JP2005048173A - 半導体封止用タブレットの製法およびそれにより得られた半導体封止用タブレットならびにそれを用いた半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】下記の(A)〜(C)成分を必須成分とするエポキシ樹脂組成物の混練物を作製した後、上記混練物をシート密度比98%以上のシート状に成形し、上記シート状成形体を粉砕した後、この粉砕物をタブレット密度比94%以上98%未満のタブレット状に打錠成形してなる半導体封止用タブレットの製法である。
(A)エポキシ樹脂。
(B)フェノール樹脂。
(C)無機質充填剤。
【選択図】なし
Description
(A)エポキシ樹脂。
(B)フェノール樹脂。
(C)無機質充填剤。
エポキシ当量173、融点100℃
〔フェノールノボラック樹脂〕
水酸基当量107、融点60℃
〔硬化促進剤〕
トリフェニルホスフィン
〔カルナバワックス〕
〔無機質充填剤〕
溶融球状シリカ粉末(平均粒径20μm)
〔カーボンブラック〕
〔シランカップリング剤〕
γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン
下記の表1に示す各成分を同表に示す割合でミキサーに投入してドライブレンドした後、上記混合物を2軸混練機に供給し樹脂温度110℃にて溶融混練した。つぎに、この混練機より吐出された混練物を直径150mmのカレンダーロールにて圧延することによりシート状に成形加工した。このとき、後記の表2に示す厚みのシートとなるようロールのギャップおよび押し圧等を調整した。ついで、上記シート状に成形した溶融混練物を空冷した後ハンマーミルを用いて粉砕し、さらにタブレット状に打錠成形した。この打錠成形は、一対に設けられた臼と杵が複数個配置された回転盤が回転しながら連続的にタブレットの打錠成形を行うロータリー打錠機(菊水製作所社製、33連式)を用いた。そして、所望のタブレット密度比となるように圧縮することにより半導体封止用タブレットを作製した。
チップサイズ:7.5mm×7.5mm
トランスファー成形条件:175℃×90秒間の熱硬化
成形圧力:6.865MPa
成形機:TOWA社製マルチプランジャーシステム
タブレット状に成形したもの(直径14mm、目標重量6g)を50個準備して個々のタブレット重量を計量し、下記の判断基準にて重量のばらつきを調べ、その結果を下記の表2および表3に併せて示した。
◎:(最大値−最小値)/平均値<0.3%
○:0.3%≦(最大値−最小値)/平均値<0.5%
△:0.5%≦(最大値−最小値)/平均値<2.0%
×:2.0%≦(最大値−最小値)/平均値
タブレット成形時に必要な加圧力を各実施例および比較例で測定し、比較例1の値を基準値1とした場合の比率を下記の表2および表3に併せて示した。
Claims (5)
- 下記の(A)〜(C)成分を必須成分とするエポキシ樹脂組成物の混練物を作製する工程と、上記混練物をシート密度比98%以上のシート状に圧延成形する工程と、上記シート状成形体を粉砕した後、この粉砕物をタブレット密度比94%以上98%未満のタブレット状に打錠成形する工程とを備えたことを特徴とする半導体封止用タブレットの製法。
(A)エポキシ樹脂。
(B)フェノール樹脂。
(C)無機質充填剤。 - 上記シート状成形体の厚みが1.0mm以下である請求項1記載の半導体封止用タブレットの製法。
- 上記粉砕物の粒度分布が、粒径1.0mmを超える粒子が50重量%以下で、粒径0.125mm以下の粒子が10〜40重量%である請求項1または2記載の半導体封止用タブレットの製法。
- 請求項1〜3のいずれか一項に記載の半導体封止用タブレットの製法により得られた、タブレット密度比94%以上98%未満の半導体封止用タブレット。
- 請求項4記載の半導体封止用タブレットを用いて半導体素子を樹脂封止してなる半導体装置。
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