JP2004355882A - ポリイミドヒ−タ− - Google Patents
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Abstract
【解決手段】線状あるいはシ−ト状の金属からなる発熱体が、熱融着性ポリイミドと高耐熱性ポリイミドとが接合された熱融着性多層ポリイミドフィルムの間に、加熱圧着して発熱体の金属を除く空間を熱融着性多層ポリイミドフィルムによって充填して接合されてなる面状のポリイミドヒ−タ−であり、例えば先ず熱融着性多層ポリイミドフィルム1枚と金属箔との積層体から金属箔を回路状にエッチングした後、もう1枚の熱融着性多層ポリイミドフィルムと真空加熱圧着して積層体を得て、必要ならば不要のポリイミドフィルムを切断除去する方法によって得られる。
【選択図】図2
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、制御温度が高く、柔軟性があり被加熱体の形状に合わせて変形させることができるため熱効率が良好である面状のポリイミドヒ−タ−に関する。
この発明によれば、任意の面形状を有する薄くて、軽く、柔軟なポリイミドヒ−タ−を得ることができる。
【0002】
【従来の技術】
従来、液体クロマトグラフ装置あるいは質量分析装置などの分析機器におけるパイプや半導体製造装置における薬液などの搬送路を構成するパイプへの搬送対象物質の凝固や付着を防止するためにパイプを加熱して保温することが必要であり、また内面に付着した物質を蒸発させて真空度を確保するめにパイプを加熱することが必要となる。
【0003】
このような場合、ニクロム線やステンレス線の発熱体をシリコ−ンで両側からカバ−した構造のものが使用されている。しかし、シリコンラバ−は厚みが1mm以上であり伝熱性が低く発熱体を加熱してもその熱が表面に伝わるまでに時間がかかる。温度を制御する場合、伝熱性が低いと発熱体が余分に高温になりシリコンラバ−自体が熱で痛み、長時間安全性が確保される制御温度は200℃程度以下に制限される。
【0004】
このため、伝熱性向上と柔軟性向上を狙い、ポリイミドフィルムに接着剤を設けたシ−トで発熱体を包む構造のテ−プ状ヒ−タ−およびその製造方法が提案された(特許文献1)。
【0005】
【特許文献1】
特開2001− 15254号公報
【0006】
しかし、上記公報の実施例に記載されている接着剤の耐熱性はシリコンラバ−と同程度であり、長時間安全性が確保される制御温度は200℃以下に制限される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
この発明の目的は、柔軟性があり被加熱体の表面形状に合わせて曲げて変形させることができ熱効率が良好である面状のポリイミドヒ−タ−を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
この発明は、線状あるいはシ−ト状の金属からなる発熱体が、熱融着性ポリイミドと高耐熱性ポリイミドとが接合された熱融着性多層ポリイミドフィルムの間に、加熱圧着して発熱体の金属を除く空間を熱融着性多層ポリイミドフィルムによって充填して接合されてなる面状のポリイミドヒ−タ−に関する。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下にこの発明の好ましい態様を列記する。
1)発熱体が、ニクロム箔またはステンレス箔からなる上記のポリイミドヒ−タ−。
2)発熱体が、回路状である上記のポリイミドヒ−タ−。
3)発熱体が、1枚の金属箔をエッチングして得られる回路状である
上記のポリイミドヒ−タ−。
4)熱融着性多層ポリイミドフィルムが、最高加熱温度として375℃で以上の温度で加熱処理したものである上記のポリイミドヒ−タ−。
【0010】
5)熱融着性多層ポリイミドフィルムが、200℃以上のガラス転移温度を有するものである上記のポリイミドヒ−タ−。
6)熱融着性多層ポリイミドフィルムが、熱融着性ポリイミドを与える芳香族ジアミン成分と芳香族テトラカルボン酸成分とを酸成分が過剰の割合で反応させて得られる熱融着性ポリイミド前駆体溶液と高耐熱性ポリイミド前駆体溶液とを共押出後、得られた自己支持性フィルムを最高温度375℃以上の温度で加熱して乾燥、イミド化した厚み10〜100μmのポリイミドフィルムである上記のポリイミドヒ−タ−。
【0011】
7)熱融着性多層ポリイミドフィルムが、3層構造で両面に熱融着性ポリイミド層を有するものである上記のいずれかに記載のポリイミドヒ−タ−。
8)燃料電池のスタックに張ってあるいは包んで使用される燃料電池用の加熱ヒ−タ−用である上記のポリイミドヒ−タ−。
9)他の基材と熱融着してなる上記のポリイミドヒ−タ−。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、この発明のポリイミドヒ−タ−を図面を参照しながら詳しく説明する。
図1は、この発明の実施形態の一例であるポリイミドヒ−タ−の写真である。図2および図3は、この発明の実施形態の一例であるポリイミドヒ−タ−を製造する概略図である。
【0013】
図1に示す実施形態のポリイミドヒ−タ−1は、線状あるいはシ−ト状の金属からなる回路状発熱体2が、好適には200℃以上のガラス転移温度を有する熱融着性ポリイミドと高耐熱性ポリイミドとが接合された熱融着性多層ポリイミドフィルム3、3’の間に、加熱圧着して発熱体の金属を除く空間を熱融着性多層ポリイミドフィルムによって充填して接合されてなる。また、両端部において、端子4には片面のみにポリイミドフィルム3’が接合されている。
【0014】
この発明のポリイミドヒ−タ−は、例えば先ず熱融着性多層ポリイミドフィルムと金属箔とを加熱圧着し、次いで金属箔をエッチングなどによって回路状に成形した後、もう1枚の熱融着性多層ポリイミドフィルムと真空加熱圧着して積層体を得て、必要であれば不要のポリイミドフィルムを切断除去する図2に示す方法によって、あるいは金属箔からエッチングなどの方法によって回路状に成形した後、2枚の熱融着性多層ポリイミドフィルムで挟んで真空加熱圧着して積層体を得て、必要であれば不要のポリイミドフィルムを切断除去する図3に示す方法のいずれかによって製造することができる。
【0015】
この発明においては、線状あるいはシ−ト状の金属からなる発熱体が使用される。
特に、発熱体は、ニクロム箔またはステンレス箔からなり、回路状であるものが好適である。
また、発熱体は、+極用端部および−極用端部を有する必要があり、その構成としては面の両端部にあるいは片面に隣接して各々の+極用端部および−極用端部を有するものが挙げられる。
【0016】
この発明において使用される線状またはテ−プ状発熱体としては、好適には1本の金属箔からなるものが挙げられる。この発熱体としては、幅が10μm〜20mm程度のものが好ましい。また、厚みが5〜100μm程度、特に5〜50μm程度のものが好ましい。また、上記の線状またはテ−プ状の金属を形成する金属としては、ステンレス、ニクロム、カンタル、インコネル、鋳鉄などの電気抵抗を有するものが挙げられ、特に抵抗率が30×10−6Ωcm以上のものが好ましい。
【0017】
前記の回路状の発熱体は、例えば金属箔をそれ自体公知のエッチング法によって、例えばマスクを金属箔に載せて塩化第一鉄溶液でステンレスのような金属箔をエッチングして、ステンレスなどの金属回路をもつ基板を形成する方法によって得ることができる。
前記の回路状の発熱体は、金属箔間の空間の幅が50μm〜20mm程度の面状で、面の両端部にあるいは片面に隣接して各々の+極用端部および−極用端部を有するものが好ましい。
【0018】
この発明における熱融着性樹脂フィルムとしては、2層あるいは3層構造[熱融着性樹脂層/高耐熱性樹脂層(/熱融着性樹脂層)]の熱融着性樹脂フィルムが挙げられる。
また、この発明における熱融着性樹脂フィルムとしては、4層構造[熱融着性樹脂層/高耐熱性樹脂層/熱融着性樹脂層/保護用フィルム(=高耐熱性樹脂層)]の熱融着性樹脂フィルムであってもよい
前記の熱融着性多層ポリイミドフィルムは、例えば熱融着性ポリイミドフィルムを与えるポリイミド前駆体溶液を高耐熱性の芳香族ポリイミド層の少なくとも片面、好ましくは両面に、共押出し成形法によって積層する方法によって得ることができる。
【0019】
前記の熱融着性多層ポリイミドフィルムにおける熱融着性ポリイミドとしては、300〜400℃程度の温度で熱圧着できる熱可塑性ポリイミドであれば何でも良い。好適には1,3−ビス(4−アミノフェノキシベンゼン)(以下、TPERと略記することもある。)と2,3,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(以下、a−BPDAと略記することもある。)とから製造される。
また、前記の熱融着性ポリイミドとしては、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)−2,2−ジメチルプロパン(DANPG)と4,4’−オキシジフタル酸二無水物(ODPA)とから製造される。
あるいは、4,4’−オキシジフタル酸二無水物(ODPA)およびピロメリット酸二無水物と1,3−ビス(4−アミノフェノキシベンゼン)とから製造される。
【0020】
また、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼンと3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物とから、あるいは3,3’−ジアミノベンゾフェノンおよび1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼンと3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物とから製造される。
さらに、テトラカルボン酸成分中、100モル%中の12〜25モル%がピロメリット酸二無水物、5〜15モル%が3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、残部が3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物であり、ジアミン成分として1、3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼンを必須成分とし、DSC測定により融解吸熱ピ−クが観測できる熱融着性ポリイミドも好適である。
この熱融着性ポリイミドの物性を損なわない範囲で他のテトラカルボン酸二無水物、例えば3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス(3、4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物などで置き換えられてもよい。
【0021】
前記の熱融着性のポリイミドは、前記各成分と、さらに場合により他のテトラカルボン酸二無水物および他のジアミンとを、有機溶媒中、約100℃以下、特に20〜60℃の温度で反応させてポリアミック酸の溶液とし、このポリアミック酸の溶液をド−プ液として使用できる。
この発明における熱融着性のポリイミドを得るためには、前記の有機溶媒中、酸の全モル数(テトラ酸二無水物とジカルボン酸の総モルとして)の使用量がジアミン(モル数として)に対する比として、好ましくは0.92〜1.1、特に0.98〜1.1、そのなかでも特に0.99〜1.1であり、ジカルボン酸の使用量がテトラカルボン酸二無水物のモル量に対する比として、好ましくは0.00〜0.1、特に0.02〜0.06であるような割合が好ましい。
【0022】
また、ポリアミック酸のゲル化を制限する目的でリン系安定剤、例えば亜リン酸トリフェニル、リン酸トリフェニル等をポリアミック酸重合時に固形分(ポリマ−)濃度に対して0.01〜1%の範囲で添加することができる。また、イミド化促進の目的で、ド−プ液中に塩基性有機化合物系触媒を添加することができる。例えば、イミダゾ−ル、2−イミダゾ−ル、1,2−ジメチルイミダゾ−ル、2−フェニルイミダゾ−ルなどをポリアミック酸(固形分)に対して0.01〜20重量%、特に0.5〜10重量%の割合で使用することができる。これらは比較的低温でポリイミドフィルムを形成するため、イミド化が不十分となることを避けるために使用する。
また、接着強度の安定化の目的で、熱融着性の芳香族ポリイミド原料ド−プに有機アルミニウム化合物、無機アルミニウム化合物または有機錫化合物を添加してもよい。例えば水酸化アルミニウム、アルミニウムトリアセチルアセトナ−トなどをポリアミック酸(固形分)に対してアルミニウム金属として1ppm以上、特に1〜1000ppmの割合で添加することができる。
【0023】
前記のポリアミック酸製造に使用する有機溶媒は、高耐熱性の芳香族ポリイミドおよび熱融着性の芳香族ポリイミドのいずれに対しても、N−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、ヘキサメチルホスホルアミド、N−メチルカプロラクタム、クレゾ−ル類などが挙げられる。これらの有機溶媒は単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
【0024】
前記の高耐熱性の芳香族ポリイミドは、好適には3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(以下単にs−BPDAと略記することもある。)とパラフェニレンジアミン(以下単にPPDと略記することもある。)と場合によりさらに4,4’−ジアミノジフェニルエ−テル(以下単にDADEと略記することもある。)および/またはピロメリット酸二無水物(以下単にPMDAと略記することもある。)とから製造される。この場合PPD/DADE(モル比)は100/0〜85/15であることが好ましい。また、s−BPDA/PMDAは100:0−50/50であることが好ましい。
また、高耐熱性の芳香族ポリイミドは、ピロメリット酸二無水物とパラフェニレンジアミンおよび4,4’−ジアミノジフェニルエ−テルとから製造される。この場合DADE/PPD(モル比)は90/10〜10/90であることが好ましい。
【0025】
さらに、高耐熱性の芳香族ポリイミドは、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(BTDA)およびピロメリット酸二無水物(PMDA)とパラフェニレンジアミン(PPD)および4,4’−ジアミノジフェニルエ−テル(DADE)とから製造される。この場合、酸二無水物中BTDAが20〜90モル%、PMDAが10〜80モル%、ジアミン中PPDが30〜90モル%、DADEが10〜70モル%であることが好ましい。
前記の高耐熱性の芳香族ポリイミドの物性を損なわない範囲で、他の種類の芳香族テトラカルボン酸二無水物や芳香族ジアミン、例えば4,4’−ジアミノジフェニルメタン等を使用してもよい。
いずれの高耐熱性の芳香族ポリイミドもガラス転移温度を有さないか300℃より高いものが好ましい。
【0026】
前記の共押出し−流延製膜法においては、例えば前記の高耐熱性の芳香族ポリイミドのポリアミック酸溶液の片面あるいは両面に熱融着性の芳香族ポリイミドの前駆体の溶液を共押出して、これをステンレス鏡面、ベルト面等の支持体面上に流延塗布し、100〜300℃で半硬化状態またはそれ以前の乾燥状態とすることが好ましい。この半硬化状態またはそれ以前の状態とは、加熱および/または化学イミド化によって自己支持性の状態にあることを意味する。
また、前記の共押出しは、例えば特開平3−180343号公報(特公平7−102661号公報)に記載の共押出法によって二層あるいは三層の押出し成形用ダイスに供給し、支持体上にキャストしておこなうことができる。
【0027】
前記の高耐熱性の芳香族ポリイミドを与える押出し物層の片面あるいは両面に、熱融着性の芳香族ポリイミドを与えるポリアミック酸溶液を積層して多層フィルム状物を形成して乾燥後、熱融着性の芳香族ポリイミドのガラス転移温度(Tg)以上で劣化が生じる温度以下の温度、好適には最高加熱温度が375以上550℃以下の温度(表面温度計で測定した表面温度)、好適には375℃以上450℃以下の温度で加熱して(好適にはこの温度で1〜60分間加熱して)乾燥およびイミド化して、高耐熱性(基体層)の芳香族ポリイミドの片面あるいは両面に熱融着性の芳香族ポリイミドを有する熱融着性多層ポリイミドフィルムを得る。
【0028】
前記の熱融着性の芳香族ポリイミドは、前記の酸成分とジアミン成分とを使用することによって、ガラス転移温度が180〜275℃、特に200℃以上、275℃以下であって、好適には前記の条件で乾燥・イミド化して熱融着性ポリイミドのゲル化を実質的に起こさせないことによって得られる、ガラス転移温度以上で300℃以下の範囲内の温度で液状化せず、かつ未延伸の弾性率が、通常275℃での弾性率が室温付近の温度(50℃)での弾性率の0.0002〜0.2倍程度を保持しているものが好ましい。
このような弾性率特性は、前記のモノマ−成分を使用し前記の条件でフィルム化することによって達成される。
【0029】
また、高耐熱性の(基体層)ポリイミド層の厚さは約5〜100μm、特に約7〜50μm程度であることが好ましい。
また、熱融着性のポリイミド層の厚みは各々約1〜10μm、特に2〜5μm程度が好ましい。1μm未満では接着性能が低下し、10μmを超えても使用可能であるがとくに効果はなく、むしろ得られるポリイミドヒ−タ−の耐熱性が低下する。
そして、熱融着性多層ポリイミドフィルムは厚みが10〜100μm、特に10〜50μm、その中でも10〜25μmであることが好ましい。10μm未満では作成したフィルムの取り扱いが難しく、100μmより厚くても特に効果はなく、発熱体と加熱圧着して片側の熱融着性多層ポリイミドフィルムによって発熱体の金属を除く空間を充填する際に困難になり不利である。
【0030】
この発明のポリイミドヒ−タ−は、任意の面形状(例えば円形、正方形、長方形、楕円形など)を有する薄くて、軽く、制御温度が高く、柔軟性があり被加熱体の表面形状に合わせて変形させることができ、熱効率が良好である。
また、この発明のポリイミドヒ−タ−は、耐熱性試験で引っ張り強度の半減する時間20000時間を確保できる温度である長期安全性が確保される温度が約250℃以上である。
【0031】
【実施例】
以下にこの発明の実施例を示すが、本発明は下記の実施例に制限されるものではない。
実施例および比較例における物性測定法を以下に示す。
ガラス転移温度:DSC(セイコ−電子工業社製、DSC220C)を用い、N2雰囲気下、20℃/分の昇温速度にて測定。
アウトガスは、昇温脱離分析法(TDS法)により、TDS−1400(電子科学株式会社製)を用いて各有機部材について、100〜300℃の昇温分析により求めた値を積算した。
【0032】
熱融着性の芳香族ポリイミド製造用ド−プの合成−1
攪拌機、窒素導入管を備えた反応容器に、N−メチル−2−ピロリドンを加え、さらに、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、2,3,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物および3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を100:82:22のモル比でモノマ−濃度が22%になるように、またトリフェニルホスフェ−トをモノマ−重量に対して0.1%加えた。添加終了後25℃を保ったまま1時間反応を続けた。このポリアミック酸溶液は、25℃における溶液粘度が約2000ポイズであった。この溶液をド−プとして使用した。
【0033】
高耐熱性の芳香族ポリイミド製造用ド−プの合成例1
攪拌機、窒素導入管を備えた反応容器に、N−メチル−2−ピロリドンを加え、さらに、パラフェニレンジアミンと3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物とを1000:998のモル比でモノマ−濃度が18%(重量%、以下同じ)になるように加えた。添加終了後50℃を保ったまま3時間反応を続けた。得られたポリアミック酸溶液は褐色粘調液体であり、25℃における溶液粘度は約1500ポイズであった。この溶液をド−プとして使用した。
【0034】
参考例1
上記の高耐熱性の芳香族ポリイミド用ド−プと熱融着性の芳香族ポリイミド製造用ド−プとを三層押出し成形用ダイス(マルチマニホ−ルド型ダイス)を設けた製膜装置を使用し、ダイスの厚みを変え、金属製支持体上に流延し、140℃の熱風で連続的に乾燥し、固化フィルムを形成した。この固化フィルムを支持体から剥離した後加熱炉で200℃から320℃まで徐々に昇温して溶媒の除去、イミド化を行って、巻き取りロ−ルに両面から保護フィルムを供給して、両面に保護フィルム有する熱融着性三層押出しポリイミドフィルムを巻き取りロ−ルに巻き取った。
この熱圧着性三層押出しポリイミドフィルムは、次のような物性を示した。
熱圧着性多層ポリイミドフィルム
厚み構成:4μm/17μm/4μm(合計25μm)
熱圧着性の芳香族ポリイミドのTg:240℃
【0035】
実施例1
保護用ポリイミドフィルム(ユ−ピレックスS:25μm)付きの三層構造の熱融着性ポリイミドフィルムから保護用ポリイミドフィルムを引き剥がして、20μmのステンレス箔(新日鉄社製、商品名:SUS304HTA)とを340℃に保った熱プレスにより5分間予熱後、5MPaの圧力で1分間プレスを行い積層体を得た。
これにマスクを載せて塩化第一鉄溶液でステンレスのエッチングを行い、図1に示す形状のステンレス回路を持つ基板を得た。
【0036】
ステンレス回路基板のステンレス側に、保護用ポリイミドフィルム(ユ−ピレックスS:25μm)付きの三層構造の熱融着性ポリイミドフィルムから保護用ポリイミドフィルムを引き剥がして、340℃に保った熱プレスにより5分間予熱後、7MPaの圧力で1分間プレスを行った後、他面の保護用ポリイミドフィルムを引き剥がした後、不要なポリイミド部をカットして除去し、ポリイミドヒ−タ−を得た。
このポリイミドヒ−タ−のを使用してテストを行って、密着性および温度コントロ−ル性を確認したところ、密着性は良好で温度コントロ−ルは極めて良好であり、350℃まで問題なく加熱できた。また約275℃で長時間安全性が確保された。
【0037】
実施例2
20μmのステンレス箔(新日鉄社製、商品名:SUS304HTA)にマスクを載せて塩化第一鉄溶液でステンレスのエッチングを行い、図1に示す形状のステンレス回路の発熱体を得た。
保護用ポリイミドフィルム(ユ−ピレックスS:25μm)付きの三層構造の熱融着性ポリイミドフィルム2枚から各々保護用ポリイミドフィルムを引き剥がしてステンレス回路の発熱体を挟み、340℃に保った熱プレスにより5分間予熱後、7MPaの圧力で1分間プレスを行った後、他面の保護用ポリイミドフィルムを引き剥がした後、不要なポリイミド部をカットして除去し、ポリイミドヒ−タ−を得た。
このポリイミドヒ−タ−のを使用してテストを行って、密着性および温度コントロ−ル性を確認したところ、密着性は良好で温度コントロ−ルは極めて良好であり、350℃まで問題なく加熱できた。また約275℃で長時間安全性が確保された。
【0038】
比較例1
シリコンラバ−で発熱体を両側からカバ−した構造のヒ−タ−について、テストを行った。200℃では長時間安全性が確保されなかった。
実施例1のポリイミドヒ−タ−および比較例1のシリコンラバ−ヒ−タ−について、熱時保存中の引張強度の半減する時間を求め、ヒ−タ−の耐熱性を評価した。結果をまとめて図4に示す。
【0039】
【発明の効果】
この発明によれば、制御温度が高く、柔軟性があり被加熱体の形状に合わせて変形させることができ、熱効率が良好である面状のポリイミドヒ−タ−を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、この発明の実施形態の一例であるポリイミドヒ−タ−の写真である。
【図2】図2は、この発明の実施形態の一例であるポリイミドヒ−タ−を製造する方法の一例を示す概略図である。
【図3】図3は、この発明の実施形態の一例であるポリイミドヒ−タ−を製造する方法の他の一例を示す概略図である。
【図4】実施例1のポリイミドヒ−タ−および比較例1のシリコンラバ−ヒ−タ−について、熱時保存中の引張強度の半減する時間を求めてヒ−タ−の耐熱性を評価した結果を示す。
【符号の説明】
1 ポリイミドヒ−タ−
2 回路状発熱体
3 熱融着性多層ポリイミドフィルム
3’ 熱融着性多層ポリイミドフィルム
4 端子
Claims (10)
- 線状あるいはシ−ト状の金属からなる発熱体が、熱融着性ポリイミドと高耐熱性ポリイミドとが接合された熱融着性多層ポリイミドフィルムの間に、加熱圧着して発熱体の金属を除く空間を熱融着性多層ポリイミドフィルムによって充填して接合されてなる面状のポリイミドヒ−タ−。
- 発熱体が、ニクロム箔またはステンレス箔からなる請求項1に記載のポリイミドヒ−タ−。
- 発熱体が、1枚の金属箔をエッチングして得られる回路状である請求項1あるいは2に記載のポリイミドヒ−タ−。
- 発熱体が、面の両端部に各々の+極用の端部および−極用の端部を有する請求項1〜3のいずれかに記載のポリイミドヒ−タ−。
- 熱融着性多層ポリイミドフィルムが、最高加熱温度として375℃で以上の温度で加熱処理したものである請求項1〜3のいずれかに記載のポリイミドヒ−タ−。
- 熱融着性多層ポリイミドフィルムが、200℃以上のガラス転移温度を有するものである請求項1〜5のいずれかに記載のポリイミドヒ−タ−。
- 熱融着性多層ポリイミドフィルムが、熱融着性ポリイミドを与える芳香族ジアミン成分と芳香族テトラカルボン酸成分とを酸成分が過剰の割合で反応させて得られる熱融着性ポリイミド前駆体溶液と高耐熱性ポリイミド前駆体溶液とを共押出後、得られた自己支持性フィルムを最高温度375℃以上の温度で加熱して乾燥、イミド化した厚み10〜100μmのポリイミドフィルムである請求項1〜6のいずれかに記載のポリイミドヒ−タ−。
- 熱融着性多層ポリイミドフィルムが、3層構造で両面に熱融着性ポリイミド層を有するものである請求項1〜7のいずれかに記載のポリイミドヒ−タ−。
- 燃料電池のスタックに張ってあるいは包んで使用される燃料電池用の加熱ヒ−タ−用である請求項1〜8のいずれかに記載のポリイミドヒ−タ−。
- 他の基材と熱融着してなる請求項9に記載のポリイミドヒ−タ−。
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