JP2004537234A - Hfストリップ線路パターン用のカップリング素子 - Google Patents
Hfストリップ線路パターン用のカップリング素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004537234A JP2004537234A JP2003517978A JP2003517978A JP2004537234A JP 2004537234 A JP2004537234 A JP 2004537234A JP 2003517978 A JP2003517978 A JP 2003517978A JP 2003517978 A JP2003517978 A JP 2003517978A JP 2004537234 A JP2004537234 A JP 2004537234A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- coupling element
- strip line
- substrate
- finger
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
- H01P1/00—Auxiliary devices
- H01P1/20—Frequency-selective devices, e.g. filters
- H01P1/201—Filters for transverse electromagnetic waves
- H01P1/203—Strip line filters
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
- Waveguide Connection Structure (AREA)
- Led Device Packages (AREA)
Abstract
Description
本発明は、HFストリップ線路パターン用のカップリング素子に関する。
【0002】
従来の技術
HF技術、例えばレーダー技術のコンポーネントから直流電圧を分離するために、いわゆるフィンガカプラまたはDCブロックが使用される。これらの素子はマイクロストリップ回路の一部であり、したがってパターンとしてエッチングされている。相互にオーバラップしたフィンガを通ってHF信号はバンドパス特性により透過されるが、直流電圧はブロックされる。こうしたバンドパス特性はレーダーの機能にとって必須である。なぜならこれにより駆動パルスの低周波数成分が阻止され、その先へは供給されなくなるからである。したがって単純な直列のキャパシタンスでは充分でない。
【0003】
カプラのフィンガ幅は基板と線路インピーダンスとの関数である。通常の線路インピーダンスは標準で50Ωであり、これは導体幅によって定まる。所定のパラメータのもとでは例えばフィンガ幅は90μm、空隙は60μmの値となる。図1に示されているこの寸法はマスプロダクトプロセスでは実現できない。この状況でカプラを実現するためには、図2に示されているように、カプラの後方に低い複合インピーダンスへの出力変換を行う線路変圧器を設ける。これによりフィンガ幅および空隙がそれぞれ200μmおよび120μmまで増大し、図2のように製造可能となる。
【0004】
本発明の利点
請求項1に記載の手段により、ストリップ線路パターン用のカップリング素子をHF基板上に実現することができる。この素子は小さなスペースしか要さず、しかもHF信号に対する充分に広い帯域、すなわち要求されるバンドパス特性のもとで直流電圧の分離を可能にする。
【0005】
本発明ではHF基板上にエッチングされたフィンガカプラパターンがシリコン支持体上の離散的なモジュールにより実現され、メタライゼーション部を介してHFストリップ線路パターンのストリップ導体路へコンタクト接続される。
【0006】
冒頭に言及したカップリング素子とは異なり、本発明のカップリング素子には帯域幅を後から調整する線路変圧器は必要ない。線路変圧器はカップリング素子を狭帯域化し、特にHFスイッチがトポロジ上近傍に配置される場合、振動を発生しやすくするおそれがある。これは特にレーダーの分野での適用に顕著なケースであり、本発明は、特に有利にはこうしたケースにおける前述の障害を効率的に低減することができる。
【0007】
本発明の解決手段は僅かなコストのみで有利にはピックアンドプレース技術への互換性を達成することができる。ピックアンドプレース技術はストリップ線路パターン上の他のHFモジュールについて行われるものである。
【0008】
本発明の請求項2に記載の手段によれば、フィンガカプラパターンはミアンダ状に構成される。
【0009】
コンタクト接続はストリップ線路パターンへ通じるメタライゼーション部により行われるが、このメタライゼーション部は請求項3に記載の手段によりスペーサとして実現される。このスペーサはシリコン支持体とHF基板とのあいだの空隙を保証する。こうした構成により正確にプロセスが行われ、フィンガカプラパターンの寸法を考慮に入れた比が得られる。
【0010】
図面
図に基づき、本発明を従来技術の手段から出発して詳細に説明する。
【0011】
図1には周知のストリップ線路パターン用のカップリング素子が示されている。図2には線路変圧器を備えた周知のストリップ線路パターン用のカップリング素子が示されている。図3には集積フィンガカプラパターンを備えたHFストリップ線路パターンのレイアウトが示されている。図4には本発明のカップリング素子の断面図が示されている。図5には本発明のカップリング素子の平面図が示されている。図6には本発明のカップリング素子のミアンダ状の構造が示されている。図7、図8には従来の技術および本発明でのカップリング素子の周波数特性が示されている。
【0012】
実施例の説明
図1に示されている周知のカップリング素子はフィンガカプラパターン1を有している。このパターンは相互に平行にオーバラップして延在し、パッド20で終端するフィンガ形状の2つのストリップ線路を有している。結合はここでは主として容量的に行われる。オーバラップしているフィンガは高周波数信号に対して、直流成分および低周波数成分をブロックする帯域特性を保証する。この種のカップリング素子の長さは2.75mmであり、パッド幅は0.638mmである。図3にはHFストリップ線路パターン内部のこのようなフィンガカプラパターンのレイアウトが部分的に示されている。最初に述べたように、このようなカップリング素子をマスプロダクトプロセスで実現するには線路変圧器が必須である。図2にはこうした線路変圧器2を備えたパターンが示されている。このため構造の全長は6.15mmまで上昇する。
【0013】
図4、図5の本発明のカップリング素子では、ストリップ線路パターン4は通常のHF基板5上に被着されている。HF信号のバンドパス特性を保証するフィンガカプラパターン1そのものは薄膜構造体6の離散的なモジュールとしてHF用のシリコン支持体7上に実現される。シリコンの誘電定数が高いため、例えば50μmの空隙幅と20μmのフィンガ厚さとが得られる。シリコンウェハに使用される薄膜プロセスにより、導体寸法および空隙寸法は1〜2μmのオーダで実現可能である。HFストリップ線路パターン4のストリップ導体路とフィンガカプラパターン1とのコンタクト接続はメタライゼーション部8を介して行われる。このメタライゼーション部はスペーサ9の形態で設けられており、モジュールの平面状のパッド20とストリップ線路4とのあいだのいわゆるバンプを形成している。このスペーサ9は接着によりストリップ導体路上に載置され、フィンガカプラパターン1での離散的なモジュールとHF基板5とのあいだに設定された距離を保持する。これはフィンガの寸法がHF基板および線路インピーダンスのみならず付加的にシリコンの特性やHF基板5とモジュールとのあいだの空隙にも依存するため、重要である。これらの寸法およびデータは開発時にともに考慮される。ここでは空隙の高さが重要であることが判明している。これはスペーサにより再現可能に設定される。
【0014】
有効誘電定数が高誘電性のシリコン支持体のために係数2.2だけ増大されることにより、フィンガ長はこの値の根だけ短縮され、これによりスペースが節約される。さらに50Ωの系ではインピーダンス変換が必要ないので線路変圧器を省略できることにより、さらに2.6mmが節約される。これによりカプラは6.15mm〜2mmまで縮小される(図5を参照)。
【0015】
HF基板上の導体幅は0.64mmであるので、これを完全にモジュールに対して用いることができる。したがってモジュールは0.6mmの幅となり、フィンガパターンはミアンダ状に構成される。こうした手段により長さは1mmまで低減され、パッド幅は0.4mmとなる(図6を参照)。
【0016】
カップリング素子は支持体7と2つの単純なメタライゼーション部(構造体6およびバンプ2)とからのみ成っており、簡単な半導体プロセスによりきわめて低コストに実現することができる。モジュールはレール上に延在し、別のモジュール10を実装するための通常の機械を用いて自動的に配置できる。
【0017】
図7、図8には従来の実施態様と本発明の実施態様とにおける周波数特性が示されており、ここで周波数はGHz、減衰量はdBで表されている。図7には参照番号11でS11パラメータが示されており、参照番号12で図2のパターンのS21パラメータが示されている。参照番号13で図1のパターンのS11パラメータが示されており、参照番号14ではS21パラメータが示されている。
【0018】
図8には参照番号15で本発明の図5のパターンのS11パラメータが示されており、参照番号16でS21パラメータが示されている。本発明のパターンでは、改善されたバンドパス特性、すなわち透過領域で高い帯域幅が見て取れる。
【図面の簡単な説明】
【図1】
周知のカップリング素子を示す図である。
【図2】
線路変圧器を備えた周知のカップリング素子を示す図である。
【図3】
集積フィンガカプラパターンを備えたHFストリップ線路パターンのレイアウトを示す図である。
【図4】
本発明のカップリング素子の断面図である。
【図5】
本発明のカップリング素子の平面図である。
【図6】
本発明のカップリング素子のミアンダ状の構造を示す図である。
【図7】
従来技術でのカップリング素子の周波数特性を示す図である。
【図8】
本発明でのカップリング素子の周波数特性を示す図である。
Claims (6)
- フィンガカプラパターン(1)から成るHF基板(5)上のHFストリップ線路パターン(4)用のカップリング素子において、
薄膜構造体(6)としてシリコン支持体(7)上に実現されており、
メタライゼーション部(8)を介してHFストリップ線路パターン(4)のストリップ導体路へコンタクト接続されている
ことを特徴とするHFストリップ線路パターン用のカップリング素子。 - フィンガカプラパターン(1)はミアンダ状に構成されている、請求項1記載の素子。
- ストリップ導体路へ通じるメタライゼーション部(8)はスペーサ(9)の形態で設けられており、該スペーサは例えばシリコン支持体(7)をストリップ導体路上へ被着する際にシリコン支持体(7)とHF基板とのあいだに所定の空隙が形成されることを保証する、請求項1または2記載の素子。
- フィンガカプラパターン(1)とメタライゼーション部とをコンタクト接続するために、平面的なパッド(20)が薄膜構造体(6)内に設けられる、請求項1から3までのいずれか1項記載の素子。
- シリコン支持体(7)上の薄膜構造体(6)はピックアンドプレース製造技術に対して互換性のあるように構成されている、請求項1から4までのいずれか1項記載の素子。
- 例えばレーダーの分野での適用に対して、直流成分および低周波数成分を同時にブロックする高周波数信号用のバンドパスフィルタとして使用する
ことを特徴とする請求項1から5までのいずれか1項記載の容量性カップリング素子の使用法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10134685A DE10134685A1 (de) | 2001-07-20 | 2001-07-20 | Koppelelement für eine HF-Streifenleiterstruktur |
PCT/DE2002/001639 WO2003012914A2 (de) | 2001-07-20 | 2002-05-07 | Koppelement für eine hf-streifenleiterstruktur |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004537234A true JP2004537234A (ja) | 2004-12-09 |
Family
ID=7692055
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003517978A Pending JP2004537234A (ja) | 2001-07-20 | 2002-05-07 | Hfストリップ線路パターン用のカップリング素子 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6876268B2 (ja) |
EP (1) | EP1428288B1 (ja) |
JP (1) | JP2004537234A (ja) |
DE (2) | DE10134685A1 (ja) |
WO (1) | WO2003012914A2 (ja) |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62263701A (ja) * | 1986-05-09 | 1987-11-16 | Murata Mfg Co Ltd | Dcカツト回路 |
JPH0195601A (ja) * | 1987-10-08 | 1989-04-13 | Anritsu Corp | ストリップ線路の直流阻止回路 |
US5216395A (en) * | 1992-06-03 | 1993-06-01 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Quarter wave high voltage DC block covered with a polyurethane insulating layer |
JPH06216613A (ja) * | 1993-01-19 | 1994-08-05 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | マイクロ波結合線路 |
JP3331967B2 (ja) * | 1998-06-02 | 2002-10-07 | 松下電器産業株式会社 | ミリ波モジュール |
-
2001
- 2001-07-20 DE DE10134685A patent/DE10134685A1/de not_active Withdrawn
-
2002
- 2002-05-07 WO PCT/DE2002/001639 patent/WO2003012914A2/de active Application Filing
- 2002-05-07 DE DE50212873T patent/DE50212873D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2002-05-07 US US10/381,236 patent/US6876268B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-05-07 JP JP2003517978A patent/JP2004537234A/ja active Pending
- 2002-05-07 EP EP02742718A patent/EP1428288B1/de not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE10134685A1 (de) | 2003-02-06 |
US20040036549A1 (en) | 2004-02-26 |
EP1428288B1 (de) | 2008-10-08 |
US6876268B2 (en) | 2005-04-05 |
EP1428288A2 (de) | 2004-06-16 |
DE50212873D1 (de) | 2008-11-20 |
WO2003012914A3 (de) | 2003-04-24 |
WO2003012914A2 (de) | 2003-02-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7196598B2 (en) | Dielectric waveguide filter with inductive windows and coplanar line coupling | |
US5977631A (en) | Semiconductor device including a semiconductor package with electromagnetic coupling slots | |
JP3804407B2 (ja) | フィルタ | |
KR20050013159A (ko) | 다층 기판을 갖는 전자 소자 및 그 제조 방법 | |
JP4915747B2 (ja) | 高周波信号伝送装置 | |
JP6074695B2 (ja) | 高周波増幅回路 | |
JP2010087469A (ja) | 高周波パッケージ装置およびその製造方法 | |
JP2001292002A (ja) | フィルタ、デュプレクサおよび通信装置 | |
JPH05251914A (ja) | マイクロ波遅波回路 | |
JPH10270976A (ja) | 分波器パッケージ | |
TWI656694B (zh) | 射頻裝置 | |
JP3850325B2 (ja) | マイクロ波集積回路 | |
JP3610939B2 (ja) | フィルタ回路 | |
KR100779168B1 (ko) | 밀리미터파 대역용 신호 전송로 | |
JP2004537234A (ja) | Hfストリップ線路パターン用のカップリング素子 | |
US7196909B2 (en) | AC coupling circuit having a large capacitance and a good frequency response | |
JP4304784B2 (ja) | 半導体チップ搭載基板及び高周波装置 | |
WO2005067095A1 (ja) | 同軸線路−平面基板変換構造と高周波用信号変換器 | |
JP5720261B2 (ja) | 電子回路及び送受信システム | |
JP2001345606A (ja) | Mmic増幅器 | |
JP2590686B2 (ja) | 混成集積回路 | |
JP3833426B2 (ja) | 高周波用配線基板 | |
JP2005130406A (ja) | 導波管部材および導波管ならびに高周波モジュール | |
JP2005151165A (ja) | 高周波共振回路及びそれを用いた発振器 | |
JP4542531B2 (ja) | 伝送モードの変換構造 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050506 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060822 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060901 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20061130 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20061207 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070227 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070530 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20070828 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20070904 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070926 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080111 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20080409 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20080416 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20080509 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20080516 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20080611 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20080618 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080711 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20081024 |