下であることを特徴とする。
前記加熱手段を挟んで前記板状体に対向配置された熱反射機能を有する冷却板により当該板状体の冷却を行う工程とを有し、
前記冷却板の熱放射率は、前記加熱工程に要する時間と前記冷却工程に要する時間との和を最小とする値であることを特徴とする。
チャンバ内の減圧雰囲気下に配置された該基板を、前記基板に対向配置された加熱手段
により加熱する工程と、
前記加熱手段を挟んで前記基板に対向配置された熱反射機能を有する冷却板により当該基板の冷却を行う工程とを有し、
前記冷却板の熱放射率が0.50以上0.80以下であることを特徴とする。
チャンバ内の減圧雰囲気下に配置された該基板を、前記基板に対向配置された加熱手段
により加熱する工程と、
前記加熱手段を挟んで前記基板に対向配置された熱反射機能を有する冷却板により当該基板の冷却を行う工程とを有し、
前記加熱手段は、前記基板の他方の主面に対向して配置されることを特徴とする。
チャンバ内の減圧雰囲気下に配置された該基板を、前記基板に対向配置された加熱手段
により加熱する工程と、
前記加熱手段を挟んで前記基板に対向配置された熱反射機能を有する冷却板により当該基板の冷却を行う工程とを有し、
前記加熱手段は、前記基板の2つの主面のうち、熱放射率の分布が小さい面に対向して配置されることを特徴とする。
本発明によれば、板状体を発熱体(加熱手段)により加熱し冷却板により冷却する際に、冷却板の熱放射率が選定されている、換言すると、熱反射機能と冷却機能を兼ね備えるように放射率を選定することによって、加熱に要する時間と冷却に要する時間のトータル時間が短縮される。
2a〜2c 反射板
3a〜3e ヒータ
4 スペーサ
5 基板上物質
6 真空チャンバ
11 冷却板
12 冷却管
Claims (15)
- チャンバ内の減圧雰囲気下に配置された板状体を、前記板状体に対向配置された加熱手段により加熱する工程と、
前記加熱手段を挟んで前記板状体に対向配置された熱反射機能を有する冷却板により当該板状体の冷却を行う工程とを有し、
前記冷却板の熱放射率が0.50以上0.80以下であることを特徴とする加熱、冷却方法。 - チャンバ内の減圧雰囲気下に配置された板状体を、前記板状体に対向配置された加熱手段により加熱する工程と、
前記加熱手段を挟んで前記板状体に対向配置された熱反射機能を有する冷却板により当該板状体の冷却を行う工程とを有し、
前記冷却板の熱放射率は、前記加熱工程に要する時間と前記冷却工程に要する時間との和を最小とする値であることを特徴とする加熱、冷却方法。 - 前記板状体の周囲に熱反射部材を有し、前記熱反射部材及び前記冷却板によって前記板状体を囲むことを特徴とする請求項1に記載の加熱、冷却方法。
- 前記冷却板は冷媒を流す冷却管を有することを特徴とする請求項1に記載の加熱、冷却方法。
- 前記熱反射部材の熱放射率を前記冷却板の熱放射率より小さくしたことを特徴とする請求項3に記載の加熱、冷却方法。
- 互いに対向する2つの主面を有する基板を用いて形成された容器を有する画像表示装置の製造方法であって、
チャンバ内の減圧雰囲気下に配置された該基板を、前記基板に対向配置された加熱手段により加熱する工程と、
前記加熱手段を挟んで前記基板に対向配置された熱反射機能を有する冷却板により当該基板の冷却を行う工程とを有し、
前記冷却板の熱放射率が0.50以上0.80以下であることを特徴とする画像表示装置の製造方法。 - 前記基板の前記2つの主面の一方の面に、前記基板と熱容量の異なる付属物が部分的に搭載され、
前記加熱手段は、前記基板の前記2つの主面の他方の面に対向して配置されることを特徴とする請求項6に記載の画像表示装置の製造方法。 - 前記基板の前記2つの主面は、該2つの主面の各々の面における面内での熱放射率の分布が互いに異なり、
前記加熱手段は、前記基板の2つの主面のうち、熱放射率の分布が小さい面に対向して配置されることを特徴とする請求項6に記載の画像表示装置の製造方法。 - 前記加熱工程及び冷却工程の後に、減圧雰囲気下において、前記加熱及び冷却された基板を用いて前記容器を組み立てる工程を更に有することを特徴とする請求項6〜8のいずれかに記載の画像表示装置の製造方法。
- 前記加熱工程及び冷却工程の後に、前記チャンバとは異なる他のチャンバ内の減圧雰囲気下において、前記加熱及び冷却された基板を用いて前記容器を組み立てる工程を更に有することを特徴とする請求項9に記載の画像表示装置の製造方法。
- 互いに対向する2つの主面を有する基板の一方の主面に該基板と熱容量の異なる付属物が設けられた該基板を用いて形成された容器を有する画像表示装置の製造方法であって、
チャンバ内の減圧雰囲気下に配置された該基板を、前記基板に対向配置された加熱手段により加熱する工程と、
前記加熱手段を挟んで前記基板に対向配置された熱反射機能を有する冷却板により当該基板の冷却を行う工程とを有し、
前記加熱手段は、前記基板の他方の主面に対向して配置されることを特徴とする画像表示装置の製造方法。 - 前記付属物がスペーサであることを特徴とする請求項11に記載の画像表示装置の製造方法。
- 前記加熱工程及び冷却工程の後に、減圧雰囲気下において、前記加熱及び冷却された基板を用いて前記容器を組み立てる工程を更に有することを特徴とする請求項11に記載の画像表示装置の製造方法。
- 互いに対向する2つの主面を有し、該2つの主面の各々の面における面内での熱放射率の分布が異なる基板を用いて形成された容器を有する画像表示装置の製造方法であって、
チャンバ内の減圧雰囲気下に配置された該基板を、前記基板に対向配置された加熱手段により加熱する工程と、
前記加熱手段を挟んで前記基板に対向配置された熱反射機能を有する冷却板により当該基板の冷却を行う工程とを有し、
前記加熱手段は、前記基板の2つの主面のうち、熱放射率の分布が小さい面に対向して配置されることを特徴とする画像表示装置の製造方法。 - 前記加熱、冷却工程の後に、減圧雰囲気下において、前記加熱及び冷却された基板を用いて前記容器を組み立てる工程を更に有することを特徴とする請求項14に記載の画像表示装置の製造方法。
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