JP2004333226A - Ic部品の検査方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】IC部品の検査工程において、アナログ出力信号の異常が発生した際に、それを直ちに検出できるようにする。
【解決手段】アナログ信号を出力する機能を有するIC部品の良否を検査するためのIC部品の検査方法であって、検査対象である被検査IC部品1を動作させて、アナログ信号を出力させる駆動工程と、被検査IC部品が良品である場合に出力されるべきアナログ信号である期待値信号53と、被検査IC部品から実際に出力されたアナログ信号54の偏差を検出する検出工程と、検出工程で検出された偏差が所定の範囲に収まっているか否かを判定する判定工程と、を具備する。
【選択図】 図1
【解決手段】アナログ信号を出力する機能を有するIC部品の良否を検査するためのIC部品の検査方法であって、検査対象である被検査IC部品1を動作させて、アナログ信号を出力させる駆動工程と、被検査IC部品が良品である場合に出力されるべきアナログ信号である期待値信号53と、被検査IC部品から実際に出力されたアナログ信号54の偏差を検出する検出工程と、検出工程で検出された偏差が所定の範囲に収まっているか否かを判定する判定工程と、を具備する。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、IC部品の電気的な特性の検査のうち、特に被検査IC部品の出力するアナログ信号を検査する技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
IC部品の中には、周辺回路より入力されたデジタル信号に対応して、処理を施したデジタル信号を出力すると同時に、モータや表示器などの外部装置やアナログ回路をコントロールするためのアナログ信号を出力するものがある。このようなIC部品が要求仕様の通りに動作するか否かを検査するためには、所定の入力信号を被検査ICに与え、被検査ICより出力される信号を、良品の期待値と比較する。
【0003】
このとき、従来の方法では、デジタル出力信号の比較はコンパレータを使用してICの動作と同時に行われる一方で、アナログ出力信号の比較は出力波形を一旦記憶装置に保存しておき、ICの動作が終了した後に、保存された波形と期待値との比較をおこなう(非特許文献1参照)。
【0004】
図4にアナログ信号出力端子を有するICの従来の検査方法を示す。
【0005】
被検査IC1に入力する信号、及びデジタル出力の期待値信号は、検査装置2’内のパターン・メモリ24に予め格納されており、この内容に従ってドライバ22より入力端子11に信号を与えると同時に、デジタル出力端子12から出力される信号と期待値との比較をコンパレータ23によって行う。このとき、アナログ出力端子13より出力される信号については、デジタイザ25によってキャプチャ・メモリ26に保存しておく。パターン・メモリ24に含まれる全ての信号を被測定IC1に印加した後に、比較判定用プログラム28に従って、比較判定用CPU27が値の比較や演算処理を施すことにより、キャプチャ・メモリ26に保存されたアナログ信号が期待どおりの値であるか否かを判定する。
【0006】
【非特許文献1】
株式会社プレスジャーナル:セミコンダクターワールド1997年増刊 「ULSIテスト技術」p47〜p51
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
従来の検査方法では、アナログ出力の良否判定は、パターン・メモリ24に含まれる全ての信号が印加された後に、CPUによる演算や比較等の時間をかけて行われるために、アナログ出力信号の異常を、その発生と同時に検出することができない。さらに、アナログ出力信号の異常が検出された際に、それがICの動作中のどの時点で発生したかを特定するためにも時間がかかる。特に、ICの誤動作がどの様な条件下で発生するのかを調べるためには、条件を変えながら何度も繰り返し検査を行う必要があり、従来の検査方法では膨大な時間がかかるために、解析の効率が極めて悪いことが問題となっている。
【0008】
従って、本発明は上述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、IC部品の検査工程において、アナログ出力信号の異常が発生した際に、それを直ちに検出できるようにすることである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係わるIC部品の検査方法は、アナログ信号を出力する機能を有するIC部品の良否を検査するためのIC部品の検査方法であって、検査対象である被検査IC部品を動作させて、前記アナログ信号を出力させる駆動工程と、前記被検査IC部品が良品である場合に出力されるべきアナログ信号である期待値信号と、前記被検査IC部品から実際に出力された前記アナログ信号の偏差を検出する検出工程と、該検出工程で検出された偏差が所定の範囲に収まっているか否かを判定する判定工程と、を具備することを特徴とする。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施形態について説明する。
【0011】
まず、本発明の実施形態の概要について説明する。
【0012】
本発明の実施形態のIC部品の検査方法は、アナログ信号を出力する機能を有するIC部品の良否を検査するためのIC部品の検査方法であって、検査対象である被検査IC部品を動作させて、前記アナログ信号を出力させる駆動工程と、前記被検査IC部品が良品である場合に出力されるべきアナログ信号である期待値信号と、前記被検査IC部品から実際に出力された前記アナログ信号の偏差を検出する検出工程と、該検出工程で検出された偏差が所定の範囲に収まっているか否かを判定する判定工程と、を具備することを特徴とする。
【0013】
また、本発明の実施形態のIC部品の検査方法において、前記検出工程では、デジタル形式で保存された期待値をアナログ信号に変換して前記期待値信号とすると共に、差分信号発生装置により前記被検査IC部品のアナログ出力信号と前記期待値信号の偏差信号を生成することを特徴とする。
【0014】
また、本発明の実施形態のIC部品の検査方法において、前記検出工程では、前記被検査IC部品と同機能を有し且つ良品であることが既知となっているIC部品を駆動することにより、前記期待値信号を発生させることを特徴とする。
【0015】
また、本発明の実施形態のIC部品の検査装置は、アナログ信号を出力する機能を有するIC部品の良否を検査するためのIC部品の検査装置であって、検査対象である被検査IC部品を動作させて、前記アナログ信号を出力させる駆動手段と、前記被検査IC部品が良品である場合に出力されるべきアナログ信号である期待値信号を発生する期待値信号発生手段と、前記期待値信号と、前記被検査IC部品から実際に出力された前記アナログ信号の偏差を検出する検出手段と、該検出手段により検出された偏差が所定の範囲に収まっているか否かを判定する判定手段と、を具備することを特徴とする。
【0016】
また、本発明の実施形態のIC部品の検査装置において、前記期待値信号発生手段は、デジタル形式で保存された期待値をアナログ信号に変換して前記期待値信号を得るためのD/A変換手段を備え、前記検出手段は、前記被検査IC部品のアナログ出力信号と前記期待値信号の偏差信号を生成する差分信号発生手段を備えることを特徴とする。
【0017】
また、本発明の実施形態のIC部品の検査装置において、前記期待値信号発生手段は、前記被検査IC部品と同機能を有し且つ良品であることが既知となっているIC部品を駆動することにより、前記期待値信号を発生させることを特徴とする。
【0018】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して具体的に説明する。
【0019】
(第1の実施形態)
図1は本発明のIC検査装置の第1の実施形態の構成を示す図であり、図2はその動作波形例である。なお、図1において、従来例を示す図4と同一機能部分については同一符号を付してその説明を省略する。
【0020】
本実施形態のIC検査装置は、アナログ期待値信号53を発生するためのD/A変換器31及びアナログ出力信号54とアナログ期待値信号53の差分信号55を発生するための差動アンプ32を備えており、検査装置2のパターンメモリ24内には、入力信号値41、デジタル出力期待値42の他、アナログ差分期待値43及びアナログ出力期待値44が予め格納されている。
【0021】
ドライバ22から被検査IC1への入力信号51が発生されると同時に、被検査IC1のアナログ出力として期待される信号53を実際に発生する。このアナログ期待値信号53は、パターンメモリ24に格納されたアナログ出力期待値44に基づいてドライバ22aが発生した信号52をD/A変換器31によってアナログに変換することにより発生される。差動アンプ32は、被検査IC1のアナログ出力信号54とアナログ出力期待値信号53とを比較し、両者の差分信号55をコンパレータ23に出力する。
【0022】
コンパレータ23は、従来の一般のデジタル出力信号の比較と同様に、差動アンプ32より発生された差分信号55とパターンメモリ24に記述された期待値43との比較を行うが、図1に記載の通り、アナログ差分期待値43には全て「Z」を格納しておく。「Z」とは、図3に示す通り、被検査信号が予め設定された2つの基準電圧値Hi61及び基準電圧Lo62の間に収まっている信号を期待する記号であり、これを外れた場合は異常と判定される。ここで、コンパレータの基準電圧値を、アナログ出力値の誤差許容範囲の上限値及び下限値に設定しておくことにより、被検査ICのアナログ出力信号54に、良品に期待されるアナログ出力信号に対して許容範囲以上の差が発生した場合に、直ちにコンパレータ23よりFAIL信号が発せられ、異常動作を検知することができる。
【0023】
この方法により、図9に示す通り、異常動作の検出にかかる時間を従来の検査方法に比べて短縮することが可能となる。
【0024】
(第2の実施形態)
図5は本発明のIC検査装置の第2の実施形態の構成を示す図であり、図6はその動作波形例である。
【0025】
本実施形態のIC検査装置は、良品アナログ信号56を発生するための良品IC3及びアナログ出力信号54と良品アナログ信号56の差分信号55を発生するための差動アンプ32を備えており、検査装置2のパターンメモリ24内には、入力信号値41、デジタル出力期待値42の他、アナログ差分期待値43が格納されている。
【0026】
ここで、良品IC3とは、被検査ICと同一機能を有するIC部品で、その機能や性能が正常(良品)であることが既知となっているものである
ドライバ22より被検査IC1への入力信号51が発生されると同時に、この入力信号が良品IC3にも入力され、良品IC3は、正常な出力信号56を発生する。差動アンプ32は、被検査IC1のアナログ出力信号54と良品IC3の出力信号56とを比較し、両者の差分信号55をコンパレータ23に出力する。
【0027】
以降、第1の実施形態と同様に、コンパレータ23によって異常動作発生時には直ちにそれを検知することができる。
【0028】
(第3の実施形態)
図7は本発明のIC検査装置の第3の実施形態の構成を示す図であり、図8はその動作波形例である。
【0029】
本実施形態のIC検査装置では、アナログ期待値信号を発生するための波形発生器4をIC検査装置本体2’’’の外部に配置し、検査装置本体2’’’のパターンメモリ24内に格納されたトリガ信号45、及び同期クロック信号46によってこれを制御する。差動アンプ32を備え、アナログ差分期待値43をパターンメモリ24に格納していることは、第1、第2の実施形態と同様である。
【0030】
ここで、波形発生器4は、外部からのクロック入力に同期してアナログの波形を発生することができる一般的な装置であり、被検査ICの良品出力波形と同一の波形を発生する様に予め設定をしておく。
【0031】
ドライバ22より被検査IC1への入力信号51が発生され始めるのと同時に、波形発生器4に対して、予め設定された良品出力波形の発生開始を指示するトリガ信号57が入力される。続けて、同期クロック信号により被検査IC1への入力信号51と同期をとりながら、波形発生器4は良品出力波形59を発生する。差動アンプ32は、被検査IC1のアナログ出力信号54と良品出力波形59とを比較し、両者の差分信号55をコンパレータ23に出力する。
【0032】
以降、第1の実施形態と同様に、コンパレータ23によって異常動作発生時には直ちにそれを検知することができる。
【0033】
以上説明した様に、本実施形態のIC部品の検査方法においては、アナログ出力の異常が発生すると同時にそれを検出することが可能であるために、IC部品の検査プログラムの自由度を向上させ、不具合個所を特定するための解析作業の効率も大幅に向上させることができる。さらに、被検査ICのアナログ出力波形の一時保存や専用CPUによる演算比較を行わないため、アナログ信号検査用の高価な装置を省略できること、及び検査時間が短縮されることの両面から、IC部品の製造工程における検査にかかるコストを低減することが可能となる。
【0034】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、IC部品の検査工程において、ICのアナログ出力信号の異常が発生した際に、それを直ちに検出することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のIC検査装置の第1の実施形態の構成を示す図である。
【図2】第1の実施形態における動作信号の例を示す図である。
【図3】従来例及び本発明の実施形態に共通のコンパレータの作用説明図である。
【図4】従来のアナログ信号出力端子を含むIC部品の検査システムの構成図である。
【図5】本発明のIC検査装置の第2の実施形態の構成を示す図である。
【図6】第2の実施形態における動作信号の例を示す図である。
【図7】本発明のIC検査装置の第3の実施形態の構成を示す図である。
【図8】第3の実施形態における動作信号の例を示す図である。
【図9】従来例と本発明の実施形態の異常動作の検出までの流れの比較図である。
【符号の説明】
1 被検査IC部品
2 IC検査装置
3 良品IC部品
4 アナログ波形発生器
11 IC部品の入力端子
12 IC部品のデジタル出力端子
13 IC部品のアナログ出力端子
22 ドライバ
23 コンパレータ
24 パターン・メモリ
25 デジタイザ
26 キャプチャ・メモリ
27 判定用CPU
28 判定用プログラム
31 D/A変換器
32 差動アンプ
41 入力信号値記述部
42 デジタル出力期待値記述部
43 アナログ差分期待値記述部
44 アナログ出力期待値記述部
45 トリガ信号記述部
46 同期クロック記述部
51 被検査IC入力信号
52 期待値D/A変換機入力信号
53 アナログ期待値信号
54 被検査ICのアナログ出力信号
55 差動アンプの出力信号
56 良品ICのアナログ出力信号
57 波形発生器へのトリガ信号
58 波形発生器への同期信号
59 波形発生器の出力信号
61 コンパレータのHI側基準電圧
62 コンパレータのLO側基準電圧
【発明の属する技術分野】
本発明は、IC部品の電気的な特性の検査のうち、特に被検査IC部品の出力するアナログ信号を検査する技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
IC部品の中には、周辺回路より入力されたデジタル信号に対応して、処理を施したデジタル信号を出力すると同時に、モータや表示器などの外部装置やアナログ回路をコントロールするためのアナログ信号を出力するものがある。このようなIC部品が要求仕様の通りに動作するか否かを検査するためには、所定の入力信号を被検査ICに与え、被検査ICより出力される信号を、良品の期待値と比較する。
【0003】
このとき、従来の方法では、デジタル出力信号の比較はコンパレータを使用してICの動作と同時に行われる一方で、アナログ出力信号の比較は出力波形を一旦記憶装置に保存しておき、ICの動作が終了した後に、保存された波形と期待値との比較をおこなう(非特許文献1参照)。
【0004】
図4にアナログ信号出力端子を有するICの従来の検査方法を示す。
【0005】
被検査IC1に入力する信号、及びデジタル出力の期待値信号は、検査装置2’内のパターン・メモリ24に予め格納されており、この内容に従ってドライバ22より入力端子11に信号を与えると同時に、デジタル出力端子12から出力される信号と期待値との比較をコンパレータ23によって行う。このとき、アナログ出力端子13より出力される信号については、デジタイザ25によってキャプチャ・メモリ26に保存しておく。パターン・メモリ24に含まれる全ての信号を被測定IC1に印加した後に、比較判定用プログラム28に従って、比較判定用CPU27が値の比較や演算処理を施すことにより、キャプチャ・メモリ26に保存されたアナログ信号が期待どおりの値であるか否かを判定する。
【0006】
【非特許文献1】
株式会社プレスジャーナル:セミコンダクターワールド1997年増刊 「ULSIテスト技術」p47〜p51
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
従来の検査方法では、アナログ出力の良否判定は、パターン・メモリ24に含まれる全ての信号が印加された後に、CPUによる演算や比較等の時間をかけて行われるために、アナログ出力信号の異常を、その発生と同時に検出することができない。さらに、アナログ出力信号の異常が検出された際に、それがICの動作中のどの時点で発生したかを特定するためにも時間がかかる。特に、ICの誤動作がどの様な条件下で発生するのかを調べるためには、条件を変えながら何度も繰り返し検査を行う必要があり、従来の検査方法では膨大な時間がかかるために、解析の効率が極めて悪いことが問題となっている。
【0008】
従って、本発明は上述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、IC部品の検査工程において、アナログ出力信号の異常が発生した際に、それを直ちに検出できるようにすることである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係わるIC部品の検査方法は、アナログ信号を出力する機能を有するIC部品の良否を検査するためのIC部品の検査方法であって、検査対象である被検査IC部品を動作させて、前記アナログ信号を出力させる駆動工程と、前記被検査IC部品が良品である場合に出力されるべきアナログ信号である期待値信号と、前記被検査IC部品から実際に出力された前記アナログ信号の偏差を検出する検出工程と、該検出工程で検出された偏差が所定の範囲に収まっているか否かを判定する判定工程と、を具備することを特徴とする。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施形態について説明する。
【0011】
まず、本発明の実施形態の概要について説明する。
【0012】
本発明の実施形態のIC部品の検査方法は、アナログ信号を出力する機能を有するIC部品の良否を検査するためのIC部品の検査方法であって、検査対象である被検査IC部品を動作させて、前記アナログ信号を出力させる駆動工程と、前記被検査IC部品が良品である場合に出力されるべきアナログ信号である期待値信号と、前記被検査IC部品から実際に出力された前記アナログ信号の偏差を検出する検出工程と、該検出工程で検出された偏差が所定の範囲に収まっているか否かを判定する判定工程と、を具備することを特徴とする。
【0013】
また、本発明の実施形態のIC部品の検査方法において、前記検出工程では、デジタル形式で保存された期待値をアナログ信号に変換して前記期待値信号とすると共に、差分信号発生装置により前記被検査IC部品のアナログ出力信号と前記期待値信号の偏差信号を生成することを特徴とする。
【0014】
また、本発明の実施形態のIC部品の検査方法において、前記検出工程では、前記被検査IC部品と同機能を有し且つ良品であることが既知となっているIC部品を駆動することにより、前記期待値信号を発生させることを特徴とする。
【0015】
また、本発明の実施形態のIC部品の検査装置は、アナログ信号を出力する機能を有するIC部品の良否を検査するためのIC部品の検査装置であって、検査対象である被検査IC部品を動作させて、前記アナログ信号を出力させる駆動手段と、前記被検査IC部品が良品である場合に出力されるべきアナログ信号である期待値信号を発生する期待値信号発生手段と、前記期待値信号と、前記被検査IC部品から実際に出力された前記アナログ信号の偏差を検出する検出手段と、該検出手段により検出された偏差が所定の範囲に収まっているか否かを判定する判定手段と、を具備することを特徴とする。
【0016】
また、本発明の実施形態のIC部品の検査装置において、前記期待値信号発生手段は、デジタル形式で保存された期待値をアナログ信号に変換して前記期待値信号を得るためのD/A変換手段を備え、前記検出手段は、前記被検査IC部品のアナログ出力信号と前記期待値信号の偏差信号を生成する差分信号発生手段を備えることを特徴とする。
【0017】
また、本発明の実施形態のIC部品の検査装置において、前記期待値信号発生手段は、前記被検査IC部品と同機能を有し且つ良品であることが既知となっているIC部品を駆動することにより、前記期待値信号を発生させることを特徴とする。
【0018】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して具体的に説明する。
【0019】
(第1の実施形態)
図1は本発明のIC検査装置の第1の実施形態の構成を示す図であり、図2はその動作波形例である。なお、図1において、従来例を示す図4と同一機能部分については同一符号を付してその説明を省略する。
【0020】
本実施形態のIC検査装置は、アナログ期待値信号53を発生するためのD/A変換器31及びアナログ出力信号54とアナログ期待値信号53の差分信号55を発生するための差動アンプ32を備えており、検査装置2のパターンメモリ24内には、入力信号値41、デジタル出力期待値42の他、アナログ差分期待値43及びアナログ出力期待値44が予め格納されている。
【0021】
ドライバ22から被検査IC1への入力信号51が発生されると同時に、被検査IC1のアナログ出力として期待される信号53を実際に発生する。このアナログ期待値信号53は、パターンメモリ24に格納されたアナログ出力期待値44に基づいてドライバ22aが発生した信号52をD/A変換器31によってアナログに変換することにより発生される。差動アンプ32は、被検査IC1のアナログ出力信号54とアナログ出力期待値信号53とを比較し、両者の差分信号55をコンパレータ23に出力する。
【0022】
コンパレータ23は、従来の一般のデジタル出力信号の比較と同様に、差動アンプ32より発生された差分信号55とパターンメモリ24に記述された期待値43との比較を行うが、図1に記載の通り、アナログ差分期待値43には全て「Z」を格納しておく。「Z」とは、図3に示す通り、被検査信号が予め設定された2つの基準電圧値Hi61及び基準電圧Lo62の間に収まっている信号を期待する記号であり、これを外れた場合は異常と判定される。ここで、コンパレータの基準電圧値を、アナログ出力値の誤差許容範囲の上限値及び下限値に設定しておくことにより、被検査ICのアナログ出力信号54に、良品に期待されるアナログ出力信号に対して許容範囲以上の差が発生した場合に、直ちにコンパレータ23よりFAIL信号が発せられ、異常動作を検知することができる。
【0023】
この方法により、図9に示す通り、異常動作の検出にかかる時間を従来の検査方法に比べて短縮することが可能となる。
【0024】
(第2の実施形態)
図5は本発明のIC検査装置の第2の実施形態の構成を示す図であり、図6はその動作波形例である。
【0025】
本実施形態のIC検査装置は、良品アナログ信号56を発生するための良品IC3及びアナログ出力信号54と良品アナログ信号56の差分信号55を発生するための差動アンプ32を備えており、検査装置2のパターンメモリ24内には、入力信号値41、デジタル出力期待値42の他、アナログ差分期待値43が格納されている。
【0026】
ここで、良品IC3とは、被検査ICと同一機能を有するIC部品で、その機能や性能が正常(良品)であることが既知となっているものである
ドライバ22より被検査IC1への入力信号51が発生されると同時に、この入力信号が良品IC3にも入力され、良品IC3は、正常な出力信号56を発生する。差動アンプ32は、被検査IC1のアナログ出力信号54と良品IC3の出力信号56とを比較し、両者の差分信号55をコンパレータ23に出力する。
【0027】
以降、第1の実施形態と同様に、コンパレータ23によって異常動作発生時には直ちにそれを検知することができる。
【0028】
(第3の実施形態)
図7は本発明のIC検査装置の第3の実施形態の構成を示す図であり、図8はその動作波形例である。
【0029】
本実施形態のIC検査装置では、アナログ期待値信号を発生するための波形発生器4をIC検査装置本体2’’’の外部に配置し、検査装置本体2’’’のパターンメモリ24内に格納されたトリガ信号45、及び同期クロック信号46によってこれを制御する。差動アンプ32を備え、アナログ差分期待値43をパターンメモリ24に格納していることは、第1、第2の実施形態と同様である。
【0030】
ここで、波形発生器4は、外部からのクロック入力に同期してアナログの波形を発生することができる一般的な装置であり、被検査ICの良品出力波形と同一の波形を発生する様に予め設定をしておく。
【0031】
ドライバ22より被検査IC1への入力信号51が発生され始めるのと同時に、波形発生器4に対して、予め設定された良品出力波形の発生開始を指示するトリガ信号57が入力される。続けて、同期クロック信号により被検査IC1への入力信号51と同期をとりながら、波形発生器4は良品出力波形59を発生する。差動アンプ32は、被検査IC1のアナログ出力信号54と良品出力波形59とを比較し、両者の差分信号55をコンパレータ23に出力する。
【0032】
以降、第1の実施形態と同様に、コンパレータ23によって異常動作発生時には直ちにそれを検知することができる。
【0033】
以上説明した様に、本実施形態のIC部品の検査方法においては、アナログ出力の異常が発生すると同時にそれを検出することが可能であるために、IC部品の検査プログラムの自由度を向上させ、不具合個所を特定するための解析作業の効率も大幅に向上させることができる。さらに、被検査ICのアナログ出力波形の一時保存や専用CPUによる演算比較を行わないため、アナログ信号検査用の高価な装置を省略できること、及び検査時間が短縮されることの両面から、IC部品の製造工程における検査にかかるコストを低減することが可能となる。
【0034】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、IC部品の検査工程において、ICのアナログ出力信号の異常が発生した際に、それを直ちに検出することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のIC検査装置の第1の実施形態の構成を示す図である。
【図2】第1の実施形態における動作信号の例を示す図である。
【図3】従来例及び本発明の実施形態に共通のコンパレータの作用説明図である。
【図4】従来のアナログ信号出力端子を含むIC部品の検査システムの構成図である。
【図5】本発明のIC検査装置の第2の実施形態の構成を示す図である。
【図6】第2の実施形態における動作信号の例を示す図である。
【図7】本発明のIC検査装置の第3の実施形態の構成を示す図である。
【図8】第3の実施形態における動作信号の例を示す図である。
【図9】従来例と本発明の実施形態の異常動作の検出までの流れの比較図である。
【符号の説明】
1 被検査IC部品
2 IC検査装置
3 良品IC部品
4 アナログ波形発生器
11 IC部品の入力端子
12 IC部品のデジタル出力端子
13 IC部品のアナログ出力端子
22 ドライバ
23 コンパレータ
24 パターン・メモリ
25 デジタイザ
26 キャプチャ・メモリ
27 判定用CPU
28 判定用プログラム
31 D/A変換器
32 差動アンプ
41 入力信号値記述部
42 デジタル出力期待値記述部
43 アナログ差分期待値記述部
44 アナログ出力期待値記述部
45 トリガ信号記述部
46 同期クロック記述部
51 被検査IC入力信号
52 期待値D/A変換機入力信号
53 アナログ期待値信号
54 被検査ICのアナログ出力信号
55 差動アンプの出力信号
56 良品ICのアナログ出力信号
57 波形発生器へのトリガ信号
58 波形発生器への同期信号
59 波形発生器の出力信号
61 コンパレータのHI側基準電圧
62 コンパレータのLO側基準電圧
Claims (6)
- アナログ信号を出力する機能を有するIC部品の良否を検査するためのIC部品の検査方法であって、
検査対象である被検査IC部品を動作させて、前記アナログ信号を出力させる駆動工程と、
前記被検査IC部品が良品である場合に出力されるべきアナログ信号である期待値信号と、前記被検査IC部品から実際に出力された前記アナログ信号の偏差を検出する検出工程と、
該検出工程で検出された偏差が所定の範囲に収まっているか否かを判定する判定工程と、
を具備することを特徴とするIC部品の検査方法。 - 前記検出工程では、デジタル形式で保存された期待値をアナログ信号に変換して前記期待値信号とすると共に、差分信号発生装置により前記被検査IC部品のアナログ出力信号と前記期待値信号の偏差信号を生成することを特徴とする請求項1に記載のIC部品の検査方法。
- 前記検出工程では、前記被検査IC部品と同機能を有し且つ良品であることが既知となっているIC部品を駆動することにより、前記期待値信号を発生させることを特徴とする請求項1に記載のIC部品の検査方法。
- アナログ信号を出力する機能を有するIC部品の良否を検査するためのIC部品の検査装置であって、
検査対象である被検査IC部品を動作させて、前記アナログ信号を出力させる駆動手段と、
前記被検査IC部品が良品である場合に出力されるべきアナログ信号である期待値信号を発生する期待値信号発生手段と、
前記期待値信号と、前記被検査IC部品から実際に出力された前記アナログ信号の偏差を検出する検出手段と、
該検出手段により検出された偏差が所定の範囲に収まっているか否かを判定する判定手段と、
を具備することを特徴とするIC部品の検査装置。 - 前記期待値信号発生手段は、デジタル形式で保存された期待値をアナログ信号に変換して前記期待値信号を得るためのD/A変換手段を備え、前記検出手段は、前記被検査IC部品のアナログ出力信号と前記期待値信号の偏差信号を生成する差分信号発生手段を備えることを特徴とする請求項4に記載のIC部品の検査装置。
- 前記期待値信号発生手段は、前記被検査IC部品と同機能を有し且つ良品であることが既知となっているIC部品を駆動することにより、前記期待値信号を発生させることを特徴とする請求項4に記載のIC部品の検査装置。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2003127289A JP2004333226A (ja) | 2003-05-02 | 2003-05-02 | Ic部品の検査方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2003127289A JP2004333226A (ja) | 2003-05-02 | 2003-05-02 | Ic部品の検査方法及び装置 |
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Family Applications (1)
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JP2003127289A Withdrawn JP2004333226A (ja) | 2003-05-02 | 2003-05-02 | Ic部品の検査方法及び装置 |
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JP (1) | JP2004333226A (ja) |
-
2003
- 2003-05-02 JP JP2003127289A patent/JP2004333226A/ja not_active Withdrawn
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