WO2003012914A2 - Koppelement für eine hf-streifenleiterstruktur - Google Patents

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Markus Ulm
Stefan Keith
Dirk Steinbuch
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P1/00—Auxiliary devices
    • H01P1/20—Frequency-selective devices, e.g. filters
    • H01P1/201—Filters for transverse electromagnetic waves
    • H01P1/203—Strip line filters

Definitions

  • the invention is based on a coupling element for an HF stripline structure on an HF substrate.
  • So-called finger couplers or DC blocks are used for the DC decoupling of components in HF technology, in particular radar technology. These elements are part of the stripline circuit, that is, etched as a structure.
  • the HF signal is passed through a bandpass characteristic due to the overlapping fingers, but DC voltage is blocked. This bandpass characteristic is essential for the function of the radar, since it prevents low-frequency components of the drive pulse from being passed on. A simple series capacity is therefore not sufficient.
  • the finger width of a coupler 1 is a function of the substrate and the line impedance.
  • the standard line impedance is 50 Ohm as standard, this is determined by the wire width. Given the given parameters, one would come up with a finger width of 90 ⁇ m and a gap of 60 ⁇ m, for example. These dimensions, shown in Figure 1, cannot in a mass production process will be realized.
  • a line transformation 2 to a lower, complex impedance is carried out before and after the coupler 1, with the effect that the finger width and gap increase to 200 ⁇ m and 120 ⁇ m, and thus how Figure 2 shows are suitable for production.
  • an etched finger coupling structure is realized on the HF substrate by a discrete component on a silicon carrier and contacted via metallizations to the strip conductors of the HF strip conductor structure.
  • the solution according to the invention requires only a slight additional effort and can advantageously be compatible Pick & place technologies that are intended for other HF components on the stripline structure anyway are designed.
  • the measures of the invention enable a meandering design of the finger coupler structure according to claim 2.
  • the contacting of the metallizations to the strip conductors is advantageously realized by spacers, which ensure a predetermined air gap between the silicon carrier and the HF substrate. This configuration allows more precise processable conditions to be created, which can also be taken into account when dimensioning the finger coupler structure.
  • FIG. 1 shows a known coupling element for an HF stripline structure
  • FIG. 2 shows a known coupling element for an HF stripline structure with line transformation
  • FIG. 3 shows the layout of an HF stripline structure with integrated finger coupler structure
  • FIG. 4 shows a section through a coupling element according to the invention
  • FIG. 5 shows a coupling element according to the invention in plan view
  • FIG. 6 shows a coupling element according to the invention in a meandering structure
  • the known coupling element shown in FIG. 1 has a finger coupler structure 1, with two overlapping strip conductors in the shape of a finger that run parallel to one another and each end in pads 20.
  • the coupling is essentially capacitive.
  • the overlapping fingers guarantee a band characteristic for high-frequency signals, where on the other hand DC components and low-frequency components are blocked.
  • the length of such a coupling element is 2.75 mm with a pad width of 0.638 mm.
  • FIG. 3 shows sections of the layout of such a finger coupler structure within an HF stripline structure. As shown at the beginning, a line transformation is necessary for the implementation of such a coupling element in a mass production process.
  • FIG. 2 shows such a structure with line transformations 2. The overall length thereby increases to 6.15 mm.
  • a stripline structure 4 is applied to a conventional HF substrate 5.
  • the finger coupler structure 1 which ensures the bandpass characteristic for RF signals, is in itself a discrete component as a thin-layer structure 6.
  • an HF-compatible silicon carrier 7 realized. Because of the higher dielectric constant of silicon, there is now, for example, a gap width of 50 ⁇ m and a finger thickness of 20 ⁇ m. Due to the thin-film processes used in silicon wafers, conductor and gap dimensions of the order of 1 to 2 ⁇ m can be realized.
  • the strip conductors of the HF strip conductor structure 4 are contacted with the finger coupler structure 1 via metallizations 8, which are in the form of spacers 9, so-called busses, between flat pads 20 of the component and the strip conductors 4 are provided.
  • These spacers 9 are seated on the strip conductor during gluing and set a defined distance of the discrete component with the finger coupler structure 1 from the HF substrate 5. This is important since the dimensions of the fingers are no longer dependent solely on the HF substrate and the line impedance, but also on the properties of the silicon and the air gap between the HF substrate 5 and the component. These dimensions and data are to be included in the 'development. The height of the air gap proves to be critical here. This is reproducibly set by the spacers.
  • the simple structure of the coupling element which consists only of the carrier 7 and two simple metallizations (structure 6 and bumps 2), can be implemented extremely inexpensively using a simple semiconductor process. These components are pulled on a reel and are with regular machines that to be equipped with additional components 10 are required anyway, can be placed automatically.
  • FIGS. 7 and 8 show the frequency behavior (frequency in GHz via attenuation in dB) of the coupling element in the case of a conventional implementation and in the implementation according to the invention.
  • FIG. 7 shows the S11 parameter with reference number 11 and the S21 parameter of the structure according to FIG. 2 with 12.
  • the Sll parameter of the structure according to FIG. 1 is shown with reference number 13 and the S21 parameter with 14.
  • FIG. 8 shows the SU parameter of the structure according to the invention according to FIG. 5 with reference number 15 and the S21 parameter with 16.
  • the improved bandpass behavior namely the higher bandwidth in the pass band of the structure according to the invention, is obvious.

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Abstract

Ein Koppelement für eine HF-Streifenleiterstruktur (4) auf einem HF-Substrat (5) wird als Fingerkopplerstruktur (1) in DünnschichtTechnik (6) auf einem Silizium-Träger (7) realisiert. Die Kontaktierung zu den Streifenleiterbahnen der HF-Streifenleiterstruktur (4) erfolgt über Metallisierungen (8) insbesondere in Form von Abstandshaltern (9).

Description

Koppelelement für eine HF-Streifenleiterstruktur
Die Erfindung geht aus von einem Koppelelement für eine HF- Streifenleiterstruktur auf einem HF-Substrat.
Stand der Technik
Für die gleichspannungsmäßige Entkopplung von Komponenten in der HF-Technik, insbesondere der Radartechnik, werden sogenannte Fingerkoppler oder DC-Blocks eingesetzt. Diese Elemente sind Teil der Streifenleiterschaltung, also als Struktur geätzt. Durch die überlappenden Finger wird das HF- Signal durch eine Bandpaßcharakteristik durchgelassen, Gleichspannung wird jedoch abgeblockt. Diese Bandpaßcharakteristik ist essentiell für die Funktion des Radars, da diese verhindert, dass niederfrequente Anteile des Ansteuerpulses weitergeleitet werden. Eine einfache Serienkapazität ist deshalb nicht ausreichend.
Die Fingerbreite eines Kopplers 1 ist eine Funktion des Substrates und der Leitungsimpedanz. Die übliche Leitungsimpedanz beträgt standardmäßig 50 Ohm, diese wird durch die Leiterbreite bestimmt. Unter den gegebenen Parametern käme man z.B. auf eine Fingerbreite von 90 μm und einem Spalt von 60 μm. Diese Dimensionen, in Figur 1 dargestellt, können in einem Massenfertigungsprozeß nicht realisiert werden. Um dennoch diesen Koppler realisieren zu können, wird wie Figur 2 zeigt vor und nach dem Koppler 1 eine Leitungstransformation 2 auf eine niedrigere, komplexe Impedanz durchgeführt, mit dem Effekt, dass Fingerbreite und Spalt auf 200 μm bzw. 120 μm anwachsen und somit, wie Figur 2 zeigt, fertigungstauglich sind.
Vorteile der Erfindung
Mit den Maßnahmen des Anspruchs 1 ist es möglich, ein Koppelelement für eine Streifenleiterstruktur auf einem HF- Substrat zu realisieren, welches eine gleichspannungsmäßige Entkopplung bei geringem Platzbedarf und ausreichender Breitbandigkeit für HF-Signale, das heißt eine geforderte Bandpaßcharakteristik, aufweist.
Bei der Erfindung wird eine geätzte Fingerkoppelstruktur auf dem HF-Substrat durch ein diskretes Bauelement auf einem Silizium-Träger realisiert und über Metallisierungen zu den Streifenleiterbahnen der HF-Streifenleiterstruktur kontaktiert.
Im Gegensatz zu dem eingangs erwähnten Koppelelement sind beim erfindungsgemäßen Koppelelement keine Leitungstransformationen notwendig, die die Bandbreite nachteilig beeinflussen. Leitungstransformationen machen ein Koppelelement schmalbandiger und es besteht die Gefahr zur Schwingungneigung, insbesondere wenn HF-Schalter topologisch in der Nähe sind. Da dies insbesondere bei Radaranwendungen der Fall ist, eignet sich die Erfindung besonders vorteilhaft für diesen Einsatzfall, um vorgenannte Störungen effektiv zu mindern.
Die Lösung nach der Erfindung erfordert nur einen geringfügigen Mehraufwand und kann vorteilhaft kompatibel zu Pick & Place-Technologien, die für andere HF-Bauteile auf der Streifenleiterstruktur sowieso vorgesehen sind ausgestaltet werden.
Die Maßnahmen der Erfindung ermöglichen eine maanderformige Ausbildung der Fingerkopplerstruktur gemäß Anspruch 2.
Die Kontaktierung der Metallisierungen zu den Streifenleiterbahnen wird gemäß Anspruch 3 vorteilhaft durch Abstandshalter realisiert, die einen vorgegebenen Luftspalt zwischen Silizium-Trager und HF-Substrat gewahrleisten. Durch diese Ausgestaltung lassen sich genauere prozessierbare Verhaltnisse schaffen, die bei der Dimensionierung der Fingerkopplerstruktur mitberucksichtigt werden können.
Zeichnungen
Anhand der Zeichnungen wird die Erfindung ausgehend von Losungen des Standes der Technik naher erläutert. Es zeigen Figur 1 ein bekanntes Koppelelement für ein HF- StreifenleiterStruktur,
Figur 2 ein bekanntes Koppelelement für eine HF- Streifenleiterstruktur mit Leitungstransformation, Figur 3 das Layout einer HF-Streifenleiterstruktur mit integrierter FingerkopplerStruktur, Figur 4 einen Schnitt durch ein erfmdungsgemaßes Koppelelement,
Figur 5 ein erfindungsgemaßes Koppelelement in der Aufsicht, Figur 6 ein erfindungsgemaßes Koppelelement in MäanderStruktur,
Figur 7 und 8 das Frequenzverhalten von Koppelelementen nach dem Stand der Technik und nach der Erfindung. Beschreibung von Ausführungsbeispielen
Das in Figur 1 dargestellte bekannte Koppelelement weist eine Fingerkopplerstruktur 1 auf, mit zwei parallel zueinander verlaufenden sich überlappenden Streifenleitern in Fingerform, die jeweils in Pads 20 enden. Die Kopplung erfolgt hier im Wesentlichen kapazitiv. Die sich überlappenden Finger gewährleisten für Hochfrequenzsignale ein Bandcharakteristik, wo hingegen Gleichanteile und niederfrequente Anteile blockiert werden. Die Länge eines solchen Koppelelements beträgt 2,75 mm mit einer Padbreite von 0,638 mm. Figur 3 zeigt ausschnittsweise das Layout einer solchen Fingerkopplerstruktur innerhalb einer HF- Streifenleiterstruktur. Wie eingangs aufgezeigt, ist für die Realisierung eines solchen Koppelelements in einem Massenfertigungsprozeß eine Leitungstransformation notwendig. Figur 2 zeigt eine solche Struktur mit Leitungstransformationen 2. Die gesamte Baulänge steigt dadurch auf 6,15 mm.
Bei dem erfindungsgemäßen Koppelelement gemäß den Figuren 4 und 5 ist eine Streifenleiterstruktur 4 auf einem üblichen HF-Substrat 5 aufgebracht. Die FingerkopplerStruktur 1, die die Bandpaßcharakteristik für HF-Signale gewährleistet, an sich ist als diskretes Bauelement als Dünnschicht-Struktur 6 auf. einem HF-tauglichen Silizium-Träger 7 realisiert. Wegen der höheren Dielektrizitätszahl von Silizium ergeben sich nun z.B. eine Spaltbreite von 50 μm und eine Fingerdicke von 20 μm. Durch die bei Siliziumwavern eingesetzten Dünnschichtprozessen sind Leiter- und Spaltdimensionen in der Größenordnung von 1 bis 2 μm realisierbar. Die Kontaktierung der Streifenleiterbahnen der HF- Streifenleiterstruktur 4 mit der Fingerkopplerstruktur 1 erfolgt über Metallisierungen 8, die in Form von Abstandshaltern 9, sogenannten Bu ps zwischen flächigen Pads 20 des Bauelements und den Streifenleitern 4 vorgesehen sind. Diese Abstandshalter 9 sitzen beim Kleben auf der Streifenleiterbahn auf und stellen einen definierten Abstand des diskreten Bauteiles mit der Fingerkopplerstruktur 1 zum HF-Substrat 5 ein. Dies ist wichtig, da die Dimensionen der Finger jetzt nicht mehr alleine vom HF-Substrat und der Leitunsgimpedanz abhängig sind, sondern noch zusätzlich von den Eigenschaften des Siliziums und dem Luftspalt zwischen dem HF-Substrat 5 und dem Bauteil . Diese Dimensionen und Daten sind bei der 'Entwicklung mit einzubeziehen. Kritisch erweist sich hier die Höhe des Luftspaltes. Diese wird durch die Abstandshalter reproduzierbar eingestellt.
Dadurch, dass sich die effektive Dielektrizitätszahl durch die hochdielektrizitiven Siliziumträger um den Faktor 2,2 erhöht, wird die Fingerlänge um die Wurzel dieses Betrages verkürzt und bereits hiermit Platz gespart. Weiterhin werden, da im 50 Ohm-System geblieben wird und keine Impedanztransformationen erforderlich sind, durch den Wegfall der Leitungstransformationen weitere 2,6 mm eingespart. Effektiv wurde damit der Koppler von 6,15 mm auf 2 mm verkleinert (Fig. 5) .
Da nun die Leiterbreite auf dem HF-Substrat 0,64 mm beträgt, kann diese Breite komplett dem Bauteil zu Verfügung stehen. Das Bauteile wurde deshalb auf 0,6 mm verbreitert und die Fingerstruktur als Mäander verlegt. Durch diese Maßnahme wurde die Länge weiter reduziert und beträgt nunmehr noch 1 mm bei einer Padbreite von 0,4 mm (Fig. 6) .
Der einfache Aufbau des Koppelelements, das nur aus dem Träger 7 und zwei einfachen Metallisierungen (Struktur 6 und Bumps 2) besteht, ist mit einem einfachen Halbleiterprozeß extrem kostengünstig zu realisieren. Diese Bauteile werden auf einen Reel gezogen und sind mit regulären Maschinen, die zur Bestückung mit weiteren Bauteilen 10 sowieso erforderlich sind, automatisch plazierbar.
Die Figuren 7 und 8 zeigen das Frequenzverhalten (Frequenz in GHz über Dämpfung in dB) des Koppelelements bei herkömmlicher Realisierung sowie bei Realisierung nach der Erfindung. In Figur 7 ist mit Bezugszeichen 11 der Sll- Parameter und mit 12 der S21-Parameter der Struktur nach Figur 2 dargestellt. Mit Bezugszeichen 13 ist der Sll- Paramter der Struktur nach Figur 1 dargestellt und mit 14 der S21-Parameter .
Figur 8 zeigt mit Bezugszeichen 15 den SU-Parameter der erfindungsgemäßen Struktur nach Figur 5 und mit 16 den S21- Parameter. Das verbesserte Bandpaßverhalten nämlich die höhere Bandbreite im Durchlaßbereich der erfindungsgemäßen Struktur ist offensichtlich.

Claims

Patentansprüche
1 . Koppeleelement für eine HF-Streifenleiterstruktur ( 4 ) auf einem HF-Substrat ( 5) bestehend aus einer
Fingerkopplerstruktur ( 1 ) , welche als Dünnschicht-Struktur ( 6) auf einem Silizium-Träger (7 ) realisiert ist und über
Metallisierungen ( 8 ) zu den Streifenleiterbahnen der HF- Streifenleiterstruktur ( 4 ) kontaktiert ist .
2 . Koppelelement nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Fingerkopplerstruktur ( 1) mäanderförmig ausgebildet ist .
3. Koppelelement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Metallisierungen (8) zu den Streifenleiterbahnen in Form von Abstandshaltern (9) vorgesehen sind, die insbesondere bei Aufbringen des Silizium-Trägers (7) auf die Streifenleiterbahnen einen vorgegebenen Luftspalt zwischen Silizium-Träger (7) und HF- Substrat gewährleisten.
4. Koppelelement nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass zum Kontaktieren der Fingerkopplerstruktur (1) mit den Metallisierungen (8) flächige Pads (20) innerhalb der Dünnschicht-Struktur (6) vorgesehen sind
5. Koppelelement nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Dünnschicht-Struktur (6) auf dem Silizium-Träger (7) kompatibel zu Pick & Place- Fertigungstechnologien ausgebildet ist.
6. Verwendung des kapazitiven Koppelelements nach einem der Ansprüche 1 bis 5 als Bandpaß für Hochfrequenzsignale bei gleichzeitiger Blockierung von Gleich- und niederfrequenten Anteilen, insbesondere für Radaranwendungen.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4800343A (en) * 1986-05-09 1989-01-24 Murata Manufacturing Co., Ltd. DC cutting circuit
EP0963001A2 (de) * 1998-06-02 1999-12-08 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Millimeterwellenmodul und Funkgerät

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0195601A (ja) * 1987-10-08 1989-04-13 Anritsu Corp ストリップ線路の直流阻止回路
US5216395A (en) * 1992-06-03 1993-06-01 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Quarter wave high voltage DC block covered with a polyurethane insulating layer
JPH06216613A (ja) * 1993-01-19 1994-08-05 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> マイクロ波結合線路

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4800343A (en) * 1986-05-09 1989-01-24 Murata Manufacturing Co., Ltd. DC cutting circuit
EP0963001A2 (de) * 1998-06-02 1999-12-08 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Millimeterwellenmodul und Funkgerät

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