KR102387047B1 - 고체 전해 콘덴서의 제조 방법 및 고체 전해 콘덴서 - Google Patents

고체 전해 콘덴서의 제조 방법 및 고체 전해 콘덴서 Download PDF

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Abstract

(과제) 복수의 고체 전해 콘덴서를 효율 좋게 제조할 수 있는 고체 전해 콘덴서의 제조 방법을 제공한다.
(해결수단) 본 발명의 고체 전해 콘덴서의 제조 방법은, (A)제 1 시트(10)를 준비하는 공정, (B)제 2 시트(20)를 준비하는 공정, (C)제 1 시트(10)를 절연 재료(14,15)에 의해 피복하는 공정, (D)제 1 시트(10)에 도전체층(16)을 형성하는 공정, (E)적층 시트(30)를 제작하는 공정, (F)적층 블록체(40)를 제작하는 공정, (G)적층 블록체(40)를 절단함으로써, 복수개의 소자 적층체(100)를 제작하는 공정 및 (H)제 1 외부 전극(141) 및 제 2 외부 전극(142)을 형성하는 공정을 구비한다.

Description

고체 전해 콘덴서의 제조 방법 및 고체 전해 콘덴서{METHOD FOR MANUFACTURING SOLID ELECTROLYTIC CAPACITOR AND SOLID ELECTROLYTIC CAPACITOR}
본 발명은 고체 전해 콘덴서의 제조 방법 및 고체 전해 콘덴서에 관한 것이다.
고체 전해 콘덴서는 알루미늄 등의 밸브 작용 금속으로 이루어지는 기체의 표면에 다공질부를 갖는 밸브 작용 금속 기체와, 상기 다공질부의 표면에 형성된 유전체층과, 상기 유전체층 위에 형성된 고체 전해질층과, 상기 고체 전해질층 위에 형성된 도전체층(집전체층이라고도 한다)을 구비하고 있다.
예를 들면, 특허문헌 1에는 밸브 금속 다공질박의 표면에 유전체 피막을 형성하고, 이 유전체 피막 위에 고체 전해질층, 이 고체 전해질층 위에 집전체층을 형성한 콘덴서 소자를 적층한 후, 외주부의 일단면에 적층한 밸브 금속 다공질박을 표출시키고, 타단면에 콘덴서 소자의 집전체층의 일부 또는 음극부를 표출시킨 외장을 설치하고, 이 외장의 양 끝면에 외부 전극을 형성한 고체 전해 콘덴서에 있어서, 상기 밸브 금속 다공질박의 표출면에 아연층을 형성하고, 이 아연층 위에 니켈층을 형성한 고체 전해 콘덴서가 개시되어 있다.
일본 특허공개 2005-26257호 공보
특허문헌 1에는 콘덴서 소자에 에폭시 수지 등을 사용해서 외장을 몰드 수지 성형법에 의해 형성한 후, 외장의 일단에는 양극부가 되는 알루미늄박이, 외장의 타단에는 음극부가 되는 동박이 각각 표출되도록 물리적 또는 화학적으로 연마 제거를 행하는 것이 기재되어 있다.
그러나, 특허문헌 1에 기재되어 있는 방법을 사용해서 복수의 고체 전해 콘덴서를 제조하는 경우에는 콘덴서 소자를 1개씩 수지로 밀봉하고, 그 후, 각각의 끝면을 연마할 필요가 있다. 따라서, 제조 공정이 복잡해지고, 제조 비용이 높아져 버린다.
본 발명은 상기 문제를 해결하기 위해 이루어진 것이며, 복수의 고체 전해 콘덴서를 효율 좋게 제조할 수 있는 고체 전해 콘덴서의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 본 발명은 특히 양극부가 되는 밸브 작용 금속 기체가 한쪽의 끝면에 노출되고, 음극부가 되는 금속박이 다른쪽의 끝면에 노출되는 고체 전해 콘덴서를 효율 좋게 제조할 수 있는 고체 전해 콘덴서의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 본 발명은 또한 상기 제조 방법에 의해 제조된 고체 전해 콘덴서를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 고체 전해 콘덴서의 제조 방법은 제 1 형태에 있어서 이하의 공정을 구비한다.
(A)제 1 시트를 준비하는 공정;
(B)제 2 시트를 준비하는 공정;
(C)상기 제 1 시트를 절연 재료에 의해 피복하는 공정;
(D)상기 제 1 시트에 도전체층을 형성하는 공정;
(E)적층 시트를 제작하는 공정;
(F)적층 블록체를 제작하는 공정;
(G)상기 적층 블록체를 절단함으로써, 복수개의 소자 적층체를 제작하는 공정; 및
(H)제 1 외부 전극 및 제 2 외부 전극을 형성하는 공정.
본 발명의 고체 전해 콘덴서의 제조 방법은 제 2 형태에 있어서 이하의 공정을 구비한다.
(A)제 1 시트를 준비하는 공정;
(B)제 2 시트를 준비하는 공정;
(E)적층 시트를 제작하는 공정;
(F)필요에 따라 적층 블록체를 제작하는 공정;
(G')상기 적층 시트 또는 상기 적층 블록체를 절단함으로써, 복수개의 소자 적층체를 제작하는 공정; 및
(H')상기 소자 적층체에 제 1 외부 전극 및 제 2 외부 전극을 형성하는 공정.
제 1 형태 및 제 2 형태에 있어서, 상기 제 1 시트는 표면에 유전체층이 형성된 밸브 작용 금속 기체 및 상기 유전체층 위에 형성된 고체 전해질층을 구비한다.
또한, 상기 제 1 시트는 복수개의 소자영역을 갖고, 각 소자영역은 길이방향에 있어서 서로 대향하는 제 1 단부 및 제 2 단부와, 폭방향에 있어서 서로 대향하는 제 1 측부 및 제 2 측부에 의해 구획되어 있다.
또한, 상기 제 1 시트에는 각 소자영역의 상기 제 1 단부에 걸쳐지도록 상기 소자영역의 폭 이상의 폭을 갖는 제 1 관통 구멍이 형성되어 있음과 아울러, 각 소자영역의 상기 제 2 단부에 걸쳐지도록 상기 소자영역의 폭보다 작은 폭을 갖는 1개 이상의 제 2 관통 구멍이 형성되어 있다.
제 1 형태 및 제 2 형태에 있어서, 상기 제 2 시트는 금속박으로 이루어진다.
또한, 상기 제 2 시트는 복수개의 소자영역을 갖고, 각 소자영역은 길이방향에 있어서 서로 대향하는 제 1 단부 및 제 2 단부와, 폭방향에 있어서 서로 대향하는 제 1 측부 및 제 2 측부에 의해 구획되어 있다.
또한, 상기 제 2 시트에는 각 소자영역의 상기 제 1 단부에 걸쳐지도록 상기 소자영역의 폭보다 작은 폭을 갖는 1개 이상의 제 3 관통 구멍이 형성되어 있음과 아울러, 각 소자영역의 상기 제 2 단부에 걸쳐지도록 상기 소자영역의 폭 이상의 폭을 갖는 제 4 관통 구멍이 형성되어 있다.
제 1 형태에 있어서, (C)공정에서는 상기 제 1 시트의 각 소자영역의 상기 제 1 단부 및 상기 제 2 단부와, 상기 제 1 측부 및 상기 제 2 측부가 상기 절연 재료에 의해 피복된다.
제 1 형태에 있어서, (D)공정에서는 상기 제 1 시트의 상기 고체 전해질층 위에 상기 도전체층이 형성된다.
제 1 형태 및 제 2 형태에 있어서, (E)공정에서는 각 소자영역의 상기 제 1 단부끼리 및 상기 제 2 단부끼리가 각각 대향하도록 상기 제 1 시트와 상기 제 2 시트가 적층된다.
또한, 상기 적층 시트에 있어서는 상기 제 1 관통 구멍과 상기 제 3 관통 구멍 및 상기 제 2 관통 구멍과 상기 제 4 관통 구멍이 각각 적층방향으로 연통되어 있다.
제 1 형태 및 제 2 형태에 있어서, (F)공정에서는 상기 적층 시트의 상기 적층방향에 있어서 서로 대향하는 제 1 주면 및 제 2 주면 중 적어도 한쪽의 주면측으로부터 상기 제 1 관통 구멍과 상기 제 3 관통 구멍, 상기 제 2 관통 구멍과 상기 제 4 관통 구멍에 각각 밀봉재가 충전된다.
단, 제 2 형태에 있어서는 상기 적층 블록체는 필요에 따라 제작된다.
제 1 형태에 있어서, (G)공정에서는 상기 적층 블록체는 상기 관통 구멍에 상기 밀봉재가 충전된 밀봉부를 양측으로 분리하도록, 각 소자영역의 상기 제 1 단부 및 상기 제 2 단부의 위치에서 절단됨과 아울러, 상기 적층 블록체는 각 소자영역의 제 1 측부 및 제 2 측부를 따라 절단된 후, 상기 절단에 의해 형성되는 간극에 밀봉재가 충전되고, 또한, 상기 간극에 상기 밀봉재가 충전된 밀봉부를 양측으로 분리하도록 절단된다.
제 1 형태에 있어서, (H)공정에서는 상기 소자 적층체의 상기 길이방향에 있어서 서로 대향하는 제 1 끝면 및 제 2 끝면 중 상기 제 1 끝면에 상기 제 1 외부 전극이 형성되고, 상기 제 2 끝면에 상기 제 2 외부 전극이 형성된다.
본 발명의 고체 전해 콘덴서의 제조 방법은 제 3 형태에 있어서 이하의 공정을 구비한다.
(A')제 1 시트를 준비하는 공정;
(C)상기 제 1 시트를 절연 재료에 의해 피복하는 공정;
(D)상기 제 1 시트에 도전체층을 형성하는 공정;
(E')적층 시트를 제작하는 공정;
(F')필요에 따라서 적층 블록체를 제작하는 공정;
(G')상기 적층 시트 또는 상기 적층 블록체를 절단함으로써, 복수개의 소자 적층체를 제작하는 공정; 및
(H')상기 소자 적층체에 제 1 외부 전극 및 제 2 외부 전극을 형성하는 공정.
본 발명의 고체 전해 콘덴서의 제조 방법은 제 4 형태에 있어서 이하의 공정을 구비한다.
(A')제 1 시트를 준비하는 공정;
(E')적층 시트를 제작하는 공정;
(F')적층 블록체를 제작하는 공정;
(G)상기 적층 블록체를 절단함으로써, 복수개의 소자 적층체를 제작하는 공정; 및
(H')상기 소자 적층체에 제 1 외부 전극 및 제 2 외부 전극을 형성하는 공정.
제 3 형태 및 제 4 형태에 있어서, 상기 제 1 시트는 표면에 유전체층이 형성된 밸브 작용 금속 기체 및 상기 유전체층 위에 형성된 고체 전해질층을 구비한다.
또한, 상기 제 1 시트는 복수개의 소자영역을 갖고, 각 소자영역은 길이방향에 있어서 서로 대향하는 제 1 단부 및 제 2 단부와, 폭방향에 있어서 서로 대향하는 제 1 측부 및 제 2 측부에 의해 구획되어 있다.
또한, 상기 제 1 시트에는 각 소자영역의 상기 제 1 단부에 걸쳐지도록 상기 소자영역의 폭 이상의 폭을 갖는 제 1 관통 구멍이 형성되어 있다.
제 3 형태에 있어서, (C)공정에서는 상기 제 1 시트의 각 소자영역의 상기 제 1 단부 및 상기 제 2 단부와, 상기 제 1 측부 및 상기 제 2 측부가 상기 절연 재료에 의해 피복된다.
제 3 형태에 있어서, (D)공정에서는 상기 제 1 시트의 상기 고체 전해질층 위에 상기 도전체층이 형성된다.
제 3 형태 및 제 4 형태에 있어서, (E')공정에서는 각 소자영역의 상기 제 1 단부끼리 및 상기 제 2 단부끼리가 각각 대향하도록 상기 제 1 시트가 적층된다.
제 3 형태 및 제 4 형태의 상기 적층 블록체에 있어서는 상기 제 1 관통 구멍에 밀봉재가 충전되어 있다.
단, 제 3 형태에 있어서는 상기 적층 블록체는 필요에 따라 제작된다.
제 4 형태에 있어서, (G)공정에서는 상기 적층 블록체는 상기 관통 구멍에 상기 밀봉재가 충전된 밀봉부를 양측으로 분리하도록, 각 소자영역의 상기 제 1 단부 및 상기 제 2 단부의 위치에서 절단됨과 아울러, 상기 적층 블록체는 각 소자영역의 제 1 측부 및 제 2 측부를 따라 절단된 후, 상기 절단에 의해 형성되는 간극에 밀봉재가 충전되고, 또한, 상기 간극에 상기 밀봉재가 충전된 밀봉부를 양측으로 분리하도록 절단된다.
본 발명의 고체 전해 콘덴서는 소자 적층체와, 제 1 외부 전극과, 제 2 외부 전극을 구비한다.
상기 소자 적층체에 있어서는 제 1 층과 제 2 층이 적층되어 있다.
상기 제 1 층은 표면에 유전체층이 형성된 밸브 작용 금속 기체 및 상기 유전체층 위에 형성된 고체 전해질층을 구비한다.
상기 제 2 층은 금속박으로 이루어진다.
또한, 상기 소자 적층체에 있어서는 길이방향에 있어서 서로 대향하는 제 1 끝면 및 제 2 끝면 중 상기 제 1 끝면에 상기 금속박 및 제 1 밀봉부가 노출되고, 상기 제 2 끝면에 상기 밸브 작용 금속 기체 및 제 2 밀봉부가 노출된다.
상기 제 1 외부 전극은 상기 소자 적층체의 상기 제 1 끝면에 형성되고, 또한 상기 금속박에 접속된다.
상기 제 2 외부 전극은 상기 소자 적층체의 상기 제 2 끝면에 형성되고, 또한 상기 밸브 작용 금속 기체에 접속된다.
폭방향에 있어서 상기 금속박이 상기 제 1 끝면에 노출되는 1층당 거리의 합(A1)은 상기 금속박의 최대폭(B1)보다 작고, 또한 상기 밸브 작용 금속 기체가 상기 제 2 끝면에 노출되는 1층당 거리의 합(A2)은 상기 밸브 작용 금속 기체의 최대폭(B2)보다 작다.
본 발명에 의하면, 복수의 고체 전해 콘덴서를 효율 좋게 제조할 수 있다. 특히, 양극부가 되는 밸브 작용 금속 기체가 한쪽의 끝면에 노출되고, 음극부가 되는 금속박이 다른쪽의 끝면에 노출되는 고체 전해 콘덴서를 효율 좋게 제조할 수 있다.
도 1(a)는 제 1 시트의 일례를 모식적으로 나타내는 사시도이며, 도 1(b)는 도 1(a)의 일부를 확대한 사시도이다.
도 2(a)는 제 2 시트의 일례를 모식적으로 나타내는 사시도이며, 도 2(b)는 도 2(a)의 일부를 확대한 사시도이다.
도 3(a)는 절연성 접착층이 형성된 제 1 시트의 일례를 모식적으로 나타내는 사시도이며, 도 3(b)는 도 3(a)의 일부를 확대한 사시도이다.
도 4(a)는 절연성 접착층 및 도전체층이 형성된 제 1 시트의 일례를 모식적으로 나타내는 사시도이며, 도 4(b)는 도 4(a)의 일부를 확대한 사시도이다.
도 5(a)는 제 1 시트와 제 2 시트를 적층하기 전의 상태의 일례를 모식적으로 나타내는 사시도이며, 도 5(b)는 적층 시트의 일례를 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 6(a)는 적층 블록체의 일례를 모식적으로 나타내는 사시도이며, 도 6(b)는 도 6(a)의 일부를 분해해서 확대한 사시도이다.
도 7(a)는 절단하기 전의 밸브 작용 금속 기체를 모식적으로 나타내는 평면도이며, 도 7(b)는 절단한 후의 밸브 작용 금속 기체를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 8(a)는 절단하기 전의 금속박을 모식적으로 나타내는 평면도이며, 도 8(b)는 절단한 후의 금속박을 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 9는 소자 적층체의 일례를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 10(a) 및 도 10(b)는 소자 적층체의 일례를 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 11(a)는 절단된 후의 적층 블록체의 일례를 모식적으로 나타내는 사시도이며, 도 11(b)는 도 11(a)의 일부를 분해해서 확대한 사시도이다.
도 12(a)는 제 4 밀봉부가 형성된 적층 블록체의 일례를 모식적으로 나타내는 사시도이며, 도 12(b)는 도 12(a)의 일부를 분해해서 확대한 사시도이다.
도 13(a)는 개편화된 소자 적층체의 일례를 모식적으로 나타내는 사시도이며, 도 13(b)는 도 13(a)의 일부를 분해해서 확대한 사시도이다.
도 14는 고체 전해 콘덴서의 일례를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 15(a) 및 도 15(b)는 본 발명의 고체 전해 콘덴서의 일례의 특징부분을 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 16은 본 발명의 고체 전해 콘덴서를 구성하는 소자 적층체의 제 1 끝면을 확대한 평면도이다.
도 17은 본 발명의 고체 전해 콘덴서를 구성하는 소자 적층체의 제 2 끝면을 확대한 평면도이다.
도 18(a)는 제 1 시트의 다른 일례를 모식적으로 나타내는 사시도이며, 도 18(b)는 도 18(a)의 일부를 확대한 사시도이다.
도 19(a)는 절연성 접착층 및 도전체층이 형성된 제 1 시트의 다른 일례를 모식적으로 나타내는 사시도이며, 도 19(b)는 도 19(a)의 일부를 확대한 사시도이다.
이하, 본 발명의 고체 전해 콘덴서의 제조 방법 및 고체 전해 콘덴서에 대해서 설명한다. 그러나, 본 발명은 이하의 구성에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에 있어서 적당히 변경해서 적용할 수 있다. 또한, 이하에 있어서 기재하는 본 발명의 각각의 바람직한 구성을 2개 이상 조합한 것도 또한 본 발명이다.
이하에 나타내는 각 실시형태는 예시이며, 다른 실시형태에서 나타낸 구성의 부분적인 치환 또는 조합이 가능한 것은 말할 필요도 없다. 제 2 실시형태 이후에서는 제 1 실시형태와 공통의 사항에 대한 기술은 생략하고, 다른 점에 대해서만 설명한다. 특히, 같은 구성에 의한 같은 작용 효과에 대해서는 실시형태마다는 순차 언급하지 않는다.
(제 1 실시형태)
[고체 전해 콘덴서의 제조 방법]
이하, 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 고체 전해 콘덴서의 제조 방법의 일례에 대해서 공정마다 설명한다.
(A)제 1 시트를 준비하는 공정
우선, 제 1 시트를 준비한다. 제 1 시트는 표면에 유전체층이 형성된 밸브 작용 금속 기체 및 상기 유전체층 위에 형성된 고체 전해질층을 구비한다. 또한, 제 1 시트는 복수개의 소자영역을 갖는다. 제 1 시트에 있어서 각 소자영역은 길이방향에 있어서 서로 대향하는 제 1 단부 및 제 2 단부와, 상기 길이방향과 직교하는 폭방향에 있어서 서로 대향하는 제 1 측부 및 제 2 측부에 의해 구획되어 있다. 또한, 제 1 시트에는 각 소자영역의 상기 제 1 단부에 걸쳐지도록 상기 소자영역의 폭 이상의 폭을 갖는 제 1 관통 구멍이 형성되어 있음과 아울러, 각 소자영역의 상기 제 2 단부에 걸쳐지도록 상기 소자영역의 폭보다 작은 폭을 갖는 1개 이상의 제 2 관통 구멍이 형성되어 있다.
도 1(a)는 제 1 시트의 일례를 모식적으로 나타내는 사시도이며, 도 1(b)는 도 1(a)의 일부를 확대한 사시도이다.
도 1(a) 및 도 1(b)에 나타내는 제 1 시트(10)는 복수의 소자영역(R11)(이하, 제 1 소자영역이라고 한다)과, 복수의 소자영역(R12)(이하, 제 2 소자영역이라고 한다)을 갖고 있다.
도 1(b)에 나타낸 바와 같이, 제 1 소자영역(R11)은 길이방향(L방향)에 있어서 서로 대향하는 제 1 단부(E11) 및 제 2 단부(E12)와, 상기 길이방향과 직교하는 폭방향(W방향)에 있어서 서로 대향하는 제 1 측부(S11) 및 제 2 측부(S12)에 의해 구획되어 있다. 제 1 소자영역(R11)은 길이방향(L방향)의 치수가 폭방향(W방향)의 치수보다 크다. 그리고, 제 1 소자영역(R11)의 제 1 단부(E11)에 길이방향으로 걸쳐지도록 제 1 관통 구멍(H1)이 1개 형성되어 있음과 아울러, 제 1 소자영역(R11)의 제 2 단부(E12)에 길이방향으로 걸쳐지도록 제 2 관통 구멍(H2)이 복수개(도 1(b)에서는 3개) 형성되어 있다. 제 1 관통 구멍(H1)은 제 1 소자영역(R11)의 폭 이상의 폭을 갖는 1개의 긴 구멍으로 이루어지고, 제 2 관통 구멍(H2)은 제 1 소자영역(R11)의 폭보다 작은 폭을 갖는 복수개의 대략 둥근 구멍으로 이루어진다.
한편, 제 2 소자영역(R12)은 제 1 소자영역(R11)과 같은 형상을 갖고 있지만, 제 1 소자영역(R11)과는 제 1 단부(E11) 및 제 2 단부(E12)의 방향이 반대이다.
도 1(a)에 나타낸 바와 같이, 제 1 시트(10)에 있어서는 제 1 소자영역(R11)과 제 2 소자영역(R12)이 길이방향으로 교대로 배치되어 있다. 도 1(b)에 나타낸 바와 같이, 제 1 소자영역(R11)은 인접하는 제 2 소자영역(R12)과 제 1 단부(E11) 및 제 1 관통 구멍(H1)을 공유함과 아울러, 인접하는 다른 제 2 소자영역(R12)과 제 2 단부(E12) 및 제 2 관통 구멍(H2)을 공유하고 있다.
또한, 도 1(a)에 나타낸 바와 같이, 제 1 시트(10)에 있어서는 제 1 소자영역(R11)과 제 2 소자영역(R12)이 폭방향으로 교대로 배치되어 있다. 도 1(b)에 나타낸 바와 같이, 제 1 소자영역(R11)은 인접하는 제 2 소자영역(R12)과 제 1 측부(S11)를 공유함과 아울러, 인접하는 다른 제 2 소자영역(R12)과 제 2 측부(S12)를 공유하고 있다.
도 1(b)에 나타낸 바와 같이, 제 1 시트(10)는 다공질부(도시 생략)를 표면에 갖는 밸브 작용 금속 기체(11)와, 다공질부의 표면에 형성된 유전체층(12)과, 유전체층(12) 위의 각 소자영역의 내부에 각각 형성된 고체 전해질층(13)을 구비하고 있다. 제 1 시트(10)에서는 각 소자영역의 단부 및 측부가 절연 재료로 이루어지는 마스크층(14)에 의해 피복되어 있고, 마스크층(14)에 의해 둘러싸여진 영역에 고체 전해질층(13)이 형성되어 있다.
도 1(b)에 나타내는 제 1 시트(10)에서는 밸브 작용 금속 기체(11)가 다공질부를 양면에 갖고, 각각의 다공질부의 표면에 유전체층(12)이 형성됨과 아울러, 유전체층(12) 위에 고체 전해질층(13)이 형성되어 있다. 그러나, 제 1 시트의 한쪽의 면에 제 2 시트가 적층되지 않는 경우, 제 2 시트(금속박)가 적층되지 않는 측의 밸브 작용 금속 기체의 표면에는 고체 전해질층이 형성될 필요는 없다. 이 경우, 제 2 시트(금속박)가 적층되지 않는 측의 밸브 작용 금속 기체의 표면에는 유전체층이 형성되지 않아도 좋고, 다공질부가 형성되지 않아도 좋다. 또한, 제 1 시트(10)는 밸브 작용 금속 기체(11)가 다공질부를 편면에만 갖고, 다공질부의 표면에 유전체층(12)이 형성된 것을 사용해도 좋다.
제 1 시트는 바람직하게는 이하와 같이 제작된다.
우선, 다공질부를 표면에 갖는 밸브 작용 금속 기체(11)를 준비하고, 다공질부의 표면에 유전체층(12)을 형성한다. 예를 들면, 밸브 작용 금속 기체로서 알루미늄박이 사용되는 경우, 아디프산 암모늄 등을 포함하는 수용액 중에서 알루미늄박의 표면에 대해서 양극 산화 처리(화성 처리라고도 한다)를 행함으로써, 산화 피막으로 이루어지는 유전체층을 형성할 수 있다.
밸브 작용 금속 기체는 소위 밸브 작용을 나타내는 밸브 작용 금속으로 이루어진다. 밸브 작용 금속으로서는 예를 들면, 알루미늄, 탄탈, 니오브, 티타늄, 지르코늄 등의 금속 단체, 또는 이들 금속을 포함하는 합금 등을 들 수 있다. 이들 중에서는 알루미늄 또는 알루미늄 합금이 바람직하다.
밸브 작용 금속 기체의 형상은 평판상인 것이 바람직하고, 박상인 것이 보다 바람직하다. 또한, 다공질부는 밸브 작용 금속 기체의 표면에 형성된 에칭층, 밸브 작용 금속 기체의 표면에 인쇄, 소결에 의해 형성된 다공질층을 들 수 있다. 밸브 작용 금속이 알루미늄 또는 알루미늄 합금인 경우는 에칭층이 바람직하고, 티타늄 또는 티타늄 합금인 경우는 다공질층인 것이 바람직하다.
밸브 작용 금속 기체의 두께는 특별히 한정되지 않지만, 다공질부를 제외한 부분의 두께는 5㎛ 이상, 100㎛ 이하인 것이 바람직하다. 또한, 다공질부의 두께(편면의 두께)는 5㎛ 이상, 200㎛ 이하인 것이 바람직하다.
다공질부의 표면에 형성되는 유전체층은 다공질부의 표면상태를 반영해서 다공질로 되어 있고, 미세한 요철상의 표면형상을 갖고 있다. 유전체층은 상기 밸브 작용 금속의 산화 피막으로 이루어지는 것이 바람직하다.
또, 제조 효율을 높이는 관점에서, 유전체층이 표면에 형성된 밸브 작용 금속 기체로서 미리 화성 처리가 실시된 화성박을 사용해도 좋다.
다음에, 각 소자영역의 단부 및 측부를 피복하는 마스크층(14)을 형성하는 것이 바람직하다. 마스크층은 예를 들면, 절연성 수지 등의 절연 재료로 이루어지는 마스크재를 상기 밸브 작용 금속 기체의 표면에 도포하고, 가열 등에 의해 고화 또는 경화시킴으로써 형성된다. 마스크재의 도포는 스크린 인쇄, 디스펜서, 잉크젯 인쇄 등에 의해 행하는 것이 바람직하다.
마스크재의 절연 재료로서는 예를 들면, 폴리페닐설폰 수지, 폴리에테르설폰 수지, 시안산 에스테르 수지, 불소 수지(테트라플루오로에틸렌, 테트라플루오로에틸렌·퍼플루오로알킬비닐에테르 공중합체 등), 가용성 폴리이미드실록산과 에폭시 수지로 이루어지는 조성물, 폴리이미드 수지, 폴리아미드이미드 수지 및 이들의 유도체 또는 전구체 등의 절연성 수지를 들 수 있다.
계속해서, 각 소자영역의 제 1 단부(E11)에 걸쳐지도록 제 1 관통 구멍(H1)을 형성함과 아울러, 각 소자영역의 제 2 단부(E12)에 걸쳐지도록 제 2 관통 구멍(H2)을 형성한다. 제 1 관통 구멍 및 제 2 관통 구멍은 예를 들면, 레이저 가공, 에칭 가공, 펀칭 가공 등에 의해 형성된다.
그 후, 유전체층(12) 위의 각 소자영역의 내부에 각각 고체 전해질층(13)을 형성한다. 이 때, 마스크층(14)에 의해 둘러싸여진 영역에 고체 전해질층(13)을 형성하는 것이 바람직하다. 예를 들면, 이하의 처리액 또는 분산액을 스펀지 전사, 스크린 인쇄, 디스펜서, 잉크젯 인쇄 등에 의해 유전체층 위에 도포함으로써, 소정의 영역에 고체 전해질층을 형성할 수 있다.
고체 전해질층은 예를 들면, 3,4-에틸렌디옥시티오펜 등의 모노머를 포함하는 처리액을 사용하여 유전체층의 표면에 폴리(3,4-에틸렌디옥시티오펜) 등의 중합막을 형성하는 방법이나, 폴리(3,4-에틸렌디옥시티오펜) 등의 폴리머의 분산액을 유전체층의 표면에 도포해서 건조시키는 방법 등에 의해 형성된다. 또한, 유전체층의 가는 구멍(오목부)을 충전하는 내층을 형성한 후, 유전체층을 피복하는 외층을 형성함으로써, 고체 전해질층을 형성하는 것이 바람직하다.
고체 전해질층을 구성하는 재료로서는 예를 들면, 폴리피롤류, 폴리티오펜류, 폴리아닐린류 등의 도전성 고분자 등을 들 수 있다. 이들 중에서는 폴리티오펜류가 바람직하고, PEDOT라고 불리는 폴리(3,4-에틸렌디옥시티오펜)이 특히 바람직하다. 또한, 상기 도전성 고분자는 폴리스티렌술폰산(PSS) 등의 도펀트를 포함하고 있어도 좋다.
또한, 제 1 관통 구멍(H1) 및 제 2 관통 구멍(H2)은 마스크층(14)을 형성하기 전에 형성해도 좋고, 고체 전해질층(13)을 형성한 후에 형성해도 좋다.
제 1 시트 전체의 사이즈는 소자영역의 사이즈, 형상, 수, 배치, 생산 능력 등에 따라 결정되는 것이며, 특별히 한정되지 않는다. 제 1 시트의 소자영역의 형상은 특별히 한정되지 않지만, 직사각형인 것이 바람직하다. 이 경우, 제 1 단부 및 제 2 단부는 제 1 측부 및 제 2 측부보다 짧아도 좋고, 길어도 좋다.
제 1 시트는 제조 효율의 관점에서 복수개의 소자영역을 갖는다. 특히, 제 1 시트가 제 1 소자영역 및 제 2 소자영역을 갖고, 제 1 소자영역과 제 2 소자영역이 길이방향으로 교대로 배치되어 있는 것이 바람직하고, 제 1 소자영역과 제 2 소자영역이 폭방향으로도 교대로 배치되어 있는 것이 보다 바람직하다. 제 1 소자영역과 제 2 소자영역이 교대로 배치될 경우, 제 1 관통 구멍이 제 1 시트의 폭방향으로 편재하지 않으므로, 시트의 강도가 저하되기 어려워진다.
제 1 시트에 있어서, 제 1 소자영역과 제 2 소자영역이 길이방향으로 교대로 배치되어 있는 경우, 제 1 소자영역은 인접하는 제 2 소자영역과 제 1 단부 및 제 1 관통 구멍을 공유함과 아울러, 인접하는 다른 제 2 소자영역과 제 2 단부 및 제 2 관통 구멍을 공유하는 것이 바람직하다. 이 경우, 소자영역을 분할하기 위한 절단 횟수 및 폐기해야 할 부분을 줄일 수 있다.
그러나, 제 1 시트가 제 1 소자영역 및 제 2 소자영역을 갖는 경우, 제 1 소자영역과 제 2 소자영역이 길이방향으로 교대로 배치되어 있지 않아도 좋고, 폭방향으로 교대로 배치되어 있지 않아도 좋다. 또한, 제 1 소자영역과 제 2 소자영역이 길이방향으로 교대로 배치되어 있는 경우, 제 1 소자영역은 인접하는 제 2 소자영역과 제 1 단부 및 제 1 관통 구멍을 공유하지 않아도 좋고, 인접하는 다른 제 2 소자영역과 제 2 단부 및 제 2 관통 구멍을 공유하지 않아도 좋다. 또한, 제 1 소자영역과 제 2 소자영역이 폭방향으로 교대로 배치되어 있는 경우, 제 1 소자영역은 인접하는 제 2 소자영역과 제 1 측부를 공유하지 않아도 좋고, 인접하는 다른 제 2 소자영역과 제 2 측부를 공유하지 않아도 좋다.
제 1 관통 구멍은 소자영역의 폭 이상의 폭을 갖는 한, 그 형상은 특별히 한정되지 않는다.
제 2 관통 구멍은 소자영역의 폭보다 작은 폭을 갖는 한, 그 형상, 개수 및 배치 등은 특별히 한정되지 않지만, 각각의 소자영역에 있어서 폭방향으로 2개 이상 형성되어 있는 것이 바람직하다. 제 2 관통 구멍이 2개 이상 형성되어 있는 경우, 이들 관통 구멍은 등간격으로 형성되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 제 2 관통 구멍의 1개당 폭이 지나치게 작으면, 후술하는 공정에 있어서 밀봉재를 충전하는 것이 곤란해지고, 한편, 소자영역의 폭에 대한 제 2 관통 구멍의 폭의 합계의 비율이 지나치게 크면, 고체 전해 콘덴서의 끝면에 노출되는 밸브 작용 금속 기체의 비율이 작아지므로 ESR이 증대되기 쉬워진다.
(B)제 2 시트를 준비하는 공정
별도로 제 2 시트를 준비한다. 제 2 시트는 금속박으로 이루어진다. 또한, 제 2 시트는 복수개의 소자영역을 갖는다. 제 2 시트에 있어서 각 소자영역은 길이방향에 있어서 서로 대향하는 제 1 단부 및 제 2 단부와, 상기 길이방향과 직교하는 폭방향에 있어서 서로 대향하는 제 1 측부 및 제 2 측부에 의해 구획되어 있다. 또한, 제 2 시트에는 각 소자영역의 상기 제 1 단부에 걸쳐지도록 상기 소자영역의 폭보다 작은 폭을 갖는 1개 이상의 제 3 관통 구멍이 형성되어 있음과 아울러, 각 소자영역의 상기 제 2 단부에 걸쳐지도록 상기 소자영역의 폭 이상의 폭을 갖는 제 4 관통 구멍이 형성되어 있다.
도 2(a)는 제 2 시트의 일례를 모식적으로 나타내는 사시도이며, 도 2(b)는 도 2(a)의 일부를 확대한 사시도이다.
도 2(a) 및 도 2(b)에 나타내는 제 2 시트(20)는 복수의 소자영역(R21)(이하, 제 1 소자영역이라고 한다)과, 복수의 소자영역(R22)(이하, 제 2 소자영역이라고 한다)을 갖고 있다.
도 2(b)에 나타낸 바와 같이, 제 1 소자영역(R21)은 길이방향(L방향)에 있어서 서로 대향하는 제 1 단부(E21) 및 제 2 단부(E22)와, 상기 길이방향과 직교하는 폭방향(W방향)에 있어서 서로 대향하는 제 1 측부(S21) 및 제 2 측부(S22)에 의해 구획되어 있다. 그리고, 제 1 소자영역(R21)의 제 1 단부(E21)에 길이방향으로 걸쳐지도록 제 3 관통 구멍(H3)이 복수개(도 2(b)에서는 3개) 형성되어 있음과 아울러, 제 1 소자영역(R21)의 제 2 단부(E22)에 길이방향으로 걸쳐지도록 제 4 관통 구멍(H4)이 1개 형성되어 있다. 제 3 관통 구멍(H3)은 제 1 소자영역(R21)의 폭보다 작은 폭을 갖는 복수개의 대략 둥근 구멍으로 이루어지고, 제 4 관통 구멍(H4)은 제 1 소자영역(R21)의 폭 이상의 폭을 갖는 1개의 긴 구멍으로 이루어진다.
한편, 제 2 소자영역(R22)은 제 1 소자영역(R21)과 같은 형상을 갖고 있지만, 제 1 소자영역(R21)과는 제 1 단부(E21) 및 제 2 단부(E22)의 방향이 반대이다.
도 2(a)에 나타낸 바와 같이, 제 2 시트(20)에 있어서는 제 1 소자영역(R21)과 제 2 소자영역(R22)이 길이방향으로 교대로 배치되어 있다. 도 2(b)에 나타낸 바와 같이, 제 1 소자영역(R21)은 인접하는 제 2 소자영역(R22)과 제 1 단부(E21) 및 제 3 관통 구멍(H3)을 공유함과 아울러, 인접하는 다른 제 2 소자영역(R22)과 제 2 단부(E22) 및 제 4 관통 구멍(H4)을 공유하고 있다.
또한, 도 2(a)에 나타낸 바와 같이, 제 2 시트(20)에 있어서는 제 1 소자영역(R21)과 제 2 소자영역(R22)이 폭방향으로 교대로 배치되어 있다. 도 2(b)에 나타낸 바와 같이, 제 1 소자영역(R21)은 인접하는 제 2 소자영역(R22)과 제 1 측부(S21)를 공유함과 아울러, 인접하는 다른 제 2 소자영역(R22)과 제 2 측부(S22)를 공유하고 있다.
도 2(b)에 나타낸 바와 같이, 제 2 시트(20)는 금속박(21)으로 이루어진다.
제 2 시트는 바람직하게는 이하와 같이 제작된다.
우선, 금속박(21)을 준비한다.
금속박은 알루미늄, 구리, 은 및 이들 금속을 주성분으로 하는 합금으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 1종의 금속으로 이루어지는 것이 바람직하다.
금속박이 상기 금속으로 이루어지면, 금속박의 저항값을 저감시킬 수 있고, ESR을 저감시킬 수 있다.
또, 금속박으로서 표면에 스퍼터나 증착 등의 성막 방법에 의해 카본 코팅되거나 티타늄 코팅된 금속박을 사용해도 좋다.
금속박의 두께는 특별히 한정되지 않지만, ESR을 저감시키는 관점에서는 5㎛ 이상, 100㎛ 이하인 것이 바람직하다.
금속박의 표면에는 조화면(粗化面)이 형성되어 있는 것이 바람직하다.
금속박의 표면에 조화면이 형성되어 있으면, 금속박과 고체 전해질층의 밀착성, 또는 금속박과 다른 도전체층의 밀착성이 개선되므로, ESR을 저감시킬 수 있다.
조화면의 형성 방법은 특별히 한정되지 않고, 에칭 등에 의해 조화면을 형성해도 좋다. 특히 알루미늄을 사용하는 경우는 조면화 처리(에칭 처리)가 실시된 것에 카본 코팅이나 티타늄 코팅을 행하는 것이 저저항화의 점에서 바람직하다.
또, 금속박의 표면에는 앵커 코팅제로 이루어지는 코팅층이 형성되어 있어도 좋다. 금속박의 표면에 앵커 코팅제로 이루어지는 코팅층이 형성되어 있으면, 금속박과 고체 전해질층의 밀착성, 또는 금속박과 다른 도전체층의 밀착성이 개선되므로, ESR을 저감시킬 수 있다.
계속해서, 각 소자영역의 제 1 단부(E21)에 걸쳐지도록 제 3 관통 구멍(H3)을 형성함과 아울러, 각 소자영역의 제 2 단부(E22)에 걸쳐지도록 제 4 관통 구멍(H4)을 형성한다. 제 3 관통 구멍 및 제 4 관통 구멍은 예를 들면, 레이저 가공, 에칭 가공, 펀칭 가공 등에 의해 형성된다.
제 2 시트 전체의 사이즈는 특별히 한정되지 않지만, 제 1 시트 전체의 사이즈와 같은 것이 바람직하다. 제 2 시트의 소자영역의 형상, 수 및 배치는 대향하는 제 1 시트의 소자영역의 형상, 수 및 배치와 같은 것이 바람직하다.
제 2 시트는 제조 효율의 관점에서 복수개의 소자영역을 갖는다. 특히, 제 2 시트가 제 1 소자영역 및 제 2 소자영역을 갖고, 제 1 소자영역과 제 2 소자영역이 길이방향으로 교대로 배치되어 있는 것이 바람직하고, 제 1 소자영역과 제 2 소자영역이 폭방향으로도 교대로 배치되어 있는 것이 보다 바람직하다. 제 1 소자영역과 제 2 소자영역이 교대로 배치될 경우, 제 4 관통 구멍이 제 2 시트의 폭방향으로 편재되지 않으므로, 시트의 강도가 저하되기 어려워진다.
제 2 시트에 있어서, 제 1 소자영역과 제 2 소자영역이 길이방향으로 교대로 배치되어 있는 경우, 제 1 소자영역은 인접하는 제 2 소자영역과 제 1 단부 및 제 3 관통 구멍을 공유함과 아울러, 인접하는 다른 제 2 소자영역과 제 2 단부 및 제 4 관통 구멍을 공유하는 것이 바람직하다. 이 경우, 소자영역을 분할하기 위한 절단 횟수 및 폐기해야 할 부분을 줄일 수 있다.
그러나, 제 2 시트가 제 1 소자영역 및 제 2 소자영역을 갖는 경우, 제 1 소자영역과 제 2 소자영역이 길이방향으로 교대로 배치되어 있지 않아도 좋고, 폭방향으로 교대로 배치되어 있지 않아도 좋다. 또한, 제 1 소자영역과 제 2 소자영역이 길이방향으로 교대로 배치되어 있는 경우, 제 1 소자영역은 인접하는 제 2 소자영역과 제 1 단부 및 제 3 관통 구멍을 공유하지 않아도 좋고, 인접하는 다른 제 2 소자영역과 제 2 단부 및 제 4 관통 구멍을 공유하지 않아도 좋다. 또한, 제 1 소자영역과 제 2 소자영역이 폭방향으로 교대로 배치되어 있는 경우, 제 1 소자영역은 인접하는 제 2 소자영역과 제 1 측부를 공유하지 않아도 좋고, 인접하는 다른 제 2 소자영역과 제 2 측부를 공유하지 않아도 좋다.
제 3 관통 구멍은 소자영역의 폭보다 작은 폭을 갖는 한, 그 형상, 개수 및 배치 등은 특별히 한정되지 않지만, 각각의 소자영역에 있어서 폭방향으로 2개 이상 형성되어 있는 것이 바람직하다. 제 3 관통 구멍이 2개 이상 형성되어 있는 경우, 이들 관통 구멍은 등간격으로 형성되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 제 3 관통 구멍의 1개당 폭이 지나치게 작으면, 후술하는 공정에 있어서 밀봉재를 충전하는 것이 곤란해지고, 한편, 소자영역의 폭에 대한 제 3 관통 구멍의 폭의 합계의 비율이 지나치게 크면, 고체 전해 콘덴서의 끝면에 노출되는 금속박의 비율이 작아지므로 ESR이 증대되기 쉬워진다.
제 4 관통 구멍은 소자영역의 폭 이상의 폭을 갖는 한, 그 형상은 특별히 한정되지 않는다.
(E)적층 시트를 제작하는 공정
각 소자영역의 제 1 단부끼리 및 제 2 단부끼리가 각각 대향하도록 제 1 시트와 제 2 시트를 적층함으로써, 적층 시트를 제작한다. 얻어지는 적층 시트에 있어서는 제 1 관통 구멍과 제 3 관통 구멍 및 제 2 관통 구멍과 제 4 관통 구멍이 각각 적층방향으로 연통되어 있다.
제 2 관통 구멍 및 제 3 관통 구멍은 각각 적층 시트의 제 1 주면으로부터 제 2 주면을 향해서 직선상으로 연통되어 있는 것이 바람직하다.
제 1 시트와 제 2 시트를 적층할 때에는 고체 전해질층 위에 형성된 다른 도전체층을 통해 밸브 작용 금속 기체와 금속박을 접속한다. 이 경우, 도전체층 위에 형성된 도전성 접착제층을 통해 밸브 작용 금속 기체와 금속박을 접속해도 좋다.
또, 고체 전해질층, 도전체층 또는 도전성 접착제층이 형성되어 있지 않은 부분에 대해서는 절연성 접착층을 통해 밸브 작용 금속 기체와 금속박을 접속하는 것이 바람직하다.
도 3(a)는 절연성 접착층이 형성된 제 1 시트의 일례를 모식적으로 나타내는 사시도이며, 도 3(b)는 도 3(a)의 일부를 확대한 사시도이다.
도 3(a) 및 도 3(b)에서는 도 1(a) 및 도 1(b)에 나타내는 제 1 시트(10)의 마스크층(14) 위에 절연성 접착층(15)이 형성되어 있다.
절연성 접착층은 예를 들면, 절연성 수지 등의 절연 재료를 마스크층 위에 도포하고, 가열 등에 의해 고화 또는 경화시킴으로써 형성된다. 절연 재료의 도포는 스크린 인쇄, 디스펜서, 잉크젯 인쇄 등에 의해 행하는 것이 바람직하다.
이렇게, 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 고체 전해 콘덴서의 제조 방법은 (C)제 1 시트를 절연 재료에 의해 피복하는 공정을 구비한다. (C)공정에서는 제 1 시트의 각 소자영역의 제 1 단부 및 제 2 단부와, 제 1 측부 및 제 2 측부가 절연 재료에 의해 피복된다.
(C)절연 재료에 의해 피복하는 공정은 마스크층을 형성하는 공정과, 상기 마스크층 위에 절연성 접착층을 형성하는 공정을 구비하는 것이 바람직하다.
절연성 접착층은 마스크층과 성분이나 점도가 같아도 좋지만, 마스크층과 성분이나 점도가 다른 것이 바람직하다.
마스크층과 절연성 접착층을 합친 두께방향의 높이는 고체 전해질층의 두께방향의 높이와 같아도 좋지만, 고체 전해질층의 두께방향의 높이보다 큰 것이 바람직하다.
도 4(a)는 절연성 접착층 및 도전체층이 형성된 제 1 시트의 일례를 모식적으로 나타내는 사시도이며, 도 4(b)는 도 4(a)의 일부를 확대한 사시도이다. 도 4(a) 및 도 4(b)에서는 도 1(a) 및 도 1(b)에 나타내는 제 1 시트(10)의 마스크층(14) 위에 절연성 접착층(15)이 형성되어 있음과 아울러, 고체 전해질층(13) 위에 도전체층(16)이 형성되어 있다.
이렇게, 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 고체 전해 콘덴서의 제조 방법은 (D)제 1 시트에 도전체층을 형성하는 공정을 구비한다. (D)공정에서는 제 1 시트의 고체 전해질층 위에 도전체층이 형성된다.
도전체층은 카본층만으로 구성되는 것이 바람직하지만, 은층만으로 구성되어도 좋고, 하지인 카본층과, 그 위의 은층의 2층으로 구성되어도 좋다. 카본층 및 은층은 예를 들면, 카본 페이스트 및 은 페이스트를 각각 도포함으로써 형성할 수 있다.
제 1 시트와 제 2 시트를 적층할 때에는 금속박 밑에 위치하는 층이 점성이 있는 상태로 금속박을 적재하는 것이 바람직하다. 건조시키기 전의 카본 페이스트, 은 페이스트 또는 고체 전해질층은 점성이 있는 상태이므로, 금속박을 직접 적재하는 것에 적합하다. 한편, 금속박 밑에 위치하는 층으로서의 카본층, 은층 또는 고체 전해질층을 건조시켰을 경우에는 금속박을 접착시키기 어려워지므로, 도전성 접착제층을 형성한 후에 금속박을 적재하는 것이 바람직하다.
도 5(a)는 제 1 시트와 제 2 시트를 적층하기 전의 상태의 일례를 모식적으로 나타내는 사시도이며, 도 5(b)는 적층 시트의 일례를 모식적으로 나타내는 사시도이다. 도 5(a)에 나타낸 바와 같이, 제 1 시트(10)와 제 2 시트(20)를 교대로 적층함으로써, 도 5(b)에 나타내는 적층 시트(30)가 얻어진다. 적층 시트(30)는 적층방향(T방향)에 있어서 서로 대향하는 제 1 주면(M31) 및 제 2 주면(M32)을 갖는다. 또한, 도 5(b)에서는 절연성 접착층(15) 등을 생략하고 있다(이하도 같음).
도 5(a) 및 도 5(b)에서는 제 1 시트(10) 및 제 2 시트(20)가 5매씩 적층되고, 또한 적층 시트(30)의 제 1 주면(M31)에 제 2 시트(20), 제 2 주면(M32)에 제 1 시트(10)가 각각 배치된 예를 나타냈지만, 제 1 시트 및 제 2 시트를 적층하는 매수는 특별히 한정되지 않는다. 또한, 제 1 시트의 매수와 제 2 시트의 매수는 같아도 좋고, 달라도 좋다. 따라서, 적층 시트의 주면에는 제 1 시트 및 제 2 시트의 어느 쪽이 배치되어도 좋다. 또한, 적층 시트를 제작할 때, 유리 에폭시 수지 등으로 이루어지는 기판 위에 제 1 시트 및 제 2 시트를 적층해도 좋다.
(F)적층 블록체를 제작하는 공정
얻어진 적층 시트의 적어도 한쪽의 주면측으로부터 제 1 관통 구멍과 제 3 관통 구멍, 제 2 관통 구멍과 제 4 관통 구멍에 각각 밀봉재를 충전함으로써, 적층 블록체를 제작한다.
상술한 바와 같이, 적층 시트에 있어서는 제 1 관통 구멍과 제 3 관통 구멍 및 제 2 관통 구멍과 제 4 관통 구멍이 각각 적층방향으로 연통되어 있기 때문에, 적층 시트의 주면측으로부터 각각의 관통 구멍에 밀봉재를 충전할 수 있다. 그 결과, 얻어지는 적층 블록체에 있어서는 제 1 관통 구멍 및 제 3 관통 구멍을 충전하는 제 1 밀봉부 및 제 2 관통 구멍과 제 4 관통 구멍을 충전하는 제 2 밀봉부가 형성된다.
밀봉재의 충전은 예를 들면, 몰드 수지 성형법 등의 방법에 의해 행할 수 있다. 이 때, 제 1 밀봉부 및 제 2 밀봉부에 추가해서, 적층 시트의 적어도 한쪽의 주면을 피복하는 제 3 밀봉부를 동시에 형성할 수 있다. 이렇게, (F)적층 블록을 제작하는 공정에서는 밀봉재를 사용해서 적층 시트의 적어도 한쪽의 주면을 피복하는 공정을 동시에 행하는 것이 바람직하다.
도 6(a)는 적층 블록체의 일례를 모식적으로 나타내는 사시도이며, 도 6(b)는 도 6(a)의 일부를 분해해서 확대한 사시도이다.
도 6(a)에 나타내는 적층 블록체(40)에 있어서는 제 1 관통 구멍과 제 3 관통 구멍, 제 2 관통 구멍과 제 4 관통 구멍에 각각 밀봉재를 충전함으로써, 도 6(b)에 나타낸 바와 같이, 제 1 관통 구멍(H1) 및 제 3 관통 구멍(H3)을 충전하는 제 1 밀봉부(131) 및 제 2 관통 구멍(H2)과 제 4 관통 구멍(H4)을 충전하는 제 2 밀봉부(132)가 형성된다.
또한, 도 6(a)에 나타낸 바와 같이, 적층 블록체(40)는 각각의 주면을 피복하는 제 3 밀봉부(133)를 더 구비하고 있다.
밀봉재는 적어도 수지를 포함하고, 바람직하게는 수지 및 필러를 포함한다.
밀봉재에 포함되는 수지로서는 예를 들면, 에폭시 수지, 페놀 수지 등을 들 수 있다. 또한, 밀봉재에 포함되는 필러로서는 예를 들면, 실리카 입자, 알루미나 입자, 금속 입자 등을 들 수 있다.
밀봉재가 수지 및 필러를 포함하는 경우, 밀봉재의 충전성을 확보하는 관점에서 필러의 최대지름은 제 2 관통 구멍 및 제 3 관통 구멍의 최소지름보다 작은 것이 바람직하다.
또한, 관통 구멍의 지름이란 단면형상이 원형인 경우에는 직경, 원형 이외의 경우에는 단면의 중심을 지나는 최대길이를 말한다.
또, 밀봉재가 수지 및 필러를 포함하는 경우, 밀봉재의 충전성을 확보하는 관점에서 필러의 최대지름은 금속박의 최소두께보다 작은 것이 바람직하다.
밀봉재에 포함되는 필러 지름의 최대지름은 예를 들면, 30㎛ 이상, 40㎛ 이하의 범위에 있는 것이 바람직하다.
(G)적층 블록체를 절단함으로써, 복수개의 소자 적층체를 제작하는 공정
적층 블록체를 각 소자영역의 제 1 단부 및 제 2 단부의 위치에서 절단함과 아울러, 각 소자영역의 제 1 측부 및 제 2 측부의 위치에서 절단함으로써, 복수개의 소자 적층체를 제작한다.
도 7(a)는 절단하기 전의 밸브 작용 금속 기체를 모식적으로 나타내는 평면도이며, 도 7(b)는 절단한 후의 밸브 작용 금속 기체를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 7(a)에 나타낸 바와 같이, 적층 블록체에 포함되는 제 1 시트를 구성하는 밸브 작용 금속 기체(11)에는 각 소자영역의 제 1 단부(E11)에 걸쳐지는 제 1 관통 구멍(H1)을 충전하는 제 1 밀봉부(131) 및 각 소자영역의 제 2 단부(E12)에 걸쳐지는 제 2 관통 구멍(H2)을 충전하는 제 2 밀봉부(132)가 형성되어 있다.
따라서, 각 소자영역의 제 1 단부(E11) 및 제 2 단부(E12)의 위치에서 제 1 밀봉부(131) 및 제 2 밀봉부(132)를 양측으로 분리하도록 밸브 작용 금속 기체(11)를 다이싱 등으로 절단하면, 도 7(b)에 나타낸 바와 같이, 제 1 단부(E11)측의 절단면인 제 1 끝면(E101)에는 제 1 밀봉부(131)가 노출되고, 밸브 작용 금속 기체(11)가 노출되지 않는다. 한편, 제 2 단부(E12)측의 절단면인 제 2 끝면(E102)에는 밸브 작용 금속 기체(11) 및 제 2 밀봉부(132)가 노출된다.
또, 각 소자영역의 제 1 측부(S11) 및 제 2 측부(S12)의 위치에서 밸브 작용 금속 기체(11)를 다이싱 등으로 절단하면, 도 7(b)에 나타낸 바와 같이, 어느 쪽의 절단면에나 밸브 작용 금속 기체(11)가 노출된다.
도 8(a)는 절단하기 전의 금속박을 모식적으로 나타내는 평면도이며, 도 8(b)는 절단한 후의 금속박을 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 8(a)에 나타낸 바와 같이, 적층 블록체에 포함되는 제 2 시트를 구성하는 금속박(21)에는 각 소자영역의 제 1 단부(E21)에 걸쳐지는 제 3 관통 구멍(H3)을 충전하는 제 1 밀봉부(131) 및 각 소자영역의 제 2 단부(E22)에 걸쳐지는 제 4 관통 구멍(H4)을 충전하는 제 2 밀봉부(132)가 형성되어 있다.
따라서, 각 소자영역의 제 1 단부(E21) 및 제 2 단부(E22)의 위치에서, 제 1 밀봉부(131) 및 제 2 밀봉부(132)를 양측으로 분리하도록 금속박(21)을 다이싱 등으로 절단하면, 도 8(b)에 나타낸 바와 같이, 제 1 단부(E21)측의 절단면인 제 1 끝면(E101)에는 금속박(21) 및 제 1 밀봉부(131)가 노출된다. 한편, 제 2 단부(E22)측의 절단면인 제 2 끝면(E102)에는 제 2 밀봉부(132)가 노출되고, 금속박(21)이 노출되지 않는다.
또, 각 소자영역의 제 1 측부(S21) 및 제 2 측부(S22)의 위치에서 금속박(21)을 절단하면, 도 8(b)에 나타낸 바와 같이, 어느 쪽의 절단면에나 금속박(21)이 노출된다.
이상과 같이, 적층 블록체를 각 소자영역의 제 1 단부 및 제 2 단부의 위치에서 절단함으로써, 얻어지는 소자 적층체의 제 1 끝면에는 금속박 및 제 1 밀봉부를 노출시킬 수 있고, 제 2 끝면에는 밸브 작용 금속 기체 및 제 2 밀봉부를 노출시킬 수 있다.
또, 적층 블록체를 각 소자영역의 제 1 측부 및 제 2 측부의 위치에서 절단함으로써 얻어지는 절단면에는 금속박 및 밸브 작용 금속 기체의 양쪽이 노출되므로, 소자 적층체의 각각의 측면을 피복하는 제 4 밀봉부를 형성하는 것이 바람직하다.
도 9는 소자 적층체의 일례를 모식적으로 나타내는 단면도이다. 도 10(a) 및 도 10(b)는 소자 적층체의 일례를 모식적으로 나타내는 사시도이다. 또한, 도 9는 도 10(a)에 나타내는 소자 적층체의 A-A선 단면도이다.
도 9, 도 10(a) 및 도 10(b)에 나타내는 소자 적층체(100)에 있어서는 도 9에 나타낸 바와 같이, 다공질부(도시 생략)를 표면에 갖는 밸브 작용 금속 기체(11), 상기 다공질부의 표면에 형성된 유전체층(12) 및 유전체층(12) 위에 형성된 고체 전해질층(13)을 구비하는 제 1 층(110)과, 금속박(21)으로 이루어지는 제 2 층(120)이 적층되어 있다. 제 1 층(110)과 제 2 층(120)은 적층방향(T방향)을 따라 교대로 적층되지만, 내습이나 내열 등의 내후성을 고려하면, 도 9에 나타낸 바와 같이, 적층방향의 서로 대향하는 최외층(제 3 밀봉부(133)를 제외한다)에 금속박인 제 2 층(120)이 각각 위치하고 있는 것이 바람직하다.
또한, 도 9, 도 10(a) 및 도 10(b)에서는 마스크층(14), 절연성 접착층(15), 도전체층(16)을 생략하고 있다.
도 9, 도 10(a) 및 도 10(b)에 나타낸 바와 같이, 소자 적층체(100)는 적층방향(T방향)에 있어서 서로 대향하는 제 1 주면(M101) 및 제 2 주면(M102), 적층방향과 직교하는 길이방향(L방향)에 있어서 서로 대향하는 제 1 끝면(E101) 및 제 2 끝면(E102) ,및 적층방향 및 길이방향과 직교하는 폭방향(W방향)에 있어서 서로 대향하는 제 1 측면(S101) 및 제 2 측면(S102)을 갖는다.
도 9 및 도 10(a)에 나타낸 바와 같이, 소자 적층체(100)의 제 1 끝면(E101)에는 금속박(21) 및 제 1 밀봉부(131)가 노출되어 있다. 한편, 도 9 및 도 10(b)에 나타낸 바와 같이, 소자 적층체(100)의 제 2 끝면(E102)에는 밸브 작용 금속 기체(11) 및 제 2 밀봉부(132)가 노출되어 있다. 또한, 소자 적층체(100)의 제 2 끝면(E102)에는 유전체층(12)도 노출되어 있지만, 이하의 설명에 있어서는 단지 「밸브 작용 금속 기체(11) 및 제 2 밀봉부(132)가 노출된다」라고 기재한다.
또, 소자 적층체(100)는 각각의 주면을 피복하는 제 3 밀봉부(133) 및 각각의 측면을 피복하는 제 4 밀봉부(134)를 더 구비하고 있다.
소자 적층체는 바람직하게는 이하와 같이 제작된다.
우선, 적층 블록체를 각 소자영역의 제 1 측부 및 제 2 측부를 따라 절단한다. 적층 블록체의 절단에는 예를 들면, 다이서를 사용한 다이싱 등의 방법이 적용된다.
도 11(a)는 절단된 후의 적층 블록체의 일례를 모식적으로 나타내는 사시도이며, 도 11(b)는 도 11(a)의 일부를 분해해서 확대한 사시도이다.
예를 들면, 도 6(a)에 나타내는 적층 블록체(40)를 각 소자영역의 제 1 측부 및 제 2 측부를 따라 절단함으로써, 도 11(a) 및 도 11(b)에 나타낸 바와 같이, 제 1 측부 및 제 2 측부를 따른 간극(G)이 형성된 적층 블록체(40a)를 제작한다. 적층 블록체(40a)에 있어서는 도 11(b)에 나타낸 바와 같이, 절단에 의해 나타난 절단 측면에는 금속박(21) 및 밸브 작용 금속 기체(11)가 노출된다. 또한, 도시되어 있지 않지만, 금속박(21) 및 밸브 작용 금속 기체(11)의 노출부의 두께(T방향의 두께)는 노출되어 있지 않은 내부의 금속박(21) 및 밸브 작용 금속 기체(11)의 두께에 비해서 크고, 두께방향의 상하로 테이퍼상으로 넓어져 있다.
다음에, 적층 블록체에 형성된 간극에 밀봉재를 충전한다. 이것에 의해, 상기 간극을 충전하는 제 4 밀봉부가 형성된다. 밀봉재로서는 예를 들면, 제 1 밀봉부 및 제 2 밀봉부를 형성하기 위한 밀봉재를 사용할 수 있다.
도 12(a)는 제 4 밀봉부가 형성된 적층 블록체의 일례를 모식적으로 나타내는 사시도이며, 도 12(b)는 도 12(a)의 일부를 분해해서 확대한 사시도이다. 도 11(a)에 나타내는 적층 블록체(40a)의 간극(G)에 밀봉재를 충전함으로써, 도 12(a) 및 도 12(b)에 나타낸 바와 같이, 간극(G)을 충전하는 제 4 밀봉부(134)가 형성된 적층 블록체(40b)를 제작한다.
그 후, 적층 블록체를 각 소자영역의 제 1 단부 및 제 2 단부의 위치에서 제 1 밀봉부(131) 및 제 2 밀봉부(132)를 양측으로 분리하도록 절단함과 아울러, 각 소자영역의 제 1 측부 및 제 2 측부의 위치에서 제 4 밀봉부(134)를 양측으로 분리하도록 절단한다. 이것에 의해, 제 1 측부 및 제 2 측부가 밀봉부에 의해 절연화된 소자 적층체로 개편화될 수 있다. 적층 블록체의 절단에는 예를 들면, 다이서를 사용한 다이싱이나 컷팅날, 레이저 가공, 스크라이브 등의 방법이 적용된다. 또한, 유리 에폭시 수지 등으로 이루어지는 기판 위에 제 1 시트 및 제 2 시트를 적층하는 경우는 금속박인 제 2 시트를 확실하게 절단하기 위해서, 기판을 하프 커팅하는 위치까지 절단하는 것이 바람직하다. 또한 하프 커팅함으로써, 각 소자영역의 제 1 측부 및 제 2 측부로부터 기판에 걸쳐서 단차형상이 생겨나고, 이 단차형상이 제 4 밀봉부(134)의 일부에서 파묻혀진 상태가 된다.
도 13(a)는 개편화된 소자 적층체의 일례를 모식적으로 나타내는 사시도이며, 도 13(b)는 도 13(a)의 일부를 분해해서 확대한 사시도이다.
도 12(a)에 나타내는 적층 블록체(40b)를 각 소자영역의 제 1 단부 및 제 2 단부의 위치에서 절단함과 아울러, 각 소자영역의 제 1 측부 및 제 2 측부의 위치에서 절단함으로써, 도 13(a)에 나타내는 소자 적층체(100)가 얻어진다. 이 때, 도 13(a) 및 도 13(b)에 나타낸 바와 같이, 제 1 측부 및 제 2 측부의 위치에서 절단함으로써 나타난 절단 측면이 제 4 밀봉부(134)로 구성되도록 적층 블록체(40b)가 절단된다.
(H)제 1 외부 전극 및 제 2 외부 전극을 형성하는 공정
얻어진 소자 적층체에 대해서 제 1 끝면에 제 1 외부 전극을 형성하고, 제 2 끝면에 제 2 외부 전극을 형성한다. 이상에 의해, 고체 전해 콘덴서가 얻어진다.
도 14는 고체 전해 콘덴서의 일례를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 14에 나타내는 고체 전해 콘덴서(1)는 도 9에 나타내는 소자 적층체(100)와, 소자 적층체(100)의 제 1 끝면(E101)에 형성된 제 1 외부 전극(141)과, 소자 적층체(100)의 제 2 끝면(E102)에 형성된 제 2 외부 전극(142)을 구비하고 있다. 제 1 외부 전극(141)은 제 1 끝면(E101)에 노출되는 금속박(21)에 접속되고, 제 2 외부 전극(142)은 제 2 끝면(E102)에 노출되는 밸브 작용 금속 기체(11)에 접속되어 있다.
제 1 외부 전극 및 제 2 외부 전극은 예를 들면, 도금이나 스퍼터, 침지 도포, 인쇄 등에 의해 형성할 수 있다. 도금의 경우는 도금층으로서는 Zn·Ag·Ni층, Ag·Ni층, Ni층, Zn·Ni·Au층, Ni·Au층, Zn·Ni·Cu층, Ni·Cu층 등을 사용할 수 있다. 이들 도금층 위에, 예를 들면, Cu 도금층, Ni 도금층, Sn 도금층의 순으로(또는 일부를 제외하고) 도금층을 더 형성하는 것이 바람직하다.
본 발명의 제 1 실시형태에 따른 고체 전해 콘덴서의 제조 방법에 있어서는 적층 블록체를 절단해서 소자 적층체로 개편화할 때에, 양극부가 되는 밸브 작용 금속 기체와, 음극부가 되는 금속박을 소자 적층체의 각각의 끝면에 노출시킬 수 있다. 그 때문에, 밸브 작용 금속 기체 및 금속박을 노출시키기 위해서 끝면을 연마하는 공정이 불필요하게 된다. 따라서, 고체 전해 콘덴서를 효율 좋게 제조할 수 있다.
[고체 전해 콘덴서]
상술한 제조 방법에 의해 얻어지는 고체 전해 콘덴서도 또한, 본 발명의 하나이다.
본 발명의 고체 전해 콘덴서는 제 1 층과 제 2 층이 적층된 소자 적층체와, 상기 소자 적층체의 제 1 끝면에 형성된 제 1 외부 전극과, 상기 소자 적층체의 제 2 끝면에 형성된 제 2 외부 전극을 구비한다.
소자 적층체의 제 1 층은 표면에 유전체층이 형성된 밸브 작용 금속 기체 및 상기 유전체층 위에 형성된 고체 전해질층을 구비하고, 제 2 층은 금속박으로 이루어진다. 소자 적층체의 제 1 끝면에는 금속박 및 제 1 밀봉부가 노출되고, 제 2 끝면에는 밸브 작용 금속 기체 및 제 2 밀봉부가 노출된다. 또한, 제 1 외부 전극은 제 1 끝면에 노출되는 금속박에 접속되고, 제 2 외부 전극은 제 2 끝면에 노출되는 밸브 작용 금속 기체에 접속된다.
소자 적층체, 제 1 외부 전극 및 제 2 외부 전극의 기본적인 구성은 [고체 전해 콘덴서의 제조 방법]에서 설명한 바와 같으므로, 상세한 설명은 생략한다.
본 발명의 고체 전해 콘덴서에서는 폭방향에 있어서 금속박이 제 1 끝면에 노출되는 1층당 거리의 합(A1)은 금속박의 최대폭(B1)보다 작고, 또한 밸브 작용 금속 기체가 제 2 끝면에 노출되는 1층당 거리의 합(A2)은 밸브 작용 금속 기체의 최대폭(B2)보다 작은 것을 특징으로 하고 있다.
도 15(a) 및 도 15(b)는 본 발명의 고체 전해 콘덴서의 일례의 특징부분을 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 15(a) 및 도 15(b)에 나타내는 고체 전해 콘덴서(1)는 도 10(a) 및 도 10(b)에 나타내는 소자 적층체(100)와, 제 1 외부 전극(141)과, 제 2 외부 전극(142)을 구비하고 있다. 또한, 도 15(a) 및 도 15(b)에서는 소자 적층체(100)의 일부, 제 1 외부 전극(141) 및 제 2 외부 전극(142)을 파선으로 나타내고 있다. 또한, 도 10(a) 및 도 10(b)와 마찬가지로, 마스크층(14), 절연성 접착층(15), 도전체층(16)을 생략하고 있다.
도 15(a)에 나타낸 바와 같이, 소자 적층체(100)의 제 1 끝면(E101)에는 금속박(21) 및 제 1 밀봉부(131)가 노출되어 있다. 폭방향에 있어서의 금속박(21)이 제 1 끝면(E101)에 노출되는 1층당 거리(A11, A12, A13 및 A14)의 합(A1)은 금속박(21)의 최대폭(B1)보다 작다.
한편, 도 15(b)에 나타낸 바와 같이, 소자 적층체(100)의 제 2 끝면(E102)에는 밸브 작용 금속 기체(11) 및 제 2 밀봉부(132)가 노출되어 있다. 폭방향에 있어서의 밸브 작용 금속 기체(11)가 제 2 끝면(E102)에 노출되는 1층당 거리(A21, A22, A23 및 A24)의 합(A2)은 밸브 작용 금속 기체(11)의 최대폭(B2)보다 작다.
도 16은 본 발명의 고체 전해 콘덴서를 구성하는 소자 적층체의 제 1 끝면을 확대한 평면도이다.
제 1 끝면(E101)에 있어서 제 1 밀봉부(131)는 금속박(21)을 적층방향으로 관통하는 제 1 기둥형상부(131a)와, 금속박(21) 사이에 형성되고 제 1 기둥형상부(131a) 사이를 접속하는 제 1 띠형상부(131b)를 갖는다.
도 17은 본 발명의 고체 전해 콘덴서를 구성하는 소자 적층체의 제 2 끝면을 확대한 평면도이다.
제 2 끝면(E102)에 있어서 제 2 밀봉부(132)는 밸브 작용 금속 기체(11)를 적층방향으로 관통하는 제 2 기둥형상부(132a)와, 밸브 작용 금속 기체(11) 사이에 형성되고 제 2 기둥형상부(132a) 사이를 접속하는 제 2 띠형상부(132b)를 갖는다.
본 발명의 고체 전해 콘덴서는 상술의 [고체 전해 콘덴서의 제조 방법]에서 설명한 방법에 의해 제작된다. 그 때문에, 제 1 밀봉부(131) 중 제 1 띠형상부(131b)는 제 1 관통 구멍을 충전하는 밀봉재에 유래하고, 제 1 기둥형상부(131a)는 제 3 관통 구멍을 충전하는 밀봉재에 유래한다. 마찬가지로, 제 2 밀봉부(132) 중 제 2 기둥형상부(132a)는 제 2 관통 구멍을 충전하는 밀봉재에 유래하고, 제 2 띠형상부(132b)는 제 4 관통 구멍을 충전하는 밀봉재에 유래한다. 밀봉재의 충전성을 고려하면, 제 1 기둥형상체(131a) 및 제 2 기둥형상체(132a)의 폭은 클수록 좋지만, 그 만큼, 끝면에 노출되는 금속박 및 밸브 작용 금속 기체의 비율이 작아지므로 ESR이 증대되어 버린다.
그 때문에, 본 발명의 고체 전해 콘덴서에 있어서, A1/B1의 값은 0.1 이상, 0.9 이하인 것이 바람직하고, 0.5 이상인 것이 보다 바람직하다. 또한, A2/B2의 값은 0.1 이상, 0.9 이하인 것이 바람직하고, 0.5 이상인 것이 보다 바람직하다.
또한, A1의 값은 A2의 값과 같아도 좋고, 달라도 좋다. 마찬가지로, B1의 값은 B2의 값과 같아도 좋고, 달라도 좋다. 따라서, A1/B1의 값은 A2/B2의 값과 같아도 좋고, 달라도 좋다.
본 발명의 고체 전해 콘덴서에 있어서, 제 1 밀봉부 및 제 2 밀봉부는 관통 구멍에 밀봉재를 충전함으로써 형성된다. 그 때문에, 제 1 기둥형상부와 제 1 띠형상부는 일체적으로 형성되어 있고, 제 2 기둥형상부와 제 2 띠형상부는 일체적으로 형성되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 「일체적으로 형성되어 있다」란, 양자의 경계에 계면이 존재하지 않는 것을 의미한다.
제 1 밀봉부 및 제 2 밀봉부를 형성할 때의 밀봉재의 충전성을 고려하면, 제 1 기둥형상부 및 제 2 기둥형상부는 각각의 끝면에 있어서 폭방향으로 2개 이상 형성되어 있는 것이 바람직하다. 이 경우, 제 1 기둥형상부 및 제 2 기둥형상부는 각각 소자 적층체의 제 1 주면으로부터 제 2 주면을 향해서 직선상으로 형성되어 있는 것이 바람직하다.
각각의 기둥형상부의 폭은 특별히 한정되지 않지만, 금속박 또는 밸브 작용 금속 기체의 최대폭에 대해서 10% 이상, 70% 이하인 것이 바람직하다. 예를 들면, 금속박 또는 밸브 작용 금속 기체의 최대폭이 3mm일 때, 폭 0.5mm의 기둥형상부를 3개 배치하는 것이 바람직하다. 이 경우, 기둥형상부 사이의 거리는 0.35mm인 것이 바람직하다.
제 1 기둥형상부 및 제 2 기둥형상부가 각각 2개 이상 형성되어 있는 경우, 밀봉재의 충전성을 고려하면, 이들 기둥형상부는 등간격으로 형성되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 「등간격」이란, 기둥형상부 사이에 위치하는 띠형상부의 폭이 엄밀하게 같은 길이가 아니어도 좋고, 약 3% 이내의 범위 내에 포함되어 있으면 좋다.
기둥형상부 사이에 위치하는 띠형상부의 폭은 특별히 한정되지 않지만, 금속박 또는 밸브 작용 금속 기체의 최대폭에 대해서 10% 이상, 70% 이하인 것이 바람직하다.
기둥형상부 사이에 위치하지 않는 띠형상부의 폭은 기둥형상부 사이에 위치하는 띠형상부의 폭과 같은 정도인 것이 바람직하다.
또한, [고체 전해 콘덴서의 제조 방법]에서 설명한 바와 같이, 제 1 밀봉부 및 제 2 밀봉부에 추가해서 제 3 밀봉부를 동시에 형성할 수 있다. 그 때문에, 본 발명의 고체 전해 콘덴서에 있어서 소자 적층체의 적어도 한쪽의 주면을 피복하는 제 3 밀봉부는 제 1 밀봉부 및 제 2 밀봉부와 일체적으로 형성되어 있는 것이 바람직하다.
본 발명의 제 1 실시형태에 따른 고체 전해 콘덴서에 있어서, 밸브 작용 금속 기체와 금속박은 고체 전해질층 위에 형성된 다른 도전체층을 통해 접속되어 있다. 이 경우, 도전체층 위에 형성된 도전성 접착제층을 통해 접속되어 있어도 좋다. 도전체층은 카본층만으로 구성되어도 좋고, 은층만으로 구성되어도 좋고, 하지인 카본층과, 그 위의 은층의 2층으로 구성되어도 좋다.
그 중에서도, 도전체층으로서 카본층이 고체 전해질층 위에 형성되고, 금속박의 표면이 카본층과 직접 접하는 것이 바람직하고, 카본 코팅된 금속박의 표면이 카본층과 직접 접하는 것이 보다 바람직하다.
또, 고체 전해질층, 도전체층 또는 도전성 접착제층이 형성되어 있지 않은 부분에 대해서는 절연성 접착층을 통해 밸브 작용 금속 기체와 금속박이 접속되어 있는 것이 바람직하다.
(제 2 실시형태)
본 발명의 제 2 실시형태에 따른 고체 전해 콘덴서의 제조 방법에서는 (A)공정, (B)공정, (E)공정 및 (F)공정은 제 1 실시형태와 공통되지만, (C)공정 및 (D)공정을 행하지 않는다. 단, 제 2 실시형태에서는 제 1 실시형태에서 설명한 (F)공정은 임의이다. 또한, 제 2 실시형태에서는 제 1 실시형태에서 설명한 (G)공정 및 (H)공정 대신에 (G')공정 및 (H')공정을 행한다.
제 2 실시형태에서는 (C)공정을 행하지 않으므로, 제 1 시트의 각 소자영역의 제 1 단부 및 제 2 단부와, 제 1 측부 및 제 2 측부를 절연 재료에 의해 피복하지 않는다. 즉, 제 1 실시형태에서 설명한 마스크층 및 절연성 접착층을 형성하지 않는다.
또한, (D)공정을 행하지 않으므로, 제 1 시트의 고체 전해질층 위에 도전체층을 형성하지 않는다.
상기 점을 제외하고, (A)공정, (B)공정 및 (E)공정으로서 제 1 실시형태와 마찬가지로 제 1 시트 및 제 2 시트를 준비하고, 이들 시트를 적층함으로써 적층 시트를 제작한다. 제 2 실시형태에 있어서, 제 1 시트와 제 2 시트를 적층할 때에는 고체 전해질층을 통해 밸브 작용 금속 기체와 금속박을 접속해도 좋고, 고체 전해질층 위에 형성된 도전성 접착제층을 통해 밸브 작용 금속 기체와 금속박을 접속해도 좋다.
상술한 바와 같이, 제 2 실시형태에서는 (F)공정은 임의이다. 즉, 제 2 실시형태에 있어서는 적층 블록체는 필요에 따라 제작된다.
(G')공정에서는 적층 블록체를 제작하지 않는 경우에는 적층 시트를 절단함으로써, 한편, 적층 블록체를 제작하는 경우에는 적층 블록체를 절단함으로써, 복수개의 소자 적층체를 제작한다. 적층 시트를 절단하는 경우에는 절단 후, 소자 적층체의 끝면의 필요한 개소에 밀봉재를 형성하면 좋다.
제 1 실시형태에서는 각 소자영역의 제 1 측부 및 제 2 측부를 따라 적층 블록체를 2회 절단함으로써, 제 4 밀봉부가 형성된 소자 적층체를 일괄해서 제작하고 있다. 이것에 대해서, 제 2 실시형태에서는 각 소자영역의 제 1 측부 및 제 2 측부를 따라 적층 시트 또는 적층 블록체를 2회 절단함으로써, 제 4 밀봉부가 형성된 소자 적층체를 일괄해서 제작해도 좋고, 각 소자영역의 제 1 측부 및 제 2 측부의 위치에서 적층 시트 또는 적층 블록체를 절단한 후, 각각의 절단 측면에 밀봉재를 도포함으로써, 제 4 밀봉부를 형성해도 좋다.
(H')공정에서는 얻어진 소자 적층체에 대해서, 제 1 외부 전극 및 제 2 외부 전극을 형성한다. 제 2 실시형태에 있어서, 소자 적층체에 제 1 외부 전극 및 제 2 외부 전극을 형성하는 방법은 제 1 실시형태에서 설명한 방법에 한정되지 않는다. 예를 들면, 제 1 외부 전극 및 제 2 외부 전극으로서 Ag나 Cu를 함유하는 수지 전극 등을 사용해도 좋다. 제 1 및 제 2 외부 전극에 추가로 리드 단자를 접속해도 좋다.
이상에 의해, 고체 전해 콘덴서가 얻어진다.
본 발명의 제 2 실시형태에 따른 고체 전해 콘덴서의 제조 방법에 있어서도, 제 1 실시형태와 마찬가지로, 고체 전해 콘덴서를 효율 좋게 제조할 수 있다.
상술한 제조 방법에 의해 얻어지는 고체 전해 콘덴서도 또한, 본 발명의 하나이다.
본 발명의 제 2 실시형태에 따른 고체 전해 콘덴서에 있어서, 밸브 작용 금속 기체와 금속박은 고체 전해질층을 통해 접속되어 있어도 좋고, 고체 전해질층 위에 형성된 도전성 접착제층을 통해 접속되어 있어도 좋다.
(제 3 실시형태)
본 발명의 제 3 실시형태에 따른 고체 전해 콘덴서의 제조 방법에서는 (C)공정 및 (D)공정은 제 1 실시형태와 공통되지만, (B)공정을 행하지 않는다. 또한, 제 3 실시형태에서는 제 1 실시형태에서 설명한 (A)공정, (E)공정, (F)공정, (G)공정 및 (H)공정 대신에 (A')공정, (E')공정, (F')공정, (G')공정 및 (H')공정을 행한다. 단, 제 3 실시형태에서는 (F')공정은 임의이다.
(A')공정에서는 제 1 실시형태와 다른 제 1 시트를 준비한다. 제 1 시트는 표면에 유전체층이 형성된 밸브 작용 금속 기체 및 상기 유전체층 위에 형성된 고체 전해질층을 구비한다. 또한, 제 1 시트는 복수개의 소자영역을 갖는다. 제 1 시트에 있어서, 각 소자영역은 길이방향에 있어서 서로 대향하는 제 1 단부 및 제 2 단부와, 상기 길이방향과 직교하는 폭방향에 있어서 서로 대향하는 제 1 측부 및 제 2 측부에 의해 구획되어 있다. 또한, 제 1 시트에는 각 소자영역의 상기 제 1 단부에 걸쳐지도록 상기 소자영역의 폭 이상의 폭을 갖는 제 1 관통 구멍이 형성되어 있다.
도 18(a)는 제 1 시트의 다른 일례를 모식적으로 나타내는 사시도이며, 도 18(b)는 도 18(a)의 일부를 확대한 사시도이다.
도 18(a) 및 도 18(b)에 나타내는 제 1 시트(10')에서는 도 1(a) 및 도 1(b)에 나타내는 제 1 시트(10)와 달리, 제 2 관통 구멍(H2)이 형성되어 있지 않다. 또한, 고체 전해질층(13)은 음극측의 제 2 단부(E12)에까지 형성되어 있고, 길이방향으로 인접하는 소자영역에서 고체 전해질층(13)을 공유하고 있다. 상기 점을 제외하고, 도 18(a) 및 도 18(b)에 나타내는 제 1 시트(10')는 도 1(a) 및 도 1(b)에 나타내는 제 1 시트(10)와 같은 구성을 갖고 있다. 그 때문에, 상세한 설명에 대해서는 생략한다.
한편, (B)공정을 행하지 않으므로, 제 1 실시형태에서 설명한 제 2 시트는 준비하지 않는다.
(E')공정에서는 각 소자영역의 제 1 단부끼리 및 제 2 단부끼리가 각각 대향하도록, 제 1 시트를 적층함으로써 적층 시트를 제작한다.
제 1 시트를 적층할 때에는 고체 전해질층 위에 형성된 다른 도전체층을 통해 밸브 작용 금속 기체끼리를 접속한다. 이 경우, 도전체층 위에 형성된 도전성 접착제층을 통해 밸브 작용 금속 기체끼리를 접속해도 좋다.
또, 고체 전해질층, 도전체층 또는 도전성 접착제층이 형성되어 있지 않은 부분에 대해서는 절연성 접착층을 통해 밸브 작용 금속 기체끼리를 접속하는 것이 바람직하다.
도 19(a)는 절연성 접착층 및 도전체층이 형성된 제 1 시트의 다른 일례를 모식적으로 나타내는 사시도이며, 도 19(b)는 도 19(a)의 일부를 확대한 사시도이다.
도 19(a) 및 도 19(b)에서는 도 18(a) 및 도 18(b)에 나타내는 제 1 시트(10')의 마스크층(14) 위에 절연성 접착층(15)이 형성되어 있음과 아울러, 고체 전해질층(13) 위에 도전체층(16)이 형성되어 있다. 도 4(a) 및 도 4(b)와 달리, 도전체층(16)은 음극측의 제 2 단부(E12)에까지 형성되어 있고, 길이방향으로 인접하는 소자영역에서 도전체층(16)을 공유하고 있다.
이렇게, 본 발명의 제 3 실시형태에 따른 고체 전해 콘덴서의 제조 방법은 제 1 실시형태와 마찬가지로 (C)공정 및 (D)공정을 구비한다. (C)공정 및 (D)공정에 대해서는 제 1 실시형태에서 설명했기 때문에, 상세한 설명은 생략한다.
(F')공정에서는 제 1 관통 구멍에 밀봉재가 충전된 적층 블록체를 제작한다. 적층 블록체를 제작하는 방법은 특별히 한정되지 않는다. 예를 들면, 제 1 관통 구멍에 밀봉재가 충전된 제 1 시트를 적층함으로써 상기 적층 블록체를 제작해도 좋고, 또한, 제 1 시트의 적층과 밀봉재의 충전을 순차 행함으로써 상기 적층 블록체를 제작해도 좋다.
상술한 바와 같이, 제 3 실시형태에서는 (F')공정은 임의이다. 즉, 제 3 실시형태에 있어서는 적층 블록체는 필요에 따라 제작된다.
(G')공정 및 (H')공정에 대해서는 제 2 실시형태와 동일하다. 이상에 의해, 고체 전해 콘덴서가 얻어진다.
(제 4 실시형태)
본 발명의 제 4 실시형태에 따른 고체 전해 콘덴서의 제조 방법에서는 (A')공정, (E')공정, (F')공정 및 (H')공정은 제 3 실시형태와 공통되지만, (C)공정 및 (D)공정을 행하지 않는다. 단, 제 4 실시형태에서는 제 3 실시형태에서 설명한 (F')공정은 필수이다.
제 4 실시형태에서는 (F')공정에 의해 얻어진 적층 블록체에 대해서 제 1 실시형태에서 설명한 (G)공정을 행한다. 이상에 의해, 고체 전해 콘덴서가 얻어진다.
(기타 실시형태)
본 발명의 고체 전해 콘덴서의 제조 방법 및 고체 전해 콘덴서는 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 고체 전해 콘덴서의 구성, 제조 조건 등에 관해서 본 발명의 범위 내에 있어서 여러가지 응용, 변형을 가하는 것이 가능하다.
본 발명의 고체 전해 콘덴서의 제조 방법에 있어서, 제 1 실시형태 및 제 2 실시형태에서는 제 1 관통 구멍 및 제 2 관통 구멍이 형성되어 있는 제 1 시트와, 제 3 관통 구멍 및 제 4 관통 구멍이 형성되어 있는 제 2 시트를 적층함으로써 적층 시트를 제작하고, 제 3 실시형태 및 제 4 실시형태에서는 제 1 관통 구멍이 형성되어 있는 제 1 시트를 적층함으로써 적층 시트를 제작하고 있다.
그러나, 본 발명의 고체 전해 콘덴서의 제조 방법에 있어서, 적층 시트를 제작하는 방법은 특별히 한정되지 않는다. 예를 들면, 제 1 관통 구멍이 형성되어 있는 제 1 시트와, 제 4 관통 구멍이 형성되어 있는 제 2 시트를 적층함으로써 적층 시트를 제작해도 좋고, 제 1 관통 구멍 및 제 2 관통 구멍이 형성되어 있는 제 1 시트를 적층함으로써 적층 시트를 제작해도 좋다.
본 발명의 고체 전해 콘덴서의 제조 방법에 있어서, 관통 구멍에 밀봉재가 충전된 적층 블록체는 필요에 따라 제작된다. 적층 블록체를 제작하지 않는 경우에는 적층 시트를 절단함으로써, 한편, 적층 블록체를 제작하는 경우에는 적층 블록체를 절단함으로써, 복수개의 소자 적층체를 제작한다. 적층 시트를 절단하는 경우에는 절단 후, 소자 적층체의 끝면의 필요한 개소에 밀봉재를 형성하면 좋다.
또, 본 발명의 고체 전해 콘덴서의 제조 방법에 있어서, 적층 시트 또는 적층 블록체를 절단하는 방법 및 소자 적층체에 제 1 외부 전극 및 제 2 외부 전극을 형성하는 방법은 특별히 한정되는 것은 아니다.
1: 고체 전해 콘덴서
10, 10': 제 1 시트
11: 밸브 작용 금속 기체
12: 유전체층
13: 고체 전해질층
14: 마스크층
15: 절연성 접착층
16: 도전체층
20: 제 2 시트
21: 금속박
30: 적층 시트
40, 40a, 40b: 적층 블록체
100: 소자 적층체
110: 제 1 층
120: 제 2 층
131: 제 1 밀봉부
131a: 제 1 기둥형상부
131b: 제 1 띠형상부
132: 제 2 밀봉부
132a: 제 2 기둥형상부
132b: 제 2 띠형상부
133: 제 3 밀봉부
134: 제 4 밀봉부
141: 제 1 외부 전극
142: 제 2 외부 전극
A1: 금속박이 제 1 끝면에 노출되는 1층당 거리의 합
A11, A12, A13, A14: 금속박이 제 1 끝면에 노출되는 1층당 거리
A2: 밸브 작용 금속 기체가 제 2 끝면에 노출되는 1층당 거리의 합
A21, A22, A23, A24: 밸브 작용 금속 기체가 제 2 끝면에 노출되는 1층당 거리
B1: 금속박의 최대폭
B2: 밸브 작용 금속 기체의 최대폭
R11: 제 1 시트의 제 1 소자영역
R12: 제 1 시트의 제 2 소자영역
R21: 제 2 시트의 제 1 소자영역
R22: 제 2 시트의 제 2 소자영역
E11: 제 1 시트의 소자영역의 제 1 단부
E12: 제 1 시트의 소자영역의 제 2 단부
E21: 제 2 시트의 소자영역의 제 1 단부
E22: 제 2 시트의 소자영역의 제 2 단부
E101: 소자 적층체의 제 1 끝면
E102: 소자 적층체의 제 2 끝면
S11: 제 1 시트의 소자영역의 제 1 측부
S12: 제 1 시트의 소자영역의 제 2 측부
S21: 제 2 시트의 소자영역의 제 1 측부
S22: 제 2 시트의 소자영역의 제 2 측부
S101: 소자 적층체의 제 1 측면
S102: 소자 적층체의 제 2 측면
M31: 적층 시트의 제 1 주면
M32: 적층 시트의 제 2 주면
M101: 소자 적층체의 제 1 주면
M102: 소자 적층체의 제 2 주면
H1: 제 1 관통구멍
H2: 제 2 관통구멍
H3: 제 3 관통구멍
H4: 제 4 관통구멍
G: 적층 블록체의 간극

Claims (6)

  1. 서로 적층된 복수의 제 1 층을 갖는 소자 적층체로서, 상기 제 1 층은 밸브 작용 금속 기체를 포함하고, 상기 밸브 작용 금속 기체는 그 표면에 유전체층 및 상기 유전체층 상에 배치된 고체 전해질층을 갖고, 상기 소자 적층체는 적층방향으로 서로 대향하는 제 1 주면 및 제 2 주면과, 폭방향으로 서로 대향하는 제 1 측면 및 제 2 측면과, 길이방향으로 서로 대향하는 제 1 끝면 및 제 2 끝면을 갖는, 소자 적층체;
    상기 적층방향으로 서로 대향하는 상기 제 1 주면 및 제 2 주면과, 상기 폭방향으로 서로 대향하는 상기 제 1 측면 및 제 2 측면을 덮는 밀봉부;
    상기 고체 전해질층에 전기적으로 연결된, 상기 소자 적층체의 상기 제 1 끝면 상의 제 1 외부 전극; 및
    상기 밸브 작용 금속 기체에 전기적으로 연결된, 상기 소자 적층체의 상기 제 2 끝면 상의 제 2 외부 전극;을 포함하고,
    상기 제 1 층에서, 절단 영역은 상기 제 2 끝면의 측부 상의 상기 소자 적층체의 단부에 형성되고, 상기 절단 영역에서 절연재인 밀봉재로 채워진 밀봉부가 상기 제 2 끝면에서 노출되는, 고체 전해 콘덴서.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 소자 적층체의 폭방향으로, 단일의 제 1 층에 있어서 상기 제 2 끝면에서의 상기 밸브 작용 금속 기체의 노출 거리의 합(A2)은, 상기 밸브 작용 금속 기체의 최대폭(B2)보다 작은, 고체 전해 콘덴서.
  3. 제 2 항에 있어서,
    A2/B2의 값은 0.5 이상인, 고체 전해 콘덴서.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 밀봉부는 상기 적층방향으로 상기 밸브 작용 금속 기체를 통해 연장되는 기둥형상부와, 상기 소자 적층체의 상기 제 2 끝면에서 인접한 기둥형상부와 함께 연결되는 인접한 밸브 작용 금속 기체 사이에 배치된 띠형상부를 포함하는, 고체 전해 콘덴서.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 기둥형상부는 상기 소자 적층체의 상기 제 2 끝면에서 상기 폭방향으로 연장되는 2개 이상의 기둥형상부를 포함하는, 고체 전해 콘덴서.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 기둥형상부는 상기 적층방향으로 서로 대향하는 상기 소자 적층체의 제 1 주면으로부터 제 2 주면까지의 방향에서 선형으로 배치되는, 고체 전해 콘덴서.
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