JP4193461B2 - 熱融着性ポリイミドおよび該ポリイミドを使用した積層体 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、熱融着性ポリイミドおよび該熱融着性ポリイミドを使用した多層ポリイミドフィルム及び多層ポリイミドフィルムと金属層との積層体に関するものであり、特にSUS箔(ステンレス鋼箔)との熱融着性が良好であり、またケミカルエッチング(薬液による湿式エッチング)によるパタ−ン形成時にエッチング時間が短くさらにパタ−ンの形状が良好であるなど良好なケミカルエッチング特性を有する熱融着性ポリイミドおよび該熱融着性ポリイミドを使用した積層体に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、カメラ、パソコン、液晶ディスプレイなどの電子機器類への用途として芳香族ポリイミドフィルムは広く使用されている。
芳香族ポリイミドフィルムをフレキシブルプリント板(FPC)やテ−プ・オ−トメイティッド・ボンディング(TAB)などの基板材料として使用するためには、エポキシ樹脂などの接着剤を用いて銅箔を張り合わせる方法が採用されている。
【0003】
芳香族ポリイミドフィルムは耐熱性、機械的強度、電気的特性などが優れているが、エポキシ樹脂などの接着剤の耐熱性等が劣るため、本来のポリイミドの特性を損なうことが指摘されている。
このような問題を解決するために、接着剤を使用しないでポリイミドフィルムに銅を電気メッキしたり、銅箔にポリアミック酸溶液を塗布し、乾燥、イミド化したり、熱可塑性のポリイミドを熱圧着させたオ−ルポリイミド基材も開発されている。
【0004】
また、ポリイミドフィルムと金属箔との間にフィルム状ポリイミド接着剤をサンドイッチ状に接合させたポリイミドラミネ−トおよびその製法が知られている。
しかし、このポリイミドラミネ−トは、剥離強度(接着強度)が小さく使用が制限されるという問題がある。
これらの問題点を解決するため、キャスチング法による積層体や、多層押し出し法による多層ポリイミドフィルムおよび金属箔積層体が提案された。これらによって多くの問題点が解決されたが、これらの積層体の薄層部分に用いられる組成の熱融着性ポリイミドでは、ポリイミド本来の特性が損なわれたり、SUS箔との熱融着性が不十分である。
また、熱融着性を改良するため、分子量を小さくしたり末端基を変えたりする試みも提案されているが、却って電気特性が低下する場合がありしかも剥離強度が充分大きくなく、熱融着性ポリイミド層のケミカルエッチング特性はエッチング速度が0.7μm/分(min)と小さく不充分である。
【0005】
【特許文献1】
米国特許第4543295号明細書(請求項1)
【特許文献2】
特公平7−102648号公報(請求項1)
【特許文献3】
特開平10−138318号公報(請求項1)
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
この発明の目的は、SUS箔(ステンレス鋼箔)とポリイミドフィルムとを熱融着性ポリイミド層によって熱融着して得られる積層体の剥離強度が大きく、熱融着性ポリイミド層をケミカルエッチングによりパタ−ン形成時にエッチング時間が短くさらにパタ−ンの形状が良好であるケミカルエッチング特性を有する熱融着性ポリイミドおよび該ポリイミドを使用した積層体を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
この発明は、金属層との積層に用いる熱融着性ポリイミドであり、下記式
【化1】
【0008】
[式中、Ar1はテトラカルボン酸二無水物残基100モル%中、12〜25モル%がピロメリット酸二無水物残基、5〜15モル%が3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物残基、残部が3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物残基であり、Ar2は1、3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼンを必須成分とする芳香族ジアミン残基である。]
で示されるイミド単位を有し、DSC測定により融解吸熱ピ−クが観測できる熱融着性ポリイミドに関する。
【0009】
また、この発明は、基体ポリイミド層(X)少なくとも片面に、下記の熱融着性ポリイミドからなる薄層ポリイミド層(Y)が積層一体化されてなる多層ポリイミドフィルムに関する。さらに、この発明は、前記の多層ポリイミドフィルムと金属層とが、前記の薄層ポリイミド(Y)を介して積層されてなる積層体に関する。
・熱融着性ポリイミドからなる薄層ポリイミド層(Y)
【化2】
[式中、Ar 1 はテトラカルボン酸二無水物残基で、その100モル%中の12〜25モル%がピロメリット酸二無水物残基、5〜15モル%が3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物残基、残部が3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物残基であり、Ar 2 は1、3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼンを必須成分とする芳香族ジアミン残基である。]で示されるイミド単位を有し、DSC測定により融解吸熱ピ−クが観測できる熱融着性ポリイミド。
【0010】
また、この発明は、厚みが3〜35μmの銅箔またはSUS(ステンレス)箔/厚みが7〜150μmで高耐熱性ポリイミドからなる基体ポリイミド層(X)の両面に熱融着性ポリイミドからなる薄層ポリイミド層(Y)が積層一体化された多層ポリイミド層/厚みが3〜200μmの銅箔、ステンレス箔またはステンレス板の3層構造を有し、該熱融着性ポリイミドがDSC測定により融解吸熱ピ−クが観測でき、該多層ポリイミド層がフィルムとしての引張弾性率(MD、TD、25℃)が400〜1000kgf/mm2、好適には600〜1000kgf/mm2で、特に700〜1000kgf/mm2であり、かつ2.0μm/分以上のケミカルエッチング速度および、両面についての90度剥離強度が0.8kgf/cm以上、特に1kgf/cm以上である積層体に関する。
この明細書において、ケミカルエッチング速度とは、多層ポリイミドフィルムとステンレス箔(約20μm)を貼り合わせた積層体を用いて、80℃のエッチング液(組成:水酸化カリウム36重量%、モノエタノ−ルアミン37重量%、水27重量%)に浸漬し、多層ポリイミドフィルムが完溶する時間を測定し、次式で求められる値を表示する。
エッチング速度(μm/分)=ポリイミドフィルム厚さ(μm)/完溶に要した時間(分)
【0011】
【発明の実施の形態】
以下にこの発明の好ましい態様を列記する。
1)DSC測定により融解吸熱ピ−クが、340〜380℃に観測できる上記の熱融着性ポリイミド。
2)基体ポリイミド層(X)が、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物とp−フェニレンジアミン100〜10モル%および4,4’−ジアミノジフェニルエ−テル0〜90モル%とから得られるポリイミド、または3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物0〜100モル%およびピロメリット酸二無水物100〜0モル%とp−フェニレンジアミン10〜90モル%および4,4’−ジアミノジフェニルエ−テル90〜10モル%とから得られるポリイミドからなる上記の多層ポリイミドフィルム。
【0012】
3)積層一体化が、基体ポリイミド層用のポリアミック酸溶液と薄層ポリイミド層用のポリアミック酸溶液とを共押出し流延製膜法によって積層した後、加熱乾燥し、イミド化して行われてなる上記の多層ポリイミドフィルム。
4)積層一体化が、基体ポリイミド(X)を与える基体層用のポリアミック酸溶液から形成された自己支持性フィルムの少なくとも片面に薄層ポリイミド(Y)を与える薄層用ポリアミック酸溶液を薄く塗布し、加熱乾燥し、イミド化して行われてなる上記の多層ポリイミドフィルム。
5)積層が、多層ポリイミドフィルムの薄層ポリイミド(Y)層と金属箔とを重ね合わせた後、加熱圧着してなる上記の積層体。
6)金属箔の厚みが3〜35μmである上記の積層体。
【0013】
この発明の熱融着性ポリイミドは、前記のイミド単位からなり、かつDSC測定により融解吸熱ピ−クが観測でき、好適には融解吸熱ピ−クが340〜380℃に観測できるものである。
【0014】
前記の各イミド単位の割合に関して、ピロメリット酸二無水物残基、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物残基、および3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物残基のいずれかが前記の範囲外であると、そのようなポリイミド層によって積層した積層体のSUS側の剥離強度(25℃、90度剥離)が0.8kgf/cm未満となるか、あるいはケミカルエッチング速度が2.0cm/min未満となり好ましくない。
【0015】
この発明の熱融着性ポリイミドは、例えばピロメリット酸二無水物12〜25モル%、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物5〜15モル%、および3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物が残部(好適には60〜83モル%)からなる芳香族テトラカルボン酸二無水物と、ほぼ等量の1、3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン(好適には芳香族ジアミン中、50モル%以上、特に70モル%以上)を必須成分とする芳香族ジアミンとを有機溶媒中で重合し、120〜400℃で加熱してイミド化することによって得ることができる。
【0016】
前記の熱融着性ポリイミドを使用して多層ポリイミドフィルムを得る場合、熱融着性ポリイミドからなる薄層用ポリイミドは、前記各成分を有機溶媒中、約100℃以下、特に20〜60℃の温度で反応させてポリアミック酸の溶液とし、このポリアミック酸の溶液あるいはポリアミック酸の溶液にさらに有機溶媒を加えてポリアミック酸濃度を調節したものをド−プとして使用し、基体ポリイミド層(X)を与える基体ポリイミドのド−プ液膜あるいは基体ポリイミドの自己支持性フィルムに前記のド−プ液の薄膜を形成し、50〜400℃で1〜30分間程度加熱乾燥して、その薄膜から溶媒を蒸発させ除去すると共にポリアミック酸をイミド環化することにより形成することができる。
前記の薄層用ポリイミドを与えるポリアミック酸のド−プは、ポリアミック酸の濃度が1〜20重量%程度であることが好ましい。
【0017】
この発明において基体ポリイミドとしては、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物とp−フェニレンジアミンおよび/または4,4’−ジアミノジフェニルエ−テルとから得られるポリイミド、または3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物またはピロメリット酸二無水物とp−フェニレンジアミンおよび4,4’−ジアミノジフェニルエ−テルとから得られるポリイミドが挙げられる。
【0018】
基体ポリイミドとして、特に下記式
【化3】
【0019】
[式中、m/n(モル比)=100/0〜70/30である。]
で示されるイミド単位を有するポリイミドがが回路用金属、特に銅に近い低線膨張係数を有しており有利である。また、電子技術分野において低線膨張係数を有するポリイミドフィルムを与えるポリイミドとして他の種類のポリイミドも同様に使用できることは勿論である。
【0020】
この発明においては、前記の多層ポリイミドフィルムとしては、好適には熱圧着性とともに引張弾性率(MD、TDASTM−D882)が400kgf/mm2以上で、厚みが7〜150μmであるものが好ましい。また、線膨張係数(50〜200℃)(MD、TD)が30×10-6cm/cm/℃以下、特に15×10-6〜30×10-6cm/cm/℃でものが好ましい。
【0021】
前記の多層ポリイミドフィルムは、好適には共押出し−流延製膜法(単に、多層押出法ともいう。)によって基体用ポリイミドのド−プ液と薄層用ポリイミドのド−プ液とを積層、乾燥、イミド化して多層ポリイミドフィルムを得る方法、あるいは前記の基体用ポリイミドのド−プ液を支持体上に流延塗布し、乾燥した自己支持性フィルム(ゲルフィルム)の片面あるいは両面に薄層用ポリイミドのド−プ液を塗布し、乾燥、イミド化して多層ポリイミドフィルムを得る方法によって得ることができる。
【0022】
前記のポリアミック酸のゲル化を制限する目的でリン系安定剤、例えば亜リン酸トリフェニル、リン酸トリフェニル等をポリアミック酸重合時に固形分(ポリマ−)濃度に対して0.01〜1%の範囲で添加することができる。
また、イミド化促進の目的で、ド−プ液中にイミド化剤を添加することができる。例えば、イミダゾ−ル、2−イミダゾ−ル、1,2−ジメチルイミダゾ−ル、2−フェニルイミダゾ−ル、ベンズイミダゾ−ル、イソキノリン、置換ピリジンなどをポリアミック酸に対して0.05〜10重量%、特に0.1〜2重量%の割合で使用することができる。これらは比較的低温でイミドを完了することができる。
【0023】
また、接着強度の安定化の目的で、熱圧着性ポリイミド原料ド−プに有機アルミニウム化合物、無機アルミニウム化合物または有機錫化合物を添加してもよい。例えば水酸化アルミニウム、アルミニウムトリアセチルアセトナ−トなどをポリアミック酸に対してアルミニウム金属として1ppm以上、特に1〜1000ppmの割合で添加することができる。
【0024】
前記の基体層としてのポリイミドとしては、前記のポリイミド以外に、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(BTDA)およびピロメリット酸二無水物(PMDA)とパラフェニレンジアミン(PPD)および4,4’−ジアミノジフェニルエ−テル(DADE)とから製造される。この場合、酸二無水物中BTDAが20〜90モル%、PMDAが10〜80モル%、ジアミン中PPDが30〜90モル%、DADEが10〜70モル%であることが好ましい。
【0025】
また、上記の基体層としての耐熱性ポリイミドとしては、単独のポリイミドフィルムの場合にガラス転移温度が300℃以上、特に320℃以上か確認不可能であるものが好ましい。
この発明における基体層ポリイミドは、最終的に各成分の割合が前記範囲内であればランダム重合、ブロック重合、あるいはあらかじめ2種類のポリアミック酸を合成しておき両ポリアミック酸溶液を混合後反応条件下で混合して均一溶液とする、いずれの方法によっても達成される。
【0026】
前記各成分を使用し、ジアミン成分とテトラカルボン酸二無水物の略等モル量を、有機溶媒中で反応させてポリアミック酸の溶液(均一な溶液状態が保たれていれば一部がイミド化されていてもよい)とする。
前記基体層ポリイミドの物性を損なわない種類と量の他の芳香族テトラカルボン酸二無水物や芳香族ジアミン、例えば4,4’−ジアミノジフェニルメタン等を使用してもよい。
【0027】
前記のポリアミック酸製造に使用する有機溶媒は、基体層用ポリイミドおよび薄層用ポリイミドのいずれに対しても、N−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、ヘキサメチルホスホルアミド、N−メチルカプロラクタム、クレゾ−ル類などが挙げられる。これらの有機溶媒は単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
【0028】
前記の多層ポリイミドフィルムの製造においては、例えば上記の基体層の耐熱性ポリイミドのポリアミック酸溶液と薄層用の熱圧着性ポリイミドまたはその前駆体の溶液を共押出して、これをステンレス鏡面、ベルト面等の支持体面上に流延塗布し、100〜200℃で半硬化状態またはそれ以前の乾燥状態とすることが好ましい。
200℃を越えた高い温度で流延フィルムを処理すると、多層ポリイミドフィルムの製造において、接着性の低下などの欠陥を来す傾向にある。
この半硬化状態またはそれ以前の状態とは、加熱および/または化学イミド化によって自己支持性の状態にあることを意味する。
【0029】
前記の基体層ポリイミドを与えるポリアミック酸の溶液と、薄層用ポリイミドを与えるポリアミック酸の溶液との共押出しは、例えば特開平3−180343号公報(特公平7−102661号公報)に記載の共押出法によって三層の押出し成形用ダイスに供給し、支持体上にキャストしておこなうことができる。
前記の基体層ポリイミドを与える押出し物層の片面あるいは両面に、薄層用ポリイミドを与えるポリアミック酸の溶液あるいはポリイミド溶液を積層して多層フィルム状物を形成して乾燥後、薄層用ポリイミドのガラス転移温度(Tg)以上で劣化が生じる温度以下の温度、好適には250〜420℃の温度(表面温度計で測定した表面温度)まで加熱して(好適にはこの温度で1〜60分間加熱して)乾燥およびイミド化して、基体層ポリイミドの片面あるいは両面に薄層用ポリイミドを有する多層押出しポリイミドフィルム、好適には熱圧着性多層押出しポリイミドフィルムを製造することができる。
【0030】
前記の薄層ポリイミドは、前記の酸成分とジアミン成分とを使用することによって、好適にはガラス転移温度が190〜280℃、特に200〜275℃であって、好適には前記の条件で乾燥・イミド化して薄層(好適には熱圧着性の)ポリイミドのゲル化を実質的に起こさせないことによって達成される、ガラス転移温度以上で300℃以下の範囲内の温度で溶融せず、かつ弾性率(通常、275℃での弾性率が50℃での弾性率の0.001〜0.5倍程度)を保持しているものが好ましい。
【0031】
前記の多層ポリイミドフィルムは、基体層ポリイミドのフィルム(層)の厚さが5〜125μmであることが好ましく、薄層ポリイミド(Y)層の厚さは1〜25μm、特に1〜15μm、その中でも特に2〜12μmが好ましい。
また、前記の他の金属箔と積層される場合の薄層である熱融着性ポリイミド(Y)層の厚さは、使用する他の金属箔の表面粗さ(Rz)以上であることが好ましい。
特に、多層ポリイミドフィルムとして、両面に熱融着性ポリイミド層を有し、全体の厚みが7〜150μm、特に7〜50μm、その中でも特に7〜25μmであるもので、引張弾性率(MD、TD、25℃)が400〜1000kgf/mm2程度であるものが高密度化の点から好ましい。
【0032】
この発明において多層ポリイミドフィルムに積層する金属層としては、銅、アルミニウム、鉄、金などの金属箔あるいはこれら金属の合金箔が挙げられるが、好適には金属層(A層)としての圧延銅箔、電解銅箔あるいはSUS箔と金属層(B層)としての銅箔、SUS箔の組み合わせ、あるいは金属層(A層)としての圧延銅箔、電解銅箔あるいはSUS箔と金属層(B層)としてのSUS板との組み合わせがあげられる。
前記の金属層(A層)としての銅箔は厚みが3〜18μm程度であり、SUS箔は厚みが10〜35μm程度であるものが好ましい。
金属層(B層)としてSUS箔あるいはSUS板としては、厚みが20〜200μm程度であることが好ましい。
【0033】
また、銅箔として、表面粗度の余り大きくなくかつ余り小さくない、好適には薄層ポリイミドとの接触面のRzが3μm以下、特に0.5〜3μm、その中でも特に1.5〜3μmであるものが好ましい。このような金属箔、例えば銅箔はVLP、LP(またはHTE)として知られている。
また、Rzが小さい場合には、金属箔表面を表面処理したものを使用してもよい。
【0034】
この発明においては、好適には前記の熱圧着性多層ポリイミドフィルムと金属箔とを、圧縮装置、あるいはロ−ルラミネ−トあるいはダブルベルトプレスなどの連続ラミネ−ト装置であって、熱圧着性多層ポリイミドフィルムのみあるいは熱圧着性多層ポリイミドフィルムと金属箔を導入する直前のインラインで150〜250℃程度、特に150℃より高く250℃以下の温度で2〜120秒間程度予熱できるように熱風供給装置や赤外線加熱機などの予熱器を用いて予熱して、加熱圧着して張り合わせることによって、フレキシブル金属箔積層体である積層体を得ることができる。
前記のダブルベルトプレスは、加圧下に高温加熱−冷却を行うことができるものであって、熱媒を用いた液圧式のものが好ましい。
前記のインラインとは原材料の繰り出し装置と連続ラミネ−ト装置の圧着部との間に予熱装置を設置し、直後に圧着できる装置配置になったものをいう。
【0035】
特に、前記の積層体は、好適にはロ−ルラミネ−トまたはダブルベルトプレスの加熱圧着ゾ−ンの温度が熱融着性ポリイミドのガラス転移温度より20℃以上高く400℃以下の温度、特にガラス転移温度より30℃以上高く400℃以下の温度で加圧下に熱圧着し、特にダブルベルトプレスの場合には引き続いて冷却ゾ−ンで加圧下に冷却して、好適には熱圧着性ポリイミドのガラス転移温度より20℃以上低い温度、特に30℃以上低い温度まで冷却して、積層することによって製造することができ、接着強度が大きい(90°剥離強度が0.8kgf/cm以上、特に1kgf/cm以上である。)。
【0036】
前記の方法によって、特にダブルベルトを使用して、長尺で幅が約400mm以上、特に約500mm以上の幅広の、接着強度が大きく(90°剥離強度が0.8kgf/cm以上、特に1kgf/cm以上である。)、金属箔表面に皺が実質的に認めれられない程度の外観が良好な積層体を得ることができる。
【0037】
この発明によって得られる積層体は、通常、金属層をそれ自体公知の方法、例えば、積層体の金属箔にポジ型フォトレジストを塗布乾燥した後、紫外線などで露光及びアルカリ現像を行って、例えば直径30〜150μmの孔を100〜200μm間隔で配列したレジストパタ−ンを作成し、次いで塩化第二鉄含有エッチング液で露光している金属箔をエッチングしてパタ−ンを形成した後、所望のパタ−ンにエッチングされた金属箔をマスクとして用い、ポリイミド層をそれ自体公知の方法、例えば特開平10−97081号公報に記載のエタノ−ルアミンあるいはイソまたはジプロパノ−ルアミン20〜50重量%と水酸化カリウム(KOH)25〜40重量%と水25〜40重量%とからなるエッチング液をポリイミドフィルムに50〜80℃で5〜20分間程度(ポリイミドフィルム厚みが50μmの場合)、好適には超音波発信器を備えたエッチング装置を用いて、接触させて処理することによってポリイミドフィルムをケミカルエッチングして、フィルムに貫通穴(スル−ホ−ル)を形成して、基板とすることができる。
【0038】
この発明の積層体は、好適にはケミカスエッチング速度、銅箔およびステンレス箔とポリイミドフィルムとの剥離強度が各々、ケミカルエッチング速度:2.0μm/分以上、銅側剥離強度が1kg/cm以上、ステンレス側剥離強度が0.8kgf/cm以上、特に1kgf/cm以上で、電気特性が従来公知の熱融着性ポリイミドと同等である。
【0039】
この発明の積層体の金属層、次いで多層ポリイミド層をケミカルエッチング加工して得られる基板は、電子部品用基板として好適に使用できる。
例えば、ハ−ドディスクドライブのサスペンションとして、あるいはFPC、TAB、多層基板のベ−ス基板として好適に使用することができる。
【0040】
【実施例】
以下、この発明を実施例および比較例によりさらに詳細に説明する。
以下の各例において、ポリイミドフィルムの物性評価および銅箔、ステンレスとの積層体の剥離強度は以下の方法に従って測定した。
ケミカルエッチング性:ポリイミドフィルムとステンレス箔(約20μm)を貼り合わせた試験片を80℃のエッチング液(組成:水酸化カリウム36重量%、モノエタノ−ルアミン37重量%、水27重量%)に浸漬し、ポリイミドフィルムが完溶する時間を測定した。エッチング速度(μm/分)=ポリイミドフィルム厚さ(μm)/完溶に要した時間(分)
【0041】
積層体の剥離強度:340℃に保った熱プレスを用い、圧延銅箔(18μm:ジャパンエナジ−社製)/ポリイミドフィルム(16μm)/ステンレス箔(20μm:新日鉄社製)と重ね、5分間予熱後、60kgf/cm2の圧力で1分間プレスを行い、3層の積層体を得た。この積層体について、室温にて50mm/分で90度剥離強度を測定した。
融解吸熱ピ−ク:DSC(DSC220C:セイコ−電子工業社製)によりRTから500℃(20℃/分)で測定した。
【0042】
また、以下の記載において、各略号は次の化合物を意味する。
s−BPDA:3,3‘,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
PMDA:ピロメリット酸二無水物
BTDA:3,3‘,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物
ODPA:3,3‘,4,4’−ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物
TPE−R:1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン
【0043】
実施例1
ポリアミック酸溶液の合成として、攪拌機、窒素導入管を備えた反応容器に、ジメチルアセトアミド(DMAc)とTPE−Rを加え溶解した。さらに、s−BPDA、PMDA、BTDAを70:20:10のモル比で加え、モノマ−溶液濃度が18重量%になるようにDMAc加えた。添加終了後、室温で3時間反応を行い、ポリアミック酸溶液を得た。
この溶液を、230μmのスペ−サ−を用いてガラス板上に流延し、100℃で乾燥後、180℃から360℃まで徐々に昇温して、溶媒を除去すると共にイミド化を行って、厚み19μmのポリイミドフィルムを製造した。
このポリイミドフィルムを用いて、圧延銅箔(18μm:ジャパンエナジ−社製)/ポリイミドフィルム(19μm)/ステンレス箔(20μm:新日鉄社製)と重ね、5分間予熱後、60kgf/cm2の圧力で1分間プレスを行い、3層の積層体を得た。この積層体について、エッチング性と銅箔およびステンレス箔の剥離強度を評価したところ、エッチング速度:2.24μm/分、銅剥離強度:1kgf/cm以上、ステンレス剥離強度:1kgf/cm以上であった。DSC測定したところ350℃に融解吸熱ピ−クを観測した。
【0044】
実施例2
s−BPDA、PMDA、BTDAのモル比を75:15:10とした以外は、実施例1と同様にして、ポリイミドフィルムを製造した。
このポリイミドフィルムを用いて、実施例1と同様にして積層体を得た。この積層体について、エッチング性と銅箔およびステンレス箔の剥離強度を評価したところ、エッチング速度:1.71μm/分、銅剥離強度:1.0kgf/cm以上、ステンレス剥離強度:1.0kgf/cm以上であった。DSC測定したところ350℃に融解吸熱ピ−クを観測した。
【0045】
比較例1
s−BPDA、PMDA、BTDAのモル比を60:30:10とした以外は、実施例1と同様にして、ポリイミドフィルムを製造した。
このフィルムを用いて得た積層体について、エッチング性と銅箔およびステンレス箔の剥離強度を評価したところ、エッチング速度:1.71μm/分、銅剥離強度:0.3kgf/cm、ステンレス剥離強度:0.0kgf/cmであった。DSC測定したところ380℃に融解吸熱ピ−クを観測した。剥離強度が著しく低下した。
【0046】
比較例2
s−BPDA、PMDA、BTDAのモル比を80:10:10とした以外は、実施例1と同様にして、ポリイミドフィルムを製造した。
このフィルムを用いて得た積層体について、エッチング性と銅箔およびステンレス箔の剥離強度を評価したところ、エッチング速度:1.27μm/分、銅剥離強度:0.8kgf/cm、ステンレス剥離強度:1.0kgf/cm以上であった。DSC測定したところ融解吸熱ピ−クは観測出来なかった。エッチング速度が著しく低下していた。
【0047】
比較例3
s−BPDA、PMDA、BTDAのモル比を70:30:0とした以外は、実施例1と同様にして、ポリイミドフィルムを製造した。
このフィルムを用いて得た積層体について、エッチング性と銅箔およびステンレス箔の剥離強度を評価したところ、エッチング速度:2.00μm/分、銅剥離強度:0.7kgf/cm、ステンレス剥離強度:0.0kgf/cmであった。DSC測定したところ融解吸熱ピ−クは観測出来なかった。ステンレスとの剥離強度が著しく低下した。
【0048】
比較例4
酸無水物としてODPAを使用した以外は、実施例1と同様にして、ポリイミドフィルムを製造した。
このフィルムを用いて得た積層体について、エッチング性と銅箔およびステンレス箔の剥離強度を評価したところ、エッチング速度:0.49μm/分、銅剥離強度:1.0kgf/cm以上、ステンレス剥離強度:0.5kgf/cmであった。DSC測定したところ融解吸熱ピ−クは観測出来なかった。エッチング速度が著しく低下し、ステンレスとの剥離強度が低下した。
【0049】
実施例3
基体ポリイミド層(X)製造用ド−プの合成として攪拌機、窒素導入管を備えた反応容器に、ジメチルアセトアミド(DMAc)を加え、さらに、パラフェニレンジアミン(PPD)とs−BPDAとを100:99.8のモル比でモノマ−濃度が18重量%になるように加えた。添加終了後50℃を保ったまま3時間反応を続けた。得られた基体層用のポリアミック酸溶液は褐色粘調液体であり、25℃における溶液粘度は約1500ポイズであった。
【0050】
実施例1の薄層用ポリイミド用のポリアミック酸溶液と上記の基体層用のポリアミック酸溶液とを三層押出しダイスを設けた製膜装置を使用し、前記ポリアミック酸溶液を三層押出しダイスから金属製支持体上に流延し、140℃の熱風で連続的に乾燥し、固化フィルムを成形した。この固化フィルムを支持体から剥離した後、加熱炉で200℃から最終温度400℃まで徐々に昇温して溶媒の除去、イミド化を行い長尺状で厚み16μm(構成:2μm/12μm/2μm)の三層押出しポリイミドフィルムを製造した。
この三層ポリイミドフィルムは、引張弾性率(MD、TD、25℃)が770〜800kgf/mm2であった。
この三層押出しポリイミドフィルムを用いて実施例1と同様にして積層体を得た。この積層体について、ケミカルエッチング性と銅箔およびステンレス箔の剥離強度を評価したところ、ケミカルエッチング速度:2.83μm/分、銅剥離強度:2.0kgf/cm以上、ステンレス剥離強度:1.1kgf/cmであった。ケミカルエッチング後の形状も良好であった。
【0051】
実施例4
実施例2の薄層用ポリイミド用のポリアミック酸溶液を使用した他は実施例3と同様に実施して、厚み16μm(構成:2μm/12μm/2μm)の三層押出しポリイミドフィルムを製造した。
この三層ポリイミドフィルムは、引張弾性率(MD、TD、25℃)が770〜800kgf/mm2であった。
この三層押出しポリイミドフィルムを用いて実施例1と同様にして積層体を得た。この積層体について、ケミカルエッチング性と銅箔およびステンレス箔の剥離強度を評価したところ、ケミカルエッチング速度:2.21μm/分、銅剥離強度:2.0kgf/cm以上、ステンレス剥離強度:1.0kgf/cmであった。ケミカルエッチング後の形状も良好であった。
【0052】
【発明の効果】
この発明によれば、SUS箔(ステンレス鋼箔)とポリイミドフィルムとを熱融着性ポリイミド層によって熱融着して得られる積層体の剥離強度が大きく、熱融着性ポリイミド層をケミカルエッチングによりパタ−ン形成時にエッチング時間が短い熱融着性ポリイミドを得ることができる。
【0053】
また、この発明によれば、SUS箔(ステンレス鋼箔)と多層ポリイミドフィルムとを熱融着性ポリイミド層を介して熱融着して得られる積層体の剥離強度が大きく、ポリイミド層をケミカルエッチングによりパタ−ン形成時にエッチング時間が短く、さらにパタ−ンの形状が良好であるケミカルエッチング特性を有する多層ポリイミドフィルムを得ることができる。
【0054】
さらに、この発明によれば、SUS箔(ステンレス鋼箔)とポリイミドフィルムとを熱融着性ポリイミド層によって熱融着して得られる積層体の剥離強度が大きく、ポリイミド層をケミカルエッチングによりパタ−ン形成時にエッチング時間が短く、さらにパタ−ンの形状が良好であるケミカルエッチング特性を有する積層体をを得ることができる。
Claims (13)
- DSC測定により融解吸熱ピ−クが、340〜380℃に観測できる請求項1に記載の熱融着性ポリイミド。
- 基体ポリイミド層(X)の少なくとも片面に、下記式に記載された熱融着性ポリイミドからなる薄層ポリイミド層(Y)が積層一体化されてなる多層ポリイミドフィルム。
・熱融着性ポリイミドからなる薄層ポリイミド層(Y)
- 基体ポリイミド層(X)が、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物とp−フェニレンジアミン100〜10モル%および4,4’−ジアミノジフェニルエ−テル0〜90モル%とから得られるポリイミド、または3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物0〜100モル%およびピロメリット酸二無水物100〜0モル%とp−フェニレンジアミン10〜90モル%および4,4’−ジアミノジフェニルエ−テル90〜10モル%とから得られるポリイミドからなる請求項3に記載の多層ポリイミドフィルム。
- 積層一体化が、基体ポリイミド層用のポリアミック酸溶液と薄層ポリイミド層用のポリアミック酸溶液とを共押出し流延製膜法によって積層した後、加熱乾燥し、イミド化して行われてなる請求項3に記載の多層ポリイミドフィルム。
- 積層一体化が、基体ポリイミド(X)を与える基体層用のポリアミック酸溶液から形成された自己支持性フィルムの少なくとも片面に薄層ポリイミド(Y)を与える薄層用ポリアミック酸溶液を薄く塗布し、加熱乾燥し、イミド化して行われてなる請求項3に記載の多層ポリイミドフィルム。
- 請求項3〜6のいずれかに記載された多層ポリイミドフィルムと金属層とが、薄層ポリイミド(Y)を介して積層されてなる積層体。
- 積層が、多層ポリイミドフィルムの薄層ポリイミド(Y)層と金属箔とを重ね合わせた後、加熱圧着してなる請求項7に記載の積層体。
- 金属箔の厚みが3〜35μmである請求項7に記載の積層体。
- 金属層が銅箔又はステンレス箔であることを特徴とする請求項7〜9のいずれか1項に記載の積層体。
- 請求項1又は請求項2のいずれかに記載された熱融着性ポリイミドと金属層とが直接積層されていることを特徴とする積層体。
- 金属層の厚みが3〜35μmである請求項11に記載の積層体。
- 金属層が銅箔又はステンレス箔であることを特徴とする請求項11又は請求項12に記載の積層体。
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