JP2013178961A - 荷電粒子線装置及び物品製造方法 - Google Patents
荷電粒子線装置及び物品製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013178961A JP2013178961A JP2012042386A JP2012042386A JP2013178961A JP 2013178961 A JP2013178961 A JP 2013178961A JP 2012042386 A JP2012042386 A JP 2012042386A JP 2012042386 A JP2012042386 A JP 2012042386A JP 2013178961 A JP2013178961 A JP 2013178961A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- charged particle
- detector
- particle beam
- electron beam
- incident
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/317—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for changing properties of the objects or for applying thin layers thereon, e.g. for ion implantation
- H01J37/3174—Particle-beam lithography, e.g. electron beam lithography
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/244—Detectors; Associated components or circuits therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y40/00—Manufacture or treatment of nanostructures
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/317—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for changing properties of the objects or for applying thin layers thereon, e.g. for ion implantation
- H01J37/3174—Particle-beam lithography, e.g. electron beam lithography
- H01J37/3177—Multi-beam, e.g. fly's eye, comb probe
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/245—Detection characterised by the variable being measured
- H01J2237/24507—Intensity, dose or other characteristics of particle beams or electromagnetic radiation
- H01J2237/24514—Beam diagnostics including control of the parameter or property diagnosed
- H01J2237/24535—Beam current
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/30—Electron or ion beam tubes for processing objects
- H01J2237/304—Controlling tubes
- H01J2237/30433—System calibration
- H01J2237/30438—Registration
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
【解決手段】 荷電粒子線で物体を処理する荷電粒子線装置は、検出面を有し、該検出面の一部の領域に入射した荷電粒子線を検出する検出器と、前記検出面に順次入射させる荷電粒子線の目標入射位置を互いに異ならせる制御部と、を備える。
【選択図】図5
Description
実施例1では、複数の荷電粒子線を用いて物体を処理する荷電粒子線装置として、複数の電子線を用いて基板に描画を行う描画装置を例にあげて本発明を説明する。
図1において、不図示の電子銃で発生された電子線はクロスオーバ像(電子源)1を形成する。電子源1から放射される電子線は、電子線を整形する電子光学系2を介して、電子源1の像Sを形成する。スティグメータ3は、像Sに非点収差を発生させることができる。像Sから出射された電子線は、コリメータレンズ4によって略平行の電子線となる。略平行な電子線は、複数の開口を有するアパーチャアレイ5を照射する。アパーチャアレイ5は、複数の開口を有し、略平行な電子線はこれらの開口を通過することにより、複数の電子線に分割される。アパーチャアレイ5で分割された複数の電子線は、静電レンズが複数形成された静電レンズアレイ6により、像Sの中間像を形成する。中間像面には、ブランカーが複数形成されたブランカーアレイ7が配置されている。
複数の電子線それぞれの強度を検出器13で検出する方法を説明する。まず、電子線の強度を計測する場合の複数の電子線の制御方法を示す。各電子線のオン/オフはブランカーの制御により行う。電子線の走査及びステップ移動は偏向器9により行われる。データ制御部27は、位置指令部22を介して偏向器制御部23に指令して、偏向器駆動ドライバ24により偏向器9を駆動する。偏向器9は、複数の電子線を一括して偏向させる。データ制御部27は、同時に、不図示のブランカーアレイ制御回路に指令して、ブランカーアレイ7のブランカーを個別にオン/オフさせる。ブランカーを通過した電子線は電子光学系8を通過するが、ブランカーを通過できなかった電子線は電子光学系8に入射しない。
図5は、実施例1における電子線の強度の計測手順を示している。S11で、制御部20は、検出器13を電子線の強度を計測し得る所定の位置に移動する。S12で、制御部20は、第1の電子線の強度の計測を行う。
検出器13の感度の低下を防止するためには、電子線の入射位置を変更することが必要である。電子線の入射位置を変更するには、例えば以下説明する2つの手法を利用することができる。第1の手法は、検出器13における入射置を規則的に変更する手法であり、第2の手法は、検出器13における入射位置をランダムに変更する手法である。
制御部20は、予め検出器13の検出面全面における感度のデータを、1本の電子線または複数本の電子線をオンにして検出器13における入射位置を変えて電子線の強度を計測することで取得しておく。制御部20は、その際に、入射位置データと電子線の強度データと計測日を関連づけたデータとして感度のデータを保存しておく。また、制御部20は、基礎データとして電子線エネルギー(強度×入射時間)と感度の変化を取っておくことで、入射位置の座標と感度の変化とのテーブルを作成しておく。パラメータとして検出器13における入射位置の座標と入射時間とを入力すれば感度の変化の割合が算出できるテーブルを内部で持つことで、制御部20は、入射位置と入射時間に対する感度の補正の数値を取得し、検出器13の感度を補正することが可能となる。感度の補正は検出器13の座標が一様なヒストグラムの特性を有していると感度の補正のテーブルを入射時間毎に補正する頻度が少なくて済むので感度を補正する時間を短縮できる。
複数の電子線を用いる描画装置は、電子線間の間隔が数十nmと間隔が狭いため、各電子線の位置の制御を精密に行わないと描画性能に影響が生じる。実施例1で電子線の入射位置を変更することについて説明した。本実施例2では、電子線の入射位置を高精度に検出することについて説明する。
本発明の実施形態に係る物品製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。該製造方法は、感光剤が塗布された基板の該感光剤に上記の描画装置を用いて潜像パターンを形成する工程(基板に描画を行う工程)と、当該工程で潜像パターンが形成された基板を現像する工程とを含みうる。さらに、該製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含みうる。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
Claims (10)
- 荷電粒子線で物体を処理する荷電粒子線装置であって、
検出面を有し、該検出面の一部の領域に入射した荷電粒子線を検出する検出器と、
前記検出面に順次入射させる荷電粒子線の目標入射位置を互いに異ならせる制御部と、
を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 前記制御部は、前記荷電粒子線を偏向する偏向器および前記検出器を移動させる駆動部の少なくとも一方を含む、ことを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子線装置。
- 前記制御部は、前記目標入射位置を規則的に変更する、ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の荷電粒子線装置。
- 前記制御部は、前記目標入射位置をランダムに変更する、ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の荷電粒子線装置。
- 前記制御部は、前記検出面における感度の分布と前記検出面に対する荷電粒子線の入射位置とに基づいて前記検出器の出力を補正し、該補正された出力から荷電粒子線の強度を求める、ことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の荷電粒子線装置。
- 前記検出器に対する相対位置が既知の位置に設けられたマークと、該マークの位置を荷電粒子線で検出するマーク位置検出器と、をさらに備え、
前記制御部は、前記マーク位置検出器が検出した前記マークの位置に基づいて、荷電粒子線が前記目標入射位置に入射するように、荷電粒子線と前記検出器との間の相対位置を制御する、
ことを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の荷電粒子線装置。 - 前記マークは、前記マーク位置検出器に荷電粒子線を入射させる開口を含む、ことを特徴とする請求項6に記載の荷電粒子線装置。
- 前記マーク位置検出器は、ファラデーカップを含む、ことを特徴とする請求項6または請求項7に記載の荷電粒子線装置。
- 荷電粒子線で基板に描画を行うことを特徴とする請求項1乃至請求項8のいずれか1項に記載の荷電粒子線装置。
- 請求項9に記載の荷電粒子線装置を用いて基板に描画を行う工程と、
前記工程で描画を行われた前記基板を現像する工程と、
を含むことを特徴とする物品製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012042386A JP2013178961A (ja) | 2012-02-28 | 2012-02-28 | 荷電粒子線装置及び物品製造方法 |
US13/772,419 US8847180B2 (en) | 2012-02-28 | 2013-02-21 | Charged particle beam apparatus, drawing apparatus, and method of manufacturing article |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012042386A JP2013178961A (ja) | 2012-02-28 | 2012-02-28 | 荷電粒子線装置及び物品製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013178961A true JP2013178961A (ja) | 2013-09-09 |
JP2013178961A5 JP2013178961A5 (ja) | 2015-04-09 |
Family
ID=49003240
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012042386A Pending JP2013178961A (ja) | 2012-02-28 | 2012-02-28 | 荷電粒子線装置及び物品製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8847180B2 (ja) |
JP (1) | JP2013178961A (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014216631A (ja) * | 2013-04-30 | 2014-11-17 | キヤノン株式会社 | 描画装置、及び物品の製造方法 |
TWI692251B (zh) * | 2017-09-18 | 2020-04-21 | 荷蘭商Asml荷蘭公司 | 場可程式偵測器陣列 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10289683A (ja) * | 1997-04-14 | 1998-10-27 | Nec Yamagata Ltd | イオンビーム電流検出機構 |
JP2004055933A (ja) * | 2002-07-22 | 2004-02-19 | Advantest Corp | 電子ビーム露光装置、及び電子ビーム計測モジュール |
JP2004200549A (ja) * | 2002-12-20 | 2004-07-15 | Hitachi Ltd | マルチ電子ビーム装置およびそれに用いられるマルチ電子ビーム電流の計測・表示方法 |
JP2005056923A (ja) * | 2003-08-06 | 2005-03-03 | Canon Inc | マルチ荷電粒子線露光装置および方法ならびに該装置または方法を用いたデバイス製造方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3943022B2 (ja) * | 2000-12-01 | 2007-07-11 | 株式会社荏原製作所 | 基板検査装置 |
JP4048925B2 (ja) * | 2002-11-18 | 2008-02-20 | 株式会社日立製作所 | 電子顕微鏡 |
-
2012
- 2012-02-28 JP JP2012042386A patent/JP2013178961A/ja active Pending
-
2013
- 2013-02-21 US US13/772,419 patent/US8847180B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10289683A (ja) * | 1997-04-14 | 1998-10-27 | Nec Yamagata Ltd | イオンビーム電流検出機構 |
JP2004055933A (ja) * | 2002-07-22 | 2004-02-19 | Advantest Corp | 電子ビーム露光装置、及び電子ビーム計測モジュール |
JP2004200549A (ja) * | 2002-12-20 | 2004-07-15 | Hitachi Ltd | マルチ電子ビーム装置およびそれに用いられるマルチ電子ビーム電流の計測・表示方法 |
JP2005056923A (ja) * | 2003-08-06 | 2005-03-03 | Canon Inc | マルチ荷電粒子線露光装置および方法ならびに該装置または方法を用いたデバイス製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20130224662A1 (en) | 2013-08-29 |
US8847180B2 (en) | 2014-09-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10410828B2 (en) | Charged particle beam system and methods | |
US7745782B2 (en) | Electrostatic charge measurement method, focus adjustment method, and scanning electron microscope | |
US9324540B2 (en) | Charged particle beam device | |
TWI787794B (zh) | 多重射束帶電粒子顯微鏡或系統與其操作方法 | |
JP2007257969A (ja) | 荷電粒子線装置 | |
CN109298001B (zh) | 电子束成像模块、电子束检测设备及其图像采集方法 | |
US7423274B2 (en) | Electron beam writing system and electron beam writing method | |
US6809319B2 (en) | Electron beam writing equipment and electron beam writing method | |
KR101696941B1 (ko) | 리소그래피 시스템에서의 비임의 동시 측정 | |
JP4616180B2 (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
US20100117001A1 (en) | Simultaneous measurement of beams in lithography system | |
JP2013118060A (ja) | 荷電粒子ビーム装置 | |
JP2013178961A (ja) | 荷電粒子線装置及び物品製造方法 | |
US8766215B2 (en) | Charged particle beam drawing apparatus and method of manufacturing article | |
US8878141B2 (en) | Drawing apparatus, and method of manufacturing article | |
US20130148091A1 (en) | Lithography apparatus and method, and method of manufacturing article | |
US9606460B2 (en) | Lithography apparatus, and method of manufacturing article | |
KR100906030B1 (ko) | 전자 빔 치수 측정 장치 및 전자 빔 치수 측정 방법 | |
US10593514B2 (en) | Charged particle beam irradiation apparatus and device manufacturing method | |
JP2008151797A (ja) | 走査形電子顕微鏡による測長方法 | |
JP2008147263A (ja) | マルチ荷電粒子線装置 | |
JP2016115811A (ja) | 描画装置、及び物品の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150224 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150224 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160125 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160129 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20160527 |