JP2005003691A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2005003691A5
JP2005003691A5 JP2004277357A JP2004277357A JP2005003691A5 JP 2005003691 A5 JP2005003691 A5 JP 2005003691A5 JP 2004277357 A JP2004277357 A JP 2004277357A JP 2004277357 A JP2004277357 A JP 2004277357A JP 2005003691 A5 JP2005003691 A5 JP 2005003691A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
inspection apparatus
inspected
light source
surface inspection
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2004277357A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2005003691A (ja
JP4492275B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2004277357A priority Critical patent/JP4492275B2/ja
Priority claimed from JP2004277357A external-priority patent/JP4492275B2/ja
Publication of JP2005003691A publication Critical patent/JP2005003691A/ja
Publication of JP2005003691A5 publication Critical patent/JP2005003691A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4492275B2 publication Critical patent/JP4492275B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

JP2004277357A 1999-02-08 2004-09-24 表面検査装置 Expired - Fee Related JP4492275B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004277357A JP4492275B2 (ja) 1999-02-08 2004-09-24 表面検査装置

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2978499 1999-02-08
JP2978399 1999-02-08
JP2978599 1999-02-08
JP2004277357A JP4492275B2 (ja) 1999-02-08 2004-09-24 表面検査装置

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000028699A Division JP2000298102A (ja) 1999-02-08 2000-02-07 表面検査装置

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010001194A Division JP4775492B2 (ja) 1999-02-08 2010-01-06 表面検査装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2005003691A JP2005003691A (ja) 2005-01-06
JP2005003691A5 true JP2005003691A5 (https=) 2007-03-01
JP4492275B2 JP4492275B2 (ja) 2010-06-30

Family

ID=34108968

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004277357A Expired - Fee Related JP4492275B2 (ja) 1999-02-08 2004-09-24 表面検査装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4492275B2 (https=)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007017181A (ja) * 2005-07-05 2007-01-25 Nano System Solutions:Kk 表面検査装置及び表面検査方法
JP2007047022A (ja) * 2005-08-10 2007-02-22 Gen Tec:Kk 表面形状測定装置
JP2009092426A (ja) * 2007-10-04 2009-04-30 Nippon Steel Corp 表面検査方法及び表面検査装置
JP4820971B2 (ja) * 2008-03-08 2011-11-24 関東自動車工業株式会社 表面検査方法
JP5552890B2 (ja) * 2010-05-11 2014-07-16 Ｊｆｅスチール株式会社 欠陥探傷ヘッドの退避方法および欠陥探傷装置
JP5655610B2 (ja) * 2011-02-10 2015-01-21 Ｊｆｅスチール株式会社 表面検査装置
JP5867069B2 (ja) * 2011-12-26 2016-02-24 Ｊｆｅスチール株式会社 欠陥検出装置およびその退避方法
JP6245046B2 (ja) * 2014-04-09 2017-12-13 Ｊｆｅスチール株式会社 表面欠陥検査装置および表面欠陥検査方法
EP3454004B1 (en) * 2016-06-27 2021-01-27 Nippon Steel Corporation Shape measurement device and shape measurement method

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6122279Y2 (https=) * 1979-11-01 1986-07-04
JPS60165853U (ja) * 1984-04-11 1985-11-02 日立電子エンジニアリング株式会社 円筒物体表面検査装置における搬送装置
JPS6262205A (ja) * 1985-09-13 1987-03-18 Toray Ind Inc 物体の表面凹凸検査方法
JPS62103546A (ja) * 1985-10-30 1987-05-14 Nissan Motor Co Ltd 表面欠陥検査装置
JPH0769161B2 (ja) * 1990-04-14 1995-07-26 松下電工株式会社 凹凸面の検査方法およびその装置
JPH0518907A (ja) * 1991-07-08 1993-01-26 Kawasaki Steel Corp 鋼帯表面疵検査方法
JPH0694642A (ja) * 1992-09-16 1994-04-08 Kawasaki Steel Corp 表面欠陥検査方法および装置
JPH09113465A (ja) * 1995-10-18 1997-05-02 Nippon Steel Corp 亜鉛メッキ系鋼板用表面欠陥検出装置
JPH09304033A (ja) * 1996-05-14 1997-11-28 Furukawa Electric Co Ltd:The 圧延板の光学式形状検出方法及びその装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN100565193C (zh) 用于检测透明基片中的缺陷的检测装置
JPH03267745A (ja) 表面性状検出方法
CN104094104A (zh) 用于识别透明片体内的缺陷部位的装置和方法以及该装置的使用
TW200949238A (en) Film defect inspecting method and apparatus
US20090002686A1 (en) Sheet Metal Oxide Detector
JP5808015B2 (ja) 欠陥検査方法
JP5322841B2 (ja) マスク欠陥の形状測定方法及びマスク良否判定方法
JP2005003691A5 (https=)
JP4775492B2 (ja) 表面検査装置
JP2014240766A (ja) 表面検査方法および表面検査装置
JP2008275424A (ja) 表面検査装置
JP3591160B2 (ja) 表面検査装置
JP2000298102A (ja) 表面検査装置
JP2001201429A (ja) 検査基体の欠陥検査方法および装置
JP2005534915A (ja) 金属製品の表面被覆物の特性をインラインで測定する方法及びその装置
TW468151B (en) Method and device for optical detection of local deformations, especially bubbles, in an optical data carrier
JP2005003691A (ja) 表面検査装置
JP2008157788A (ja) 表面検査方法及び表面検査装置
JP2012247343A (ja) 反射防止フィルムの欠陥検査方法及び欠陥検査装置
JP2011203223A (ja) 欠陥検出装置および欠陥検出方法
JP2011209092A (ja) 丸棒検査装置及び丸棒検査方法
JP5740894B2 (ja) 表面光沢物の検査装置
JP2019124522A (ja) 湿紙の検査方法
JP2013053860A (ja) キズ欠点検査装置および方法
JP2000314707A (ja) 表面検査装置および方法