JP2005051128A - 半導体チップ及びその製造方法、並びに半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体チップ2の突起端子14の最上層だけがはんだ層14bであることから、従来のように突起端子をはんだだけで形成したときに生じた突起端子同士の接触を防止でき、且つ突起端子14とランド21とがはんだ接合により接続されていることから、半導体チップ2と回路基板3との接続信頼性を向上できる。
【選択図】 図1
Description
Claims (12)
- 半導体素子を有する素子本体と、
上記素子本体の主面に形成され、上記半導体素子に電気的に接続された電極パッドと、
上記電極パッド上に導電性金属が二層以上積層形成された突起端子とを備え、
上記突起端子は、最上層がはんだにより形成され、最上層の主面が頂点を有する略球面にされていることを特徴とする半導体チップ。 - 上記突起端子は、略円柱状に形成されていることを特徴とする請求項1記載の半導体チップ。
- 上記突起端子の最上層の積層方向の厚みが、上記突起端子の直径の1/2以下にされていることを特徴とする請求項2記載の半導体チップ。
- 上記突起端子は、電気めっき法により形成されていることを特徴とする請求項1記載の半導体チップ。
- 半導体素子を有する素子本体と、この素子本体の主面に形成され、上記半導体素子に電気的に接続された電極パッドと、この電極パッド上に導電性金属が二層以上積層形成された突起端子とを備える半導体チップの製造方法であって、
上記突起端子の最上層を、はんだで形成し、
上記突起端子の最上層の主面を加熱し、頂点が設けられた略球面にすることを特徴とする半導体チップの製造方法。 - 上記突起端子を、略円柱状に形成することを特徴とする請求項5記載の半導体チップの製造方法。
- 上記突起端子の最上層の積層方向の厚みを、上記突起端子の直径の1/2以下にすることを特徴とする請求項6記載の半導体チップの製造方法。
- 上記突起端子を電気めっき法で形成することを特徴とする請求項5記載の半導体チップの製造方法。
- 半導体素子を有する素子本体と、この素子本体の主面に形成され、上記半導体素子に電気的に接続された電極パッドと、この電極パッド上に導電性金属が二層以上積層形成された突起端子とを備える半導体チップを、主面に接続ランドを有する回路基板にフェイスダウン実装した半導体装置の製造方法であって、
上記半導体チップの突起端子の最上層を、はんだで形成し、
上記半導体チップの突起端子の最上層の主面を加熱することで頂点が設けられた略球面にし、
上記突起端子が接続される上記接続ランドを覆うように、加熱により硬化する樹脂部材を上記回路基板の主面に供給し、
上記半導体チップの突起端子を上記樹脂部材に押し当て、上記突起端子の最上層の主面と上記回路基板の上記接続ランドとを当接させた状態で、上記突起端子と上記樹脂部材とを一緒に加熱し、上記突起端子の最上層の溶融と上記樹脂部材の硬化とを一括して行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 上記突起端子を、略円柱状に形成することを特徴とする請求項9記載の半導体装置の製造方法。
- 上記突起端子の最上層の積層方向の厚みを、上記突起電極の直径の1/2以下にすることを特徴とする請求項10記載の半導体装置の製造方法。
- 上記突起端子を、電気めっき法で形成することを特徴とする請求項9記載の半導体装置の製造方法。
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JP2007189210A (ja) * | 2005-12-13 | 2007-07-26 | Shin Etsu Chem Co Ltd | フリップチップ型半導体装置の組立方法及びその方法を用いて製作された半導体装置 |
JP2012109481A (ja) * | 2010-11-19 | 2012-06-07 | Toray Ind Inc | 半導体装置の製造方法および半導体装置 |
WO2018168115A1 (ja) * | 2017-03-13 | 2018-09-20 | Jsr株式会社 | 積層体およびその製造方法並びに電子部品 |
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