JP2007047022A - 表面形状測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 被測定対象面に光線を投影する光源体と、該光源体の被測定対象表面による鏡面反射像を撮影するカメラと、該カメラによる撮影画像を処理する処理装置を具備した表面形状測定装置において、前記被測定対象面から前記カメラへの光路に反射鏡を設け、前記カメラのレンズ中心軸を前記被測定対象面に略平行に設けると共に、前記反射鏡は被測定対象面から反射された鏡面反射像がカメラレンズの中心に向くように配置したことを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
請求項1記載の発明は、被測定対象面に光線を投影する光源体と、該光源体の被測定対象表面による鏡面反射像を撮影するカメラと、該カメラによる撮影画像を処理する処理装置を具備した表面形状測定装置において、前記被測定対象面から前記カメラへの光路に反射鏡を設けたことを特徴としている。
本発明によれば、光源体からカメラまでの光路を長くしても装置をコンパクトに構成できるという利点が得られる。
本発明によれば、入射角度をレンズの中心線近傍に集めることができるので、レンズの口径を小さくしたり、レンズの歪の小さい部分を使用することにより精度を上げることができるという利点が得られる。
本発明によれば光源体の形状や配置を種々の形状に構成することが容易かつ安価になるという利点が得られる。
本発明によれば、少ない測定回数で全体の凹凸形状を把握できるという利点が得られる。
本発明によれば計測(使用)可能な被測定対象面の範囲が広がるという利点が得られる。
又、 請求項10記載の発明は、請求項1〜請求項9に記載の発明において、前記測定装置に水平角度を調節する角度調節器を設けたことを特徴としている。
11 被測定対象物
12 凹凸又は段差等
21 基本装置
23 ケース
24 カメラ
25 発光体(光源体)
26 反射鏡
28 角度調節器
33 制御装置
34 処理装置
35 記録装置
36 表示装置
37 入力装置
34 処理装置
40 角度調節器
Claims (10)
- 被測定対象面に光線を投影する光源体と、該光源体の被測定対象表面による鏡面反射像を撮影するカメラと、該カメラによる撮影画像を処理する処理装置を具備した表面形状測定装置において、前記被測定対象面から前記カメラへの光路に反射鏡を設けたことを特徴とする表面形状測定装置。
- 前記反射鏡は、被測定対象面に対して略垂直方向に設けたことを特徴とする請求項1に記載の表面形状測定装置。
- 前記カメラのレンズ中心軸を前記被測定対象面に略平行に設けると共に、前記反射鏡は被測定対象面から反射された鏡面反射像がカメラレンズの中心に向くように配置したことを特徴とする請求項1に記載の表面形状測定装置。
- 前記光源体は1又は複数個の棒状発光体又は棒状光誘導体で構成したことを特徴とする請求項1〜請求項3の何れか1に記載の表面形状測定装置。
- 前記光源体は平面発光体と1又は複数個のスリット孔を有するマスクで構成したことを特徴とする請求項1〜請求項3の何れか1に記載の表面形状測定装置。
- 前記光源体は複数個の棒状発光体又は棒状光誘導体又はスリット孔を外枠が略正方形又は長方形になるように配置したことを特徴とする請求項1〜請求項5の何れか1に記載の表面形状測定装置。
- 前記光源体は複数個の棒状発光体又は棒状光誘導体又はスリット孔を外枠の撮影画像が略正方形又は長方形になるように台形状に配置したことを特徴とする請求項1〜請求項5の何れか1に記載の表面形状測定装置。
- 前記表面形状測定装置は被測定対象面と非接触状態で計測可能に構成したことを特徴とする請求項1〜請求項7の何れか1に記載の表面形状測定装置。
- 前記カメラ、前記光源体及び前記反射鏡は相互の位置関係をフレーム等で固定して構成したことを特徴とする請求項1〜請求項8の何れか1に記載の表面形状測定装置。
- 前記測定装置に水平角度を調節する角度調節器を設けたことを特徴とする請求項1〜請求項9の何れか1に記載の表面形状測定装置。
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