JP2005026257A - 固体電解コンデンサおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】アルミニウム層1の表面に多孔質層2を設けた弁金属多孔質箔の表面に誘電体被膜を形成し、この誘電体被膜上に固体電解質層3、この固体電解質層3の上に集電体層4を形成したコンデンサ素子の外周部の一端面に弁金属多孔質箔を表出させ、他端面にコンデンサ素子の集電体層4の一部を表出させた外装6を設け、この外装6の両端面に外部電極を設けた固体電解コンデンサにおいて、前記表出した弁金属多孔質箔の表出面に亜鉛層7を形成し、この亜鉛層7の上にニッケル層8を形成する。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は各種電子機器に用いられる固体電解コンデンサおよびその製造方法に関するものであり、特に高周波特性、信頼性に優れた固体電解コンデンサに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の小型大容量の固体電解コンデンサは一方の端面に陽極棒が埋設された角柱状のコンデンサ素子を備えている。このコンデンサ素子は弁作用金属粉末(タンタル粉末)の焼結ペレットを核とし、この焼結ペレットに陽極酸化皮膜を形成し、二酸化マンガンなどの固体電解質層を形成し、その上にカーボン層および銀層からなる集電体層が順次形成されている。このコンデンサ素子に陽極端子板と陰極端子板を取り付け、陽極端子板および陰極端子板を含めてコンデンサ素子の周りに外装を形成した後、その外装の一部を除去して陽極端子板および陰極端子板の一部を露出させ、外装の両端面にはんだめっきを施して陽極端子板および陰極端子板の各一部に電気的に接続されるはんだめっきよりなる端子構造を形成した構造が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
【0003】
また、単板のコンデンサ素子は表面に誘電体酸化被膜層を有する平板状の弁作用金属からなる陽極基体の端部を陽極部とし、この陽極部を除いた部分の前記誘電体酸化皮膜層上に固体電解質層、その上に集電体層が順次形成されて陰極部とし、陽極部と陰極部のそれぞれの端部にはリードフレームを溶接または導電性接着剤にて固定した後外装で被覆し、その外装の両端部にリードフレームの一部を露出させた後外装の両端面にはんだめっきを施して陽極端子板および陰極端子板の各一部に電気的に接続されるはんだめっきよりなる端子構造を形成した構造が提案されている。さらにまた、積層型の固体電解コンデンサは前記単板のコンデンサ素子を複数枚準備し、その陽極部を同一方向に揃えられて陽極側リードフレーム上に積層固着され、その陰極部を陽極部側から陰極部先端に向かって末広がり形状に陰極部側リードフレーム上に導電性接着層を形成して積層固着されて積層コンデンサ素子とし、この積層コンデンサ素子の周囲を外装樹脂で被覆封止して構成した積層型固体電解コンデンサが提案されている(例えば、特許文献2参照)。
【0004】
【特許文献1】
特開2000−49048号公報
【特許文献2】
特開2000−68158号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の固体電解コンデンサは陽極部に弁金属とは異なる電極材料を介して外部電極を構成することを前提としている。このような構成とすることから容量を形成するための容積が減少すること、弁金属の陽極部から外部電極までの距離が長くなることから高周波における重要な特性である低インピーダンス特性の観点からは不利である。高周波特性に優れた大容量の固体電解コンデンサを実現するためには弁金属と異なる電極材料を外部電極に用いないで、直接弁金属材料を外装の端部に露出させて陽極部の一部を端子として用いることにより大容量で低インピーダンスを有する固体電解コンデンサを実現することができる。
【0006】
しかしながら、弁金属であるアルミニウムの表面には不働態膜と言われる極薄の酸化被膜が形成され、このアルミニウムを用いて前記固体電解コンデンサを作製した場合、その不働態膜が抵抗体となって作用したり、めっき膜とアルミニウムとの金属結合を強固に形成させることが困難であった。以上のような理由から密着力に優れ高周波特性に優れた外部電極を形成することは困難であった。
【0007】
また、アルミニウムの金属表面上に存在する不働態膜は酸やアルカリ溶液等によって除去することは可能であるが、酸素が存在する環境下では容易に不働態膜が再生されることから、大気中または溶存酸素が存在する溶液中では現実的にこの不働態膜の除去が困難である。さらにアルミニウムの上にはんだ(鉛を含まないものを含む)付けすることも困難であった。
【0008】
本発明は上記課題を解決し、高周波特性に優れた小型大容量の固体電解コンデンサおよびその製造方法を提供することを目的とするものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために本発明の請求項1に記載の発明は、弁金属多孔質箔の表面に誘電体被膜を形成し、この誘電体被膜上に固体電解質層、この固体電解質層上に集電体層を形成したコンデンサ素子の外周部の一端面に弁金属多孔質箔を表出させ、他端面にコンデンサ素子の集電体層の一部または陰極部を表出させた外装を設け、この外装の両端面に外部電極を設けた固体電解コンデンサにおいて、前記弁金属多孔質箔の表出面に亜鉛層を形成し、この亜鉛層の上にニッケル層を形成した固体電解コンデンサであり、低ESR/ESL特性を有した信頼性に優れた小型の固体電解コンデンサを提供できる。
【0010】
本発明の請求項2に記載の発明は、弁金属多孔質箔の表面に誘電体被膜を形成し、この誘電体被膜上に固体電解質層、この固体電解質層上に集電体層を形成したコンデンサ素子を積層した後、外周部の一端面に積層した弁金属多孔質箔を表出させ、他端面にコンデンサ素子の集電体層の一部または陰極部を表出させた外装を設け、この外装の両端面に外部電極を設けた固体電解コンデンサにおいて、前記弁金属多孔質箔の表出面に亜鉛層を形成し、この亜鉛層の上にニッケル層を形成した固体電解コンデンサであり、低ESR/ESL特性を有した信頼性に優れた小型大容量の固体電解コンデンサを提供できる。
【0011】
本発明の請求項3に記載の発明は、弁金属多孔質箔の厚みが200μm以下である請求項1または2のいずれかに記載の固体電解コンデンサであり、接続信頼性に優れるとともに高周波特性に優れた固体電解コンデンサが提供できる。
【0012】
本発明の請求項4に記載の発明は、弁金属多孔質箔のアルミニウム層:多孔質層の断面積比が1/2以下で規定される請求項1または2のいずれかに記載の固体電解コンデンサであり、請求項3の作用に加えてより大容量化できる固体電解コンデンサを提供できる。
【0013】
本発明の請求項5に記載の発明は、外部電極に第2ニッケル層、錫層またははんだ層を形成した請求項1または2のいずれかに記載の固体電解コンデンサであり、実装性に優れたチップ型の固体電解コンデンサを実現できる。
【0014】
本発明の請求項6に記載の発明は、外部電極の第2ニッケル層が圧縮応力を有する請求項5に記載の固体電解コンデンサであり、接合強度に優れた外部電極を有する高信頼性のチップ型の固体電解コンデンサを提供できる。
【0015】
本発明の請求項7に記載の発明は、外部電極に第2ニッケル層、銅層、第3ニッケル層、錫層またははんだ層を形成した請求項1または2のいずれかに記載の固体電解コンデンサであり、高周波特性に優れたより高信頼性のチップ型の固体電解コンデンサを実現することができる。
【0016】
本発明の請求項8に記載の発明は、弁金属多孔質箔の表面に誘電体被膜を形成し、この誘電体被膜上に固体電解質層、この固体電解質層上に集電体層を形成したコンデンサ素子の外周部の一端面に弁金属多孔質箔を表出させ、他端面にコンデンサ素子の集電体層の一部または陰極部を表出させた外装を形成し、この外装の両端面に外部電極を形成する固体電解コンデンサの製造方法において、少なくとも弁金属多孔質箔の表出面を亜鉛を含んだ水酸化ナトリウム溶液に浸漬してその表出面を亜鉛置換することにより亜鉛層を形成した後、ニッケル塩と水酸化ホウ素化合物を含む溶液に浸漬して亜鉛層の上にニッケル層を形成する工程を含む固体電解コンデンサの製造方法であり、高周波特性に優れた高信頼性の固体電解コンデンサの製造方法を提供できる。
【0017】
本発明の請求項9に記載の発明は、弁金属多孔質箔の表面に誘電体被膜を形成し、この誘電体被膜上に固体電解質層、この固体電解質層上に集電体層を形成したコンデンサ素子を積層した後、外周部の一端面に積層した弁金属多孔質箔を表出させ、他端面にコンデンサ素子の集電体層の一部または陰極部を表出させた外装を形成し、この外装の両端面に外部電極を形成する固体電解コンデンサの製造方法において、少なくとも弁金属多孔質箔の表出面を亜鉛を含んだフッ化水素酸またはフッ化アンモニウム溶液に浸漬してその表出面を亜鉛置換することにより亜鉛層を形成した後、ニッケル塩と水素化ホウ素化合物を含む溶液に浸漬して亜鉛層の上にニッケル層を形成する工程を含む固体電解コンデンサの製造方法であり、高周波特性に優れた高信頼性の固体電解コンデンサの製造方法を提供できる。
【0018】
本発明の請求項10に記載の発明は、水素化ホウ素化合物にジエチルアミノボランを用いる請求項8または9のいずれかに記載の固体電解コンデンサの製造方法であり、高周波特性に優れた高信頼性の固体電解コンデンサの製造方法を提供できる。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の固体電解コンデンサおよびその製造方法について実施の形態および図面を用いて説明する。
【0020】
(実施の形態1)
本発明の実施の形態1および図1を用いて請求項1、3、4、5、6、8、9、10に記載の発明について説明する。
【0021】
図1は本発明の実施の形態1における固体電解コンデンサの断面図を示す。図1において、弁金属多孔質箔として表面に化学エッチングなどの方法で多孔質層2を形成したアルミニウム箔を用いている。この多孔質層2の表面に誘電体被膜(図示せず)を形成し、この誘電体被膜の上にポリピロール、ポリチオフェンなどの導電性高分子材料を用いて化学重合、電解重合などの方法により固体電解質層3を形成している。
【0022】
この時、アルミニウム箔の一端部は陽極部として用いるために端面が表出するようになっており、このアルミニウム箔の一端面は多孔質層2の内部にアルミニウム層1を有したものとなっている。
【0023】
次に、前記固体電解質層3の表面にカーボンおよび銀ペーストを用いて集電体層4を形成している。この集電体層4に接続するように導電性接着剤層9を介して銅箔5を陰極部として接合するとともにその一部が他端に表出するように構成している。図1では銅箔5を陰極部としているが直接集電体層4を表出させて陰極部としても良い。
【0024】
次に、このコンデンサ素子をエポキシ樹脂、フェノール樹脂、エポキシ−シリコン樹脂などを用いて外装6としてモールド樹脂成形法により形成する。この外装6の両端には陽極となるアルミニウム箔(アルミニウム層1と多孔質層2の端面)と、陰極部となる銅箔5が表出するように物理的または化学的に研磨除去を行う。この研磨除去された陽極側の端面にはアルミニウム箔(多孔質層2とアルミニウム層1)の一端面が露出し、陰極部側の端面には銅箔5が露出している。
【0025】
この時、陽極部と陰極部である固体電解質層3および集電体層4とが導通しないように境界部分に絶縁樹脂などを塗布することによって陽陰極分離を確実に行ってもよい。
【0026】
この外装6の端面に露出した面を純水で洗浄後、酸などによるエッチング処理を行うことによりアルミニウム箔の露出面の不純物、汚れ等を除去した後、亜鉛を含んだ水酸化ナトリウム溶液に浸漬して陽極側端面のアルミニウム層1の表面と多孔質層2の表面に形成されている誘電体被膜の一部を亜鉛置換反応により亜鉛層7を形成する。この亜鉛層7は置換反応を起こすために図1に示すように表面に析出するだけでなくアルミニウム層1の内部まで拡散反応により侵入することとなり、強固な固着膜を形成できるとともに多孔質層2の誘電体被膜にも部分的に結晶欠陥を有する酸化アルミニウムとの亜鉛置換反応が起こり、誘電体被膜上にも亜鉛層7を形成することができることから陽極であるアルミニウム箔の端面全面と強固に固着した亜鉛層7を形成することができる。
【0027】
次に、上記コンデンサ素子をニッケル塩と水素化ホウ素化合物を含む溶液に浸漬して亜鉛置換された亜鉛層7の表面にニッケル層8を形成した。
【0028】
この置換反応を用いた亜鉛層7とニッケル層8による端面電極の構成によれば、弁金属多孔質箔であるアルミニウム箔の厚みが200μm以下であってもアルミニウム箔の端面の全てを固着面とすることができることと置換反応による高い固着力と低い接合抵抗を得ることができることから高周波特性に優れた信頼性の高い固体電解コンデンサを実現することができる。これに対して、従来のニッケルめっきなどを用いて弁金属多孔質箔の端面にニッケル層8を形成した場合にはアルミニウム層1の表出面にしかニッケル層8を形成することができず。多孔質層2の割合が大きくなるに従って接続の信頼性が低下していた。
【0029】
また、固体電解コンデンサの大容量を実現するためには多孔質層2の割合を極限まで高めることが効果的であるが、本発明の構成を用いることによりアルミニウム箔のアルミニウム層1と多孔質層2の厚み比率が1:2以下であっても固着力の低下は殆ど起こらない固体電解コンデンサとすることができる。
【0030】
また、亜鉛を含んだ水酸化ナトリウム溶液の代わりに亜鉛を含んだフッ化水素酸またはフッ化アンモニウム溶液を用いても同様の作用を有することを確認している。
【0031】
また、ニッケル塩と水素化ホウ素化合物を含む溶液として、ニッケル塩とジエチルアミノボランを含む溶液を用いても同様の作用を有することを確認している。
【0032】
また、この亜鉛層7の厚みは置換反応であることから反応が終了すると亜鉛層7の形成が止まるがより好ましくは2μm以下である。
【0033】
次に、通常の無電解めっき法によりパラジウム活性化処理の後、第2ニッケル層10を外装6の両端面に形成し、その後錫層13を形成することにより実装性に優れたチップ型の固体電解コンデンサを完成することができる。このとき、ニッケル層10の厚みを1〜3μmの膜厚にすることがより好ましい。また前記錫層13ははんだ濡れ性を高めるための層であり、はんだ層を用いても同じ効果を得ることができる。しかしながら環境保護対策の観点から錫層13とすることが好ましい。
【0034】
以上説明してきたように、このような構成の固体電解コンデンサとすることにより従来の固体電解コンデンサよりも引き出し電極の長さを最短にできることから低インピーダンス性能を実現するとともに、多孔質層2の体積占有率を大きく設計することができることから大容量化を容易に実現でき、小型大容量で信頼性に優れた低インピーダンスのチップ型の固体電解コンデンサおよびその製造方法を実現することができる。
【0035】
この固体電解コンデンサを評価するために(表1)に示す形状のアルミニウム箔を用いて各種固体電解コンデンサを作製した後、これらの固体電解コンデンサの静電容量とESR値の測定を行った。また−40℃〜105℃まで変化させるヒートサイクル試験(100サイクル)を行い、ESR特性の変化を求めた。
【0036】
また比較例として、外装6の両端面に直接ニッケル層8を形成し、その上に錫層13を形成した試料の特性評価も行った。その評価結果を(表1)に示す。
【0037】
【表1】
【0038】
(表1)に示したように、本発明の固体電解コンデンサは低ESR特性を有した固体電解コンデンサを実現している。またアルミニウム層1:多孔質層2の断面積比が1/2以下においてよりその効果を発揮することができる。さらにアルミニウム箔の膜厚が200μm以下においても接合強度に優れた固体電解コンデンサを実現している。
【0039】
(実施の形態2)
本発明の実施の形態2および図2を用いて請求項2に記載の発明について説明する。
【0040】
図2は本発明の実施の形態2における固体電解コンデンサの断面図を示す。図2において、実施の形態1と異なるところは実施の形態1で説明した単板構造のコンデンサ素子をたとえば導電性接着剤9を用いてコンデンサ素子の陰極部側を接合することにより多層構造の積層固体電解コンデンサを形成した後樹脂モールドなどによって外装6で被覆されていることである。またそれぞれのコンデンサ素子の陽極側には実施の形態1で説明したものと同じように弁金属多孔質箔の端面に亜鉛層7を形成した後ニッケル層8を形成している。この亜鉛層7とニッケル層8は選択的に形成することができる。
【0041】
また、必要に応じて銅箔5を導電性接着剤9の中間に挿入し、その端部を陰極部として外装6の端面に表出するように構成している。この銅箔5は各層毎に挿入すると最も低ESR特性を実現することができる。
【0042】
その後、無電解めっき法によりパラジウム溶液に浸漬して触媒作用を有するパラジウムを吸着させ、リンを含有するニッケルめっき液中に浸漬することにより、両端面の電極部に6重量パーセントのリンを含有する膜厚5μmの第2ニッケル層10を形成した。この第2ニッケル層10の上に錫層13を形成することにより実装性に優れたチップ型の積層固体電解コンデンサを完成することができる。
【0043】
以上説明してきたように、このような構成とすることにより従来の固体電解コンデンサよりも引き出し電極の長さを最短にできることから低インピーダンス性能を実現するとともに、多孔質層2の体積占有率を大きく設計したコンデンサ素子を積層構造とすることができるので小型大容量で信頼性に優れたチップ型の積層固体電解コンデンサを容易に実現することができる。
【0044】
各種形状のチップ型の積層固体電解コンデンサを試作し、その静電容量とESR値の測定を行った。また−40℃〜105℃まで変化させるヒートサイクル試験(100サイクル)を行い、静電容量とESR値の測定を行った。その結果を(表2)に示す。また比較例として従来のニッケル/錫層からなる電極構造を有する固体電解コンデンサを比較例6として評価した。
【0045】
【表2】
【0046】
(表2)に結果を示したように、単板のコンデンサ素子を複数積層することによって、高容量、低ESR特性を有した高信頼性のチップ型の積層固体電解コンデンサを実現することができる。
【0047】
(実施の形態3)
本発明の実施の形態3を用いて請求項6に記載の発明について説明する。
【0048】
実施の形態2で用いたリン(P)を含有するニッケルめっき液に添加剤を入れて、析出する第2ニッケル層10のめっき膜の特性に圧縮応力を持ったものと引張り応力を持ったものとを作製し、外部電極に形成される引張り強度を測定した。ここで、圧縮応力を持ったものとは外装10の表面に第2ニッケル層10を形成したとき、外装10の面方向に反るような状態を圧縮応力とし、第2ニッケル層10の面方向に反る状態を引張り応力とする。そして、このような状態は第2ニッケル層のめっき膜中のP濃度を制御することによって実現することができる。
【0049】
検討の結果、P濃度が高いと引張り応力を示し、P濃度が低いと圧縮応力を示すことが分かった。このようにして第2ニッケル層10を形成することにより、圧縮応力を持った第2ニッケル層10のめっき膜の接合強度は2kg/mm2に対して、引張り応力を持っためっき膜は1kg/mm2であった。このことから、第2ニッケル層10の膜質を圧縮応力にすることによって外部電極の接合強度を高めることが可能になり、実装性に優れたチップ型の固体電解コンデンサを実現することができる。
【0050】
さらに、信頼性の高い圧縮応力を持たせるためにはP濃度は6〜8%の範囲が最適であった。
【0051】
(実施の形態4)
本発明の実施の形態4および図3を用いて請求項7に記載の発明について説明する。
【0052】
図3は本発明の実施の形態4におけるチップ型の積層固体電解コンデンサの断面図を示す。図3に示すように、実施の形態2で作製した積層固体電解コンデンサを電解銅めっき液に浸漬して、電解銅めっきにより銅層11を第2ニッケル層10の上に膜厚5μm以上で形成し、次に電解ニッケルめっき液に浸漬して、電解ニッケルめっきにより第3ニッケル層12を形成し、最後に電解錫めっき液に浸漬して電解錫めっきにより錫層13を3μm以上の膜厚に形成した。本実施の形態4における外部電極は下層から順に第2ニッケル層10、銅層11、第3ニッケル層12と錫層13から構成していることを特徴としている。
【0053】
特に、銅層11の膜厚を5μm以上としたのはこの膜厚において欠陥の無い銅層11を形成することができるためであり、このような銅層11とすることにより高性能な外部電極を形成することができる。
【0054】
以上のように構成されたチップ型の積層固体電解コンデンサの外部電極にプローブをあて、静電容量とESR値の測定を行った。また−40℃〜105℃まで変化させるヒートサイクル試験(100サイクル)と85℃−85%RHの雰囲気下に72時間の暴露試験を行い、その時のESR値の変化を測定した。その結果を(表3)に示す。また比較例として従来のニッケル/錫層からなる電極構造を有する固体電解コンデンサを比較例7として評価した。
【0055】
【表3】
【0056】
(表3)に結果を示したように、本実施の形態の外部電極構成とすることにより低ESR化と各種信頼性試験においても優れた耐久性を有するチップ型の固体電解コンデンサとすることができる。
【0057】
【発明の効果】
以上説明してきたように、本発明は弁金属多孔質箔の陽極端面である多孔質層の表出面とアルミニウム層の表出面に亜鉛層とニッケル層を形成することにより固体電解コンデンサの外部電極を形成することによって低インピーダンス特性で高信頼性を有した大容量のチップ型の固体電解コンデンサおよびその製造方法を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1における固体電解コンデンサの断面図
【図2】本発明の実施の形態2における固体電解コンデンサの断面図
【図3】本発明の実施の形態4における固体電解コンデンサの断面図
【符号の説明】
1 アルミニウム層
2 多孔質層
3 固体電解質層
4 集電体層
5 銅箔
6 外装
7 亜鉛層
8 ニッケル層
9 導電性接着剤層
10 第2ニッケル層
11 銅層
12 第3ニッケル層
13 錫層
Claims (10)
- 弁金属多孔質箔の表面に誘電体被膜を形成し、この誘電体被膜上に固体電解質層、この固体電解質層上に集電体層を形成したコンデンサ素子の外周部の一端面に弁金属多孔質箔を表出させ、他端面にコンデンサ素子の集電体層の一部または陰極部を表出させた外装を設け、この外装の両端面に外部電極を設けた固体電解コンデンサにおいて、前記弁金属多孔質箔の表出面に亜鉛層を形成し、この亜鉛層の上にニッケル層を形成した固体電解コンデンサ。
- 弁金属多孔質箔の表面に誘電体被膜を形成し、この誘電体被膜上に固体電解質層、この固体電解質層上に集電体層を形成したコンデンサ素子を積層した後、外周部の一端面に積層した弁金属多孔質箔を表出させ、他端面にコンデンサ素子の集電体層の一部または陰極部を表出させた外装を設け、この外装の両端面に外部電極を設けた固体電解コンデンサにおいて、前記弁金属多孔質箔の表出面に亜鉛層を形成し、この亜鉛層の上にニッケル層を形成した固体電解コンデンサ。
- 弁金属多孔質箔の厚みが200μm以下である請求項1または2のいずれかに記載の固体電解コンデンサ。
- 弁金属多孔質箔のアルミニウム層:多孔質層の断面積比が1/2以下で規定される請求項1または2のいずれかに記載の固体電解コンデンサ。
- 外部電極に第2ニッケル層、錫層またははんだ層を形成した請求項1または2のいずれかに記載の固体電解コンデンサ。
- 外部電極の第2ニッケル層が圧縮応力を有する請求項5に記載の固体電解コンデンサ。
- 外部電極に第2ニッケル層、銅層、第3ニッケル層、錫層またははんだ層を形成した請求項1または2のいずれかに記載の固体電解コンデンサ。
- 弁金属多孔質箔の表面に誘電体被膜を形成し、この誘電体被膜上に固体電解質層、この固体電解質層上に集電体層を形成したコンデンサ素子の外周部の一端面に弁金属多孔質箔を表出させ、他端面にコンデンサ素子の集電体層の一部または陰極部を表出させた外装を形成し、この外装の両端面に外部電極を形成する固体電解コンデンサの製造方法において、少なくとも弁金属多孔質箔の表出面を亜鉛を含んだ水酸化ナトリウム溶液に浸漬してその表出面を亜鉛置換することにより亜鉛層を形成した後、ニッケル塩と水酸化ホウ素化合物を含む溶液に浸漬して亜鉛層の上にニッケル層を形成する工程を含む固体電解コンデンサの製造方法。
- 弁金属多孔質箔の表面に誘電体被膜を形成し、この誘電体被膜上に固体電解質層、この固体電解質層上に集電体層を形成したコンデンサ素子を積層した後、外周部の一端面に積層した弁金属多孔質箔を表出させ、他端面にコンデンサ素子の集電体層の一部または陰極部を表出させた外装を形成し、この外装の両端面に外部電極を形成する固体電解コンデンサの製造方法において、少なくとも弁金属多孔質箔の表出面を亜鉛を含んだフッ化水素酸またはフッ化アンモニウム溶液に浸漬してその表出面を亜鉛置換することにより亜鉛層を形成した後、ニッケル塩と水素化ホウ素化合物を含む溶液に浸漬して亜鉛層の上にニッケル層を形成する工程を含む固体電解コンデンサの製造方法。
- 水素化ホウ素化合物にジエチルアミノボランを用いる請求項8または9のいずれかに記載の固体電解コンデンサの製造方法。
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