JP2005067971A - 基板切断装置及び方法 - Google Patents

基板切断装置及び方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2005067971A
JP2005067971A JP2003301894A JP2003301894A JP2005067971A JP 2005067971 A JP2005067971 A JP 2005067971A JP 2003301894 A JP2003301894 A JP 2003301894A JP 2003301894 A JP2003301894 A JP 2003301894A JP 2005067971 A JP2005067971 A JP 2005067971A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
cutting
dust
router
router bit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2003301894A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroyuki Otaka
浩幸 大高
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Photo Film Co Ltd filed Critical Fuji Photo Film Co Ltd
Priority to JP2003301894A priority Critical patent/JP2005067971A/ja
Publication of JP2005067971A publication Critical patent/JP2005067971A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)

Abstract

【課題】 基板切断時に発生する粉塵の集塵効率を向上させる。
【解決手段】 基板切断装置10は、ルータヘッド18,集塵装置41,除電装置51を備えている。ルータヘッド18には、プリント基板11に対して切断加工を施すルータビット23が取り付けられている。集塵装置41は、切断加工時にプリント基板11から発生する粉塵を吸引する。除電装置51は、イオン化した空気をプリント基板11に吹き付けることによりプリント基板11の帯電を除去する。イオン化空気は、除電ヘッド52に取り付けられた吹きつけノズル56から、ルータビット23の先端部に向けて吹き付けられる。プリント基板11が除電されるので、粉塵の付着がなくなり、集塵効率が向上する。
【選択図】 図1

Description

本発明は、ルータビットを用いた基板の切断装置及び方法に関するものである。
回路パターンがプリントされ各種電子部品が実装されるプリント基板などの被加工物を切断する基板切断装置が知られている。この基板切断装置のカッタとしては、例えば、回転軸の先端部に刃が形成されたルータが使用される(例えば、下記特許文献1〜3参照)。こうした基板切断装置では、切断時に発生する粉塵を吸引して収集する集塵装置が設けられている。特許文献1の切断装置では、基板を挟んでルータと対向する位置に集塵口が配置されており、この集塵ノズルによって切断位置から発生する粉塵を集塵している。特許文献2の切断装置では、基板の両面に付着する粉塵を集塵するために、基板の各面にそれぞれ対向する位置に集塵口を設けている。特許文献3の切断装置では、吸引した空気中の粉塵を分離機によって抽出し、抽出した粉塵を集塵箱に格納することにより、いったん収集した粉塵が外気中に飛散することがないようにしている。
特開平7−9397号公報 特開2002−178295号公報 特開2002−355516号公報
しかしながら、前記基板には、前記ルータとの摩擦によってその切断位置に静電気が発生する。この静電気によって粉塵が基板に吸着してしまい、集塵効率が低下するという問題があった。
本発明は、上記問題点を鑑みてなされたもので、集塵効率が高い基板切断装置を提供することを目的とする。
本発明の基板切断装置は、被加工物である平板形状の基板と略平行な面内を移動自在に設けられ回転軸の先端部に刃が形成されたルータビットを用いて、前記基板を所定の切断線に沿って切断する基板切断装置において、前記ルータビットの先端部に向けてイオン化された空気を吹き付ける除電装置を設けたことを特徴とする。
なお、前記空気を、それが前記ルータビットの軸に沿って流れるように吹き出して、ルータビットの回りにエアーカーテンが形成されるようにするとよい。
なお、省電力化に配慮して、前記ルータビットが複数の切断ポイント間を移動する際には、前記空気の吹き付けを停止することが好ましい。
なお、前記基板の切断位置から発生する粉塵を吸引により収集する集塵装置と、この集塵装置の集塵口を前記ルータビットに追従させる移動機構とを設けてもよい。
また、本発明の別の基板切断装置は、被加工物である平板形状の基板と略平行な面内を移動自在に設けられ回転軸の先端部に刃が形成されたルータビットを用いて、所定の切断線に沿って前記基板を切断する基板切断装置において、前記基板の切断位置から発生する粉塵を吸引により収集する集塵装置と、この集塵装置の集塵口を前記ルータビットに追従させる移動機構とを設けたことを特徴とする。
本発明の基板切断方法は、被加工物である平板形状の基板と略平行な面内を移動自在に設けられ回転軸の先端部に刃が形成されたルータビットを用いて、前記基板を所定の切断線に沿って切断する基板切断方法において、前記ルータビットの先端部に向けてイオン化された空気を吹き付けることにより前記基板を除電しながら切断を行うことを特徴とする。
なお、ルータビットの回りにエアーカーテンを形成するために、前記空気を、それが前記ルータビットの軸に沿って流れるように吹き出すとよい。
なお、省電力化に配慮して、前記ルータビットが複数の切断ポイント間を移動する際には、前記空気の吹き付けを停止するとよい。
なお、集塵装置の集塵口を前記ルータビットに追従させながら、前記基板から発生する粉塵を吸引するとよい。
本発明の別の基板切断方法は、被加工物である平板形状の基板と略平行な面内を移動自在に設けられ回転軸の先端部に刃が形成されたルータビットを用いて、所定の切断線に沿って前記基板を切断する基板切断方法において、集塵装置の集塵口を前記ルータビットに追従させながら、前記基板から発生する粉塵を吸引することを特徴とする。
本発明は、ルータビットの先端部に向けてイオン化された空気を吹き付けることにより被加工物である基板を除電しながら切断を行うようにしたから、基板への粉塵の付着が防止されるので、集塵効率を向上させることができる。
また、集塵装置の集塵口を前記ルータビットに追従させながら、前記基板から発生する粉塵を吸引するようにしたから、集塵効率を向上させることができる。
図1は、回路パターンがプリントされたプリント基板など平板形状の基板を切断する基板切断装置10を示す。基板切断装置10は、被加工物であるプリント基板11が載置される載置台12と、この載置台12に固定された前記プリント基板11に対して切断加工を施す切断加工部13とを備えている。載置台12は、台座16の中央に固定されており、載置台12上には、プリント基板11を位置決めするための位置決めピン12aが立設されている。この位置決めピン12aをプリント基板11の位置決め穴に貫通させることにより、プリント基板11の位置決めがなされる。
載置台12の両脇には、フレーム17が設けられている。載置台12の上方に配置される切断加工部13は、このフレーム17によって支持される。切断加工部13は、ルータヘッド18と、このルータヘッド18をプリント基板11の基板面と平行な方向(本例では水平方向)に移動させるルータヘッド移動機構19とからなる。
ルータヘッド18は、ヘッド本体21,スピンドル22,ルータビット23からなる。ヘッド本体21には、スピンドル22が回転自在に取り付けられており、ルータビット23はこのスピンドル22に取り付けられる。また、ヘッド本体21内には、スピンドル22を駆動するモータや、スピンドル22を図上Z方向(垂直方向)に移動させる昇降機構が組み込まれている。これにより、ルータビット23が、待機位置と、プリント基板11と接触可能な切断位置との間で昇降する。ルータビット23は、周知のように、細長い棒状をしており、その先端部には軸回りに刃が形成されている。ルータビット23は、軸回りに回転しながら水平方向に移動することにより、被加工物を切断する。ルータヘッドコントローラ24は、スピンドル22の駆動モータ及び昇降機構を制御する。
図2(A)に示すように、プリント基板11には、所定の切断線26に沿って予めミシン目が形成されている。図2(B)に示すように、ミシン目は、複数の長穴27と、隣接する各長穴27を繋ぐ複数の継ぎ目28とからなる。これら複数の継ぎ目28をルータビット23によって切断することによって、プリント基板11は複数の部分に分割される。ルータヘッド18は、各継ぎ目28が存在する切断ポイントまで水平方向に移動し、切断ポイントに達すると水平方向の移動を停止して、待機位置から切断位置に向けてZ方向に下降する。そして、先端を長穴27に挿入した状態で、隣接する長穴27に向けて水平方向に移動しながら、継ぎ目28を削り取る。1つの継ぎ目28を切断すると、再び待機位置に向けて上昇し、次の切断ポイントへ移動する。こうした工程を切断ポイントの数、すなわち、継ぎ目28の数だけ繰り返すことによって、プリント基板11が切断されて分割される。
ルータヘッド移動機構19は、例えば、長手方向をX方向に沿って配置されたボールネジ31及びガイド軸(図示せず)と、長手方向をY方向に沿って配置されたボールネジ32及びガイド軸33とを備えている。ルータヘッド18は、X方向のボールネジ31に、その軸方向に移動自在に取り付けられており、ボールネジ31が回転するとX方向へ移動する。X方向のボールネジ31は、一方の端部がボールネジ32に、他方がガイド軸33にそれぞれ移動自在に取り付けられる。これにより、Y方向のボールネジ32が回転すると、ルータヘッド18が取り付けられたX方向のボールネジ31がY方向へ移動する。各ボールネジ31,32は、それぞれモータによって駆動される。ルータヘッド移動コントローラ36は、各駆動モータの回転量を制御して、ルータヘッド18を所定の切断ポイントへ移動させる。
基板切断装置10には、切断時に発生する粉塵(切粉)や埃などのゴミを集塵する集塵装置41が設けられている。集塵装置41は、吸引ポンプが組み込まれた本体42と、この本体42に一端が取り付けられ、他端に集塵ノズル43が設けられたホース44とからなる。集塵ノズル43は、略漏斗形状をしており、集塵口43aがプリント基板11の下面と対面するように配置される。切断時には、吸引ポンプが作動して、集塵口43aへ粉塵が吸い込まれる。集塵口43aのサイズは、すべての切断ポイントから発生する粉塵を収集できるように、プリント基板11のサイズに合わせて決められる。
また、基板切断装置10には、プリント基板11に発生する静電気を取り除く除電装置51が設けられている。上述したとおり、プリント基板11に静電気が発生すると、粉塵がプリント基板11に吸着するため集塵効率が低下する。除電装置51は、イオン化した空気(以下、イオン化空気という)を対象物に吹き付けて除電を行う。この除電装置51は、例えば、除電ヘッド52,ポンプ及び電磁弁が組み込まれた空気供給部53,除電ヘッドコントローラ54からなる。
図3に示すように、除電ヘッド52には、空気供給部53と接続され空気供給部53から除電ヘッド52へ空気を搬送するホース55,除電ヘッドコントローラ54と電気的に接続するケーブル,イオン化空気を除電対象物に向けて噴射する吹きつけノズル56が取り付けられている。吹きつけノズル56は、噴射されるイオン化空気が、プリント基板11の上方から切断ポイントの長穴27を通過して、集塵ノズル43が配置されるプリント基板11の下方に向かって流れるように、配置される。これにより、粉塵が集塵ノズル43に向かうようにしている。
除電ヘッド52は、その内部にイオン発生電極が組み込まれており、このイオン発生電極に電圧が印加されると、コロナ放電により、ホース55から供給される空気をイオン化する。印加される電圧の極性により、発生イオンの極性は変化する。すなわち、プラスの高電圧が印加されると電極近傍の空気の電子が吸収されて、プラスイオンが発生する。他方、マイナスの高電圧が印加されると電子が放出されてマイナスイオンが発生する。電圧の印加方式としては、例えば、プラスイオンとマイナスイオンを交互に発生させるAC方式が採用されている。これにより、プラス及びマイナスの異なる極性を持つ各静電気の両方が除電される。
空気供給部53の電磁弁をオンすると、吹きつけノズル56からイオン化空気が噴射される。噴射されたイオン化空気は、プリント基板11やルータビット23の先端部に向けて吹き付けられて、静電気を除去するとともに、プリント基板11に付着した粉塵を吹き飛ばす。除電ヘッドコントローラ54は、空気供給部53の電磁弁のオンに同期して、イオン発生電極へ電圧を印加する。
メインコントローラ58は、ルータヘッドコントローラ24,ルータヘッド移動コントローラ36,除電ヘッドコントローラ54,空気供給部53,集塵装置41と電気的に接続されており、これら各部を制御する。メインコントローラ58は、ルータヘッド18が複数の切断ポイント間を移動している間は、空気供給部53の電磁弁をオフしてイオン化空気の噴射を停止する。電磁弁がオフされる場合には、メインコントローラ58から除電ヘッドコントローラ54へ停止信号が送信され、イオン発生電極への電圧の印加も停止される。このように、粉塵が発生しない場合には除電を停止することにより、省電力化を図っている。
メインコントローラ58は、CPU,メモリ,操作パネルなどを備えている。メモリには、予め設定した切断線26に沿って切断加工が施されるように、装置各部を制御するプログラムが格納されている。この制御プログラムは、ルータヘッド18の制御プログラム,除電装置51の制御プログラムなど複数のプログラムからなり、ルータヘッド18の制御プログラムには、各切断ポイントの座標を表すデータが含まれている。ルータヘッド移動コントローラ36は、この座標に従ってルータヘッド18の移動位置を制御する。
以下、上記構成による作用について、図4に示すフローチャートを参照しながら説明する。オペレータは、プリント基板11を載置台12に位置決めして固定して、操作パネルから加工指示を与える。加工指示が与えられると、メインコントローラ58は、ルータヘッドコントローラ24に対して、ルータビット23の回転指令を送るとともに、集塵装置41に対して作動指令を与える。これにより、ルータビット23の回転と、集塵装置41の集塵が開始される。ルータヘッド18は、制御プログラムに従って水平方向に移動されて、原点位置から1つ目の切断ポイントに移動する。ルータヘッド18が切断ポイントに到達すると、メインコントローラ58は、除電装置51に対して除電開始指令を与える。これにより、空気供給部53及び除電ヘッド52が作動して、吹きつけノズル56からイオン化空気が噴射されて、除電が開始される。
除電開始後、ルータヘッド18が下降して、切断線26に沿って切断が行われる。切断ポイントから発生する粉塵は、集塵ノズル43によって吸引されて集塵される。また、吹きつけノズル56からイオン化空気によりプリント基板11が除電されるので、プリント基板11へ粉塵が付着することはない。このため、プリント基板11上に残留する粉塵がなくなり、集塵効率が向上する。
1つ目の切断ポイントの切断が終了すると、いったん除電が停止される。ルータヘッド18が上昇して、次の切断ポイントへ移動する。こうした手順を繰り返してすべての切断ポイントの加工が行われる。すべての切断ポイントの加工が終了した場合には、ルータヘッド18が原点へ復帰する。集塵装置41が停止されるとともに、ルータビット23の回転が停止される。この後、載置台12から、加工済みの基板が取り外される。
上記実施形態においては、イオン化空気を特定の部位に対して噴射するスポット型の除電ヘッドを備えた除電装置を使用した例で説明したが、除電装置としては、例えば、図5に示すように、イオン化空気を送風するブロー型の除電装置61を使用してもよい。この除電装置61は、本体内に、イオン発生電極及び送風ファンを備えている。イオン化空気は、送風口61aに一端が接続されたホース62を介してルータヘッド18へ搬送される。
ルータヘッド18には、吹き出し口63aを備えた吹き出しノズル63が取り付けられている。吹き出しノズル63は、例えば、略円筒形状をしており、ルータヘッド18の先端部に、ルータビット23及びスピンドル22を覆うようにして取り付けられる。ルータビット23の先端は、吹き出し口63aから外部に露呈される。吹き出しノズル63には、ホース62と接続する接続口63bが設けられており、この接続口63bから該ノズル63内部にイオン化空気が送り込まれる。
そして、そのイオン化空気は吹き出し口63aからプリント基板11に向けて吹き出される。吹き出し口63aは、プリント基板11の基板面と対面するように配置されている。吹き出したイオン化空気は、ルータビット23の側方から、前記基板面に対して略垂直な向きに吹き下ろされ、長穴27を通過して、プリント基板11の下方に吹き抜ける。このため、このイオン化空気は、ルータビット23の周囲を取り囲むエアーカーテンとして機能する。このエアーカーテンによって、ルータビット23の先端部から発生する粉塵がプリント基板11の上面へ飛散することが防止される。
また、上記実施形態では、大きめの集塵口を備えた集塵ノズルをプリント基板の下方に固定配置した例で説明したが、図6に示すように、水平方向に移動自在な集塵ノズル72を備えた集塵装置71を設け、集塵ノズル72をルータヘッド18に追従させてもよい。集塵ノズル72は、上述のルータヘッド移動機構と同様の構成である集塵ノズル移動機構73に取り付けられており、水平方向に移動する。集塵ノズル72には、プリント基板11の下面と対面する集塵口72aと、吸い込みホース74と接続される吸い込み口72bが形成されている。吸い込みホース74の他端は、装置本体75に接続される。集塵ノズル72が移動するため、吸い込みホース74としては、伸縮性及び可撓性を備えたものが使用される。
集塵口72aは、上述の実施形態の集塵口41aと比較して、そのサイズが小さい。こうすることで、集塵口72aの流速を上げることができるので、集塵効率が向上する。しかし、そうすると、集塵ノズル72を固定していたのでは、すべての切断ポイントをカバーすることができない。このため、集塵ノズル移動機構73により集塵ノズル72をルータヘッド18に追従させている。集塵ノズル移動コントローラ76は、メインコントローラ58に接続されており、メインコントローラ58からの指令に基づいて、集塵ノズル移動機構73を制御する。メインコントローラ58は、ルータヘッド移動コントローラ36に対する制御信号と同期して、集塵ノズル移動コントローラ76に対する制御信号を送る。
図7は、この実施形態のフローチャートを示す。ルータヘッド18が切断ポイントへ移動すると、それに追従して、集塵ノズル72も前記切断ポイントへ移動する。そして、除電が開始された後、切断が行われる。切断が終了すると、ルータヘッド18が次の切断ポイントへ移動し、集塵ノズル72もこれに追従する。
図8は、集塵ノズル72の停止位置を示す説明図である。集塵ノズル72の停止位置は、集塵口72aの中心が切断ポイントの中心Pcと一致する位置に設定することが好ましい。中心Pcは、ルータビット23の下降位置Pdと、その上昇位置Puの中点として求められる。このため、下降位置Pdの座標と上昇位置Puの座標が分かれば演算により求めることができる。
従って、集塵ノズル72を移動位置を制御するための制御プログラムを、ルータヘッド23の制御プログラムを流用して作成すると、非常に効率的である。図9は、集塵ノズル72の制御プログラムの作成手順を示すフローチャートである。まず、ルータヘッドの上昇位置Puの座標と下降位置Pdの座標とを含むルータヘッド用移動制御プログラムを作成する。このルータヘッド用移動制御プログラムから、上昇位置Puの座標と下降位置Pdの座標を抽出して、中点Pcの座標を算出する。ルータヘッド用移動制御プログラムの上昇位置Pu及び下降位置Pdの座標を、算出した中点Pcの座標に置換することにより、集塵ノズル用移動制御プログラムを作成する。
なお、上記実施形態では、除電装置と集塵ノズル移動機構とを組み合わせた例で説明したが、集塵ノズル移動機構を単独で使用してもよい。
なお、プリント基板を切断する例で説明したが、本発明は、これに限られず、プリント基板の他、各種の基板の切断装置に実施することができる。
基板切断装置の概略構成を示す説明図である。 プリント基板の切断方法の説明図である。 除電ヘッド及びルータヘッドの説明図である。 切断手順を示すフローチャートである。 ブロー型の集塵装置を用いた例を示す説明図である。 集塵ノズルが移動する集塵装置を設けた例を示す説明図である。 図6の基板切断装置の切断手順を示すフローチャートである。 集塵ノズルの停止位置の説明図である。 集塵ノズル移動制御用プログラムの作成手順を示すフローチャートである。
符号の説明
10 基板切断装置
11 プリント基板
18 ルータヘッド
19 ルータヘッド移動機構
23 ルータビット
41 集塵装置
43 集塵ノズル
51,61 除電装置
52 除電ヘッド
56 吹きつけノズル
63 吹き出しノズル
73 集塵ノズル移動機構

Claims (10)

  1. 被加工物である平板形状の基板と略平行な面内を移動自在に設けられ回転軸の先端部に刃が形成されたルータビットを用いて、前記基板を所定の切断線に沿って切断する基板切断装置において、
    前記ルータビットの先端部に向けてイオン化された空気を吹き付ける除電装置を設けたことを特徴とする基板切断装置。
  2. 前記空気を、それが前記ルータビットの軸に沿って流れるように吹き出すことを特徴とする請求項1記載の基板切断装置。
  3. 前記ルータビットが複数の切断ポイント間を移動する際には、前記空気の吹き付けを停止することを特徴とする請求項1又は2記載の基板切断装置。
  4. 前記基板の切断位置から発生する粉塵を吸引により収集する集塵装置と、この集塵装置の集塵口を前記ルータビットに追従させる移動機構とを設けたことを特徴とする請求項1〜3いずれか記載の基板切断装置。
  5. 被加工物である平板形状の基板と略平行な面内を移動自在に設けられ回転軸の先端部に刃が形成されたルータビットを用いて、所定の切断線に沿って前記基板を切断する基板切断装置において、
    前記基板の切断位置から発生する粉塵を吸引により収集する集塵装置と、この集塵装置の集塵口を前記ルータビットに追従させる移動機構とを設けたことを特徴とする基板切断装置。
  6. 被加工物である平板形状の基板と略平行な面内を移動自在に設けられ回転軸の先端部に刃が形成されたルータビットを用いて、前記基板を所定の切断線に沿って切断する基板切断方法において、
    前記ルータビットの先端部に向けてイオン化された空気を吹き付けることにより前記基板を除電しながら切断を行うことを特徴とする基板切断方法。
  7. 前記空気を、それが前記ルータビットの軸に沿って流れるように吹き出すことを特徴とするを請求項6記載の基板切断方法。
  8. 前記ルータビットが複数の切断ポイント間を移動する際には、前記空気の吹き付けを停止することを特徴とする請求項6又は7記載の基板切断方法。
  9. 集塵装置の集塵口を前記ルータビットに追従させながら、前記基板から発生する粉塵を吸引することを特徴とする請求項6〜8いずれか記載の基板切断方法。
  10. 被加工物である平板形状の基板と略平行な面内を移動自在に設けられ回転軸の先端部に刃が形成されたルータビットを用いて、所定の切断線に沿って前記基板を切断する基板切断方法において、
    集塵装置の集塵口を前記ルータビットに追従させながら、前記基板から発生する粉塵を吸引することを特徴とする基板切断方法。
JP2003301894A 2003-08-26 2003-08-26 基板切断装置及び方法 Pending JP2005067971A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003301894A JP2005067971A (ja) 2003-08-26 2003-08-26 基板切断装置及び方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003301894A JP2005067971A (ja) 2003-08-26 2003-08-26 基板切断装置及び方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2005067971A true JP2005067971A (ja) 2005-03-17

Family

ID=34406389

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003301894A Pending JP2005067971A (ja) 2003-08-26 2003-08-26 基板切断装置及び方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2005067971A (ja)

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007152438A (ja) * 2005-11-30 2007-06-21 Nec Electronics Corp 半導体製造装置及びその製造方法
KR100791323B1 (ko) * 2006-06-08 2008-01-03 주식회사 케이엠티 기판분리장치의 커팅장치
JP2011184244A (ja) * 2010-03-09 2011-09-22 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd スクライブヘッド用集塵器
CN103979786A (zh) * 2014-05-16 2014-08-13 深圳市华星光电技术有限公司 单板玻璃基板的切割方法
JP2016078127A (ja) * 2014-10-09 2016-05-16 株式会社ケーヒン 基板切断装置
JP2016111278A (ja) * 2014-12-10 2016-06-20 日立オートモティブシステムズ株式会社 配線基板の製造方法および配線基板の製造装置
CN108328918A (zh) * 2018-03-28 2018-07-27 武汉华星光电技术有限公司 一种基板切割装置
CN111662007A (zh) * 2020-07-29 2020-09-15 蚌埠朝阳玻璃机械有限公司 一种防静电玻璃切割机
JP2021027093A (ja) * 2019-08-01 2021-02-22 株式会社竹原理研 基板分割装置
CN115090610A (zh) * 2022-06-22 2022-09-23 合肥工业大学 一种用于义齿加工的去静电式除尘装置及其加工系统
WO2023247637A3 (de) * 2022-06-21 2024-03-14 Schunk Electronic Solutions Gmbh Trennmaschine zum heraustrennen von einzelnen leiterplatten aus einem leiterplattennutzen und verfahren

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007152438A (ja) * 2005-11-30 2007-06-21 Nec Electronics Corp 半導体製造装置及びその製造方法
KR100791323B1 (ko) * 2006-06-08 2008-01-03 주식회사 케이엠티 기판분리장치의 커팅장치
JP2011184244A (ja) * 2010-03-09 2011-09-22 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd スクライブヘッド用集塵器
TWI423940B (zh) * 2010-03-09 2014-01-21 Mitsuboshi Diamond Ind Co Ltd Scratch head with dust collector
US9586851B2 (en) * 2014-05-16 2017-03-07 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd Method for cutting single sheet of glass substrate
US20160229732A1 (en) * 2014-05-16 2016-08-11 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co. Ltd. Method for cutting single sheet of glass substrate
CN103979786A (zh) * 2014-05-16 2014-08-13 深圳市华星光电技术有限公司 单板玻璃基板的切割方法
JP2016078127A (ja) * 2014-10-09 2016-05-16 株式会社ケーヒン 基板切断装置
JP2016111278A (ja) * 2014-12-10 2016-06-20 日立オートモティブシステムズ株式会社 配線基板の製造方法および配線基板の製造装置
CN108328918A (zh) * 2018-03-28 2018-07-27 武汉华星光电技术有限公司 一种基板切割装置
CN108328918B (zh) * 2018-03-28 2020-09-29 武汉华星光电技术有限公司 一种基板切割装置
JP2021027093A (ja) * 2019-08-01 2021-02-22 株式会社竹原理研 基板分割装置
JP2021122055A (ja) * 2019-08-01 2021-08-26 株式会社竹原理研 基板分割装置
CN111662007A (zh) * 2020-07-29 2020-09-15 蚌埠朝阳玻璃机械有限公司 一种防静电玻璃切割机
WO2023247637A3 (de) * 2022-06-21 2024-03-14 Schunk Electronic Solutions Gmbh Trennmaschine zum heraustrennen von einzelnen leiterplatten aus einem leiterplattennutzen und verfahren
CN115090610A (zh) * 2022-06-22 2022-09-23 合肥工业大学 一种用于义齿加工的去静电式除尘装置及其加工系统

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5155091B2 (ja) 除塵機
JP2005067971A (ja) 基板切断装置及び方法
CN202169273U (zh) 线路板切割除尘装置
CN105499998A (zh) 一种模型玩具加工装置
JP5563928B2 (ja) 切断方法及び切断装置
JP2011005586A (ja) 基板分割装置
JP2002066781A (ja) 加工レンズ保護機構及び方法
CN212025456U (zh) 一种激光熔覆设备
CN207857462U (zh) 全自动smt吸嘴清洗机
JP2002224929A (ja) 板状被加工物の切削装置
CN215316347U (zh) 一种风机生产加工用扇叶焊接装置
JP2008104690A (ja) 異物除去装置
JP2011079088A (ja) ダスト捕集装置、ダスト捕集方法、および該装置を有する裁断機
JP2012049260A (ja) 切断方法及び切断装置
CN210477182U (zh) 一种自动打孔机
JP2003025181A (ja) 加工機の排気機構
KR100846846B1 (ko) 인쇄회로기판용 자동 납땜장치
JP4481668B2 (ja) 切削装置
JP2000317670A (ja) 集塵装置、集塵方法、レーザ加工装置、およびレーザ加工方法
JP6342777B2 (ja) 基板切断装置の運転方法及び基板切断装置
KR200427452Y1 (ko) 납땜장치의 가스흡입수단
JP4715038B2 (ja) 積層板の切断方法
JP2005028471A (ja) 有害汚染物の切削屑回収方法
JP2005324489A (ja) 印刷用マスクのクリーニング装置およびクリーニング方法
CN215615864U (zh) 一种便于调整切割角度的激光切割装置