JP2005006495A - 超音波モータ及び積層圧電素子及び電子機器 - Google Patents
超音波モータ及び積層圧電素子及び電子機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005006495A JP2005006495A JP2004148938A JP2004148938A JP2005006495A JP 2005006495 A JP2005006495 A JP 2005006495A JP 2004148938 A JP2004148938 A JP 2004148938A JP 2004148938 A JP2004148938 A JP 2004148938A JP 2005006495 A JP2005006495 A JP 2005006495A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- piezoelectric element
- electrodes
- ultrasonic motor
- laminated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
【解決手段】 複数の圧電素子9a,9b,9b’を積層して振動体を構成し、振動体と接する移動体7を駆動する超音波モータにおいて、複数の圧電素子9a,9b,9b’の界面には複数の帯状電極を有する第一の電極10a,11a,12a,13aと、第一の電極10a,11a,12a,13aの各帯状電極の間に配置された複数の帯状電極を有する第二の電極10b、11b、12b、13bとで構成される電極パターンを有する。
【選択図】 図3
Description
(実施の形態1)
図1は本発明の積層圧電素子1を振動体として用いたリニヤ型超音波モータの構成例を示したものである。矩形状の積層圧電素子1には突起2a,2b並びに支持部材3が設けられている。加圧部材4の軸部4aは段部を有し、案内板5の案内穴5aで、軸方向にのみ移動可能に案内されている。突起2a,2bの下には案内部材8a,8bに案内された移動体7が設けられ、支持部材3は、加圧部材4の凹部に係合し、加圧部材4を加圧手段6で加圧することにより突起2a,2bと移動体7は接している。
(実施の形態2)
図5は本発明の超音波モータの積層圧電素子の第二の例を示したものである。実施の形態1との共通な部分は説明を省略し、相違点のみを以下に示す。
(実施の形態3)
図6、7は実施の形態2の積層圧電素子の変形例の構造及び外部電極を示したものである。
(実施の形態4)
図8は本発明の積層圧電素子の別の例を示したものである。
(実施の形態5)
本発明の圧電アクチュエータを用いて電子機器を構成した例を図10を基に説明する。
2 摩擦部材
3 支持部材
4 加圧部材
6 加圧手段
7 移動体
10、11、12、13、20、25、26、27、28、29 電極
14、15、17、18、21、22、23、30、31 外部電極
Claims (10)
- 複数の圧電素子を積層して振動体を構成し、前記振動体と接する移動体を駆動する超音波モータにおいて、
前記積層された複数の圧電素子の間で下方の圧電素子の上面に、一方の長さに対して、それと直交する方向の長さが短い、複数の平行に配置された帯状電極で構成される第一の電極と、前記第一の電極の各帯状電極と隣り合って配置され、かつ前記第一の電極の各帯状電極と平行に配置された複数の帯状電極で構成される第二の電極とで構成される電極パターンを有する超音波モータ。 - 前記第一の電極の帯状電極と隣り合う前記第二の電極の帯状電極の間隔は積層される前記圧電素子の厚みよりも広いことを特徴とする請求項1記載の超音波モータ。
- 同一圧電素子上に前記電極パターンを複数有することを特徴とする請求項1または2記載の超音波モータ。
- 矩形形状の振動体から成り、振動体の面内の向かい合う辺の中心を結ぶ線で分けられる四つの領域それぞれに前記電極パターンを有することを特徴とする請求項1または2記載の超音波モータ。
- 矩形形状の振動体から成り、振動体の面内の幅方向に三つに分割されると共に、三つに分割された両側の領域を長手方向に二つに分割した五つの領域それぞれに前記電極パターンを有することを特徴とする請求項1または2記載の超音波モータ。
- 積層される複数の圧電素子に設けられた電極パターンは複数の種類を有することを特徴とする請求項1または2記載の超音波モータ。
- 前記異なる電極を有する圧電素子の間には電極を有さない圧電素子が設けられていることを特徴とする請求項6記載の超音波モータ。
- 積層された複数の圧電素子からなり、積層方向の二つの端面の内、少なくとも一つの面に前記複数の圧電素子の電極と導通する為の導通用電極を有する積層圧電素子において、前記導通用圧電素子を有する圧電素子の厚みは他の圧電素子の厚みよりも厚いことを特徴とする積層圧電素子。
- 積層された複数の圧電素子からなり、積層方向の二つの端面の内、少なくとも一つの面に前記複数の圧電素子の電極と導通する為の導通用電極を有する積層圧電素子において、前記積層方向の二つの端面に位置する二つの圧電素子の厚みは等しいことを特徴とする積層圧電素子。
- 請求項8または9記載の積層圧電素子もしくは請求項1から7のいずれか一項に記載の超音波モータのいずれかを備えた電子機器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004148938A JP4672999B2 (ja) | 2003-05-19 | 2004-05-19 | 超音波モータ及び積層圧電素子及び電子機器 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003140797 | 2003-05-19 | ||
JP2004148938A JP4672999B2 (ja) | 2003-05-19 | 2004-05-19 | 超音波モータ及び積層圧電素子及び電子機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005006495A true JP2005006495A (ja) | 2005-01-06 |
JP4672999B2 JP4672999B2 (ja) | 2011-04-20 |
Family
ID=34106381
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004148938A Expired - Fee Related JP4672999B2 (ja) | 2003-05-19 | 2004-05-19 | 超音波モータ及び積層圧電素子及び電子機器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4672999B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007158055A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Seiko Instruments Inc | 圧電素子、圧電トランスデューサ及びそれらを用いた電子機器 |
JP2010175521A (ja) * | 2009-02-02 | 2010-08-12 | Fujifilm Corp | 振動モードセンサフィルム及び振動モードアクチュエータフィルム並びに振動抑制フィルム |
JP2010252626A (ja) * | 2005-09-05 | 2010-11-04 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 圧電振動子、その製造方法及び圧電振動子を有する線形アクチュエータ |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0394487A (ja) * | 1989-09-06 | 1991-04-19 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電アクチュエータ |
JPH06165540A (ja) * | 1992-11-20 | 1994-06-10 | Nippon Cement Co Ltd | 積層型超音波モータ用素子の製造方法 |
JPH0819275A (ja) * | 1994-06-27 | 1996-01-19 | Canon Inc | 振動波装置 |
JPH08242025A (ja) * | 1995-03-03 | 1996-09-17 | Hitachi Metals Ltd | 圧電アクチュエータ |
JPH1132491A (ja) * | 1997-05-16 | 1999-02-02 | Seiko Instr Inc | 超音波モータ及び超音波モータ付電子機器 |
JP2000156988A (ja) * | 1998-09-18 | 2000-06-06 | Seiko Instruments Inc | 圧電アクチュエ―タおよび圧電アクチュエ―タ付電子機器 |
JP2000295875A (ja) * | 1999-04-06 | 2000-10-20 | Seiko Instruments Inc | 積層型圧電アクチュエータおよびこれを用いた超音波モータ |
JP2000308372A (ja) * | 1999-04-15 | 2000-11-02 | Seiko Instruments Inc | 積層型圧電素子およびこれを用いた圧電アクチュエータ、圧電センサ、超音波モータ |
JP2001037266A (ja) * | 1999-07-19 | 2001-02-09 | Minolta Co Ltd | 弾性表面波駆動装置 |
JP2001197761A (ja) * | 2000-01-07 | 2001-07-19 | Minolta Co Ltd | 弾性表面波モータ |
JP2001291908A (ja) * | 2000-02-01 | 2001-10-19 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電素子およびその製造方法 |
JP2001359287A (ja) * | 2000-06-12 | 2001-12-26 | Minolta Co Ltd | 弾性表面波光学素子 |
JP2002368298A (ja) * | 2001-03-29 | 2002-12-20 | Brother Ind Ltd | 圧電トランスデューサおよび液滴噴射装置 |
-
2004
- 2004-05-19 JP JP2004148938A patent/JP4672999B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0394487A (ja) * | 1989-09-06 | 1991-04-19 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電アクチュエータ |
JPH06165540A (ja) * | 1992-11-20 | 1994-06-10 | Nippon Cement Co Ltd | 積層型超音波モータ用素子の製造方法 |
JPH0819275A (ja) * | 1994-06-27 | 1996-01-19 | Canon Inc | 振動波装置 |
JPH08242025A (ja) * | 1995-03-03 | 1996-09-17 | Hitachi Metals Ltd | 圧電アクチュエータ |
JPH1132491A (ja) * | 1997-05-16 | 1999-02-02 | Seiko Instr Inc | 超音波モータ及び超音波モータ付電子機器 |
JP2000156988A (ja) * | 1998-09-18 | 2000-06-06 | Seiko Instruments Inc | 圧電アクチュエ―タおよび圧電アクチュエ―タ付電子機器 |
JP2000295875A (ja) * | 1999-04-06 | 2000-10-20 | Seiko Instruments Inc | 積層型圧電アクチュエータおよびこれを用いた超音波モータ |
JP2000308372A (ja) * | 1999-04-15 | 2000-11-02 | Seiko Instruments Inc | 積層型圧電素子およびこれを用いた圧電アクチュエータ、圧電センサ、超音波モータ |
JP2001037266A (ja) * | 1999-07-19 | 2001-02-09 | Minolta Co Ltd | 弾性表面波駆動装置 |
JP2001197761A (ja) * | 2000-01-07 | 2001-07-19 | Minolta Co Ltd | 弾性表面波モータ |
JP2001291908A (ja) * | 2000-02-01 | 2001-10-19 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電素子およびその製造方法 |
JP2001359287A (ja) * | 2000-06-12 | 2001-12-26 | Minolta Co Ltd | 弾性表面波光学素子 |
JP2002368298A (ja) * | 2001-03-29 | 2002-12-20 | Brother Ind Ltd | 圧電トランスデューサおよび液滴噴射装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010252626A (ja) * | 2005-09-05 | 2010-11-04 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 圧電振動子、その製造方法及び圧電振動子を有する線形アクチュエータ |
US7915788B2 (en) | 2005-09-05 | 2011-03-29 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Piezoelectric vibrator, manufacturing method thereof and linear actuator having the same |
JP2007158055A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Seiko Instruments Inc | 圧電素子、圧電トランスデューサ及びそれらを用いた電子機器 |
JP2010175521A (ja) * | 2009-02-02 | 2010-08-12 | Fujifilm Corp | 振動モードセンサフィルム及び振動モードアクチュエータフィルム並びに振動抑制フィルム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4672999B2 (ja) | 2011-04-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4511120B2 (ja) | 超音波リニアモータ | |
JP3792864B2 (ja) | 超音波モータおよび超音波モータ付電子機器 | |
JP2004297951A (ja) | 超音波振動子及び超音波モータ | |
JP4672999B2 (ja) | 超音波モータ及び積層圧電素子及び電子機器 | |
JP4641709B2 (ja) | 積層圧電振動体を用いた超音波モータおよびそれを用いた電子機器 | |
JP4628017B2 (ja) | 積層圧電素子、超音波モータ、電子機器、ステージ及び積層圧電素子の製造方法 | |
JP5357127B2 (ja) | 超音波モータ及びそれを用いた電子機器、ステージ | |
JP4918122B2 (ja) | 超音波モータ及び超音波モータ付き電子機器 | |
JP4563490B2 (ja) | 超音波モータ及び超音波モータ付電子機器 | |
JPH05146171A (ja) | 超音波振動子 | |
JP4485238B2 (ja) | 超音波モータおよび超音波モータ付き電子機器 | |
JP4634174B2 (ja) | 超音波モータ及びそれを用いた電子機器 | |
JP5080518B2 (ja) | 積層圧電素子、積層圧電素子の製造方法、並びに積層圧電素子を備えた電子機器 | |
JP4313610B2 (ja) | 超音波モータ及びその製造方法、超音波モータを備えた電子機器 | |
JP5216822B2 (ja) | 積層圧電振動体を用いた超音波モータおよびそれを用いた電子機器 | |
JPH0732613B2 (ja) | 超音波振動子およびこの振動子を有する駆動装置 | |
JP2008067539A (ja) | 超音波アクチュエータ、及びその振動体の製造方法 | |
JP5411196B2 (ja) | 圧電デバイス及びそれを用いた電子機器 | |
JP4454930B2 (ja) | 超音波モータ及び超音波モータ付き電子機器 | |
JP4745615B2 (ja) | 圧電デバイス及びそれを用いた電子機器 | |
JP4818853B2 (ja) | 超音波モータ素子 | |
JP2010004625A (ja) | 圧電振動子およびその駆動方法 | |
JP5089039B2 (ja) | 圧電素子、圧電トランスデューサ及びそれらを用いた電子機器 | |
JPH05316756A (ja) | 超音波振動子およびこの振動子を有する駆動装置 | |
JP2005218243A (ja) | 超音波モータおよび超音波モータ付き電子機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061120 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090415 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090421 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090611 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091105 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091112 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091201 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091222 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100209 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100401 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100824 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101115 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20101118 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110118 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110120 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4672999 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140128 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |