JP5808015B2 - 欠陥検査方法 - Google Patents
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Description
3 被検体
3A,3D 明欠陥
3B,3C 暗欠陥
4 照明装置
4A 発光面
4B 発光ダイオード
4C 拡散板
6 ラインセンサカメラ
6A レンズ
6B ラインセンサ
8,30,40,50 遮光部材
8A,30A,40A,50A エッジ
10 光軸
11 システムコントローラ
12 光強度調整部
14 カメラ作動部
16 信号処理部
18 欠陥判定部
19 欠陥表示部
21 遮光プレート位置検出部
22 警報部
23 遮光プレート位置調整部
25 記録部
27A,27B,27C,27D 測定ライン
30B,40B,50B 中央エリア
30C,40C,50C 端部エリア
30D,50D1,50D2,50D3,50D4 スリット
32A,32B,34A,34B,36A,36B,38A,38B,42A,42B,44A,44B,46A,46B,48A,48B,52A,52B,54A,54B,56A,56B,58A,58B 信号強度
40D 楔形状の空隙
42C,42D,44C,44D,46C,46D,48C,48D 信号幅
62 透明部材
72 凹シリンドリカルレンズ
P 正常信号
Q 欠陥信号
Claims (6)
- 透明なウェブ状またはシート状の被検体を連続移動させながら前記被検体の一方の面に光を照射し、前記被検体を透過してきた検査光に基づいて前記被検体の欠陥の有無を検査する欠陥検査方法であって、
長辺が前記被検体の幅を超える長さの矩形状の発光面を備え、前記発光面の長辺方向が前記被検体の移動方向に所定の角度で配置された照明装置の前記発光面から、光を前記被検体の前記一方の面に向けて照射し、
前記発光面と前記被検体との間に、前記発光面を前記被検体の幅方向では全体的に覆い、前記被検体の移動方向では前記移動方向と所定の角度で交わる直線状のエッジを境界にして部分的に覆う中央エリアと、前記発光面端部を前記被検体の移動方向で全体的に覆う遮光領域に所定パターンの透孔を形成した端部エリアとを有し、前記エッジがラインセンサカメラの光軸と合致するように位置決めされる遮光プレートを設け、
前記被検体の他方の面に対面し、ラインセンサの画素の配列方向が前記発光面の長辺方向と平行になるように配置された前記ラインセンサカメラの前記ラインセンサにより、前記検査光と共に前記被検体の幅外を通過した発光面端部からの端部光を撮像し、
前記ラインセンサカメラから得られる前記中央エリアの光電信号の強度が一定となるように、前記照明装置から照射される光量を調整し、前記中央エリアの光電信号に基づいて前記被検体の欠陥の有無を評価し、前記端部エリアの光電信号に基づいて前記ラインセンサカメラに対する前記遮光プレートの相対位置を評価することを特徴とする欠陥検査方法。 - 前記遮光プレートの相対位置を、前記端部エリアの各々の光電信号を対照し、前記ラインセンサカメラの画素の配列方向と前記遮光プレートの前記エッジとの相対的な平行度で評価することを特徴とする請求項1記載の欠陥検査方法。
- 前記遮光プレートの相対位置の評価結果に基づき、前記遮光プレートのエッジが前記ラインセンサカメラの光軸と合致していない時にその旨の警告を発することを特徴とする請求項1または2記載の欠陥検査方法。
- 前記遮光プレートの相対位置の評価結果に基づき、前記遮光プレートのエッジが前記ラインセンサカメラの光軸と合致するように機械的又は光学的に調整する調整手段を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つ記載の欠陥検査方法。
- 前記調整手段のうち、光学的に調整する調整手段は、前記被検体の幅方向に全体に覆うように設けられた屈折率及び厚みが均一な透明部材を回転して行われることを特徴とする請求項4記載の欠陥検査方法。
- 前記被検体と前記遮光プレートの間であって、前記遮光プレートの前記端部エリアに照射され検出される端部光の光路上に、それぞれ凹シリンドリカルレンズが設けられていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つ記載の欠陥検査方法。
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