JPH0819275A

JPH0819275A - 振動波装置

Info

Publication number: JPH0819275A
Application number: JP6144531A
Authority: JP
Inventors: Akio Atsuta; 暁生熱田
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1994-06-27
Filing date: 1994-06-27
Publication date: 1996-01-19
Anticipated expiration: 2018-07-28
Also published as: JP3432001B2; US6072267A

Abstract

(57)【要約】【目的】振動波装置の駆動回路の構成を簡略化する。【構成】弾性体に配置された電気−機械エネルギー変
換素子に周波電圧を印加することによって、該振動体の
表面粒子に楕円運動を行わしめる振動子を有する振動波
装置において、上記振動子には、駆動回路を構成するた
めの電気素子を有し、振動子を駆動する駆動回路を構成
する電気素子の一部を振動子側に配置することができ、
駆動回路をプリント配線板等に実装する際の小型化が可
能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、振動体の共振を利用し
た超音波モータ等の振動波装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】最近、超音波モータもしくは圧電モータ
と称される振動波モータが開発され、本出願人等によっ
て実用化されている。この振動波モータは、既によく知
られているように、圧電素子もしくは電歪素子などの電
気−機械エネルギー変換素子に交番電圧を印加すること
により該素子に高周波振動を発生させ、その振動エネル
ギーを連続的な機械運動として取り出すように構成され
た非電磁駆動式の新型モータである。この動作原理は本
出願人による特開平３−２８９３７５など、すでに多く
の公開公報等で説明されているのでここでは略す。

【０００３】図１５は従来の棒状超音波モータの側面図
およびそこに構成されている圧電素子の電圧供給および
出力電圧の取り出しの配線図である。１は該棒状超音波
モータを構成する振動体で、圧電素子もしくは電歪素子
と弾性体との結合体から成る。

【０００４】上記振動子部１の圧電素子部は、駆動用の
Ａ相圧電素子ａ１，ａ２およびＢ相圧電素子ｂ１，ｂ２
と振動検出圧電素子ｓ１から構成されている。このとき
Ａ相圧電素子ａ１，ａ２の間に挟まれた部分に電極板Ａ
−ｄを介してＡ相印加電圧、Ｂ相圧電素子ｂ１，ｂ２の
間に挟まれた部分に電極板Ｂ−ｄを介してＢ相印加電圧
を加えることで該圧電素子が駆動される。

【０００５】またこのときＡ相圧電素子ａ１，ａ２およ
びＢ相圧電素子ｂ１，ｂ２の裏側は電極板ＧＮＤを介し
てＧＮＤ電位になっている。振動検出圧電素子ｓ１は同
様に一方（図１５のｓ１のＢ側）はＧＮＤ電位になって
おり、その反対側から電極板Ｓ−ｄを介して信号を取り
出すように構成されている。またこのとき振動検出圧電
素子ｓ１の信号取り出し面側は、金属ブロックと接して
いるが、そのブロックは絶縁シートによりＧＮＤ電位か
ら絶縁されている。よって振動検出圧電素子ｓ１からそ
の振動に応じて出力電圧がそのまま得られる。そして、
この電圧の大きさや駆動電圧との位相差などにより共振
周波数などを求める。

【０００６】図１６は、このような超音波モータを用い
たときの駆動回路を示したものである。２は交番電圧を
発生する発振器、３は９０°移相器、４，５は、該発振
器および移相器からの交番電圧で電源電圧をスイッチン
グするスイッチング回路、６，７および８，９はスイッ
チング回路４，５でスイッチングされたパルス電圧を増
幅する昇圧インダクタンス素子およびキャパシタンス素
子であり、このインダクタンス素子とキャパシタンス素
子の値により昇圧量が変わる。すなわち、このインダク
タンス素子とキャパシタンス素子の値によりモータへの
入力電力特性を変えることができる。１０は駆動電極Ａ
と振動検出電極ｓ１の信号位相差を検出する位相差検出
器である。１１は制御用マイコンであり、これにより駆
動周波数の設定が行なわれ、その周波数で超音波モータ
が駆動される。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例の超音波モータの駆動回路構成では、超音波モータ
以外にもスイッチング回路や昇圧インダクタンス素子お
よびキャパシタンス素子などの電気素子が必要であり、
部品コストが上がるだけでなくカメラ、ビデオなどの小
型化が必要とされる製品では、回路基板上への実装が困
難になると言う問題がある。

【０００８】特に、従来例として示す図１５の超音波モ
ータは、直径を鉛筆程度、あるいはそれ以下の超小型化
を可能とするものであり、例えばフレキシブルプリント
基板等の基板上に構成される駆動回路は極力小型化する
ことが望まれる。

【０００９】本発明は、このような従来の問題を解決
し、駆動用の回路構成を簡略化できる振動波装置を提供
することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段および作用】本発明の目的
を実現する構成は、請求項１に記載のように、弾性体に
配置された電気−機械エネルギー変換素子に周波電圧を
印加することによって、該振動体の表面粒子に楕円運動
を行わしめる振動子を有する振動波装置において、上記
振動子には、駆動回路を構成するための電気素子を有す
ることを特徴とする振動波装置にある。

【００１１】この構成によると、振動子を駆動する駆動
回路を構成する電気素子の一部を振動子側に配置するこ
とができ、駆動回路をプリント配線板等に実装する際の
小型化が可能となる。

【００１２】この電気素子としては、請求項２に記載の
ようにインダクタンス素子あるいはキャパシタンス素子
とすることができ、また請求項３に記載のようにこれら
の素子を積層構造にすることができる。ここで、積層構
造に二通りあり、第１は単一のものを配線用の電極板を
はさみ込んで積層化するもので、第２にはスルーホール
等を用いて電極板を介さずに積層化するものがある。

【００１３】第１の積層構造化の際、請求項４に記載の
ように、キャパシタンス素子は駆動用圧電素子の枚数と
合わせて偶数枚となる枚数が配置される。

【００１４】そして、電気素子としては、請求項５に記
載のように、駆動用圧電素子の圧電特性がないもの、あ
るいは複数枚で互いの圧電特性を打ち消しているものを
用いることができる。

【００１５】一方、請求項６あるいは請求項７に記載の
ように、駆動用圧電素子の厚みを振動検出用圧電素子の
厚みよりも、薄くしたりあるいは厚くすることで、対振
動検出用圧電素子に対する容量成分の比率をより大きく
あるいは小さくすることができる。

【００１６】また、インダンクタンス素子は、請求項８
に記載のように、圧電素子に対して直列に接続され、請
求項９に記載のように、駆動用圧電素子と同様に厚み方
向に重ねた構成とし、あるいは請求項１０に記載のよう
に駆動軸を含む平面に複数存在する構成とすることもで
きる。

【００１７】さらに、請求項１１に記載のように、イン
ダクタンス素子あるいはキャパシタンス素子以外の駆動
回路をなす要素を含むこともできる。

【００１８】

【実施例】図１は本発明の第１の実施例を示す超音波モ
ータの概略図、図２は図１の超音波モータを駆動する駆
動回路を示し、図１５，図１６に示す従来例と同じ部材
には同じ符号を付し、その説明は省略する。

【００１９】本実施例は図１５に示す従来例と同様に、
振動波装置として棒状超音波モータに関するものであ
り、この超音波モータの駆動原理を簡単に説明すると、
振動子を構成する振動減衰性の低い金属等の振動弾性体
１−１，１−２の間に配置されたＡ，Ｂ２相の駆動用の
圧電素子ａ１，ａ２とｂ１，ｂ２に位相の異なる交流電
圧を印加し、振動子の棒の曲げ振動を振動子に与え、そ
の合成により駆動面の表面粒子に、該中心軸と直交する
軸を中心とする平面内において楕円運動を行わせ、この
駆動面に加圧接触する部材、例えばロータ１−３を摩擦
力により回転させる。そして、このロータ１−３の駆動
力が外周に歯車部を有する出力部材１−４に伝達され、
外部に取り出される。

【００２０】本実施例は、この振動子を駆動するための
駆動回路から、従来Ａ，Ｂ両相用に夫々設けられていた
昇圧用のキャバシタンスをなくし、そのかわり昇圧用の
キャパシタンスとしての機能を有する容量性の素子ａ
１′，ａ２′とｂ１′，ｂ２′を振動子中に配置するよ
うにしたものである。なお、この駆動用の圧電素子は直
径部分を挟んでその両側における分極方向が異なる方向
になるように分極処理が施されている。

【００２１】すなわち、駆動用Ａ相に対する昇圧用のキ
ャパシタンスをなす容量性の素子ａ１′，ａ２′により
Ａ′相を構成し、同様に駆動用Ｂ相に対する昇圧用のキ
ャパシタンスをなす容量性の素子ｂ１′，ｂ２′により
Ｂ′相を構成しており、Ａ′相を構成する素子ａ１′と
ａ２′との間に電極板ａ′−ｄを新たに配置し、また
Ｂ′相を構成する素子ｂ１′とｂ２′の間に電極板ｂ′
−ｄを新たに配置している。

【００２２】Ａ′相，Ｂ′相はそれぞれＡ相，ｂ相に並
列になるように配線された後、図２の昇圧用インダクタ
ンス素子６，７につながれる。このとき従来例に記載さ
れていた昇圧用キャパシタンス素子８，９は、なくな
る。また、キャパシタンス成分をより多くするにはＡ′
相，Ｂ′相と同じような構成のものを増やしてやれば良
い。

【００２３】この実施例によりモータ外部にわざわざ昇
圧用キャパシタンス素子を設ける必要がなくなる。

【００２４】本実施例ではキャバシタンス素子を駆動用
の分極処理を施されている圧電素子に対して並列に接続
しているが、モータのキャパシタンスを下げたいときに
は直列に接続することが実現できる。

【００２５】また、本実施例では１つのモードを駆動す
るのに駆動用圧電素子２枚と昇圧用キャパシタンス素子
２枚の合計４枚構成になっているが合計枚数を偶数にす
れば同様にして枚数を増やすことができる。当然ながら
駆動用圧電素子と昇圧用キャパシタンス素子をそれぞれ
奇数枚とすることも可能であり、従来例において駆動用
圧電素子を奇数枚の構成にするとき必要だった絶縁シー
トも必要なくなる。

【００２６】図３は本発明の第２の実施例を示し、図１
に示す形式の超音波モータの圧電素子部の概略図を示
す。

【００２７】本実施例では図３の（ｂ）に示すように、
駆動用の圧電素子の厚みが図３の（ａ）に示すように従
来例に比べ薄くなっている。圧電素子の特性より圧電素
子の厚みが薄くなると容量があがる。よって、圧電素子
の枚数を増やすことなく昇圧用キャパシタンス素子を設
けたのと同じ容量値が得られる。

【００２８】逆に、図には示していないが付加する圧電
素子の厚みを厚くすると圧電素子の特性より容量がさが
り、より小さな容量値に設定することもできる。

【００２９】図４は本発明の第３の実施例を示し、図１
に示す型式の超音波モータの圧電素子部の概略図を示
す。

【００３０】図５に本実施例の圧電素子を用いて電圧を
印加したときの変形のようすを示す。

【００３１】本実施例では駆動用の圧電素子の枚数を増
やしてはいるが、増やした圧電素子は圧電特性を持たな
いようにしている。その手段として図５の（ａ）は、増
やした圧電素子は分極処理を施していないものを用いて
いる。電極板Ａ−ｄと接触している圧電素子は、プラス
の電荷が印加されると向かって右側が伸び、左側が縮む
ように分極されている。よって、プラスの電圧が印加さ
れると向かって右側が伸び、左側が縮む。電極板Ａ′−
ｄと接触している圧電素子は、分極処理を施していない
ので電圧が印加されても伸び縮みしない。このように圧
電特性を持たないので単に容量素子を付けたのと同じ効
果になる。

【００３２】図５の（ｂ）は増やした２枚の圧電素子が
互いの圧電特性を相殺するように配置している。電極板
Ａ−ｄと接触している圧電素子は、図５の（ａ）同様電
圧が印加されると向かって右側が伸び、左側が縮む。電
極板Ａ′−ｄと接触している圧電素子は、電圧が印加さ
れると１枚は右側が伸び、左側が縮み、もう１枚は左側
が伸び、右側が縮む。よって、この２枚は見かけ状振動
してなく、単に容量素子を付けたのと同じ効果になる。

【００３３】以上のような構成にすることで圧電素子を
増やしても圧電特性を変えることなく容量を上げること
ができる。そのうえ全てに同じ素子を使用することで部
品の共通化が計れ、コスト面でも有利になる。

【００３４】図６は本発明の第４の実施例を示し、図１
に示す型式の超音波モータの圧電素子部の概略図を示
す。

【００３５】図７（ａ），（ｂ）に本第４の実施例で用
いるインダクタンス素子の表裏の構成図を示す。

【００３６】本実施例では圧電素子ａ１，ａ２およびｂ
１，ｂ２と駆動電圧給電用電圧板Ａ−ｄ，Ｂ−ｄとの間
にインダクタンス素子Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４が設けら
れている。このインダクタンス素子は、図７の（ａ），
（ｂ）に示すような積層構造で一体に焼結されている。
Ｌ１−１は、図７の（ａ）に示す表面側に外側から内側
に反時計回りにうず状の電極パターンが形成されてお
り、内側の端部でその下側のインダクタンス素子Ｌ１−
２につながるよう貫通穴（スルーホール）が設けられて
いる。インダクタンス素子Ｌ１−２は反時計回りに内側
から外側へうずが巻いた電極パターンが描かれており外
側の端部でその下側のインダクタンス素子Ｌ１−３につ
ながるように貫通穴（スルーホール）が設けられてい
る。インダクタンス素子Ｌ１−３はインダクタンス素子
Ｌ−１と同じ構成になっており、以下ｎ番目のインダク
タンス素子Ｌ１−ｎまで同様にして重ねられている。た
だし、最下層のインダクタンス素子Ｌ１−ｎのみ下面と
接触するＰＺＴとの導通を取るため下面全体に電極が形
成されている。最上層のインダクタンス素子Ｌ１−１の
上面は、電極板Ａ−ｄ，Ｂ−ｄが上面全体と接触するた
め導通が得られる。ただし、最上層のインダクタンス素
子Ｌ１−１の上面の電極パターン分のインダクタンス成
分は、無駄になる。このような積層型インダクタンス素
子を用いることにより、巻き線を巻くこと無しにインダ
クタンス成分を得ることができる。このようなインダク
タンス素子を図６のようにモータ内に圧電素子と直列に
なるよう設けることで、従来例のようにモータ外部にわ
ざわざ昇圧用インダクタンス素子を設ける必要がなくな
る。

【００３７】図８は本発明の第５の実施例を示し、図１
に示す型式の超音波モータの圧電素子部の概略図を示
し、図９は上記した図８のモータを用いたときの駆動回
路のブロック図を示す。

【００３８】本実施例は、駆動用圧電素子の厚みを図６
に示す実施例のものより薄くし、かつインダクタンス素
子Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４が設けられているものであ
る。このような構成にすることで図９に示すようなスイ
ッチング回路４，５から直接モータのみに接続すること
ができる。

【００３９】図１０は本発明の第６の実施例を示し、図
１に示す型式の超音波モータの圧電素子部の概略図を示
す。

【００４０】図１０において１２−１〜１２−ｎは圧電
素子部で、スルーホールなどを用いて積層化したもので
ある。圧電素子部１２−１は駆動用電極Ａ０，Ｂ０およ
び振動検出用電極Ｓ０の３つの領域に分けられている。
裏面即ち圧電素子部１２−２の表面は貫通穴（スルーホ
ール）の部分以外は全体に電極が描かれている。

【００４１】圧電素子部１２−２〜１２−ｎまでの一方
の面は十字のパターンが描かれ、４つの領域に分かれて
いる。このうちのちょうど向き合ってる領域がＡ駆動用
およびＢ駆動用にそれぞれ用いられる。もう一方の面は
圧電素子部１２−１同様貫通穴（スルーホール）の部分
以外は全体に電極が描かれている。圧電素子部１２−３
は圧電素子部１２−２と同じ電極パターンでスルーホー
ルが対称な位置に設けられている。ただし、圧電素子部
１２−２もしくは圧電素子部１２−３の片方が上記電極
パターンで、もう一方は電極パターンがなくても同様な
効果が得られる。そして、圧電素子部１２−４以降は圧
電素子１２−２，１２−３の組み合わせを繰り返すよう
に重ねていけばｎ層の積層素子を作ることができる。た
だし、圧電素子部１２−ｎのみスルーホールの数が１個
である。

【００４２】各圧電素子が４つの領域に分けられている
のはモータの駆動力を有効に使うためのものであるが詳
しい説明は略す。また、向かい合う電極は互いに逆方向
に分極されている。これらの圧電素子は圧電素子１２−
１の電極Ａ０及びＢ０に位相の異なる交流電圧を印加す
る事で従来と同様に超音波モータを駆動することができ
る。１３−１，１３−２は積層構造のインダクタンス素
子である。この構成は図７に示す実施例とほぼ同じ構成
になっている。図７と異なるのは、振動検出用電極Ｓ０
の信号やＧＮＤおよびもう一方の駆動信号もつなげるよ
うにスルーホールが設けられていることである。ただし
インダクタンス素子１３−１ではＢ相が、インダクタン
ス素子１３−２ではＡ相が内側、外側と交互にスルーホ
ールが設けられて積層化されている。また、図７では下
面のほとんど全面に電極が付けられていたがそれがなく
なっている。このインダクタンス素子１３−１、１３−
２はそれぞれ圧電素子１２−１の電極Ａ０及びＢ０に直
列につながる。

【００４３】このとき、圧電素子１２の容量は１枚当た
りの厚みや、積層枚数を調整することで、値を変更する
ことができる。

【００４４】これら素子１２，１３を同時に積層化して
しまえば、インダクタンス素子１３の上面からフレキシ
ブル基盤などを用いてＡ，Ｂ，Ｓ，ＧＮＤの全ての配線
ができる。このようにすれば、振動子を組み立てる際に
多数枚の圧電素子と多数枚の電極板とを交互に重ねた
り、複数の電極板をモータ外部でフレキシブル基盤など
に接続するという面倒な工程をなくすことができる。

【００４５】本実施例ではインダクタンス素子は圧電素
子の上側に配置されているが、下側に配置したり、上下
に配置する構成も容易に考えられる。

【００４６】図１１は本発明の第７の実施例を示し、図
１に示す型式の超音波モータの圧電素子部の概略図を示
す。本実施例では各モードを駆動する圧電素子１２につ
ながっているインダクタンス素子１３−３をモータの軸
を含む平面に複数存在する構成にしている。このような
構成にするとインダクタンス素子内に他のモードの給電
用のスルーホールを設ける必要もなくなるし、他モード
駆動用のインダクタンス素子からの誘導ノイズを受けづ
らくなる。

【００４７】図１２は本発明の第８の実施例を示し、図
１に示す型式の超音波モータの圧電素子部の概略図を示
す。

【００４８】本実施例ではインダクタンス素子、キャパ
シタンス素子以外にスイッチング回路および共振周波数
に追従して発振する発振器が、モータ内に組み込まれて
いる。このとき電気部品が載っている基板１４は円筒形
状になるよう樹脂などで固めて凸な部分をなくしてい
る。図１３は、第８の実施例の圧電素子部を用いたとき
のモータおよび回路構成図である。

【００４９】電源の供給は、圧電素子部上端からフレキ
シブル基盤を介して行われている。モータ駆動に用いら
れる駆動回路はモータ内に組み込まれているので、外部
からは電源、ＯＮ／ＯＦＦ信号および正転／反転（ＣＷ
／ＣＣＷ）信号のみを供給するだけで良い。よって、図
１３のような簡単な構成の駆動回路が実現できる。

【００５０】図１４は本発明による超音波モータを用い
た駆動装置を示す。この棒状超音波モータの基本構造は
従来例と同じであるが圧電素子部が外ずけ部品をなくす
ための手段が施されている。

【００５１】上記超音波モータと一体的に組みつけられ
ているギアｆはギア伝達機構Ｇの入力ギアＧＩに噛合
し、その出力ギアＧＯはレンズＬ１を保持するレンズ保
持部材Ｈに形成されたギアＨＩに噛合している。このレ
ンズ保持部材Ｈは固定筒Ｋにヘリコイド結合し、超音波
モータの駆動力によりギア伝導機構Ｇを介して回転駆動
されて合焦動作が行われる。

【００５２】なお、上記した各実施例は、棒状超音波モ
ータの振動子を例にしているが、本発明による振動波装
置は、振動子の形状はこれに限定されることはなく、例
えば円環形状、長楕円形状等であってもよく、また振動
子の振動面を固定したレール状固定子に加圧接触させ、
振動子を移動させたり、振動子の駆動面に紙等のシート
部材を加圧接触させ、該シート部材を搬送する紙送り機
構の紙送り手段として利用することもできる。

【００５３】

【発明の効果】請求項１に記載の発明によれば、振動子
を駆動する駆動回路を構成する電気素子の一部を振動子
側に配置することができ、駆動回路をプリント配線板等
に実装する際の小型化が可能となる。

【００５４】請求項２に記載の発明によれば、駆動回路
側にインダクタンス素子あるいはキャパシタンス素子を
設ける必要がなくなる。

【００５５】また請求項３に記載の発明によれば、駆動
用圧電素子とインダクタンス素子あるいはキャパシタン
ス素子との積層化を可能とする。

【００５６】請求項４に記載の発明によれば、キャパシ
タンス素子は駆動用圧電素子の枚数と合わせて偶数枚と
なる枚数が配置される。

【００５７】請求項５に記載の発明によれば、圧電素子
を増やしても圧電特性を変えることなく容量を上げるこ
とができる。

【００５８】請求項６あるいは請求項７に記載の発明に
よれば、駆動用圧電素子の厚みを振動検出用圧電素子の
厚みよりも、薄くしたりあるいは厚くすることで、対振
動検出用圧電素子に対する容量成分の比率をより大きく
あるいは小さくすることができる。

【００５９】請求項８に記載の発明によれば、従来のよ
うに駆動回路側にインダクタンス素子を設けることなく
振動子の駆動を行える。

【００６０】請求項９に記載の発明によれば、振動子の
駆動に影響を与えることなく電気素子を振動子に有効に
配置することができる。

【００６１】請求項１０に記載の発明によれば、インダ
クタンス素子内に他のモードの給電用スルーホールを設
ける必要がなくなり、また他のモードの駆動用のインダ
クタンス素子からの誘導ノイズを受けずらくなる。

【００６２】請求項１１に記載の発明によれば、インダ
クタンス素子あるいはキャパシタンス素子以外の駆動回
路をなす要素を含むことで、より一層駆動回路の簡素化
を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例を示す超音波モータの概略
図。

【図２】図１の超音波モータの駆動回路を示すブロック
図。

【図３】本発明の第２の実施例を示す超音波モータの圧
電素子部の概略図。

【図４】本発明の第３の実施例を示す超音波モータの圧
電素子部の概略図。

【図５】図４の圧電素子部の駆動に伴う変形状態を示す
概略図。

【図６】本発明の第４の実施例を示す超音波モータの圧
電素子部の概略図。

【図７】図６のインダクタンス素子の斜視図を示し、
（ａ）は表面、（ｂ）は裏面側を示す。

【図８】本発明の第５の実施例を示す超音波モータの圧
電素子部の概略図。

【図９】図８の超音波モータの駆動回路を示すブロック
図。

【図１０】本発明の第６の実施例を示す超音波モータの
圧電素子部の斜視図を示し、（ａ）は表面、（ｂ）は裏
面側を示す。

【図１１】本発明の第７の実施例を示す超音波モータの
圧電素子部の斜視図。

【図１２】本発明の第８の実施例を示す超音波モータの
圧電素子部の斜視図。

【図１３】図１２の超音波モータの駆動回路との構成を
示す図。

【図１４】本発明による超音波モータを用いた駆動装置
を示す断面図。

【図１５】従来の超音波モータの概略図。

【図１６】図１５の超音波モータの駆動回路を示すブロ
ック図。

【符号の説明】

１…振動子２…発振器３…移相器４，５…スイッ
チング回路６，７…昇圧インダクタンス素子８，９…昇圧キ
ャパシタンス素子１０…位相差検出器１１…制御用マ
イクロコンピュータ１２…積層圧電子１３…積層イン
ダクタンス素子１４…駆動回路基板Ａ−ｄ，Ａ′−ｄ，Ｂ−ｄ，Ｂ′−ｄ…駆動用電極板Ｓ−ｄ…振動検出用電極板

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】弾性体に配置された電気−機械エネルギ
ー変換素子に交流電界を印加することによって、該弾性
体の表面粒子に楕円運動を行わしめる振動子を有する振
動波装置において、上記振動子Ｋは駆動回路を構成する
ための電気素子を有することを特徴とする振動波装置。
【請求項２】請求項１において、電気素子はインダク
タンス素子あるいはキャパシタンス素子の少なくとも１
つであることを特徴とする振動波装置。
【請求項３】請求項１において、電気素子をなすイン
ダクタンス素子あるいはキャパシタンス素子を積層構造
にすることを特徴とする振動波装置。
【請求項４】請求項３において、電気素子をなすキャ
パシタンス素子の枚数は、駆動用圧電素子の枚数と合わ
せて偶数枚にしたことを特徴とする振動波装置。
【請求項５】請求項２，３又は５において、電気素子
をなすキャパシタンス素子は、駆動用圧電素子の圧電性
のないもの、あるいは複数枚で互いの圧電特性を打ち消
しているものを用いたことを特徴とする振動波装置。
【請求項６】請求項１において、駆動用圧電素子の１
枚当たりの厚みを振動検出用圧電素子より薄くし、振動
検出用圧電素子に対する容量成分の比率をより大きくす
ることを特徴とする振動波装置。
【請求項７】請求項１において、駆動用圧電素子の１
枚当たりの厚みを振動検出用圧電素子より厚くし、振動
検出用圧電素子に対する容量成分の比率をより小さくす
ることを特徴とする振動波装置。
【請求項８】請求項２又は３において、電気素子をな
すインダクタンス素子を圧電素子に直列になるように挿
入したことを特徴とする振動波装置。
【請求項９】請求項２，３又は８において、電気素子
をなすインダクタンス素子は、駆動用圧電素子と同様に
厚み方向に重ねた構成にしたことを特徴とする振動波装
置。
【請求項１０】請求項２，３又は８において、電気素
子をなすインダクタンス素子を駆動軸を含む平面に複数
存在する構成にしたことを特徴とする振動波装置。
【請求項１１】請求項１ないし請求項１０のいずれか
において、振動子には内蔵するインダクタンス素子、あ
るいはキャパシタンス素子以外の駆動回路をなす要素を
有することを特徴とする振動波装置。