JP2005116784A - 荷電ビーム露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 低加速電圧の電子ビーム描画システム1において、縮小投影光学系120内での電子ビームEBのクロスオーバ9a,9bの径がアパーチャサイズよりも大きくなるように、第2成形アパーチャ89への電子ビームEBの照明条件を調整する。
【選択図】 図2
Description
荷電ビームを発生させて基板に照射する荷電ビーム出射手段と、
所望の描画パターンに対応した形状のパターンが形成されたアパーチャと、
上記荷電ビームのビーム径を調整して上記アパーチャを上記荷電ビームで照明する照明手段と、
電界により上記荷電ビームを偏向して所望のパターンに入射させ、上記アパーチャを通過した上記荷電ビームをその光軸上に振り戻す第1の偏向手段と、
電界または上記磁界により上記アパーチャを通過した上記荷電ビームのアパーチャ像を縮小させる第1の縮小投影手段と、
上記第1の縮小投影手段により縮小した上記アパーチャ像を電界または磁界によりさらに縮小させて上記基板に結像させる第2の縮小投影手段と、
上記アパーチャと上記第1の縮小投影手段との間、および、上記第2の縮小投影手段内で形成される上記荷電ビームのクロスオーバのビーム径が上記パターンのサイズよりも大きくなるように上記照明手段を調整するビーム径調整手段と、
を備える荷電ビーム露光装置が提供される。
7 縮小レンズの像面位置
9a,9b クロスオーバ
10 制御コンピュータ
11 電子銃
13 第1アパーチャ
15a,15b 照明レンズ
17 第1成形偏向器
21 第2成形偏向器
33 二次電子検出器
37 検出信号処理部
41〜48 電源
63 縮小レンズ
65 対物レンズ
85 第1成形アパーチャ
87 投影レンズ
89 第2成形アパーチャ
91 制御電極
93 副偏向器
95 主偏向器
95’ プリ主偏向器
97 ポスト主偏向器
99 レーザ変位センサ
110,120 縮小投影光学系
EB 電子ビーム
EP 電極
Claims (6)
- 荷電ビームを発生させて基板に照射する荷電ビーム出射手段と、
所望の描画パターンに対応した形状のパターンが形成されたアパーチャと、
前記荷電ビームのビーム径を調整して前記アパーチャを前記荷電ビームで照明する照明手段と、
電界により前記荷電ビームを偏向して所望のパターンに入射させ、前記アパーチャを通過した前記荷電ビームをその光軸上に振り戻す第1の偏向手段と、
電界または前記磁界により前記アパーチャを通過した前記荷電ビームのアパーチャ像を縮小させる第1の縮小投影手段と、
前記第1の縮小投影手段により縮小した前記アパーチャ像を電界または磁界によりさらに縮小させて前記基板に結像させる第2の縮小投影手段と、
前記アパーチャと前記第1の縮小投影手段との間、および、前記第2の縮小投影手段内で形成される前記荷電ビームのクロスオーバのビーム径が前記パターンのサイズよりも大きくなるように前記照明手段を調整するビーム径調整手段と、
を備える荷電ビーム露光装置。 - 前記第1の縮小投影手段による前記アパーチャ像の縮小倍率をM1とし、
前記第2の縮小投影手段による前記アパーチャ像の縮小倍率をM2とすると、
M1×M2≦1/4、M1≦M2、M2≦1
であることを特徴とする請求項1に記載の荷電ビーム露光装置。 - 前記荷電ビーム出射手段は、前記荷電ビームの照射により前記基板内で発生する後方散乱電子が前記荷電ビームの照射位置に近接する描画パターンの露光量に影響を及ぼす近接効果が発生する電圧を下回る加速電圧で前記荷電ビームを発生させる、ことを特徴とする請求項1または2に記載の荷電ビーム露光装置。
- 前記荷電ビームを電界により偏向して前記基板の表面を走査する第2の偏向手段と、
前記荷電ビームの照射により前記基板から発生する二次電子を検出する二次電子検出手段と、
前記第2の偏向手段と前記基板との間に配設され、前記二次電子が前記第2の偏向手段内に進入することを防止する二次電子制御手段と、
をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の荷電ビーム露光装置。 - 前記第1の縮小投影手段は、静電型レンズで構成され、
前記第2の縮小投影手段は、磁界型レンズで構成される、
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の荷電ビーム装置。 - 前記第2の偏向手段は、内壁の径が前記基板に近づくに従って大きくなる逆テーパ形状の電極を有することを特徴とする請求項4または5に記載の荷電ビーム装置。
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