JP2004319473A - プラズマディスプレイパネルの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】前面基板3を基板保持具30に保持させて成膜を行う成膜工程を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、成膜に際し、基板保持具30は繰り返し使用し、成膜工程は、繰り返し使用することにより膜が付着した状態となっている基板保持具30と、付着した膜を除去した状態とした基板保持具30とを、成膜室である蒸着室21内に混在させて行い、蒸着室21内の、真空度などの状態の変化を小さくする。
【選択図】図2
Description
2001 FPDテクノロジー大全、株式会社電子ジャーナル、2000年10月25日、p598−p600
まず、PDPの構造の一例について説明する。図1は、本発明の実施の形態におけるPDPの製造方法により製造されるPDPの概略構成の一例を示す断面斜視図である。
2 前面板
3 前面基板
4 走査電極
4a,5a 透明電極
4b,5b バス電極
5 維持電極
6 表示電極
7,12 誘電体層
8 保護層
9 背面板
10 背面基板
11 アドレス電極
13 隔壁
14R,14B,14G 蛍光体層
15 放電空間
16 放電セル
20 成膜装置
21 蒸着室
22 基板投入室
23 基板取出室
24a,24b,24c 真空排気系
25 搬送手段
26a,26b,26c,26d 仕切壁
27a,27b 加熱ランプ
28a 蒸着源
28b ハース
28c 電子銃
28d 電子ビーム
28e 蒸気流
28f シャッタ
30 基板保持具
31 第1の基板保持具
32 ダミー基板
33 第2の基板保持具
Claims (4)
- 基板を基板保持具に保持させて成膜を行う成膜工程を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法において、
成膜に際し、基板保持具は繰り返し使用し、前記成膜工程は、繰り返し使用することにより膜が付着した状態となっている基板保持具と、付着した膜を除去した状態とした基板保持具とを、成膜室内に混在させて行うことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。 - 成膜室内において、繰り返し使用することにより膜が付着した状態となっている基板保持具の数が、付着した膜を除去した状態とした基板保持具の数より多いことを特徴とする請求項1に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 基板保持具は、複数の構成部品を有し、付着した膜を除去した状態の基板保持具が、前記構成部品の少なくとも一つに付着した膜を除去したものであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 複数の構成部品が、基板を保持する枠体と、基板を保持しない枠体に保持させるダミー基板とを有し、付着した膜の除去はダミー基板に対して行うことを特徴とする請求項3に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
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