JP2005056923A - マルチ荷電粒子線露光装置および方法ならびに該装置または方法を用いたデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の荷電粒子線を用いてウエハ9を描画するマルチ荷電粒子線描画装置において、複数の荷電粒子線を直接入射させその総電流を計測するファラデーカップ14と、各荷電粒子線を直接入射させ入射電子を増倍する機能を有し、各荷電粒子の電流の相対値を計測するマルチ検出器15とを有する。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、主に半導体集積回路等の露光に用いられる電子線露光装置やイオンビーム露光装置等の荷電粒子線露光装置に関し、特に複数の荷電粒子線でウエハ等の被露光基板を直接パターン描画するマルチ荷電粒子線描画装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
電子ビーム露光装置には、従来、ビームをスポット状にして使用するポイントビーム型やサイズ可変の矩形断面にして使用する可変矩形ビーム型の装置がある。
ポイントビーム型の電子ビーム露光装置では単一の電子ビームを用いて描画するため、高解像度で描画が行なえる反面、スループットが低いので、研究開発や露光マスク製作等の一定の用途にしか使用されていない。可変矩形ビーム型の電子ビーム露光装置は、ポイントビーム型と比べるとスループットが1〜2桁高いが、基本的には単一の電子ビームを用いて描画するため0.1μm程度の微細なパターンが高集積度で詰まったパターンを露光する場合などではやはりスループットの点で問題が多い。
【0003】
この問題点を解決する装置として、描画するパターンをステンシルマスクにパターン透過孔として形成し、ステンシルマスクを電子ビームで照明することにより、縮小電子光学系を介して描画するパターンを試料面に転写するステンシルマスク型の電子ビーム露光装置がある。また、複数の開口を有する基板を電子ビームで照明し、複数の開口を透過して露光される複数の電子ビームを縮小電子光学系を介し、試料面に照射し、その複数の電子ビームを偏向させて試料面を走査させるとともに、描画するパターンに応じて複数の電子ビームを個別にオン/オフして所望のパターンを描画するマルチ電子ビーム型露光装置がある(例えば、特許文献1参照)。双方とも一度に露光する面積、すなわち露光面積が従来にくらべ広いため、スループットがより改善できるという特徴がある。
【0004】
【特許文献1】
特開平9−330680号公報(図1、2等)
【0005】
【発明が解決しようとしている課題】
ところで、後者のように、マルチの電子ビームで描画する際には、各電子ビームの電流値を正確に計測し、ウエハに照射するドーズを一様にすることが所望のパターンを描画する上で必要である。しかしながら、各ビームの電流が1nA程度にもかかわらず、各電子ビームを計測する手段が、直接電流を測定するファラデーカップであるか、もしくは2次電子、反射電子を測定するものであったので、暗電流等によりS/N比が低いという問題があった。
【0006】
本発明は、上記した従来の問題点に鑑みてなされたものであり、各電子ビームの電流を正確に測定でき、適切な露光量で所望のパターンを露光できるマルチ荷電粒子線露光装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決しようとする手段】
上記目的を達成するため、本発明のマルチ荷電粒子線描画装置は、複数の荷電粒子線を用いて被露光基板を描画するマルチ荷電粒子線描画装置において、前記複数の全荷電粒子線を入射させてその総電流を計測する第1の計測手段と、前記荷電粒子線を入射させ入射させた荷電粒子線の電子を増倍して前記複数の各荷電粒子の電流の相対値を計測する第2の計測手段とを有することを特徴とする。
【0008】
また、全荷電粒子線を相互間の強度のバラツキが少ないもの同士からなる複数のグループに分け、各グループからサンプリングした単数または複数の荷電粒子線について計測した相対値をそのグループの各荷電粒子線の相対値としても良い。
また、上記装置は、第1の計測手段からの総電流と第2の計測手段からの相対値とに基づいて、各荷電粒子線の電流値を算定する手段をさらに有するとよい。
【0009】
本発明のマルチ荷電粒子線描画方法は、複数の荷電粒子線を用いて被露光基板を描画するマルチ荷電粒子線描画方法において、入射電子による電流の絶対値を検出可能な第1の計測手段に前記複数の全荷電粒子線を入射させてその総電流を計測する第1のステップと、電子倍増機能を有する第2の計測手段に前記複数の荷電粒子線を入射させて各荷電粒子線の電流の相対値を計測する第2のステップと、第1のステップで計測された総電流と第2のステップで計測された相対値とに基づいて各荷電粒子線の電流の絶対値を算出する第3のステップと、算出された絶対値に基づいて各荷電粒子線による露光量を制御する第4のステップとを有することを特徴とする。各荷電粒子線による露光量の制御は、ラスタースキャンする場合の走査速度、各描画点(画素)における電子ビームのオン時間、電子ビームを発生する電子銃を加熱するための電圧等を制御することにより行なう。
【0010】
ここで、第1の計測手段には、ファラデーカップ等のように、感度は低いが、絶対電流値を検出できる検出器を用いる。また、第2の計測手段には、PINフォトダイオード、アバランシェフォトダイオードまたはMCP(マイクロチャンネルプレート)等のように、電子倍増機能を有する感度の高い検出器を用いる。この検出器は、前記複数の全荷電粒子線のそれぞれに1対1で対応できる複数の検出素子を同一面上に配列したマルチ検出器を用いることが好ましい。この場合、各検出素子によって対応する一つの荷電粒子線の電流の相対値を計測することができる。また、各検出素子間の感度のバラツキを測定して計測値を補正することが好ましい。感度測定は、任意の一つの荷電粒子線を各検出素子に順次入射して行なっても良いが、スループットを上げるためには相互間の強度のバラツキが少ない中心部の複数の荷電粒子線を用いて検出素子の複数個ずつを測定するとよい。
【0011】
本発明のマルチ荷電粒子線描画装置および方法は、特に、ICやLSI等の半導体チップ、液晶パネル、CCD、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン等の微小デバイスを製造するために好適に用いることができる。
【0012】
【作用】
本発明によれば、第1の計測手段で計測された総電流を第2の計測手段で計測された相対値で按分することにより、上記した暗電流等による低S/Nという問題を解消でき、各荷電粒子線の電流を正確に測定可能となる。
【0013】
【発明の実施の形態】
マルチ荷電粒子線露光装置の一例として、本実施形態では電子線露光装置の例を示す。なお、電子線に限らず、イオンビームを用いた露光装置にも同様に適用できる。
【0014】
<電子ビーム露光装置の構成要素説明>
図1は、本発明の一実施形態に係る電子線露光装置の要部概略図である。図1において、不図示の電子銃で発生した電子線はクロスオーバ像1を形成する(以下、このクロスオーバ像を電子源1と記す)。
【0015】
この電子源1から放射される電子ビームは、ビーム整形光学系2を介して、電子源1の像SIを形成する。その際、像SIは磁界型の8極子スティグメータである第1のスティグメータ3により、非点収差を発生させることができる。この第1のスティグメータ3は、レンズ偏心等の装置の組み立て誤差に基づく静的非点を補正する目的で設けられている。像SIからの電子ビームは、コリメータレンズ4によって略平行の電子ビームとなる。略平行な電子ビームは、複数の開口を有するアパーチャアレイ5を照射する。なお、第1のスティグメータ3は、電子源1とアパーチャアレイ5の間であればどこに設けてもよく、電子源1は複数あってもよい。
【0016】
アパーチャアレイ5は、複数の開孔を有し、略平行な電子ビームはこれらの開孔を通過することにより、複数の電子ビームに分割される。アパーチャアレイ5で分割された複数の電子ビームは、静電レンズが複数形成された静電レンズアレイ6により、像SIの中間像を形成する。中間像面には、ブランカーが複数形成されたブランカーアレイ7が配置されている。
【0017】
中間像面の下流には、2段の対称磁気タブレット・レンズ81、82で構成された縮小電子光学系8があり、複数の中間像がウエハ9上に投影される。このとき、ブランカーアレイ7で偏向された電子ビームは、ブランキングアパーチャBAによって遮断されるため、ウエハ9には照射されない。一方、ブランカーアレイ7で偏向されない電子ビームは、ブランキングアパーチャBAによって遮断されないため、ウエハ9に照射される。すなわち、ブランカーアレイ7は複数の電子ビームを個別にオン/オフする。
【0018】
下段のタブレット・レンズ82内には、複数の全電子ビームを同時にX,Y方向の所望の位置に変位させるための偏向器10、複数の全電子ビームの非点を同時に調整する静電型の8極子スティグメータである第2のスティグメータ11、および複数の全電子ビームのフォーカスを同時に調整するフォーカスコイル12が配置されている。13はウエハ9を搭載し、光軸と直交するXY方向に移動可能なXYステージである。XYステージ13上には、ウエハ9を固着するための静電チャック16と、複数の電子ビームを直接入射させその総電流を計測するファラデーカップ14と、複数の電子ビームの各々を直接入射させ入射電子を増倍する機能を有し、各電子ビームの電流の相対値を計測するマルチ検出器15が配置されている。
【0019】
図2に本実施形態に係るファラデーカップ14とマルチ検出器15を示す。
ファラデーカップ14は、複数の電子ビームの電流を一括に入射できるほどの大きさの開孔を有する制限絞り141と、制限絞り141を通過した複数の電子ビームの電流を直接検出できる検出カップ142で構成される。このファラデーカップ14は、電子ビーム(EB)描画線の全てについての総電流を測定することで、従来問題とされていた各ビームの電流を個別に測定する際のS/Nが低いという問題を解決する。
【0020】
マルチ検出器15は、複数の電子ビームに対応した複数の制限絞りが形成された絞り151と、各制限絞りと1対1で対応する検出器152で構成される。なお、制限絞りの数は、電子ビームの数と一致する必要はなく、間引いても構わない。この場合、1本のビームの相対電流値を電流が同一とみなせる比較的狭い範囲の複数の電子ビームそれぞれの相対値として扱う。または、1つの検出器に対し上記範囲の複数の電子ビームを入射してその計測値またはその計測値を電子ビーム数で除算した値をその範囲の各電子ビームの相対値として扱う。検出器152は、直接入射した電子を増倍する機能を有するもので、例えば、PINフォトダイオード、アバランシェフォトダイオードまたはMCP(マイクロチャンネルプレート)を用いることができる。また、電子を光に変換するシンチレータでも構わない。その場合、変換された光をファイバーを介して、真空外に取り出し、電気信号に変換しても構わない。これも、一種の電子を増倍する機能を有するものである。
【0021】
<システム構成及び描画方法の説明>
本実施形態のシステム構成図を図3に示す。
第1スティグメータ制御回路21は、第1のスティグメータ3の直交する方向の焦点距離の差を調整することにより、電子源像SIの非点を制御する回路、ブランカーアレイ制御回路22は、ブランカーアレイ7を構成する複数のブランカーを個別に制御する回路、偏向器制御回路23は、偏向器10を制御する回路、第2スティグメータ制御回路24は、第2のスティグメータ11の直交する方向の焦点距離の差を調整することにより、縮小電子光学系8の非点を制御する回路、電子ビーム電流検出回路25は、ファラデーカップ14およびマルチ検出器15からの信号を処理する回路、フォーカス制御回路26は、フォーカスコイル12の焦点距離を調整することにより縮小電子光学系8の焦点位置を制御する回路、ステージ駆動制御回路27は、ステージの位置を検出する不図示のレーザ干渉計と共同してステージ13を駆動制御する制御回路である。主制御系28は、上記複数の制御回路を制御し、電子ビーム露光装置全体を管理する。
【0022】
本実施形態の描画方法の説明図を図4に示す。
主制御系28は、露光制御データに基づいて、偏向制御回路23に命じ、偏向器10によって、複数の電子ビーム偏向させるとともに、ブランカーアレイ制御回路22に命じ、ウエハ9に露光(描画)すべきパターンに応じてブランカーアレイ7のブランカーを個別にオン/オフさせる。各電子ビームは、図4(a)に示すように、ウエハ9上の対応する要素露光領域(EF)を走査露光する。各電子ビームの要素露光領域(EF)は、2次元に隣接するように設定されているので、その結果、同時に露光される複数の要素露光領域(EF)で構成されるサブフィールド(SF)が露光される。例えば、図4(a)に示すように、文字「A」のパターンを描画したい場合、描画領域を複数のピクセル(画素)に分割する。そして、偏向器10によって電子ビームをX方向に走査しながら、ブランカーによって、パターン(灰色)部分のピクセルでは電子ビームを照射し、それ以外のピクセルでは電子ビームを遮断するように制御する。1つの実施例において、電子ビームの数は32×32=1024本であり、各電子ビームは約2μm角の要素露光領域(EF)を描画する。ここで、1本の電子ビーム径は、ウエハ上では約60nmとなる。この要素露光領域が32×32=1024個で1つのサブフィールド(SF)が構成される。1つのサブフィールド(SF)の大きさは64μm角である。
【0023】
主制御系28は、1つのサブフィールド(SF1)を露光後、次のサブフィールド(SF2)を露光するために、偏向制御回路23に命じ、偏向器10によって、複数の電子ビームを偏向させる。この時、偏向によってサブフィールドが変わることにより、各電子ビームが縮小電子光学系8を介して縮小投影される際の収差も変わる。第2スティグメータ制御回路24は、主制御系28からの指令に基づき、この収差が一定となるように補正を行なう。約64μm角のサブフィールドの32×32=1024個からなる約2mm角のサブフィールド群を露光すると、XYステージを約2mm移動して、次の1024個のサブフィールド群の露光を行なう。
【0024】
偏向器10は、図示はされていないが、偏向幅が広い場合に用いられる主偏向器と偏向幅が狭い場合に用いられる副偏向器で構成されていて、主偏向器は電磁型偏向器で、副偏向器は静電型偏向器である。上記要素露光領域の走査は静電型の副偏向器で行ない、サブフィールドの切換は、電磁型の主偏向器で行なう。
【0025】
<動作の説明>
図4を用いて本実施形態の電子ビーム露光装置の動作について説明する。露光装置のウエハ処理のために、主制御系22は下記のステップを実行する。
【0026】
(ステップ1) 主制御系28は、ブランカーアレイ制御回路22によって、複数の電子ビームの略中心に位置する中心ビームだけをオンして、マルチ検出器15の各検出器に順次に入射し、電流を測定する。中心ビームだけをオンするのは、中心ビーム相互間では露光量のバラツキが少ないからである。これにより、各検出器の感度ムラ(s(n),n:ビーム番号)を求める。上記実施例において、検出器152は電子ビームと同数の1024個あり、8×8=64本の中心ビームを用いて1度に64個の検出器152の感度ムラを求める。この64本の中心ビームを順次移動することにより、16回の操作で32×32=1024個の検出器152の感度ムラを求める。
【0027】
(ステップ2) 主制御系28は、ブランカーアレイ制御回路22によって、複数の全電子ビームをオンして、各電子ビームをマルチ検出器15の対応する各検出器152に入射し、複数の全電子ビームの各電流の測定値k(n)を同時に測定する。その結果と各検出器の感度ムラに基づいて、複数の電子ビームの相対強度(k(n)/s(n))を求める。
【0028】
(ステップ3) ファラデーカップ14で、複数の全電子ビームを一括検出して総電流(I)を測定する。
(ステップ4) 総電流(I)と複数の各電子ビームの相対強度(k(n)/s(n))に基づいて、各電子ビームの絶対電流(i(n)=I*(k(n)/s(n))/(Σk(n)/s(n))を求める。
(ステップ5) 最小の電子ビームの絶対電流とレジスト感度より、要素フィールド(EF)を走査する際の偏向速度を決定する。
【0029】
(ステップ6) ウエハ9をステージ13に搬入する。
(ステップ7) 主制御系28は、偏向器制御回路23によって、複数の電子ビームを露光対象のサブフィールドに偏向する。
【0030】
(ステップ8) 露光対象のサブフィールドを描画する。
(ステップ9) すべてのサブフィールドの描画が完了したらステップ10に進み、そうでない場合はステップ7に戻る。
(ステップ10) ウエハ9をステージ13から搬出する。
【0031】
なお、本実施形態では、さらに、ステップ4で求められた各電子ビームの絶対電流に基づき、各電子ビームによる露光量が一定になるように各画素での電子ビームのオン時間(ブランキングのオフ時間)を制御することにより、より高精度な露光が可能である。また、上述において、光源1は1個であるが、光源は複数あってもよい。
【0032】
<デバイスの生産方法>
次に、上記説明した電子線露光装置を利用したデバイスの生産方法の実施形態を説明する。
図6は微小デバイス(ICやLSI等の半導体チップ、液晶パネル、CCD、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン等)の製造のフローを示す。ステップ1(回路設計)では半導体デバイスの回路設計を行なう。ステップ2(露光制御データ作成)では設計した回路パターンに基づいて上記の荷電粒子線露光装置の露光制御データを作成する。一方、ステップ3(ウエハ製造)ではシリコン等の材料を用いてウエハを製造する。ステップ4(ウエハプロセス)は前工程と呼ばれ、上記用意した露光制御データが入力された露光装置とウエハを用いて、リソグラフィ技術によってウエハ上に実際の回路を形成する。次のステップ5(組み立て)は後工程と呼ばれ、ステップ4によって作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程(ダイシング、ボンディング)、パッケージング工程(チップ封入)等の工程を含む。ステップ6(検査)ではステップ5で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行なう。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、これが出荷(ステップ7)される。
【0033】
図7は上記ウエハプロセスの詳細なフローを示す。ステップ11(酸化)ではウエハの表面を酸化させる。ステップ12(CVD)ではウエハ表面に絶縁膜を形成する。ステップ13(電極形成)ではウエハ上に電極を蒸着によって形成する。ステップ14(イオン打込み)ではウエハにイオンを打ち込む。ステップ15(レジスト処理)ではウエハに感光剤を塗布する。ステップ16(露光)では上記説明した露光装置によって回路パターンをウエハに焼付露光する。ステップ17(現像)では露光したウエハを現像する。ステップ18(エッチング)では現像したレジスト像以外の部分を削り取る。ステップ19(レジスト剥離)ではエッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。これらのステップを繰り返し行なうことによって、ウエハ上に多重に回路パターンが形成される。
【0034】
本実施形態の製造方法を用いれば、従来は製造が難しかった高集積度の半導体デバイスを低コストに製造することができる。
【0035】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、各電子ビームの電流を正確に測定でき、適切な露光量で所望のパターンを露光できる荷電粒子線露光装置を提供することができる。また、この装置を用いてデバイスを製造すれば、従来以上に歩留まりの高いデバイスを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る電子露光装置の要部概略を示す図である。
【図2】本実施形態に係る絶対検出器と相対検出器を説明する図である。
【図3】本実施形態のシステムを説明する図である。
【図4】本実施形態の描画方法を説明する図である。
【図5】本実施形態の露光動作を説明する図である。
【図6】デバイスの製造プロセスのフローを説明する図である。
【図7】図6におけるウエハプロセスを説明する図である。
【符号の説明】1:電子源、2:ビーム整形光学系、3:第1のスティグメータ、4:コリメータレンズ、5:アパーチャアレイ、6:静電レンズアレイ、7:ブランカーアレイ、8:縮小電子光学系、9:ウエハ、10:偏向器、11:第2のスティグメータ、12:フォーカスコイル、13:XYステージ、14:ファラデーカップ、15:マルチ検出器、16:静電チャック。
Claims (6)
- 複数の荷電粒子線を用いて被露光基板を描画するマルチ荷電粒子線描画装置において、
前記複数の全荷電粒子線を入射させてその総電流を計測する第1の計測手段と、
前記荷電粒子線を入射させ入射させた荷電粒子線の電子を増倍して前記複数の各荷電粒子線の電流の相対値を計測する第2の計測手段と
を有することを特徴とするマルチ荷電粒子線描画装置。 - 前記第2の計測手段は、電子増倍機能を有する複数の検出器を前記複数の全荷電粒子線のそれぞれに対応して備え、検出器ごとに対応する荷電粒子線の電流の相対値を計測するものであることを特徴とする請求項1に記載のマルチ荷電粒子線描画装置。
- 前記第2の計測手段は、電子増倍機能を有する複数の検出器を備え、前記複数の全荷電粒子線を照射領域および照射強度で複数の荷電粒子線群にグループ分けして各荷電粒子線群を前記検出器に対応させ、検出器ごとに対応する荷電粒子線群内の単数または複数の荷電粒子線の電流を計測することにより前記各荷電粒子線の電流の相対値を計測するものであることを特徴とする請求項1に記載のマルチ荷電粒子線描画装置。
- 第1の計測手段で計測された総電流と第2の計測手段で計測された相対値とに基づいて、各荷電粒子線の電流値を算定する手段をさらに有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載のマルチ荷電粒子線描画装置。
- 複数の荷電粒子線を用いて被露光基板を描画するマルチ荷電粒子線描画方法において、
入射電子による電流の絶対値を検出可能な第1の計測手段に前記複数の全荷電粒子線を入射させてその総電流を計測する第1のステップと、
電子倍増機能を有する第2の計測手段に前記複数の荷電粒子線を入射させて各荷電粒子線の電流の相対値を計測する第2のステップと、
第1のステップで計測された総電流と第2のステップで計測された相対値とに基づいて各荷電粒子線の電流の絶対値を算出する第3のステップと、
算出された絶対値に基づいて各荷電粒子線による露光量を制御する第4のステップと
を有することを特徴とするマルチ荷電粒子線描画方法。 - 請求項1乃至4のいずれか1つに記載のマルチ荷電粒子線描画装置または請求項1に記載のマルチ荷電粒子線描画方法を用いてデバイスを製造することを特徴とするデバイス製造方法。
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