JP2005003691A5 - - Google Patents

Claims (14)

1. 被検査体の表面に所定の入射角で光を照射する光源と、前記被検査体の表面から反射された光を検出する検出系とを有し、微小凹凸性疵を検出する表面検査装置において、前記光源の波長λに対する前記入射角θの余弦の値の比cosθ/λが、前記被検体の凹凸量の正規分布の標準偏差σに対応して、以下の（Ａ）式を満たすように、前記波長λと前記入射角θの関係が選定され、かつ、前記検出系は被検査体の微小凹凸疵で反射されて得られる明暗パターンに基づいて微小欠陥を検出することを特徴とする表面検査装置。
   （４πσcosθ／λ）^２ ≦（４π×0.025cos0／0.5）^２…（Ａ）
2. 前記光源の波長として可視域の波長を選定し、前記入射角として90度近くの大きな角度を選定したことを特徴とする請求項１に記載の表面検査装置。
3. 前記光源の波長として赤外域の波長を選定したことを特徴とする請求項１に記載の表面検査装置。
4. 前記光源は、前記被検査体がロールに接している部位に光を照射するものであることを特徴とする請求項１から請求項３のうちいずれか１項に記載の表面検査装置。
5. 前記ロールに接している部分における被検査体のパスライン変動量δが下記条件を満足するよう、ロール半径Ｒの選定、パスライン変動要因の抑制の少なくとも一方が行われていることを特徴とする請求項４に記載の表面検査装置。
   ｜δ｜／Ｒ＜εmax・cosθ
   ただし、θは入射角、εmaxは許容できる入射角変動[rad]である。
6. 前記検出系は、前記被検査体の表面により反射された光を投影するスクリーンと、当該スクリーン上の光強度分布を測定する受光器とを有してなることを特徴とする請求項１から請求項５のうちいずれか１項に記載の表面検査装置。
7. 前記検出系は、前記被検査体の表面により反射された光のうち、一次元方向成分については、被検査面の像を前記スクリーン上に結像する光学系を有することを特徴とする請求項６に記載の表面検査装置。
8. 前記検出系は、撮像素子と前記被検査体の表面により反射された光を当該撮像素子上に投影する光学系とを有することを特徴とする請求項１から請求項５のうちいずれか１項に記載の表面検査装置。
9. 前記検出系は、前記被検査体の表面により反射された光のうち、一次元方向成分については、被検査面の像を前記撮像素子上に結像する光学系を有することを特徴とする請求項８に記載の表面検査装置。
10. 前記光源は、被検査体に平行光を照射する光源であることを特徴とする請求項１から請求項９のうちいずれか１項に記載の表面検査装置。
11. 前記光源は、被検査体を面状に照射する光源であって、照射された被検査体上のすべての測定点において入射角が所定範囲内に収まるように、ロール径に合わせて収束する光を照射するものであることを特徴とする請求項４又は請求項５に記載の表面検査装置。
12. 前記光源は、一次元方向には平行性を、もう一次元方向には拡散特性を有する光源であることを特徴とする請求項７又は請求項９に記載の表面検査装置。
13. 前記検査装置は、被検査体の幅全体の一部分を検査する検査装置を幅方向に移動させる移動機構を有してなることを特徴とする請求項１から請求項１２のうちいずれか１項に記載の表面検査装置。
14. 前記検査装置は、前記周期的に発生する疵の想定される最大周期の２倍以上に相当する距離だけ、前記被検査体が進む時間中、前記被検査体の幅方向の同一場所を検査できるだけの速度で移動するものであることを特徴とする請求項１３に記載の表面検査装置。