JP4628017B2 - 積層圧電素子、超音波モータ、電子機器、ステージ及び積層圧電素子の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の第3の態様は第2の態様の超音波モータを備えた電子機器にある。
(実施の形態1)
次に、具体的に本発明の実施の形態1にかかわる積層圧電素子15の構成並びに製造方法の例を図を基に説明する。図3(a)に示した圧電材料から成る圧電シート9には個々の積層圧電素子15の内部電極となる電極10,11,12,13を一組の電極群とし、この電極群が複数印刷等によって設けられている。電極10,11,12,13は略矩形形状をしており、矩形形状の積層圧電素子1を長手方向及びこれと直交する幅方向に二分した四つの領域に配されている。
(実施の形態2)
次に、実施の形態1の変形例を図9,図10,図11を基に示す。
(実施の形態3)
次に、実施の形態3を図6,図7,図8を基に説明する。
(実施の形態4)
次に、実施の形態4を図12,図13を基に説明する。
(実施の形態5)
本発明の超音波モータを用いて電子機器を構成した例を図14を基に説明する。
2 摩擦部材
3 支持部材
4 加圧部材
6 加圧手段
7 移動体
10、12、13、26、31 内部電極
17、21、25、32 外部電極
Claims (6)
- 張り出し部を有する複数の電極からなる電極群を複数有する同一の圧電シートを積層し、この際に接して重なり合う圧電シート同士の前記張り出し部が前記積層の方向に重ならないように前記圧電シートを面内方向に位置をずらして積層する工程と、
前記積層された圧電シートを前記電極群が一つ含まれる様に切断する工程と、
前記切断面において前記積層の方向に重なる前記張り出し部を短絡する外部電極を設ける工程を有する積層圧電素子の製造方法。 - 前記切断する工程は前記積層圧電素子の本焼成前に行われることを特徴とする請求項1に記載の積層圧電素子の製造方法。
- 請求項1又は2に記載の製造方法で作られたことを特徴とする積層圧電素子。
- 請求項3に記載の積層圧電素子を用いたことを特徴とする超音波モータ。
- 請求項4に記載の超音波モータを備えたことを特徴とする電子機器。
- 請求項4に記載の超音波モータを備えたことを特徴とするステージ。
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