JP2005070030A - ジャイロ振動子及び電子機器 - Google Patents
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| FR2812386B1 (fr) * | 2000-07-28 | 2002-11-15 | Sagem | Gyrometre a poutres vibrantes, a excitation piezo-electrique |
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Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015099130A (ja) * | 2013-11-20 | 2015-05-28 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 角速度センサ及びセンサ素子 |
| JP2015114196A (ja) * | 2013-12-11 | 2015-06-22 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 圧電センサ及びその製造方法 |
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| JPWO2018021166A1 (ja) * | 2016-07-26 | 2019-02-28 | 京セラ株式会社 | 角速度センサ、センサ素子および多軸角速度センサ |
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