JP2005003691A - 表面検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】表面粗さの粗い被検査対象物においても、凹凸が数μm程度の微小凹凸性疵を確実に検出できる装置及び方法を提供する。
【解決手段】検出ヘッド3中には、光源4が設けられ、鋼板1の表面に、可視域の波長の平行光を入射角θが90度近くの大きな角度で照射している。 鋼板1の表面で反射された光は、半透明のスクリーン6上に像を結ぶ。その像をスクリーン6の背面から2次元カメラ7で撮像し、信号処理装置8で画像処理を行うことにより凹凸性疵を検出する。光源からの光の波長をλ、鋼板1への照射光の入射角をθとすると、cosθ/λを所定値以下にすることにより、入射角を鋼板表面からの反射光は鏡面反射光となるが、凹凸性疵があると、その部分が黒くスクリーン6に写るので、疵の存在を検出することができる。
【選択図】図1
Description
g = {2πσ(cosθ1+cosθ2)/λ}2 …(1)
ここで、σは凹凸量の正規分布の標準偏差、λは照射光の波長、θ1は入射角、θ2は出射角である。ここで、正反射光を受光することを考え、入射角θ1及び出射角θ2がともに等しく、その値をθとすると、(1)式は、(2)式となる。
g = {4πσcosθ/λ}2 …(2)
上式によれば、σが大きな対象であっても、cosθ/λを所定の値以下にすれば、鏡面性を確保できることがわかる。 例えばσ=0.5μmの粗面を有する被検査体の鏡面性gを、σ=0.025μm程度の鏡面が、可視光の波長0.5μm、入射角0度に対して有するのと同程度の鏡面性gと同じ程度にしようとした場合、その方法の例としては、波長はそのままで入射角を87度程度に大きくするか、入射角はそのままで波長を10μm程度に大きくすることが考えられる。
tanφ(x)=dh/dx
スクリーンはx軸に対し角度Θで設置されているとし、スクリーン上にu軸をとる。u軸の原点は、x軸の原点の正反射位置に対応させ、それぞれの軸の原点間の距離をLとする。従って、u軸の原点は、x−h座標では(L・sinθ, L・cosθ)である。同様に、u軸上の任意の点は、x−h座標で(L・sinθ+u・cosΘ, L・cosθ−u・sinΘ)と表される。
よって、以下の(4)式のようになる。
u={cosθ+sinθtan(2φ(x))}x-L・tan(2φ(x)) …(6)
さらに、入射光の傾きが被検査体上の凹凸の傾きよりも十分大きい、すなわち、1/tanθ≫tan(2φ(x))とすると、(7)式のようになる。
≒x・cosθ-2L・dh/dx=cosθ(x-2L/cosθ・dh/dx) …(7)
ここで、スクリーン上の明点は、図12(a)のようにxを増加させたときに各点からの反射光がu軸上で重なり合ったり、図12(b)のように重なり合うことはなくても密になるということで説明できる。また、逆に暗点は各点からの反射光がu軸上で疎になる領域として理解することができる。特に、凹凸量が十分小さく、u(x)が一価関数となる場合には、スクリーン上の明暗は、微小区間dxに照射された光量が微小区間duへ投影されると考えると、dx/duで計算できる。
u=x-2L・tan2θ・dh/dx …(8)
この場合、投影された像の倍率は入射角θによらず一定であるが、入射角が大きいほど感度が高いのは同様である。
|δ|/R<εmax・cosθ
発明者らは、被検査体がロールに接した状態にあるときに、パスライン変動があった場合の入射角の変化量の見積もりを行った。その過程を図14により説明する。パスライン変動が表面検査装置に与える影響は、入射光軸に対して垂直に変動する場合が最も影響が大きい。従って、図14のような場合を考える。パスライン変動が生じると、光の入射する位置が変わり、結果的に入射角の変動となる。よって、この場合について考察する。
∴ δ/R = sin(θ+ε)−sinθ
= 2・sin(ε/2)・cos(θ+ε/2) …(10)
従って、許容できる入射角変動の値を±εmaxとすると、(11)式で示す関係にある必要がある。
−2・sin(εmax /2)・cos(θ−εmax /2)≦δ/R ≦ 2・ sin(εmax /2)・cos(θ+ε
max /2) …(11)
いま、εが十分小さいとすると、(12)および(13)式と近似することができ、(11)式は、(14)式となる。
cos(θ±εmax /2)=cos(θ) …(13)
|δ|/R ≦ εmax・cosθ …(14)
前記課題を解決するための第6の手段は、前記第1の手段から第5の手段のいずれかであって、前記検出系は、前記被検査体の表面により反射された光を投影するスクリーンと、当該スクリーン上の光強度分布を測定する受光器とを有してなることを特徴とするもの(請求項6)である。
板、2はロール、3は検出ヘッド、4は光源、5はミラー、6はスクリーン、7は2次元カメラ、8は信号処理装置、9は出力装置である。
2 ロール
3 検出ヘッド
4 光源
5 ミラー
6 スクリーン
7 2次元カメラ
7’ リニアアレイセンサ
8 信号処理装置
9 出力装置
10、10’ シリンドリカルレンズ
11 ラインライトガイド
11a バンドルファイバ
12 リニアガイド
Claims (14)
- 被検査体の表面に所定の入射角で光を照射する光源と、前記被検査体の表面から反射された光を検出する検出系とを有し、微小凹凸性疵を検出する表面検査装置において、前記光源の波長λに対する前記入射角θの余弦の値の比cosθ/λが、前記被検体の表面粗さに対応して決定される所定の値以下となるように、前記波長と前記入射角の関係が選定されていることを特徴とする表面検査装置。
- 前記光源の波長として可視域の波長を選定し、前記入射角として90度近くの大きな角度を選定したことを特徴とする請求項1に記載の表面検査装置。
- 前記光源の波長として赤外域の波長を選定したことを特徴とする請求項1に記載の表面検査装置。
- 前記光源は、前記被検査体がロールに接している部位に光を照射するものであることを特徴とする請求項1から請求項3のうちいずれか1項に記載の表面検査装置。
- 前記ロールに接している部分における被検査体のパスライン変動量δが下記条件を満足するよう、ロール半径Rの選定、パスライン変動要因の抑制の少なくとも一方が行われていることを特徴とする請求項4に記載の表面検査装置。
|δ|/R<εmax・cosθ
ただし、θは入射角、εmaxは許容できる入射角変動[rad]である。 - 前記検出系は、前記被検査体の表面により反射された光を投影するスクリーンと、当該スクリーン上の光強度分布を測定する受光器とを有してなることを特徴とする請求項1から請求項5のうちいずれか1項に記載の表面検査装置。
- 前記検出系は、前記被検査体の表面により反射された光のうち、一次元方向成分については、被検査面の像を前記スクリーン上に結像する光学系を有することを特徴とする請求項6に記載の表面検査装置。
- 前記検出系は、撮像素子と前記被検査体の表面により反射された光を当該撮像素子上に投影する光学系とを有することを特徴とする請求項1から請求項5のうちいずれか1項に記載の表面検査装置。
- 前記検出系は、前記被検査体の表面により反射された光のうち、一次元方向成分については、被検査面の像を前記撮像素子上に結像する光学系を有することを特徴とする請求項8に記載の表面検査装置。
- 前記光源は、被検査体に平行光を照射する光源であることを特徴とする請求項1から請求項9のうちいずれか1項に記載の表面検査装置。
- 前記光源は、被検査体を面状に照射する光源であって、照射された被検査体上のすべての測定点において入射角が所定範囲内に収まるように、ロール径に合わせて収束する光を照射するものであることを特徴とする請求項4又は請求項5に記載の表面検査装置。
- 前記光源は、一次元方向には平行性を、もう一次元方向には拡散特性を有する光源であることを特徴とする請求項7又は請求項9に記載の表面検査装置。
- 前記検査装置は、被検査体の幅全体の一部分を検査する検査装置を幅方向に移動させる移動機構を有してなることを特徴とする請求項1から請求項12のうちいずれか1項に記載の表面検査装置。
- 前記検査装置は、前記周期的に発生する疵の想定される最大周期の2倍以上に相当する距離だけ、前記被検査体が進む時間中、前記被検査体の幅方向の同一場所を検査できるだけの速度で移動するものであることを特徴とする請求項13に記載の表面検査装置。
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