JP2004342651A - ウェーハ保持用シート - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、ウェーハ研磨装置に適用されるウェーハ保持用シートにおいて、他のシート材及びポリウレタン発泡体の物理的な特性を生かすことができるウェーハ保持用シートを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のウェーハ保持用シート22は、ウェーハWを保持するシート状基材24に両面接着テープ26を介してフィルム状のポリウレタン発泡体28を貼付することにより構成される。基材24は、JIS C2151に規定された破断伸度が150%以上の部材であるポリエチレン製である。なお、ポリエチレンに代えて、ポリプロピレン等の低表面エネルギープラスチック製の部材であっても適用できる。また、両面接着テープ26を使用することなく、湿式発泡等の直接形成手段によって、基材24にポリウレタン発泡体28を直接形成してもよい。
【選択図】 図2
【解決手段】本発明のウェーハ保持用シート22は、ウェーハWを保持するシート状基材24に両面接着テープ26を介してフィルム状のポリウレタン発泡体28を貼付することにより構成される。基材24は、JIS C2151に規定された破断伸度が150%以上の部材であるポリエチレン製である。なお、ポリエチレンに代えて、ポリプロピレン等の低表面エネルギープラスチック製の部材であっても適用できる。また、両面接着テープ26を使用することなく、湿式発泡等の直接形成手段によって、基材24にポリウレタン発泡体28を直接形成してもよい。
【選択図】 図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の製造に際してパターニングされた能動素子を有するウェーハを化学的機械研磨法(CMP:Chemical Mechanical Polishing )によって研磨する際に、ウェーハを保持して研磨定盤に押し付けるウェーハ保持用シートに関する。
【0002】
【従来の技術】
CMPによるウェーハの研磨は、ウェーハ吸着テーブルに設けられたバッキング材(ウェーハ保持用シートに相当)にウェーハを吸着保持させた状態で回転する研磨パッドに所定の圧力で押し付け、その研磨パッドとウェーハとの間にスラリを供給することによって行われる(例えば、特許文献1)。
【0003】
このCMPの主な目的は、ウェーハ上のIC回路の表面に形成される段差を除去し、IC回路の高密度化の達成を容易にすること、そして、不要な膜厚の層を除去することにある。
【0004】
ウェーハ吸着テーブルに設けられたウェーハ保持用シートは、主としてウェーハを吸着保持するポリウレタン発泡体から構成されている。ポリウレタン発泡体の従来の構成は、伸びの少ないポリエチレンテレフタレート(PET)を基材とし、この基材にフィルム状のポリウレタン発泡体を貼付又は直接形成することによって造られていた。
【0005】
【特許文献1】
特開平10−178087号公報 (2頁 図3)
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来のウェーハ保持用シートのように、剛性が高く伸び率の小さいPET材(伸び率:120%)にポリウレタン発泡体を貼付又は形成したものでは、他のシート材に貼付させるとPET材の物理的な特性が支配的になり、他のシート材の物理的な特性を生かしたい用途には使用することが難しいという欠点があった。
【0007】
同様に、ポリウレタン発泡体は低ヤング率で伸び率(400%)も大きいため、ポリウレタン発泡体の物理的な特性(伸縮性良、圧縮弾性良)もPET材に支配され、ポリウレタン発泡体の特性を発揮させることができないという欠点があった。
【0008】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、他のシート材及びポリウレタン発泡体の物理的な特性を生かすことができるウェーハ保持用シートを提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明は前記目的を達成するために、ウェーハを保持するシートの基材にポリウレタン発泡体を貼付又は形成することにより構成されるウェーハ保持用シートにおいて、前記基材は、JIS C2151に規定された破断伸度が150%以上の部材であることを特徴とするウェーハ保持用シートを提供する。
【0010】
本発明によれば、フィルム状のポリウレタン発泡体を、破断伸度が150%以上の基材に貼付又は形成することにより、基材の物理的な性質を維持した状態で、基材表面にポリウレタン発泡体の性質を付加することができ、また、他のシート材及びポリウレタン発泡体の物理的な特性も生かすことができる。更に、PET材のように破断伸度が150%未満であると、剛性が高く伸びも少ないため、ウェーハを研磨パッドに押し付ける際にウェーハの各部に正しく圧力を伝えることができないが、本発明では、基材の破断伸度が150%以上なので、ウェーハの各部に正しく圧力を伝えることができる。この観点から前記破断伸度は、150%以上が前提であるが、好ましくは250%以上、更に好ましくは300%以上であることがなおよい。
【0011】
基材としては、ポリエチレン、ポリプロピレン等の低表面エネルギープラスチック製の部材を上げることができる。
【0012】
また、ポリウレタン発泡体は、両面接着テープの粘着材保持基材を有しない両面接着テープによって基材に貼付されている。これにより、ポリウレタン発泡体は、両面接着テープの基材の物理的な特性に支配されず、自身の物理的な特性を発揮できる。
【0013】
また、ポリウレタン発泡体を、弾性接着剤によって基材に貼付しても、同様の効果を得ることができる。更に、ポリウレタン発泡体を、湿式発泡等の直接形成手段によって基材に直接形成しても同様である。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に従って本発明に係るウェーハ保持用シートの好ましい実施の形態について詳説する。
【0015】
図1は、機械化学的研磨装置10の全体構成を示す斜視図である。同図に示す機械化学的研磨装置10は、主として研磨定盤12とウェーハ保持ヘッド14とで構成されている。
【0016】
研磨定盤12は円盤状に形成され、その下面中央には回転軸16が連結されている。研磨定盤12は、この回転軸16に連結されたモータ18を駆動することにより回転する。また、この研磨定盤12の上面には研磨パッド20が貼り付けられており、この研磨パッド20上に図示しないノズルからメカノケミカル研磨剤(スラリー)が供給される。
【0017】
この機械化学的研磨装置10によれば、まず、ウェーハWをウェーハ保持ヘッド14に設けられた、図2のウェーハ保持用シート22によって吸着保持し、研磨パッド20上に載置する。次に、研磨定盤12を図1上で矢印A方向に回転させるとともに、ウェーハ保持ヘッド14を図1上で矢印B方向に回転させる。そして、その回転する研磨パッド20上に図示しないノズルからスラリーを供給する。これにより、ウェーハWの被研磨面が研磨パッド20により研磨される。
【0018】
ウェーハ保持用シート22は図2の如く、ウェーハWを保持するシート状基材24に両面接着テープ26を介してフィルム状のポリウレタン発泡体28を貼付することにより構成される。基材24は、JIS C2151に規定された破断伸度が150%以上の部材であるポリエチレン製である。なお、ポリエチレンに代えて、ポリプロピレン等の低表面エネルギープラスチック製の部材であっても適用できる。また、両面接着テープ26を使用することなく、湿式発泡等の直接形成手段によって、基材24にポリウレタン発泡体28を直接形成してもよい。
【0019】
このようにフィルム状のポリウレタン発泡体28を、破断伸度が150%以上のポリエチレン製基材24に貼付又は形成させることにより、基材24の物理的性質を維持した状態で、基材24の表面にポリウレタン発泡体28の性質を付加することができる。PET材のように破断伸度が150%未満であると、剛性が高く伸びも少ないため、ウェーハWを研磨パッド20に押し付ける際にウェーハWの各部に正しく圧力を伝えることができない。この観点から前記破断伸度は、150%以上が前提であるが、好ましくは250%以上、更に好ましくは350%以上であることがなおよい。
【0020】
【実施例】
▲1▼ポリウレタン発泡体が、両面接着テープの粘着材保持基材を有しない両面接着テープによって基材に貼付されている実施例(請求項3に相当)
基材24として、厚さ0.5mmのポリエチレンを用い、PET材のような粘着材保持基材を含まない、アクリル系粘着剤を主成分とする低表面エネルギープラスチック用の両面接着テープ26を用いて、フィルム状のポリウレタン発泡体28を貼付した。
【0021】
ポリウレタン発泡体としては、厚さ0.2mm、密度0.18g/cm3 、圧縮率22.0%、圧縮弾性率85.0%、硬度20.0°、開口径40.0μm、開口率20.0%のフィルムを用いた。本材料のヤング率はポリエチレンに比べ、無視できる程度である。また、伸び率はポリエチレンよりも大きい。本実施例におけるウェーハ保持用シート22(ポリウレタン発泡体28を貼付後のポリエチレン)の物理特性を測定したところ、ポリエチレン単層の場合とほとんど差が見られなかった。したがって、本実施例におけるウェーハ保持用シート22は、ポリエチレンとしての物理特性とポリウレタン発泡体の表面状態、例えば親水性やウェーハ保持特性を有する。
【0022】
本実施例におけるウェーハ保持用シート22を用い、機械化学的研磨装置10によってウェーハを研磨試験したところ、ポリエチレン層単体の場合と同等の研磨特性が得られた。
【0023】
▲2▼ポリウレタン発泡体が、弾性接着剤によって基材に貼付されている実施例(請求項4に相当)
基材24として、厚さ0.5mmのポリエチレンを用い、硬化後にゴム状弾性体となる弾性接着剤を用いて、フィルム状のポリウレタン発泡体28を貼付した。接着前に、紫外線照射にてポリエチレンを表面処理したり、サンドブラストのような手法でポリエチレンを表面処理したりすることで、接着強度をさらに高めることも可能である。また、弾性接着剤を使用したことにより、基材24とポリウレタン発泡体28との接着界面に応力が集中し難くなるため、高い剥離接着強さを得られる。
【0024】
ポリウレタン発泡体28としては、厚さ0.2mm、密度0.18g/cm3 、圧縮率22.0%、圧縮弾性率85.0%、硬度20.0°、開口径40.0μm、開口率20.0%のフィルムを用いた。本材料のヤング率はポリエチレンに比べ、無視できる程度である。また、伸び率はポリエチレンよりも大きい。本実施例におけるウェーハ保持用シート22(ポリウレタン発泡体28を貼付後のポリエチレン)の物理特性を測定したところ、ポリエチレン単層の場合とほとんど差が見られなかった。したがって、本実施例におけるウェーハ保持用シート22は、ポリエチレンとしての物理特性とポリウレタン発泡体の表面状態、例えば親水性やウェーハ保持特性を有する。
【0025】
本実施例におけるウェーハ保持用シート22を用い、機械化学的研磨装置10によってウェーハを研磨試験したところ、ポリエチレン層単体の場合と同等の研磨特性が得られた。
【0026】
【発明の効果】
以上説明したように本発明に係るウェーハ保持用シートによれば、フィルム状のポリウレタン発泡体を、破断伸度が150%以上の基材に貼付又は形成させたので、基材の物理的な性質を維持した状態で、基材表面にポリウレタン発泡体の性質を付加することができ、また、他のシート材及びポリウレタン発泡体の物理的な特性も生かすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施の形態のウェーハ保持用シートが適用されたウェーハ研磨装置の全体構成図
【図2】実施の形態のウェーハ保持用シートの要部拡大断面図
【符号の説明】
10…機械化学的研磨装置、12…研磨定盤、14…ウェーハ保持ヘッド、20…研磨パッド、22…ウェーハ保持用シート、24…基材、26…両面接着テープ、28…ポリウレタン発泡体
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の製造に際してパターニングされた能動素子を有するウェーハを化学的機械研磨法(CMP:Chemical Mechanical Polishing )によって研磨する際に、ウェーハを保持して研磨定盤に押し付けるウェーハ保持用シートに関する。
【0002】
【従来の技術】
CMPによるウェーハの研磨は、ウェーハ吸着テーブルに設けられたバッキング材(ウェーハ保持用シートに相当)にウェーハを吸着保持させた状態で回転する研磨パッドに所定の圧力で押し付け、その研磨パッドとウェーハとの間にスラリを供給することによって行われる(例えば、特許文献1)。
【0003】
このCMPの主な目的は、ウェーハ上のIC回路の表面に形成される段差を除去し、IC回路の高密度化の達成を容易にすること、そして、不要な膜厚の層を除去することにある。
【0004】
ウェーハ吸着テーブルに設けられたウェーハ保持用シートは、主としてウェーハを吸着保持するポリウレタン発泡体から構成されている。ポリウレタン発泡体の従来の構成は、伸びの少ないポリエチレンテレフタレート(PET)を基材とし、この基材にフィルム状のポリウレタン発泡体を貼付又は直接形成することによって造られていた。
【0005】
【特許文献1】
特開平10−178087号公報 (2頁 図3)
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来のウェーハ保持用シートのように、剛性が高く伸び率の小さいPET材(伸び率:120%)にポリウレタン発泡体を貼付又は形成したものでは、他のシート材に貼付させるとPET材の物理的な特性が支配的になり、他のシート材の物理的な特性を生かしたい用途には使用することが難しいという欠点があった。
【0007】
同様に、ポリウレタン発泡体は低ヤング率で伸び率(400%)も大きいため、ポリウレタン発泡体の物理的な特性(伸縮性良、圧縮弾性良)もPET材に支配され、ポリウレタン発泡体の特性を発揮させることができないという欠点があった。
【0008】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、他のシート材及びポリウレタン発泡体の物理的な特性を生かすことができるウェーハ保持用シートを提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明は前記目的を達成するために、ウェーハを保持するシートの基材にポリウレタン発泡体を貼付又は形成することにより構成されるウェーハ保持用シートにおいて、前記基材は、JIS C2151に規定された破断伸度が150%以上の部材であることを特徴とするウェーハ保持用シートを提供する。
【0010】
本発明によれば、フィルム状のポリウレタン発泡体を、破断伸度が150%以上の基材に貼付又は形成することにより、基材の物理的な性質を維持した状態で、基材表面にポリウレタン発泡体の性質を付加することができ、また、他のシート材及びポリウレタン発泡体の物理的な特性も生かすことができる。更に、PET材のように破断伸度が150%未満であると、剛性が高く伸びも少ないため、ウェーハを研磨パッドに押し付ける際にウェーハの各部に正しく圧力を伝えることができないが、本発明では、基材の破断伸度が150%以上なので、ウェーハの各部に正しく圧力を伝えることができる。この観点から前記破断伸度は、150%以上が前提であるが、好ましくは250%以上、更に好ましくは300%以上であることがなおよい。
【0011】
基材としては、ポリエチレン、ポリプロピレン等の低表面エネルギープラスチック製の部材を上げることができる。
【0012】
また、ポリウレタン発泡体は、両面接着テープの粘着材保持基材を有しない両面接着テープによって基材に貼付されている。これにより、ポリウレタン発泡体は、両面接着テープの基材の物理的な特性に支配されず、自身の物理的な特性を発揮できる。
【0013】
また、ポリウレタン発泡体を、弾性接着剤によって基材に貼付しても、同様の効果を得ることができる。更に、ポリウレタン発泡体を、湿式発泡等の直接形成手段によって基材に直接形成しても同様である。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に従って本発明に係るウェーハ保持用シートの好ましい実施の形態について詳説する。
【0015】
図1は、機械化学的研磨装置10の全体構成を示す斜視図である。同図に示す機械化学的研磨装置10は、主として研磨定盤12とウェーハ保持ヘッド14とで構成されている。
【0016】
研磨定盤12は円盤状に形成され、その下面中央には回転軸16が連結されている。研磨定盤12は、この回転軸16に連結されたモータ18を駆動することにより回転する。また、この研磨定盤12の上面には研磨パッド20が貼り付けられており、この研磨パッド20上に図示しないノズルからメカノケミカル研磨剤(スラリー)が供給される。
【0017】
この機械化学的研磨装置10によれば、まず、ウェーハWをウェーハ保持ヘッド14に設けられた、図2のウェーハ保持用シート22によって吸着保持し、研磨パッド20上に載置する。次に、研磨定盤12を図1上で矢印A方向に回転させるとともに、ウェーハ保持ヘッド14を図1上で矢印B方向に回転させる。そして、その回転する研磨パッド20上に図示しないノズルからスラリーを供給する。これにより、ウェーハWの被研磨面が研磨パッド20により研磨される。
【0018】
ウェーハ保持用シート22は図2の如く、ウェーハWを保持するシート状基材24に両面接着テープ26を介してフィルム状のポリウレタン発泡体28を貼付することにより構成される。基材24は、JIS C2151に規定された破断伸度が150%以上の部材であるポリエチレン製である。なお、ポリエチレンに代えて、ポリプロピレン等の低表面エネルギープラスチック製の部材であっても適用できる。また、両面接着テープ26を使用することなく、湿式発泡等の直接形成手段によって、基材24にポリウレタン発泡体28を直接形成してもよい。
【0019】
このようにフィルム状のポリウレタン発泡体28を、破断伸度が150%以上のポリエチレン製基材24に貼付又は形成させることにより、基材24の物理的性質を維持した状態で、基材24の表面にポリウレタン発泡体28の性質を付加することができる。PET材のように破断伸度が150%未満であると、剛性が高く伸びも少ないため、ウェーハWを研磨パッド20に押し付ける際にウェーハWの各部に正しく圧力を伝えることができない。この観点から前記破断伸度は、150%以上が前提であるが、好ましくは250%以上、更に好ましくは350%以上であることがなおよい。
【0020】
【実施例】
▲1▼ポリウレタン発泡体が、両面接着テープの粘着材保持基材を有しない両面接着テープによって基材に貼付されている実施例(請求項3に相当)
基材24として、厚さ0.5mmのポリエチレンを用い、PET材のような粘着材保持基材を含まない、アクリル系粘着剤を主成分とする低表面エネルギープラスチック用の両面接着テープ26を用いて、フィルム状のポリウレタン発泡体28を貼付した。
【0021】
ポリウレタン発泡体としては、厚さ0.2mm、密度0.18g/cm3 、圧縮率22.0%、圧縮弾性率85.0%、硬度20.0°、開口径40.0μm、開口率20.0%のフィルムを用いた。本材料のヤング率はポリエチレンに比べ、無視できる程度である。また、伸び率はポリエチレンよりも大きい。本実施例におけるウェーハ保持用シート22(ポリウレタン発泡体28を貼付後のポリエチレン)の物理特性を測定したところ、ポリエチレン単層の場合とほとんど差が見られなかった。したがって、本実施例におけるウェーハ保持用シート22は、ポリエチレンとしての物理特性とポリウレタン発泡体の表面状態、例えば親水性やウェーハ保持特性を有する。
【0022】
本実施例におけるウェーハ保持用シート22を用い、機械化学的研磨装置10によってウェーハを研磨試験したところ、ポリエチレン層単体の場合と同等の研磨特性が得られた。
【0023】
▲2▼ポリウレタン発泡体が、弾性接着剤によって基材に貼付されている実施例(請求項4に相当)
基材24として、厚さ0.5mmのポリエチレンを用い、硬化後にゴム状弾性体となる弾性接着剤を用いて、フィルム状のポリウレタン発泡体28を貼付した。接着前に、紫外線照射にてポリエチレンを表面処理したり、サンドブラストのような手法でポリエチレンを表面処理したりすることで、接着強度をさらに高めることも可能である。また、弾性接着剤を使用したことにより、基材24とポリウレタン発泡体28との接着界面に応力が集中し難くなるため、高い剥離接着強さを得られる。
【0024】
ポリウレタン発泡体28としては、厚さ0.2mm、密度0.18g/cm3 、圧縮率22.0%、圧縮弾性率85.0%、硬度20.0°、開口径40.0μm、開口率20.0%のフィルムを用いた。本材料のヤング率はポリエチレンに比べ、無視できる程度である。また、伸び率はポリエチレンよりも大きい。本実施例におけるウェーハ保持用シート22(ポリウレタン発泡体28を貼付後のポリエチレン)の物理特性を測定したところ、ポリエチレン単層の場合とほとんど差が見られなかった。したがって、本実施例におけるウェーハ保持用シート22は、ポリエチレンとしての物理特性とポリウレタン発泡体の表面状態、例えば親水性やウェーハ保持特性を有する。
【0025】
本実施例におけるウェーハ保持用シート22を用い、機械化学的研磨装置10によってウェーハを研磨試験したところ、ポリエチレン層単体の場合と同等の研磨特性が得られた。
【0026】
【発明の効果】
以上説明したように本発明に係るウェーハ保持用シートによれば、フィルム状のポリウレタン発泡体を、破断伸度が150%以上の基材に貼付又は形成させたので、基材の物理的な性質を維持した状態で、基材表面にポリウレタン発泡体の性質を付加することができ、また、他のシート材及びポリウレタン発泡体の物理的な特性も生かすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施の形態のウェーハ保持用シートが適用されたウェーハ研磨装置の全体構成図
【図2】実施の形態のウェーハ保持用シートの要部拡大断面図
【符号の説明】
10…機械化学的研磨装置、12…研磨定盤、14…ウェーハ保持ヘッド、20…研磨パッド、22…ウェーハ保持用シート、24…基材、26…両面接着テープ、28…ポリウレタン発泡体
Claims (5)
- ウェーハを保持するシートの基材にポリウレタン発泡体を貼付又は形成することにより構成されるウェーハ保持用シートにおいて、
前記基材は、JIS C2151に規定された破断伸度が150%以上の部材であることを特徴とするウェーハ保持用シート。 - 前記基材は、ポリエチレン、ポリプロピレン等の低表面エネルギープラスチック製の部材であることを特徴とする請求項1に記載のウェーハ保持用シート。
- 前記ポリウレタン発泡体は、両面接着テープの粘着材保持基材を有しない両面接着テープによって前記基材に貼付されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のウェーハ保持用シート。
- 前記ポリウレタン発泡体は、弾性接着剤によって前記基材に貼付されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のウェーハ保持用シート。
- 前記ポリウレタン発泡体は、湿式発泡等の直接形成手段によって前記基材に直接形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のウェーハ保持用シート。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003134175A JP2004342651A (ja) | 2003-05-13 | 2003-05-13 | ウェーハ保持用シート |
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JP2003134175A JP2004342651A (ja) | 2003-05-13 | 2003-05-13 | ウェーハ保持用シート |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2004342651A true JP2004342651A (ja) | 2004-12-02 |
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ID=33524812
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JP (1) | JP2004342651A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP2008055528A (ja) * | 2006-08-30 | 2008-03-13 | Fujibo Holdings Inc | 保持パッド |
JP2013139082A (ja) * | 2013-04-19 | 2013-07-18 | Fujibo Holdings Inc | 保持パッド |
JP2016101655A (ja) * | 2014-11-13 | 2016-06-02 | 富士紡ホールディングス株式会社 | 保持具及びその製造方法 |
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-
2003
- 2003-05-13 JP JP2003134175A patent/JP2004342651A/ja active Pending
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