JP2004351413A - 液体の塗布及び乾燥方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 被塗物に液体を塗布し、短時間で乾燥させて、高品質の塗膜を形成することができる液体の塗布及び乾燥方法を提供する。
【解決手段】 通気性を有する循環移動体（２）に被塗物（６）を吸着させ、循環移動体に吸着されている被塗物に液体（１４）を薄膜で積層塗布し、被塗物に塗布された液体を少なくとも指触乾燥させる。
【選択図】 図３０

Description

本発明は、液体の塗布及び乾燥方法に関する。更に詳細には、スクリーンベルトやスクリーンドラム等の多孔質循環移動体にウェブ等の被塗物をバキュームにより吸着させて被塗物に液体を塗布し、液体を少なくとも指触乾燥させることに関する。

従来、被塗物としてのウェブを加熱し、加熱されたウェブに液体を塗布する方法がある（例えば、特許文献１参照。）。この方法においては、液体を塗布するダイヘッドに対向してバキューム機構が設けられており、多孔質又は通気性のウェブの表面にダイヘッドから液体を塗布すると共にウェブの裏面からバキューム機構により吸引することにより、ウェブの細孔内部へ液体が侵入しやすくしている。

ところで、あらゆる形状の被塗物に水や溶剤などの溶媒を含む塗料などの液体を塗布し熱風乾燥炉で乾燥する方法は、低温から高温の乾燥として簡便なこと、及び比較的温度制御が精密なことから塗装業界で広く採用されている。また、連続して流れるウェブへの液体コーティング剤や接着剤の塗工、あるいは液状インクによる印刷にも、前述の理由により、熱風乾燥炉が多く採用されている。一方、被塗物が単純な形状をした耐熱性のある金属製の、例えば、コイルなどの場合は、誘導加熱による急速乾燥方法がある。また、非磁性体のプラスチックや紙製あるいはコンポジットのウェブには伝熱効率が加熱空気よりはるかに効果的であり、さらにまた、塗膜の内側から活性させる目的で遠赤外線の照射による乾燥も用いられている。さらに、最近は、短時間で処理する目的でコーティング剤や接着剤を紫外線や可視光線あるいは電子線により反応させて硬化させられるように選定されたオリゴマーやモノマーなどに光重合開始剤等を添加製造し、被塗物に施与して、上記紫外線などを照射して、硬化させる方法も用いられている。

しかしながら、シート形状やウェブなどの単純な形状の被塗物であっても、被塗物の材質の制約や、コーティング剤の制約、温度制御の制約が残され依然として熱風乾燥炉が多用されていた。

近年、燃料電池の開発が進み、燃料電池の発電層を形成する方法が提案されている（特許文献２参照）。特許文献２は、パーフルオロスルホネートイオノマーなどの湿潤しやすい薄膜２４に、白金を担持したカーボン粉末からなる触媒層（インク）を塗布して固体高分子型燃料電池の発電層を形成するのに適した液体塗布方法を開示している。この液体塗布方法によれば、薄膜を吸引加熱ローラに吸引しつつ過熱しながら搬送し、搬送されている薄膜にインクを塗布し、乾燥する。
特開平１０−７６２２０号公報 特開２００１−７０８６３号公報

従来の熱風乾燥炉は、簡便であっても、次のような問題点があった。まず一つ目は被塗物への伝熱効率が悪く通常１０〜３０分の乾燥が必要で、大きなエネルギーロスにつながっていた。特に、被塗物が設定温度まで到達するカムアップ時間が２〜３分を要し、省エネルギー及びより多くの炭酸ガス排出につながる地球環境的立場から解決しなければならない問題である。二つ目は、乾燥効率が悪く長時間の乾燥時間が必要なため広い設置場所が必要であった。三つ目として、塗布した被塗物の塗膜表面から乾燥が進み、特に塗膜が厚い場合は表面が皮張りして内部の溶媒が閉じ込められ、ブリスターやバブルあるいはクラックの発生につながり品質を著しく低下させていた。四つ目として、熱風乾燥炉のみでなく全ての乾燥装置に対して共通する課題として、溶媒で膨潤する被塗物、例えば、ゴムシートや燃料電池の一つであるＰＥＦＣ（固体高分子形燃料電池）の電解質膜として用いられるデュポン社の商標登録製品であるＮａｆｉｏｎ（登録商標）（ナフィオン）等に対しては良好な乾燥方法はなかった。

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであって、シートやウェブなどに液体を塗布し、短時間で高品質の塗膜を形成させる乾燥方法を提供することにある。

前述した課題を解決する為に本発明では次のような液体の塗布及び乾燥方法とした。
すなわち、通気性を有する循環移動体に被塗物を可能な限り強力に吸着させ、循環移動体に吸着されている被塗物に液体を積層させながら塗布し、更に好ましくは薄く積層し、被塗面の溶媒（蒸気）を風速を高めてあるいは風量を多くすることの相乗効果で逃がし、被塗物に塗布された液体を少なくとも指触乾燥させる液体の塗布及び乾燥方法とした。
本発明の一実施例においては、通気性を有する循環移動体に被塗物を吸着させ、循環移動体に吸着されている被塗物に液体を積層させながら塗布し、被塗物に塗布された液体を少なくとも指触乾燥させる液体の塗布及び乾燥方法とした。
被塗物に塗布された液体に空気の流れを当てることとしてもよい。
塗布面の溶媒をすばやく逃がす手段をもうけるとよい。たとえば、風量を多くして、又は、塗布面の近くの風速を０．５ｍ／ｓ以上にあげるとよい。
液体をパルススプレイ法により被塗物に塗布することとしてもよい。
本発明の他の実施例においては、真空室内において、通気性を有する循環移動体に被塗物を吸着させ、真空室内において、循環移動体に吸着されている被塗物に液体を塗布し、真空室内において、被塗物に塗布された液体を少なくとも指触乾燥させる液体の塗布及び乾燥方法とした。
本発明の他の実施例においては、通気性を有する循環移動体と被塗物との間に通気性基材を存在させ、被塗物と共に通気性基材を循環移動体に吸着させて移動させ、通気性基材を介して循環移動体に吸着されている被塗物に液体を塗布し、被塗物に塗布された液体を少なくとも指触乾燥させる液体の塗布及び乾燥方法とした。
本発明の他の実施例においては、通気性を有する循環移動体に被塗物を吸着させ、被塗物の表面にマスキングウェブを付着し、循環移動体に吸着されている被塗物に液体を塗布し、被塗物に塗布された液体を少なくとも指触乾燥させる液体の塗布及び乾燥方法とした。
本発明の他の実施例においては、通気性を有する循環移動体と被塗物との間に通気性基材を存在させ、被塗物と共に通気性基材を循環移動体に吸着させて移動させ、被塗物の表面にマスキングウェブを付着し、通気性基材を介して循環移動体に吸着されている被塗物に液体を塗布し、被塗物に塗布された液体を少なくとも指触乾燥させる液体の塗布及び乾燥方法とした。
循環移動体を加温することとしてもよい。
循環移動体の表面が通気性を有するスクリーンドラム又はスクリーンベルトであり、スクリーンドラム又はスクリーンベルトを内側から加温することとしてもよい。
被塗物がウェブであるとよい。
液体の塗布は、液体を粒子にして塗布してもよい。
少なくとも指触乾燥された被塗物の塗膜を真空室でさらに乾燥させてもよい。
真空室内で、さらに加熱装置で、少なくとも塗膜を加温してもよい。
前記した液体の塗布及び乾燥方法を真空室内で行ってもよい。
液体が固体高分子型燃料電池の電極インクであって、被塗物が電解質膜であるとよい。
被塗物と循環移動体の間に通気性基材を存在させ、被塗物と共に通気性基材を循環移動体に吸着させ移動させてもよい。
循環移動体から熱を被塗物に伝導させ、被塗物が循環移動体から剥離されるまでに少なくとも被塗物上の液体の塗膜表面を少なくとも指触乾燥させてもよい。
アノードおよびカソードの電極インク塗布及び乾燥作業が同一ラインで行われてもよい。
被塗物の表面にマスキングウェブを自着し、又は自己粘着性マスキングウェブを選択し、または被塗物の表面にマスキングウェブを粘着剤により粘着してもよい。
本発明の他の実施例においては、通気性を有する循環移動体に被塗物を吸着させ、循環移動体に吸着されている被塗物にスロットルノズルにより液体を積層させながら塗布し、被塗物に塗布された液体を少なくとも指触乾燥させる液体の塗布及び乾燥方法とした。
被塗物が通気性を有しており、スロットルノズルにより液体を通気性被塗物に複数回充填することとしてもよい。
液体が電解質溶液であるとよい。
被塗物の乾燥は、循環移動体の加温により行うこととしてもよい。
被塗物の乾燥は、真空室内で行うこととしてもよい。

以下、本発明を、好ましい実施形態に基づき説明する。ただし、以下の実施形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。

本発明では、循環移動体に被塗物を吸着させ安定的に保持した被塗物面に液体を塗布し、それによって被塗物が変形することなく循環移動体と共に移動し更に伝熱が循環移動体よりなされることにより熱風乾燥炉のように表面が皮張りすることなく、また、遠赤外線加熱装置のように塗膜の内側から活性化したとしても温度コントロールのばらつきが大きいものと比較して高品質の塗膜及び製品を製造できる。

すなわち、例えば、理想的には、４０メッシュ以上のスクリーンベルトやＳｔｏｒｋ社製などのスクリーン印刷分野で使用されるスクリーンドラムあるいは金属酸化物や金属などの焼結多孔質ドラムなどが使用できる。さらに、必要に応じて、その上に、通気性のある天然あるいは化石に由来する織布、不織布、あるいは和紙、合成紙、例えば、Delstar Technologies 社の商標登録DELNETや大江化学工業（株）のポアフルなどのプラスチックフィルムなどを単層又は多層にして、理想的にはウェブ状で供給して被塗物を吸着させることもできる。その上に吸着させる被塗物はバキュームのより微細な分散効果により被塗物を完璧に吸着させることができる。そうすることにより被塗物が例えば１５μｍのプラスチックフィルムであっても循環移動体の通気孔の痕跡を残すことなく確実に吸着することができる。更に別の特徴は、紙などのファインな通気性基材を通気性ドラムなどに吸着させてその上に被塗物を吸着させるので、ドラムの通気部の孔径を大きくでき、かつ密度を粗にできるので、装置の大幅なコスト削減につながる。また５００ｍｍ直径を超える通気性シームレスドラムやスクリーンは高価で、それが近い将来のプロダクションラインで必要となることが予測される３０００ｍｍまでなると天文学的金額になる。そればかりでなく製造が不可能になる場合もある。本発明によれば市販の金属製パンチングプレートやスクリーンをシーム溶接して円筒にしてドラム等の循環移動体にセットしたり、ベルトとして使用できるからはるかに安価である。また金属や金属酸化物の焼結プレートをドラムに貼り付けることもできる。また、ゴムシートやＮａｆｉｏｎ（登録商標）膜であってもその吸着力によって、電極インク塗布後しばらくは膨潤し変形することがない。そのため、できるだけ早く理想的には塗布と同時に循環移動体側から加熱し被塗物に浸透しつつある溶媒と塗膜を乾燥させる必要がある。なお、被塗物への溶媒の若干の浸透は塗膜の密着性の観点から重要な場合がある。従来、Ｎａｆｉｏｎ（登録商標）は、前述のように水分や溶媒で膨潤しやすいことから、Ｎａｆｉｏｎ（登録商標）に直接電極用インクを塗布せず、PTFEなどのフィルムに塗布し乾燥させた後、所望するパターンでＮａｆｉｏｎ（登録商標）に加熱加圧転写する方法が多用されていた。しかしこの方法でもそもそも電極インクの固形分濃度は１０％前後しかなく、１平方センチメートル当たり１〜４ｍｇの乾燥重量を得ようとするとウェット膜厚は１００〜４００μｍ程にもなり比較的短時間で乾燥しようとすると熱風乾燥では表面が皮張りひび割れやブリスターが発生する。そのため低温熱風乾燥が強いられ近い将来の１分間当たり十メートル以上のラインスピードを想定するとその時間と設置面積は気の遠くなるほどのものになる。

また、被塗物は、枚葉でもウェブでもその形状を特別問うものではないが、生産性を考慮するとウェブの方が好ましい。

また、被塗物を吸着し移動する循環移動体のそれぞれの工程での動作は、塗布作業時被塗物と塗布装置は相対移動させて塗布するが、例えば循環移動体は停止させて塗布装置を固定あるいは循環移動体の進行方向へ移動させて被塗物への塗布を行ってもよい。また、塗布パターンより被塗物の幅が広い場合は進行方向と交叉させて塗布装置を移動させながら塗布してもよい。また、乾燥も循環移動体の移動を停止させて被塗物を乾燥してもよい。勿論のこと、循環移動体を移動させながら塗布を行うこともできるし、乾燥させることもできる。また、移動の形態も例えば循環移動体がドラムの場合、連続回転してもよく、より正確で緻密な積層を行うために、例えば、ドラムの直径が２００ｍｍの場合は、０．５度乃至１０度ごとに、ドラムの直径が１０００ｍｍの場合は、０．１度乃至２度ごとに小刻みに所望する角度をもって回転を間欠的に行ってもよい。つまり、循環移動体に吸着された被塗物は連続的に進行方向に移動しても良く、間欠移動しても良いことになる。前述の塗布装置がスプレイガンの場合、スプレイガンをトラバース装置に取り付けて進行方向と交叉する方向に移動させながら塗布する際、間欠移動の停止時にその作業を行うと、均一な重ね塗りが安定して行われることになるので品質の向上につながる。

また、塗布方法も特別限定するものではないがロールコート、バーコート、スロットノズルコート、スクリーンプリンティング、カーテンコート、スプレイコートなどいずれでもよく、複数回塗り重ねる場合は各々の特徴を生かして組み合わせてもよい。しかし、特に、溶媒で膨潤しやすい被塗物には液体を粒子発生装置で粒子化し被塗物までの距離を１００ｍｍ以上とすると飛行する間に少しでも乾燥させることになるので、より高い効果を得ることができる。粒子発生装置も特別に限定しないがエアスプレイ、エアレススプレイ、ロータリーアトマイザー、超音波による粒子発生方式、それらを組み合わせたもの、またはパターンコートができ、本出願人に権利譲渡されている米国特許第５，３８９，１４８号明細書（特許登録第２５８４５２８号（特開平４−３５７６７号「液体又は溶融体の塗布方法」））やインクジェット方式等いずれでも良い。また、本出願人に権利が譲渡されている特許登録第２５９６４５０号、第２６６０４２４号、第２７９６８２６号等のノードソン株式会社の商標登録である一次粒子に細分化して塗布するエアロコートはパウダーに限りなく近い状態で塗布できることから、Ｎａｆｉｏｎ（登録商標）等をほとんど膨潤させないため理想的である。

いずれの方式を採用しても、一回あたりの塗膜厚をできるだけ薄くして、複数回塗り重ねることが好ましい。また、塗り重ね回数は、２〜１００回、生産性の関係で好ましく２〜１０回がよい。電極インクの場合、カーボンの凝集や沈降によりノズル詰まりが発生しやすく、エアスプレイの場合、ノズル口径を例えば０．５ｍｍと大きくすると流量も１０ｍｌ／ｍｉｎ．以上と多くなってしまい、前述のトラバーススピードを２０ｍ／ｍｉｎ．以上、場合によっては、６０ｍ／ｍｉｎ．程度にする必要がある。ところが、トラバーススピードが速いとスプレイ粒子が被塗物に付着しずらくなり、大幅な塗着効率のダウンにつながる。このためトラバーススピードは０．５ｍ／ｍｉｎ．乃至２０ｍ／ｍｉｎ．の範囲が望ましく、特に、生産性と塗着効率を満足させるには２ｍ／ｍｉｎ．乃至６ｍ／ｍｉｎ．の範囲が望ましい。ノズル詰まりをさせることなく、流量を、例えば、１／１０以下に絞り込む方法として、本出願人に権利が譲渡されている特許第１６５１６７２号（特公平３−１８５０６号）のパルススプレイ法を使用することができる。更にエアスプレイ法であっても粒子化するときに必要な圧搾エアもパルスで行い実際のエアの吹き出し時間を１／２乃至１／５にすることも可能であるので大幅な例えば３０乃至６０パーセントの塗着効率アップが図れる。例えば１００ミリ秒サイクル、塗布時間１０ミリ秒、トラバース速度２ｍ／ｍｉｎ（３３．３ｍｍ／秒）のとき、１秒間に１０回塗布するのでパターン直径２０ｍｍのとき６回ラップ（重ね塗り）することになる。また、スロットノズルとバキュームタイプ循環移動体の組み合わせは、本出願人に権利が譲渡されている特開平１０−７６２２０号公報で開示されている事例のように、本発明では、あらかじめウェブを加熱し、より塗布時のフローをよくしつつ乾燥効果もあげることができる。また、循環移動体の加熱装置の加熱手段は特に問わない。例えば、熱媒体として使用できる水、油、溶剤、可塑剤等を加熱して循環移動体に送り加熱する方法、加熱気体、例えば、蒸気や熱風による加熱、また、インダクションヒーターによる加熱、赤外線、遠赤外線による加熱のいずれでもよく、組み合わせて使用してもよい。また、電極インクを乾燥後、剥離しやすい基材、例えば、ＰＴＦＥなどにコートし乾燥の後、Ｎａｆｉｏｎ（登録商標）に加熱圧着し転写させる方法が用いられているが、このような基材でも剥離しやすい点からすると電極インクを粒子化し、更に、少量ずつを塗り重ねることにより、上記圧着工程において剥離を容易にし、高品質な製品をつくることができる。特に、前記米国特許第５，３８９，１４８号を応用すると、比較的早い生産速度をもって、所望するパターン塗布ができるので、理想的である。これらの剥離基材に関しては、表面が平滑なため、また、膨潤しないことと、Ｎａｆｉｏｎ（登録商標）の４０〜５０℃に比べて、比較的高い温度、例えば、８０℃に基材が耐えるため循環移動体から吸引し被塗物を吸着しなくとも加熱のみだけで十分効果が得られる場合がある。特に、高速生産、あるいは簡単なパターン塗布に関しては、スロットノズルがより好ましく、通常一回の１００μｍ以上のウェット膜では、後加熱でブリスターやクラックが発生するが、加熱循環移動体の上で２〜１０回の塗り重ねを行うことにより、塗布後比較的塗膜厚みが、例えば、ウェットで１０〜２０μｍと薄いと、次の塗布工程まで２０％以上乾燥が進み塗り重ねることにより前記クラックなどの問題は解決できる。この場合の循環移動体の吸着有り無しは問わない。また、吸着しない循環移動体の基材との接触面は、インクの薄いウェット膜を得るためにもより平滑な面、例えば０．６Ｓ以下が望ましく、また、ドラム形状で回転ぶれが無いことが望ましい。電極インクの塗布について説明しているが、本発明では液体の種類や最終製品を特に限定している訳ではない。本発明によれば上述方法とスロットノズルを用い電解質溶液をフィルムや金属製の表面仕上げを施した無端ベルトに塗布し乾燥させて、必要に応じて塗り重ねながら乾燥させ電解質膜を製造することができる。更に特開平１０−７６２２０号を応用し電解質膜の骨格となる通気性基材に電解質溶液を充填させ必要に応じてその作業を繰り返しまたは及びコーティングして乾燥させ高付加価値の電解質膜を製造することもできる。これらの場合電解質溶液は溶液の供給密閉回路に供給し加温すると粘度がさがり、フローがよくなり、乾燥もはやくなるので望ましい。

特に、仮に、ウェットな状態での塗布を所望する場合は、特許登録第１９３１３０７号（特公平６−６１５３０号（特開平２−１２２８７３号「エアロゾルの塗布方法」））の方法により塗布の瞬間被塗物を冷却し溶媒結露作用で塗膜を形成し、しかる後に、循環移動体の加熱により乾燥させることができる。

また、本乾燥を、より乾燥効率の高い真空乾燥、あるいは真空乾燥と加熱装置による加熱との協働で乾燥することができる。その場合、真空乾燥室の入り口にあって大気と縁を切る対のフィードロールに塗膜が付着しないように、少なくとも塗膜の表面は指触乾燥させる必要がある。

さらに、本発明では、所望するパターンをくりぬき形成させたウェブを被塗物に自着またはウェブの被塗物との接触面に微粘着乃至粘着層を形成させ、お互いを重ね合わせた状態で塗布作業を行ってもよい。自着用のウェブとしては、アキレス（株）製のＳＴ自己粘着フィルムが好適である。また、粘着剤は一般的なラベルや、テープで採用されているものを使用できるが好ましくは耐薬品性のある紫外線硬化型の微粘着タイプが好ましい。

以下、本発明を、好ましい実施例に基づき図面を参照しながら説明する。
（全体構成）
図１は、本発明による液体の塗布及び乾燥方法を実施するための塗布及び乾燥装置１を示す概略構成図である。塗布及び乾燥装置１は、回転可能な循環移動体２と、循環移動体２を加熱する加熱装置３と、液体を塗布する塗布装置４と、循環移動体２の内部を真空にするための真空装置５とからなる。

被塗物としてのウェブ６は、巻取り心棒７に連続に巻かれている。巻取り心棒７が矢印Ａで示す方向に回転すると、連続ウェブ６は循環移動体２へ向かって矢印Ｂで示す方向に移動する。ウェブ６は、案内ロール８により案内されて循環移動体２に巻きつく。循環移動体２は、通気性を有する。したがって、真空装置５で循環移動体２の内部に真空が形成されるとウェブ６を循環移動体２の表面に吸着する。プーリ９が循環移動体２の軸２ａに設けられている。プーリ９は、モータ１０のプーリ１１とベルト１２を介して接続されている。モータ１０が回転すると、循環移動体２は、矢印Ｃで示す方向に回転する。

塗布装置４は、液体源１３に接続されている。塗布装置４は、液体源１３からの液体１４を循環移動体２に吸着されているウェブ６に向かって塗布する。

加熱装置３は、熱媒体１５を蓄えている媒体容器１６と、熱媒体１５を媒体容器１６から循環移動体２へ圧送するためのポンプ１７と、熱媒体１５を加熱するための加熱器１８とからなる。加熱器１８で加熱された熱媒体１５は、循環移動体２の軸２ｂから循環移動体の内部へ送られ、循環移動体２を加熱し、軸２ａに設けられたシール部材１９を介して媒体容器１６へ戻される。
循環移動体２が熱媒体１５により加熱されているので、ウェブ６に塗布された液体が加熱され乾燥される。ウェブ６が案内ロール２０に到るまでに、ウェブ６に塗布された液体は、指触乾燥乃至乾燥している。ウェブ６は、矢印Ｄで示す方向に回転する巻取り心棒３９に巻き取られる。

ここで、指触乾燥とは、一般に、塗料の乾燥状態の一つであって、塗った面の中央に触れてみて、塗料で指先が汚れない状態になったときをいう。すなわち、本実施例においては、ウェブ６が循環移動体２から剥離される位置において、ウェブ６の上に塗布された液体を指先でそっと押さえても粘着しなくなる程度にウェブ６が循環移動体２によって加熱乾燥されると良い。

（循環移動体）
以下に、図２乃至図５を参照して、循環移動体２を更に詳細に説明する。
図２は、循環移動体２の分解図である。循環移動体２は、不図示の軸受けに支持される軸２ａを有するフランジ２１ａと、不図示の軸受けに支持される軸２ｂを有するフランジ２１ｂと、スクリーンドラム２２と、シリンダー２３と、二枚の仕切り板２４ａ及び２４ｂが設けられた真空導管２４とにより構成されている。
図３は、循環移動体２の軸線方向に沿って取った断面図であり、図４の線III−IIIに沿って取った断面図である。図４は、循環移動体２の横断面図であり、図３の線IV−IVに沿って取った断面図である。図５は、循環移動体２の表面の一部分を拡大した図である。

シリンダー２３は、両端部が開放した筒形状をした部材である。シリンダー２３には、軸線方向にシリンダー２３を貫通する複数の油穴２３ａが設けられている。シリンダー２３の外側表面には、軸線方向に延在する複数の溝２３ｂが設けられている。溝２３ｂには、半径方向にシリンダー２３を貫通する複数の通気孔２３ｃが設けられている。また、シリンダー２３の外側表面には、円周方向に多数の旋盤溝２３ｄが設けられている。

シリンダー２３は、熱伝導度の良い材質でつくられている。材質は特に問わないが、アルミニウム、銅、真鍮などの熱伝導度の良い金属が好ましい。腐食性のガス雰囲気下で使用する場合には、シリンダー２３に鍍金をするとよく、例えば、フッ素系樹脂処理方法の一種であるニダックス（登録商標）やタフラム（登録商標）処理などは、塗布材料としての液体がシリンダー２３に固着することを防止する観点から好ましい。ニダックス処理は、高硬度で耐磨耗性・滑り性・かじり防止・非粘着性・耐候性・耐油性等に優れ、極めて滑らかでしかも、硬い表面を持ち、母材との密着力にも優れた高機能複合膜を得る表面処理技術である。タフラム処理は、耐磨耗性・滑り性・離型性・耐食性・耐海水性・電気絶縁性等に優れ、非常に滑らかでしかも、硬い表面を持ち、母材と一体化した高機能複合膜を得る表面処理技術である。

シリンダー２３の内部には、真空導管２４が配置されている。真空導管２４には、二枚の仕切り板２４ａ及び２４ｂが設けられている。仕切り板２４ａ及び２４ｂは、シリンダー２３の内部を真空室２５ａと大気連通室又は加圧室２５ｂとに分けている。真空導管２４の一端部２４ｃは、フランジ２１ａに設けられた貫通孔２６を貫通して真空装置５に接続されている。真空導管２４の他端部２４ｆは、ベアリング１２４を介して、フランジ２１ｂに支持されている。真空装置５は、真空導管２４の軸線方向の空気通路２４ｄと真空導管２４に設けられた多数の通気孔２４ｅを介して真空室２５ａ内の空気を排出して、真空室２５ａ内に真空を形成する。真空室２５ａ内の真空状態は、特に限定しないが、１．３ｋＰａ乃至８０ｋＰａの範囲の減圧で行えばよい。

シリンダー２３の両端部には、それぞれフランジ２１ａと２１ｂが取り付けられている。フランジ２１ａと２１ｂには、シリンダー２３の隣り合う油穴２３ａを連通させるための油溝２７が設けられている。フランジ２１ｂの軸２ｂには、熱媒体の入り口２８が設けられている。入り口２８は、加熱器１８からの熱媒体を受け入れる。熱媒体は、軸２ｂの軸線方向に延在する熱媒体通路２９をとおり、フランジ２１ｂの半径方向に延在する半径方向熱媒体通路３０を通って、油溝２７に到る。油溝２７は、シリンダー２３の複数の油穴２３ａの一つと連通しているので、熱媒体は、油穴２３ａを通って、フランジ２１ａの方へ移動する。そして、熱媒体は、フランジ２１ａの油溝２７に到り、隣の油穴２３ａへ流れる。そして、熱媒体は、逆にフランジ２１ｂの方へ移動し、フランジ２１ｂの油溝２７に到り、隣の油穴２３ａへ流れる。このように、シリンダー２３の全ての油穴２３ａをとおって、フランジ２１ａに設けられた半径方向熱媒体通路３１へ流れる。半径方向熱媒体通路３１は、フランジ２１ａに設けられた貫通孔２６に連通している。貫通孔２６の両端部には、貫通孔２６の内面と真空導管２４の一端部２４ｃの外面とを密閉するためのシール部材がそれぞれ設けられている。熱媒体は、貫通孔２６をとおり、軸２ａに設けられた出口３３からメカニカルシール３４を介してメカニカルシール３４の穴３４ａからポンプ１７の上流へ戻され循環する。

シリンダー２３の外側にスクリーンドラム２２が嵌め合わされている。スクリーンドラム２２は、多孔質体である。スクリーンドラム２２は、シリンダー２３に固定されて、シリンダー２３と共に回転する。
真空室２５ａに真空が形成されるとシリンダー２３の複数の通気孔２３ｃを介して溝２３ｂにも真空が形成される。溝２３ｂは、シリンダー２３の円周方向の多数の旋盤溝２３ｄと連通しているので、シリンダー２３の外側表面に真空が形成される。スクリーンドラム２２は、通気性を有する多孔質体であるので、これによって、スクリーンドラム２２の外側表面に吸着力が生じる。したがって、スクリーンドラム２２の外側表面の真空室２５ａに対応する部分全体にわたってほぼ一様に吸着力を生じる。一方、大気連通室２５ｂには真空が形成されていないので、スクリーンドラム２２の外側表面の大気連通室２５ｂに対応する部分には、吸着力が生じない。したがって、ウェブ６は、スクリーンドラム２２の外側表面の真空室２５ａに対応する部分に吸着され、スクリーンドラム２２と共に回転して、大気連通室２５ｂに対応する部分に到るとスクリーンドラム２２から剥離される。

（循環移動体の別の実施例）
循環移動体は、前記したドラム形状に限らず、ウェブ６を吸着して加熱乾燥させるものであればその他の形態をとることもできる。
図６は、スクリーンベルト５２を使用した循環移動体４２を示す概略構成図である。図６に示す塗布及び乾燥装置４１は、スクリーンベルト５２を使用した循環移動体４２と、スクリーンベルト５２又は／及びウェブ４６を加熱する加熱装置４３と、液体を塗布する塗布装置４４と、真空装置４５とからなる。

被塗物としてのウェブ４６は、巻取り心棒４７に連続に巻かれている。巻取り心棒４７が矢印Ｅで示す方向に回転すると、ウェブ４６は循環移動体４２へ向かって矢印Ｆで示す方向に移動する。スクリーンベルト５２は、二つのローラ５３，５４に張り渡されている。ローラ５３，５４は、矢印Ｇで示す方向に回転し、これによって、スクリーンベルト５２は、矢印Ｈで示す方向に移動する。ウェブ４６は、真空装置４５が形成する真空により循環移動体４２のスクリーンベルト５２に吸着される。循環移動体４２と対向して塗布装置４４が配置されている。塗布装置４４は、ウェブ４６に液体を塗布する。循環移動体４２が加熱装置４３の熱媒体により加熱されているので、ウェブ４６に塗布された液体が加熱され乾燥される。ウェブ４６が、ローラ５３においてスクリーンベルト５２から剥離するまでに、ウェブ４６に塗布された液体は、ほぼ指触乾燥している。ウェブ４６は、矢印Ｊで示す方向に回転する巻取り心棒４８に巻き取られる。

循環移動体４２は、スクリーンベルト５２と、真空プレート５５と、加熱プレート５６とからなる。
スクリーンベルト５２は、通気性を有する多孔質体である。

図７は、真空プレート５５を示す斜視図である。図８は、真空プレート５５の断面図である。真空プレート５５には、縦方向と横方向にそれぞれ複数の貫通孔５５ａ、５５ｂが設けられている。真空プレート５５の表面には、横方向に複数の溝５５ｃが設けられている。溝５５は、ウェブ４６の搬送方向（矢印Ｈで示す方向）に沿って延在している。溝５５ｃから貫通孔５５ａ、５５ｂに連通する複数の通気孔５５ｄが形成されている。横方向の貫通孔５５ｂは、両端部にプラグ６０が嵌め込まれていて閉じられている。貫通孔５５ａは、両端部にＴ字形状の取付金具６１が取り付けられており、導管６２により真空装置４５に接続されている。
真空装置５４が空気を吸引すると、導管６２、Ｔ字形状の取付金具６１、貫通孔５５ａ、５５ｂ、通気孔５５ｄを介して、溝５５ｃに真空を形成する。スクリーンベルト５２は、真空プレート５５の複数のランド部５５ｅの上を連続して走っている。スクリーンベルト５２は、通気性のある多孔質体で形成されているので、ウェブ４６がスクリーンベルト５２に吸着されて、スクリーンベルト５２とともに矢印Ｈで示す方向（図６）に移動する。

図９は、加熱プレート５６の平面図である。加熱プレート５６には、加熱プレート５６を貫通する複数の油穴５６ａが設けられている。隣接する油穴の出口と入り口は、接続孔６６ａが設けられた接続金具６６により連通されている。油穴５６ａの入り口５６ｂは、加熱装置４３に接続されている。入り口５６ｂは、加熱装置４３から加熱された熱媒体を受ける。熱媒体は、油穴５６ａを流れ、接続金具６６の接続孔６６ａをとおり、隣の油穴５６ａへ流れる。そして、反対端部の接続金具６６の接続孔６６ａをとおり、さらに隣の油穴５６ａへ流れる。このように、熱媒体は、すべての油穴５６ａをとおって、出口５６ｃから加熱装置４３へ戻される。

加熱プレート５６が熱媒体により加熱されると、加熱プレート５６の上に接触又は配置されている真空プレート５５へ熱が伝わる。そして、真空プレート５５の上に接触して移動するスクリーンベルト５２又は／及びウェブ４６へ熱が伝わり、ウェブ４６を加熱する。このようにして、ウェブ４６に塗布された液体は、加熱プレート５６からの熱で加熱され乾燥される。加熱プレート５６の加熱量は、ウェブ４６がローラ５３においてスクリーンベルト５２から剥離する位置において、ウェブ４６に塗布されている液体がほぼ指触乾燥以上になるように調整されていると良い。

本実施例においては、塗布装置４４に対向する部分の加熱プレート５６には、油穴５６ａが設けられていない。その理由は、塗布された液体がウェブ４６にある程度浸透させるためである。しかしながら、塗布装置４４に対向する部分の加熱プレート５６にも、油穴５６ａを設けることもできる。

（追加の乾燥装置）
指触乾燥されたウェブを、本乾燥させるための乾燥装置を設けることができる。
図１０は、図１に示した塗布及び乾燥装置１に乾燥装置７０を追加した場合の例を示す概略図である。図１１は、図６に示した塗布及び乾燥装置４１に乾燥装置７０を追加した場合の例を示す概略図である。乾燥装置７０は、循環移動体２及び４２と巻取り心棒３９、４８との間に配置されている。乾燥装置７０は、真空室７１とフィードローラ７２とからなる。乾燥装置７０は、真空室７１でウェブに塗布された液体の溶剤の蒸発を促進して液体を乾燥させる。真空室７１内の真空状態は、特に限定しないが、絶対圧力１．３ｋＰａ乃至８０ｋＰａ（以後、真空度に関する圧力は絶対圧力で示す。）の範囲の減圧で行えばよい。真空室７１内の圧力を１．３ｋＰａ乃至８０ｋＰａの範囲に保ち乾燥を行えば、Ｎａｆｉｏｎに残留溶剤が多く含まれていても、所望する品質の製品を得ることができる。なお、フィードローラ７２に到るまでに、ウェブに塗布されている液体がほぼ指触乾燥しているとよい。
図１２及び図１３は、加熱循環移動体１００を有する乾燥装置７０を示す図である。ウェブの乾燥を更に促進するために、真空室７１の内部に加熱循環移動体１００を設ける。加熱循環移動体１００がウェブと接触することにより、ウェブの乾燥を促進することができる。
なお、乾燥装置の加熱循環移動体は、図１に示す循環移動体２と同様の構成を有する加熱循環移動体１２０としてもよい。図１４は、加熱循環移動体１２０を有する乾燥装置１７０を示す図である。乾燥装置１７０は、真空室１７１と、真空室１７１内に配置された加熱循環移動体１２０と、真空室１７１の入り口及び出口に設けられたフィードローラ１７２とを有する。加熱循環移動体１２０は、スクリーンドラム１２１と、加熱媒体により加熱されるシリンダー１２２とからなる。シリンダー１２２の内部には、真空室１２０ａが形成されている。ウェブ６；４６は、入り口のフィードローラ１７２により真空室１７１の中へ導入され、案内ロール１７５に案内されてスクリーンドラム１２１に吸着される。ウェブ６；４６は、スクリーンドラム１２１とともに矢印Ｎで示す方向に回転し、案内ロール１７６のところでスクリーンドラム１２１から剥離されて出口のフィードローラ１７２により真空室１７１の外へ送り出される。真空室１７１の真空にさらされると共に、加熱循環移動体１２０により吸着及び加熱されることにより、乾燥が更に促進される。なお、真空室１７１及び真空室１２０ａの真空状態は、特に限定しないが、真空室１７１の真空度をＶ１とし、真空室１２０ａの真空度をＶ２とすると、Ｖ１＜Ｖ２になるようにすればよい。例えば、真空室１７１の真空状態を１．３ｋＰａ乃至８０ｋＰａの範囲の減圧Ｐ１で行い、真空室１２０ａの真空状態を０．１〜２ｋＰａの範囲の減圧Ｐ２とするとよい。真空室１７１と真空室１２０ａの圧力の関係は、Ｐ１＞Ｐ２で、真空室１２０ａの圧力が小さいとよい。またそれぞれの真空度を調整しやすくするため真空ポンプは独立させることが好ましい。更に真空室１２０ａにつながる真空装置は、前述した絶対圧力をできるだけ例えば０．１〜２ｋＰａと低くするのみでなく排気能力を通気性ウェブ３ｍ^２当たり１ｍ^３／ｍｉｎ以上にした方が通気性下敷きウェブから溶媒蒸気が吸引されるので乾燥を助けることにつながる。

図１５は、図１に示した塗布及び乾燥装置１に乾燥装置７５を追加した場合の例を示す概略図である。図１６は、図６に示した塗布及び乾燥装置４１に乾燥装置７５を追加した場合の例を示す概略図である。乾燥装置７５は、塗布装置４及び４４の下流側で、循環移動体２及び４２に対向する位置に設けられている。乾燥装置７５は、冷風や熱風を送るファン７６からなる。ファン７６は、０．５〜３ｍ／ｓの流速の風をウェブ上に塗布された液体に送り、液体に含まれる溶媒の蒸発を促進する。なお、塗布装置４及び４４から塗布中の液体に空気の流れがあたると液体の塗布位置がずれるおそれがあるので、塗布装置４及び４４を遮蔽板７７でおおうと良い。遮蔽板７７の内側の空気の流速は、０．１〜０．８ｍ／ｓの範囲に維持されていると良い。
なお、真空乾燥装置７０とウェブや塗布膜への直接あるいは間接の他の加熱手段（例えば、赤外線、遠赤外線、インダクションヒート）とを併せて使用することもできる。

（マスキングウェブ）
図１７は、図１に示した塗布及び乾燥装置１にマスキングウェブ８０を使用する場合の例を示す概略図である。図１８は、図６に示した塗布及び乾燥装置４１にマスキングウェブ８０を使用する場合の例を示す概略図である。図１７において、マスキングウェブ８０は、巻取り心棒８１から矢印Ｋで示す方向に引き出されて、案内ロール８により、循環移動体２に吸着されている被塗物としてのウェブ６の上に重ねられる。マスキングウェブ８０には、図１９に示すように所望形状の開口８０ａがあけられているので、塗布装置４から塗布された液体が所望形状でウェブ６に付着する。マスキングウェブ８０は、案内ロール２０を介して巻取り心棒８２に巻き取られる。同様に、図１８において、マスキングウェブ８０は、巻取り心棒８１から矢印Ｋで示す方向に引き出されて、案内ロール８３により、循環移動体４２に吸着されている被塗物としてのウェブ４６の上に重ねられる。マスキングウェブ８０の所望形状の開口８０ａにより、塗布装置４４から塗布された液体が所望形状でウェブ４６に付着する。マスキングウェブ８０は、案内ロール８４を介して巻取り心棒８２に巻き取られる。
このように、手間のかかる一般的なマスキング冶具やテープあるいは装置を使用するのと異なり、マスキングウェブ８０を使用することにより、所望形状の塗布パターンを正確にウェブ６，４６に塗布することができる。

被塗物としてのウェブ６，４６と接触するマスキングウェブ８０は、自着することが望ましいが、その面には、粘着剤が塗布されていても良い。あるいは、マスキングウェブ８０を自己粘着性フィルムでつくっても良い。このように、マスキングウェブ８０に粘着性を持たせることにより、マスキングウェブ８０と被塗物としてのウェブ６，４６とのずれを防止して、液体のより正確な塗布を行うことができる。

（下敷きウェブ）
被塗物としてのウェブと循環移動体の間に通気性基材としての下敷きウェブ９０を配置することができる。
図２０は、図６に示した塗布及び乾燥装置４１に下敷きウェブ９０を使用する場合の例を示す概略図である。図２０において、下敷きウェブ９０は、巻取り心棒９１から矢印Ｌで示す方向に引き出されて、循環移動体４２に吸着される。下敷きウェブ９０は、被塗物としてのウェブ４６の下、つまり、循環移動体４２とウェブ４６との間に重ねられる。下敷きウェブ９０は、紙などの通気性のあるウェブである。図２１は、図２０に示す塗布装置４４からの塗布状態を説明する平面図である。下敷きウェブ９０の幅は、ウェブ４６の幅よりも広い。下敷きウェブは通気性循環移動体により吸着されてウェブ４６以外の個所は通気されているので塗布された液体の溶媒は循環移動体を通って真空ポンプ等の真空装置により外部に排出されるので乾燥を助けることにつながる。下敷きウェブ９０の上にウェブ４６が重ねられて、矢印Ｍで示す方向に移動する。塗布装置４４から塗布された液体９５は、ウェブ４６に塗布される。このとき、わずかな液体が飛散してウェブ４６の外側に広がることがある。このような飛散した液体９５ａは、下敷きウェブ９０に付着する。下敷きウェブ９０は、巻取り心棒９２に巻き取られる。
このように、下敷きウェブ９０を使用することにより、循環移動体の表面を汚さないばかりでなく、飛散した液体９５ａを回収することができる。したがって、環境衛生上良好な塗布及び乾燥装置を提供することができる。更に、別の効果として、大きな直径のスクリーンドラムや長尺のスクリーンベルトを所望する場合、通常は高価又は製作不可能なシームレス材料を使用しなければならないが本発明では継ぎ目部を設けても直接に被塗物に接触しないために溶接などの継ぎ目部の僅少の段差の問題を解決できる。更に通気性循環移動体の通気部の大きさ、密度を粗くできるので安価にすることができる。
また、本例においても、前記した追加の乾燥装置７０や他の加熱手段を併せて使用することができる。
なお、図１に示した塗布及び乾燥装置１に下敷きウェブ９０を使用することもできる。

図２２は、図６に示した塗布及び乾燥装置４１にマスキングウェブ８０と下敷きウェブ９０とを使用する場合の例を示す概略図である。下敷きウェブ９０は、循環移動体４２と被塗物としてのウェブ４６との間に配置され、ウェブ４６の上にマスキングウェブ８０が重ねられる。
図２３は、下敷きウェブ９０、被塗物としてのウェブ４６、及びマスキングウェブ８０の重なり状態を示す図である。マスキングウェブ８０の幅は、ウェブ４６の幅よりも広く、下敷きウェブ９０の幅は、マスキングウェブ８０の幅よりも広いと良い。このような寸法とすることにより、過剰に塗布された液体はマスキングウェブ８０及び下敷きウェブ９０に付着して、周囲の環境を汚さないようにすることができる。また、所望の塗布パターンを正確に形成することができる。
また、本例においても、前記した追加の乾燥装置７０及び他の加熱手段を併せて使用することができる。
なお、図１に示した塗布及び乾燥装置１に下敷きウェブ９０及びマスキングウェブ８０を使用することもできる。

図２４は、マスキングウェブの変形例を示す図である。マスキングウェブ１８０は、二本のリボン１８０ａ、１８０ｂからなる。被塗物としてのウェブ４６は、下敷きウェブ９０の上に重ねられ、ウェブ４６の両縁の上にマスキングウェブ１８０の二本のリボン１８０ａ、１８０ｂがそれぞれ重ねられている。この状態で液体が塗布される。
図２５は、液体が塗布されたウェブ４６を示す図である。塗膜Ｔの両縁Ｔｅをきれいにすることができる。特に、スプレイコートの場合に、塗膜Ｔの両縁Ｔｅをシャープにすることができる。

（重ね塗り方法）
図２６は、液体を複数回重ねて塗布する実施例を示す図である。複数の塗布装置４が、被塗物としてのウェブ６の搬送方向（矢印Ｃで示す方向）に沿って配置されている。ウェブ６は、スクリーンドラムに吸着されて搬送される。しかしながら、ウェブがドラムに吸着される必要のない場合には、スクリーンドラムを使用せずに通常の通気孔のないドラムすなわちローラを使用してもよい。複数の薄い塗膜を重ね合わせることにより、塗膜表面のクラックの問題などを解決することができる。図２７は、液体を複数回重ねて塗布する別の実施例を示す図である。複数の塗布装置４４が、被塗物としてのウェブ４６の搬送方向（矢印Ｈで示す方向）に沿って配置されている。ウェブ４６は、スクリーンベルトに吸着されて搬送される。しかしながら、ウェブがベルトに吸着される必要のない場合には、スクリーンベルトを使用せずに通常の通気孔のないベルトを使用してもよい。複数の薄い塗膜を重ね合わせることにより、塗膜表面のクラックの問題などを解決することができる。
図２８は、複数のスロットノズル１４１、１４２で液体を複数回重ねて塗布する実施例を示す図である。ウェブ１０６は、加熱循環移動体に吸着する必要のないウェブであってもよい。複数のスロットノズル１４１、１４２は、液体供給装置１５０に接続されて液体が供給される。複数のスロットノズル１４１、１４２は、被塗物としてのウェブ１０６の搬送方向（矢印Ｃで示す方向）に沿って配置されている。ウェブ１０６は、ローラ又はベルトなどの循環移動体１０２上を矢印Ｃで示す方向に搬送される。循環移動体１０２は、ウェブ１０６を吸着してもよいが、本実施例においては、ウェブ１０６を吸着せずに搬送するものであってもよい。ウェブ１０６の上にスロットノズル１４１から液体１４５が塗布される。液体１４５のウェットでの膜厚は、約２０μｍになるように設定されている。スロットノズル１４１は、ウェブ１０６からの距離が約２０μｍの膜厚の５０〜９５％ぐらいの距離になるように設定されている。液体１４５は、乾燥するに連れて膜厚が薄くなり、約８０％以下になった後に、次のスロットノズル１４２から液体１４６が液体１４５の膜の上に重ねて塗布される。このように、重ね塗りすることにより、高品質の製品を得ることができる。本実施例においては、二本のスロットノズルが示されているが、本発明においては、三本以上のスロットノズルを用いてもよい。一つのスロットノズルでなるべく薄い膜を形成すると共に、所望の膜厚になるように、スロットノズルの数を設定することができる。
このような重ね塗り方法を使用することにより、電解質溶液を塗布した電解質膜を製造することができる。
なお、循環移動体１０２は、通気性のものでなくてもよい。また、循環移動体１０２は、加熱装置が設けられていなくてもよい。被塗物（液体）の乾燥を後述する図３０〜図３２に示すような通風乾燥や、図３４に示すような真空室で乾燥を行わせることもできるからである。
また、被塗物が通気性を有する材料からなる、例えば、電解質膜の骨格となるものであってもよい。通気性を有する被塗物に、スロットノズルにより電解質溶液を複数回充填および塗布することにより、特殊電解質膜を製造することもできる。
さらにまた、図２８に示す重ね塗り方法を真空室内で行うことにより液体の乾燥を促進することができる。

（真空室内での塗布及び乾燥）
本発明による塗布及び乾燥装置１，４１を真空室に入れて、ウェブに液体を塗布及び乾燥することもできる。装置全体を真空室に入れることにより、装置周りの環境汚染防止と、液体の乾燥促進をすることができる。

実施例１においては、循環移動体を加温する液体の塗布及び乾燥方法を説明したが、本発明は、これに限らず、実施例２においては、循環移動体を加温することなしに液体を塗布及び乾燥させる方法を説明する。
実施例２においては、膨潤しやすい被塗物に液体を塗布する場合の問題点を解決するために、液体を薄膜として塗布することにより乾燥を促進し、液体の薄膜を多数積層させることにより所望の厚さの塗布膜を得る。

（薄膜の積層塗布）
図２９は、液体の薄膜を積層して塗布する方法を説明するための概念図である。
被塗物２０６は、矢印Ｘで示す搬送方向に、間欠的に移動される。間欠移動の停止時に、塗布装置２０４が被塗物を横切る方向（トラバース方向）、すなわち、図２９の紙面に垂直な方向に移動しながら液体を薄膜として塗布する。液体の薄膜２１１を塗布した後、被塗物２０６を搬送方向Ｘにわずかに移動させて停止し、塗布装置２０４をトラバース方向に移動させながら、薄膜２１２を塗布する。薄膜２１１と薄膜２１２は、わずかにずれて重ね合わせられる。さらに、被塗物２０６を搬送方向Ｘにわずかに移動させて停止し、塗布装置２０４をトラバース方向に移動させながら、薄膜２１３を塗布する。このようにして、薄膜２１４、２１５，２１６，２１７をわずかにずらして重ね合わせて積層する。このように、多数回積層することにより、所望の厚さの塗膜を均等な厚さで形成することができる。また、重ね塗りの回数を増やすことにより、薄膜の厚さをより薄くすることができるので、液体の乾燥速度を早くすることができる。
液体の薄膜の厚さは、液体が被塗物に付着するとすぐに乾燥してしまう程度の厚さであるとよい。例えば、１００μｍの膜厚を形成するために、１０〜１００回程度重ね塗りするとすると、薄膜の厚さは、１．０μｍ〜１０μｍになるので、極めて瞬時に乾燥させることができる。
なお、塗布方法として、パルススプレイコーティング（登録商標）方法（パルススプレイ法）を使用することもできる。パルススプレイコーティング方法は、高速応答可能なエアレスガンや二流体（エア）スプレイガンとパルスコントローラーの組み合わせにより、８／１０００秒からの任意のＯＮ、ＯＦＦを繰り返し、パルス状にスプレイコーティングをする方法である。例えば本出願人に権利が譲渡されている特許第１６５１６７３号（特公平３−１８５０７号）「エアレススプレイの塗布方法」や特許第１６５１６７２号（特公平３−１８５０６号）「二流体のスプレイ方法」に記載の方法を使用する方法である。エアレススプレイの場合、クロスカットノズルを使用することにより、コーティング材料をシャープな粒径分布をもった微粒子にすることができるので、薄膜（サブミクロン）の形成が容易である。

（送風乾燥）
図３０は、積層塗布と送風乾燥とを使用した液体の塗布及び乾燥装置３０１を示す概略構成図である。
塗布及び乾燥装置３０１は、回転可能な循環移動体３０２と、液体を塗布する塗布装置３０４と、循環移動体の内部を真空にするための真空装置（不図示）と、塗布面の近くに空気の流れを形成するための送風装置３７６とからなる。
循環移動体３０２は、スクリーンドラム３２２とシリンダー３２３とからなる。シリンダー３２３の外側表面には、軸線方向に延在する複数の溝３２３ａが設けられている。溝３２３ａには、半径方向にシリンダー３２３を貫通する複数の通気孔３２３ｂが設けられている。循環移動体３０２には、加熱用の熱媒体を通すための油穴は設けられていない。
送風装置３７６は、塗布装置３０４の下流側に配置されている。図３０において、塗布装置３０４と送風装置３７６は、交互に配置されている。

被塗物としてのウェブ３０６は、巻取り心棒３０７に巻かれている。巻取り心棒３０７が矢印Ａで示す方向に回転すると、連続ウェブ３０６は、循環移動体３０２へ向かって移動する。ウェブ３０６は、案内ロール３０８により案内されて循環移動体３０２に巻きつく。循環移動体３０２は、通気性を有する。したがって、真空装置により循環移動体３０２の内部３０２ａに真空が形成されるとウェブ３０６を循環移動体３０２の表面に吸着する。

塗布装置３０４は、液体源（不図示）に接続されている。塗布装置３０４は、循環移動体３０２に吸着されているウェブ３０６に向かって液体を塗布する。塗布方法は、液体の多数の薄膜を重ね合わせる塗布方法である。例えば、循環移動体３０２の直径が２００ｍｍのときは０．５度乃至１０度ごとに、直径が１０００ｍｍのときは０．１度乃至２度ごとに、小刻みに循環移動体３０２を間欠的に移動させる。循環移動体３０２が停止しているときに、塗布装置３０４をトラバース方向（図３０の紙面に垂直な方向）に移動させながら液体を塗布して薄膜を形成する。循環移動体３０２を、再度、所定量移動させた後、さらに液体の薄膜を先の薄膜の上にオーバーラップするように塗布して、液体の多数の薄膜を積層塗布する。

送風装置３７６は、ウェブ３０６に塗布された液体の近に空気の流れを形成する。塗布直後の風量を多くすることにより、液体の乾燥を促進する。例えば、塗布面の近くの風速を０．５ｍ／ｓ以上に上げるとよい。

ウェブ３０６が案内ロール３２０に到るまでに、ウェブ３０６に塗布された液体は、指触乾燥乃至乾燥する。ウェブ３０６は、矢印Dで示す方向に回転する巻取り心棒３３９に巻き取られる。

図３０に示した液体の塗布及び乾燥装置３０１は、塗布装置３０４による液体の薄膜の積層塗布と送風装置３７６による液体の送風乾燥とを交互に複数回行うものであるが、本発明はこれに限られるものではない。
図３１は、別の塗布及び乾燥装置４０１を示す概略構成図である。３つの塗布装置４０４を連続して並べて、その下流側に、一つの送風装置４７６を設けている。塗布装置４０４をトラバース方向（循環移動体４０２の軸線方向）に移動させながら液体の薄膜の積層塗布を連続して行い、その後、送風装置４７６からの空気の流れにより、さらに、液体から溶媒を蒸発させ乾燥を促進する。
循環移動体４０２は、連続回転させてもよいが、微小量ずつ間欠的に移動させて、循環移動体４０２が停止しているときに、塗布装置４０４をトラバース方向に移動させながら液体を塗布するとよい。
図３１においては、３つの塗布装置４０４を設けているが、塗布装置を一つだけ設けて、一つの塗布装置を多数回トラバース方向に移動させながら液体の薄膜の積層塗布を行ってもよい。
なお、図３０及び図３１の塗布装置３０４及び４０４に、パルススプレイコーティング（登録商標）方法を使用していもよいことはもちろんである。

（吸引乾燥）
図３０及び３１に示した塗布及び乾燥装置３０１，４０１は、送風装置を用いて、塗布直後の塗布面の近くの空気の流量を多くすることにより、液体の乾燥を促進するものである。
図３２は、吸引装置を用いた液体の塗布及び乾燥装置５０１の概略構成図である。塗布及び乾燥装置５０１は、吸引装置を用いて、塗布直後の塗布面の近くの空気の流量を多くすることにより、液体の乾燥を促進するものである。
塗布及び乾燥装置５０１は、外気を取り入れるための吸気口５１１と、空気を外部へ排気するための排気口５１２と、排気口５１２に設けられた吸引装置５１３とからなる塗布室５１０を有する。塗布室５１０の内部には、回転可能な循環移動体５０２と、液体を塗布する塗布装置５０４とが設けられている。また、塗布及び乾燥装置５０１は、循環移動体５０２の内部５０２ａを真空にするための真空装置（不図示）が設けられている。
吸引装置５１３が作動すると、吸気口５１１から空気が塗装室５１０へ吸い込まれ、塗装室５１０内の空気は、排気口５１２から外へ排気される。これによって、塗布面の近くに空気の流れを形成する。

被塗物としてのウェブ５０６は、一対の入口ローラ５３０により塗装室５１０の中へ送られる。ウェブ５０６は、案内ロール５０８により案内されて循環移動体５０２に巻きつく。真空装置により循環移動体５０２の内部５０２ａに真空が形成されているので、ウェブ５０６は、循環移動体５０２の表面に吸着する。循環移動体５０２は、加熱装置を設けられていてもよいが、本実施例においては、加熱装置が設けられていない。

塗布装置５０４は、液体源（不図示）に接続されている。塗布装置５０４は、循環移動体５０２に吸着されているウェブ５０６に向かって液体を塗布する。塗布方法は、液体の多数の薄膜を重ね合わせる塗布方法である。循環移動体５０２は、間欠的に移動させる。循環移動体５０２が停止しているときに、塗布装置５０４をトラバース方向（図３２の紙面に垂直な方向）に移動させながら液体を塗布して薄膜を形成する。循環移動体５０２を、再度、所定量移動させた後、さらに液体の薄膜を先の薄膜の上にオーバーラップするように塗布して、液体の多数の薄膜を積層塗布する。液体は薄膜でウェブ５０６上に塗布されるので、液体からの溶媒の蒸発が瞬時に行われ、液体の乾燥が早い。

吸引装置５１３により、塗布面の近くに空気の流れが形成されているので、液体の乾燥がさらに促進される。ウェブ５０６が案内ロール５２０に到るまでに、ウェブ５０６に塗布された液体は、指触乾燥乃至乾燥する。ウェブ５０６は、一対の出口ローラ５４０により、塗布室５１０の外へ送り出される。
なお、図３２の塗布装置５０４に、パルススプレイコーティング（登録商標）方法を使用していもよいことはもちろんである。

（下敷きウェブ）
図３３は、吸引装置を用いた液体の塗布及び乾燥装置５０１において、下敷きウェブを使用した例を示す概略構成図である。図３２に示した構成と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。
図３３において、被塗物としてのウェブ５０６と循環移動体５０２との間に通気性基材としての下敷きウェブ５９０が配置されている。下敷きウェブ５９０は、紙などの通気性のあるウェブである。下敷きウェブ５９０の幅は、被塗物としてのウェブ５０６の幅よりも広い。
被塗物としてのウェブ５０６は、巻取り心棒５０７から循環移動体５０２へ送り出される。下敷きウェブ５９０は、巻取り心棒５９１から循環移動体５０２へ送り出される。下敷きウェブ５９０は、被塗物としてのウェブ５０６の下、つまり、循環移動体５０２とウェブ５０６との間に重ねられる。循環移動体５０２は、真空装置５０５に接続されており、循環移動体５０２の内部に真空が形成される。循環移動体５０２の表面は通気性を有しているので、下敷きウェブ５９０と被塗物としてのウェブ５０６を循環移動体の表面に吸着する。循環移動体５０２には、加熱装置が設けられていないが、加熱装置を設けてもよいことは理解されるであろう。
循環移動体５０２は、微小量ずつ間欠的に移動する。循環移動体５０２の移動が停止しているときに、塗布装置５０４を矢印Ｙで示すトラバース方向（ウェブ５０６の搬送方向に垂直な方向）に移動しながら、液体を塗布する。塗布装置５０４から塗布された液体は、ウェブ５０６に付着する。循環移動体５０２の間欠移動と塗布装置５０４からの液体塗布とを繰り返し行い、ウェブ５０６の上に液体の薄膜の積層体を形成する。
塗布装置５０４から液体を塗布するときに、矢印Ｗで示す空気の流れにより、わずかな液体が飛散してウェブ５０６の外側へ広がることがある。このような飛散した液体は、下敷きウェブ５９０に付着する。通気性を有する下敷きウェブ５９０を介して、循環移動体５０２が真空力により飛散した液体を引き寄せるので、下敷きウェブ５９０は、フィルタとしての作用もする。また、下敷きウェブ５９０は、通気性のある循環移動体５０２により吸着されてウェブ５０６以外の個所は通気されているので塗布された液体の溶媒は下敷きウェブ５９０と循環移動体とを通って真空装置により外部に排出されるので乾燥を助けることにつながる。
下敷きウェブ５９０は、巻取り心棒５９２に巻き取られ、ウェブ５０６は、巻取り心棒５３９に巻き取られる。
図３３においては、巻取り心棒５０７、５３９、５９１、及び５９２が塗布室５１０の内部に配置されているが、これらの巻取り心棒は、塗布室５１０の外部に配置されているとよい。
このように、下敷きウェブ５９０を使用することにより、飛散した液体を回収することができる。また、下敷きウェブ５９０がフィルタとして作用するので、真空装置５０５から排気される空気を浄化することができる。したがって、環境衛生上良好な塗布及び乾燥装置を提供することができる。
なお、図３３の塗布装置５０４に、パルススプレイコーティング（登録商標）方法を使用していもよいことはもちろんである。

実施例１においては、循環移動体の加温による液体の乾燥を説明し、実施例２においては、液体の薄膜の積層塗布による液体の乾燥を説明した。実施例３においては、真空室内での塗布による液体の乾燥を説明する。
図３４は、真空室を使用した液体の塗布及び乾燥装置６０１の概略構成図である。塗布及び乾燥装置６０１は、真空室６１０と、真空室６１０の内部６１０ａを真空にするための真空装置６５０と、真空室６１０の内部６１０ａに設けられた循環移動体６０２と、真空室６１０の内部６１０ａに設けられ、液体を塗布するための塗布装置６０４とからなる。真空室６１０の入口に一対の入口ローラ６３０がもうけられており、真空室６１０の出口に一対の出口ローラ６４０が設けられている。
被塗物としてのウェブ６０６は、一対の入口ローラ６３０により真空室６１０の内部６１０ａへ送り込まれる。ウェブ６０６は、案内ローラ６０８により案内されて循環移動体６０２に吸着される。循環移動体６０２の内部６０２ａには、真空装置（不図示）により真空が形成されており、循環移動体６０２は通気性を有するので、ウェブ６０６は循環移動体６０２の表面に吸着される。
なお、真空室６１０の内部６１０ａ及び循環移動体６０２の内部６０２ａの真空状態は、特に限定しないが、真空室６１０の内部６１０ａの真空度をＶ１とし、循環移動体６０２の内部６０２ａの真空度をＶ２とすると、Ｖ１＜Ｖ２になるようにすればよい。例えば、真空室６１０の内部６１０ａの真空状態を１．３ｋＰａ乃至８０ｋＰａの範囲の減圧Ｐ１で行い、循環移動体６０２の内部６０２ａの真空状態を０．１〜２ｋＰａの範囲の減圧Ｐ２とするとよい。真空室６１０の内部６１０ａと循環移動体６０２の内部６０２ａの圧力の関係は、Ｐ１＞Ｐ２で、循環移動体６０２の内部６０２ａの圧力が小さいとよい。また、真空室６１０の内部６１０ａ用の真空装置６５０と循環移動体６０２の内部６０２ａ用の真空装置（不図示）とを共通にしてもよいが、それぞれ独立して設けることにより、それぞれの真空度が調整しやすくなるので好ましい。
また、循環移動体６０２には、加熱装置が設けられていないが、加熱装置を設けてもよいことはもちろんである。
ウェブ６０６は、循環移動体６０２に吸着されて循環移動体６０２の回転と共に移動する。塗布装置６０４は、液体をウェブ６０６に塗布する。循環移動体６０２を連続移動させて塗布してもよいが、循環移動体６０２を間欠的に移動させて積層塗布してもよい。また、パルススプレイコーティング方法を使用してもよい。図３４には、塗布装置６０４が一つだけ描かれているが、複数の塗布装置６０４を設けてもよい。
真空室６１０は、ウェブ６０６に塗布された液体の溶剤の蒸発を促進して液体を乾燥させる。ウェブ６０６が案内ロール６２０に到るまでに、ウェブ６０６に塗布された液体は、指触乾燥乃至乾燥する。ウェブ６０６は、一対の出口ローラ６４０により真空室６１０の外へ送り出される。

（その他の実施例）
図１７に、図１に示した塗布及び乾燥装置１にマスキングウェブ８０を使用する場合の例を示しているが、塗布及び乾燥装置１の循環移動体２に加熱装置を設けなくともよい。被塗物（液体）の乾燥を図３０〜図３２に示すような通風乾燥や、図３４に示すような真空室で乾燥を行わせることもできるからである。マスキングウェブを使用することにより、液体の正確な塗布を行うことができる。

図２２に、図６に示した塗布及び乾燥装置４１にマスキングウェブ８０と下敷きウェブ９０とを使用する場合の例を示しているが、塗布及び乾燥装置４１の循環移動体４２に加熱装置を設けなくともよい。被塗物（液体）の乾燥を図３０〜図３２に示すような通風乾燥や、図３４に示すような真空室で乾燥を行わせることもできるからである。過剰に塗布された液体はマスキングウェブ８０及び下敷きウェブ９０に付着して、周囲の環境を汚さないようにすることができる。また、所望の塗布パターンを正確に形成することができる。

以上の説明から明らかなように、本発明によれば、被塗物に塗布された液体を良好に乾燥させることができ、特に有用になるものである。
本発明によれば、被塗物に液体を塗布し、短時間で乾燥させて、高品質の塗膜を形成することができる。
本発明によれば、塗布された液体が被塗物を過度に膨潤させることなく、塗布された液体を乾燥させることができる。

本発明は、以上の実施形態に限定されるものではなく、その特徴事項から逸脱することなく、他のいろいろな形態で実施することができる。そのため、前述の実施の形態はあらゆる点で単なる例示にすぎず、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示すものであって、明細書本文には、何ら拘束されない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、すべて本発明の範囲内のものである。

本発明による液体の塗布及び乾燥方法を実施するための塗布及び乾燥装置１を示す概略構成図。 循環移動体２の分解図。 循環移動体２の軸線方向に沿って、且つ図４の線III−IIIに沿って取った断面図。 循環移動体２の横断面図であり、図３の線IV−IVに沿って取った断面図。 循環移動体２の表面の一部分を拡大した図。 スクリーンベルト５２を使用した循環移動体４２を示す概略構成図。 真空プレート５５を示す斜視図。 真空プレート５５の断面図。 加熱プレート５６の平面図。 図１に示した塗布及び乾燥装置１に乾燥装置７０を追加した場合の例を示す概略図。 図６に示した塗布及び乾燥装置４１に乾燥装置７０を追加した場合の例を示す概略図。 図１０に示した例において、乾燥装置７０に加熱ローラ７２を設けた例を示す図。 図１１に示した例において、乾燥装置７０に加熱ローラ７２を設けた例を示す図。 加熱循環移動体１２０を有する乾燥装置１７０を示す図。 図１に示した塗布及び乾燥装置１に乾燥装置７５を追加した場合の例を示す概略図。 図６に示した塗布及び乾燥装置４１に乾燥装置７５を追加した場合の例を示す概略図。 図１に示した塗布及び乾燥装置１にマスキングウェブ８０を使用する場合の例を示す概略図。 図６に示した塗布及び乾燥装置４１にマスキングウェブ８０を使用する場合の例を示す概略図。 マスキングウェブ８０の平面図。 図６に示した塗布及び乾燥装置４１に下敷きウェブ９０を使用する場合の例を示す概略図。 図２０に示す塗布装置４４からの塗布状態を説明する平面図。 図６に示した塗布及び乾燥装置４１にマスキングウェブ８０と下敷きウェブ９０とを使用する場合の例を示す概略図。 下敷きウェブ９０、被塗物としてのウェブ４６、及びマスキングウェブ８０の重なり状態を示す図。 マスキングウェブの変形例を示す図。 液体が塗布されたウェブ４６を示す図。 液体を複数回重ねて塗布する実施例を示す図。 液体を複数回重ねて塗布する別の実施例を示す図。 複数のスロットノズル１４１、１４２で液体を複数回重ねて塗布する実施例を示す図。 液体の薄膜を積層して塗布する方法を説明するための概念図。 積層塗布と送風乾燥とを使用した液体の塗布及び乾燥装置３０１を示す概略構成図。 別の塗布及び乾燥装置４０１を示す概略構成図。 吸引装置を用いた液体の塗布及び乾燥装置５０１の概略構成図である。 吸引装置を用いた液体の塗布及び乾燥装置５０１において、下敷きウェブを使用した例を示す概略構成図。 真空室を使用した液体の塗布及び乾燥装置の概略構成図。

符号の説明

１、４１、３０１、４０１、５０１、６０１ 塗布及び乾燥装置
２、４２、３０２、４０２、５０２、６０２ 循環移動体
３、４３ 加熱装置
４、４４、３０４、４０４、５０４、６０４ 塗布装置
５、４５、５０５、６５０ 真空装置
６、４６、３０６、４０６、５０６、６０６ ウェブ
２２、３２２ スクリーンドラム
５２ スクリーンベルト
７０、１７０ 乾燥装置
８０ マスキングウェブ
９０、５９０ 下敷きウェブ
５１０、６１０ 真空室
３７６、４７６ 送風装置
５１３ 吸引装置

Claims (24)

1. 通気性を有する循環移動体に被塗物を吸着させ、
   循環移動体に吸着されている被塗物に液体を積層させながら塗布し、
   被塗物に塗布された液体を少なくとも指触乾燥させることを特徴とする液体の塗布及び乾燥方法。
2. 被塗物に塗布された液体に空気の流れを当てることを特徴とする請求項１に記載の液体の塗布及び乾燥方法。
3. 液体をパルススプレイ法により被塗物に塗布することを特徴とする請求項１又は２に記載の液体の塗布及び乾燥方法。
4. 真空室内において、通気性を有する循環移動体に被塗物を吸着させ、
   真空室内において、循環移動体に吸着されている被塗物に液体を塗布し、
   真空室内において、被塗物に塗布された液体を少なくとも指触乾燥させることを特徴とする液体の塗布及び乾燥方法。
5. 通気性を有する循環移動体と被塗物との間に通気性基材を存在させ、被塗物と共に通気性基材を循環移動体に吸着させて移動させ、
   通気性基材を介して循環移動体に吸着されている被塗物に液体を塗布し、
   被塗物に塗布された液体を少なくとも指触乾燥させることを特徴とする液体の塗布及び乾燥方法。
6. 被塗物の表面にマスキングウェブを付着し、
   通気性を有する循環移動体に被塗物を吸着させ、
   循環移動体に吸着されている被塗物に液体を塗布し、
   被塗物に塗布された液体を少なくとも指触乾燥させることを特徴とする液体の塗布及び乾燥方法。
7. 通気性を有する循環移動体と被塗物との間に通気性基材を存在させ、被塗物と共に通気性基材を循環移動体に吸着させて移動させ、
   被塗物の表面にマスキングウェブを付着し、
   通気性基材を介して循環移動体に吸着されている被塗物に液体を塗布し、
   被塗物に塗布された液体を少なくとも指触乾燥させることを特徴とする液体の塗布及び乾燥方法。
8. 循環移動体を加温することを特徴とする請求項１乃至７に記載の液体の塗布及び乾燥方法。
9. 循環移動体の表面が通気性を有するスクリーンドラム又はスクリーンベルトであり、スクリーンドラム又はスクリーンベルトを内側から加温することを特徴とする請求項８に記載の液体の塗布及び乾燥方法。
10. 被塗物がウェブであることを特徴とする請求項１乃至９に記載の液体の塗布及び乾燥方法。
11. 前記液体の塗布は、液体を粒子にして塗布することを特徴とする請求項１乃至１０に記載の液体の塗布及び乾燥方法。
12. 少なくとも指触乾燥された被塗物の塗膜を真空室でさらに乾燥させることを特徴とする請求項１乃至１１に記載の液体の塗布及び乾燥方法。
13. 前記真空室内で、加熱装置により少なくとも塗膜を加温することを特徴とする請求項１２に記載の液体の塗布及び乾燥方法。
14. 前記液体の塗布及び乾燥方法を真空室内で行うことを特徴とする請求項１，２，３，５，６，又は７に記載の液体の塗布及び乾燥方法。
15. 液体が固体高分子型燃料電池の電極インクであって、被塗物が電解質膜であることを特徴とする請求項１乃至１４に記載の液体の塗布及び乾燥方法。
16. 被塗物と循環移動体の間に通気性基材を存在させ、被塗物と共に通気性基材を循環移動体に吸着させ移動させることを特徴とする請求項１乃至４に記載の液体の塗布及び乾燥方法。
17. 循環移動体から熱を被塗物に伝導させ、
    被塗物が循環移動体から剥離されるまでに少なくとも被塗物上の液体の塗膜表面を少なくとも指触乾燥させることを特徴とする請求項８又は９に記載の液体の塗布及び乾燥方法。
18. アノードおよびカソードの電極インク塗布及び乾燥作業が同一ラインで行われることを特徴とする請求項１乃至１７に記載の液体の塗布及び乾燥方法。
19. 被塗物の表面にマスキングウェブを自着し、または被塗物の表面にマスキングウェブを粘着剤により粘着することを特徴とする請求項１乃至５に記載の液体の塗布及び乾燥方法。
20. 通気性を有する循環移動体に被塗物を吸着させ、
    循環移動体に吸着されている被塗物にスロットルノズルにより液体を積層させながら塗布し、
    被塗物に塗布された液体を少なくとも指触乾燥させることを特徴とする液体の塗布及び乾燥方法。
21. 被塗物が通気性を有しており、スロットルノズルにより液体を通気性被塗物に複数回充填することを特徴とする請求項２０に記載の液体の塗布及び乾燥方法。
22. 液体が電解質溶液であることを特徴とする請求項２０又は２１に記載の液体の塗布及び乾燥方法。
23. 被塗物の乾燥は、循環移動体の加温により行うことを特徴とする請求項２０乃至２２に記載の液体の塗布及び乾燥方法。
24. 被塗物の乾燥は、真空室内で行うことを特徴とする請求項２０乃至２３に記載の液体の塗布及び乾燥方法。
    

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