JP2005061719A - 乾燥パスボックス - Google Patents
乾燥パスボックス Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005061719A JP2005061719A JP2003293010A JP2003293010A JP2005061719A JP 2005061719 A JP2005061719 A JP 2005061719A JP 2003293010 A JP2003293010 A JP 2003293010A JP 2003293010 A JP2003293010 A JP 2003293010A JP 2005061719 A JP2005061719 A JP 2005061719A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dew point
- pass box
- low dew
- dry
- air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Abstract
【解決手段】 低露点の空気が供給されるドライブース2の側壁2aに設置され,天板11,側板13等で囲まれ下ボックス本体3の上面に,ドライブース2に供給される低露点空気とは,独立して供給されるエア供給口31を有する。エア供給口31から供給された低露点空気は,整流板33を通過して,ダウンフローを形成して,物品を載置するテーブル22を通過して,ボックス本体3の底部から排気される。
【選択図】 図1
Description
2 ドライブース
15,16 扉
22 テーブル
23 通気孔
31 エア供給口
32 排気口
44 クリーンドライエア供給装置44
45 メインダクト
46 供給ダクト
51,52 分岐供給ダクト
Claims (4)
- 低露点雰囲気空間と,当該低露点雰囲気空間外の空間とを仕切る仕切り壁に設置されて,両空間の間で物品の搬送を行うための開閉自在な複数の扉を,両空間に面して各々有しているパスボックスであって,
前記低露点雰囲気空間に供給する低露点空気供給系に独立して接続され,前記低露点雰囲気空間とは独立して前記パスボックス内に低露点空気が供給されるエア供給口と,
前記パスボックス内の雰囲気をパスボックス外に排気するための排気口と,
を有することを特徴とする,乾燥パスボックス。 - 前記パスボックス内には,前記物品を載置するテーブルを備え,
前記テーブルは,前記扉を開放した際に,少なくとも前記低露点雰囲気空間又は低露点雰囲気空間外の空間側へと,スライド自在に構成されていることを特徴とする,請求項1に記載の乾燥パスボックス。 - 前記テーブルはテーブル面を貫通する通気孔を有し,
前記エア供給口は,パスボックス本体における前記テーブルよりも上側又は下側の領域に面した位置に設けられ,
前記排気口は,前記エア供給口が面した領域とは前記テーブルを挟んで逆側の領域に面して設けられていることを特徴とする,請求項2に記載の乾燥パスボックス。 - 前記エア供給口は,パスボックス本体の上面に設けられ,前記排気口はパスボックス本体の下面に設けられていることを特徴とする,請求項1〜3のいずれかに記載の乾燥パスボックス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003293010A JP4421235B2 (ja) | 2003-08-13 | 2003-08-13 | 乾燥パスボックス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003293010A JP4421235B2 (ja) | 2003-08-13 | 2003-08-13 | 乾燥パスボックス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005061719A true JP2005061719A (ja) | 2005-03-10 |
JP4421235B2 JP4421235B2 (ja) | 2010-02-24 |
Family
ID=34370139
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003293010A Expired - Fee Related JP4421235B2 (ja) | 2003-08-13 | 2003-08-13 | 乾燥パスボックス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4421235B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015021622A (ja) * | 2013-07-16 | 2015-02-02 | ダイキン工業株式会社 | 除湿システム |
JP2018036033A (ja) * | 2016-09-02 | 2018-03-08 | 伸和コントロールズ株式会社 | 空気調和システム |
US11859862B2 (en) | 2021-03-15 | 2024-01-02 | Honda Motor Co., Ltd. | Dry space creation system |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06319521A (ja) * | 1993-05-13 | 1994-11-22 | Hitachi Ltd | 清浄作業装置 |
JPH07106406A (ja) * | 1991-01-29 | 1995-04-21 | Shinko Electric Co Ltd | ウエハ保管設備 |
JPH10340874A (ja) * | 1997-06-05 | 1998-12-22 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 局所密閉型清浄装置 |
-
2003
- 2003-08-13 JP JP2003293010A patent/JP4421235B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07106406A (ja) * | 1991-01-29 | 1995-04-21 | Shinko Electric Co Ltd | ウエハ保管設備 |
JPH06319521A (ja) * | 1993-05-13 | 1994-11-22 | Hitachi Ltd | 清浄作業装置 |
JPH10340874A (ja) * | 1997-06-05 | 1998-12-22 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 局所密閉型清浄装置 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015021622A (ja) * | 2013-07-16 | 2015-02-02 | ダイキン工業株式会社 | 除湿システム |
JP2018036033A (ja) * | 2016-09-02 | 2018-03-08 | 伸和コントロールズ株式会社 | 空気調和システム |
WO2018043672A1 (ja) * | 2016-09-02 | 2018-03-08 | 伸和コントロールズ株式会社 | 空気調和システム |
KR20180037917A (ko) * | 2016-09-02 | 2018-04-13 | 신와 콘트롤즈 가부시키가이샤 | 공기 조화 시스템 |
KR102023829B1 (ko) * | 2016-09-02 | 2019-09-20 | 신와 콘트롤즈 가부시키가이샤 | 공기 조화 시스템 |
US11859862B2 (en) | 2021-03-15 | 2024-01-02 | Honda Motor Co., Ltd. | Dry space creation system |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4421235B2 (ja) | 2010-02-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102593779B1 (ko) | 이에프이엠 | |
JP3654612B2 (ja) | クリーンルーム | |
KR0167476B1 (ko) | 종형 열처리 장치 | |
KR100524359B1 (ko) | 클린 룸용의 물품 보관 설비 | |
JPH05223300A (ja) | 連結式クリーン空間装置 | |
JP6599599B2 (ja) | Efemシステム | |
JP4421235B2 (ja) | 乾燥パスボックス | |
US6572457B2 (en) | System and method for controlling humidity in a cryogenic aerosol spray cleaning system | |
JP3774277B2 (ja) | 被処理基板の搬送方法及び処理システム | |
JP4358077B2 (ja) | 成膜装置及び成膜方法 | |
JP2002110619A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2004269214A (ja) | 浄化空気通風式の保管設備 | |
JP2000055564A (ja) | ロ―ラ―ハ―スキルン | |
JP3697275B2 (ja) | 局所クリーン化におけるインターフェイスボックス及びそのクリーンルーム | |
JP2003081405A (ja) | 浄化空気通風式の保管設備 | |
JP3555673B2 (ja) | 農水産物処理システム | |
JPH03177732A (ja) | 半導体の無塵化製造システム | |
JPH06100356B2 (ja) | ライン形クリーンキューブ装置 | |
JP3646843B2 (ja) | 農水産物処理システム | |
CN101836046A (zh) | 具有预定贮藏气氛的贮藏设备 | |
JP3432388B2 (ja) | 乾燥装置 | |
JP3555675B2 (ja) | 農水産物処理システム | |
JPH11137071A (ja) | 農水産物処理システム | |
TW200901351A (en) | Apparatus inside clean room | |
JP2002254012A (ja) | 塗装品製造方法、及び、その方法に使用する塗装乾燥炉 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060706 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090312 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090407 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090608 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20091201 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20091202 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121211 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4421235 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121211 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131211 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |