JP2001316797A - 成膜装置および成膜装置に用いる防着部材 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板キャリア表面への膜の付着を防止し、メ
ンテナンスを簡易且つ低コストで行うことができる防着
部材を備えた成膜装置を提供する点にある。 【解決手段】 成膜装置１は、基板を保持して搬送する
基板キャリア１０，１０，１０を備え、当該基板キャリ
ア１０に搭載した基板に蒸着粒子を付着させて膜を形成
するものであり、前記基板キャリア１０の表面への膜の
付着を防止する着脱自在の防着部材１１ａ〜１１ｃを前
記基板キャリア１０の底面に取り付けたことを特徴とし
ている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、成膜装置において
膜の付着を防止する防着部材に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】成膜装置は、例えばプラズマＣＶＤ法や
スパッタ法のような減圧下での成膜法により、成膜室で
基板上に薄膜を形成し得る装置である。この種の成膜装
置では、基板だけでなく成膜室の内壁面にも膜が堆積す
るため、その除去などの保守作業を容易にする目的で、
その内壁面に防着板と呼称する着脱可能な保護治具が取
り付けられているのが一般的である。これにより、成膜
工程では防着板に膜が堆積し、成膜室内壁面への膜形成
が防止されるため、成膜装置の保守作業では防着板を取
り替えることにより成膜室内壁面を洗浄する費用と時間
が大幅に削減される。

【０００３】この種の防着板を用いた成膜装置として
は、特開平１１−６０４９号公報記載の「真空成膜装
置」がある。この真空成膜装置は、真空容器内で蒸着材
料を蒸気化し、蒸気化した蒸着材料を被処理物体表面に
成膜させる真空成膜装置であって、前記真空容器の側壁
の内側に金属製の防着板を配置し、この防着板の内側に
金属製のメッシュ板を着脱可能に配置したことを特徴と
するものである。これにより、前記蒸着材料に起因する
堆積物がメッシュ板に強固に付着するため、防着板に付
着した堆積物が剥離して落下したり、成膜室内を浮遊し
たりする危険性が低減する。

【０００４】また、図８に、電子ビーム加熱蒸着法によ
る従来の成膜装置の概略構成図を例示する。この成膜装
置６０では、成膜室６１の側部に電子銃６２を配置し、
この電子銃６２の射出口を除く側部壁面を覆うように側
部防着板６３，６３，６３が配設されている。また、成
膜室６１の底部にはルツボ６４のハース（炉床）に納め
たターゲット６５を配置し、このターゲット６５の近辺
を除く成膜室６１の底部壁面を覆うように底部防着板６
６が配設される。更に、成膜室６１の天井部には、ター
ゲット６５から飛翔した蒸着粒子を通す開口部６７ａを
形成された天部防着板６７が配設されている。この天部
防着板６７の上方に、基板を搭載した基板キャリア７
０，７０，７０が搬送路（図示せず）に沿って配置され
ている。

【０００５】前記成膜室６１の内部は高真空状態にさ
れ、電子銃６２から射出された電子ビーム６８は外部磁
界などの影響を受けてターゲット６５に衝突し、このタ
ーゲット６５を加熱して蒸着粒子を放出させる。蒸着粒
子は天部防着板６７の開口部６７ａを通して当該基板キ
ャリア７０に搭載した基板の底面に付着して膜を形成す
る。

【０００６】図９に、前記基板キャリア７０の従来例を
示して説明する。図９（ａ）は基板キャリア７０の底面
図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＤ−Ｄ断面図である。基
板キャリア７０は、その周縁部を構成する四角形状の主
フレーム７１と、この主フレーム７１で囲まれる領域を
２領域に区間する中間フレーム７２とを備えており、前
記主フレーム７１と中間フレーム７２とで区間される各
領域にマスク保持部材７３，７３を取り付け、各々のマ
スク保持部材７３，７３の上にマスク７４，７４を配設
して構成される。各々のマスク７４，７４の上には基板
（図示せず）が載置され、マスク７４の開口部７４ａを
通して上記蒸着粒子が基板の底面に付着し膜を形成す
る。当該基板キャリア７０は当該成膜室にて成膜処理を
受けると、矢印方向に向けて次の処理室に移送される。
尚、本従来例では基板を略垂直状態にして搬送する横型
の基板キャリアを示すが、基板を略垂直状態にして搬送
する縦型の基板キャリアも存在する。

【０００７】また、図１０（ａ）は前記側部防着板６３
の一例を示す正面図であり、同図（ｂ）はその側面図で
ある。また、図１１（ａ）は前記天部防着板６７の底面
図であり、同図（ｂ）は同図（ａ）のＥ−Ｅ断面図であ
る。天部防着板６７にはターゲット６５から飛翔した蒸
着粒子を通す湾曲形状の開口部６７ａが形成されてい
る。この天部防着板６７は、図１１（ａ）の上下方向が
図９に示した基板キャリアの左右方向（搬送方向）と一
致するように成膜装置６０内に配設される。その開口部
６７ａを蒸着粒子が通過して基板表面に膜が形成される
のであるが、その開口部６７ａの湾曲形状を変えること
で基板表面における膜の膜厚分布を調節できる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】一般に、成膜装置で
は、製造能力の高さや品質の安定性が要求されるのはも
とより、定期的に実施しなければならないメンテナンス
時の費用の削減も要求される。この点につき、本発明者
は、従来の成膜装置について鋭意研究した結果、以下の
（１）〜（４）の問題などを見出した。

【０００９】（１）基板キャリアそのものの重量により
基板キャリアを交換する際のメンテナンス性は非常に悪
いという問題がある。

【００１０】（２）また、上記した従来の成膜装置で
は、基板キャリア７０の表面にも蒸着粒子が付着して膜
が形成されるため、基板キャリア自体を定期的に洗浄す
る必要が生じ、その洗浄費用の削減が大きな課題とな
る。上記公報に記載した真空成膜装置は、成膜室内壁面
への膜の付着を防止し得るものではあったが、基板キャ
リア７０の洗浄費用を削減し得るものでは無かった。特
に、上記した横型の基板キャリアの場合、その底面に膜
が付着し易く、付着した堆積物が剥離して落下したり、
成膜室内を浮遊したりする危険性が高い。

【００１１】（３）また、上記成膜室６１の側壁面に配
設した側部防着板６３や、成膜室６１の天井部に配設し
た天部防着板６７の場合、膜の付着量が多く洗浄費用の
大半を示す部材であるため、その洗浄費用を削減する必
要がある。

【００１２】（４）そして、上記天部防着板６７は、そ
の開口部６７ａにより、基板に堆積する膜の膜厚分布を
調節するマスク機能を併せ持つものであるが、搭載する
基板の形状や搭載枚数に応じて、その開口部６７ａの形
状が異なる天部防着板６７を一々用意し交換する必要が
あり、その交換作業に費用と手間を要するという問題が
ある。

【００１３】以上の問題などに鑑みて本発明が解決しよ
うとするところは、基板キャリア表面への膜の付着を防
止し、メンテナンスを簡易且つ低コストで行うことがで
きる防着部材を備えた成膜装置を提供する点にある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決すべく、
本発明に係る請求項１記載の成膜装置は、基板を保持し
て搬送する基板キャリアを備え、当該基板キャリアに搭
載した基板に成膜材料粒子を付着させて膜を形成する成
膜装置であって、前記基板キャリアへの膜の付着を防止
する着脱自在の防着部材を前記基板キャリアの当該表面
に装着したことを特徴としたものである。

【００１５】請求項２記載の発明は、請求項１記載の成
膜装置であって、前記基板キャリアが基板を略水平状態
に保持する構造を有し、前記成膜材料粒子が前記基板キ
ャリアの下方から与えられるものである。

【００１６】請求項３記載の発明は、請求項１または２
記載の成膜装置であって、前記防着部材が複数種類準備
されており、前記基板キャリアの当該表面に取り替えて
装着可能なものである。

【００１７】請求項４記載の発明は、請求項１〜３の何
れか１項に記載の成膜装置であって、前記防着部材が、
前記基板キャリアに対し第１および第２主面を反転して
装着可能となるように構成されたものである。

【００１８】請求項５記載の発明は、請求項１〜４の何
れか１項に記載の成膜装置であって、前記基板キャリア
と成膜材料源との間に配設され前記成膜材料源から放出
された成膜材料粒子を通す開口部を有する防着部材を更
に備え、前記防着部材が前記開口部の形状を変える開口
部可変機構を備えてなるものである。

【００１９】請求項６記載の発明は、請求項１〜５の何
れか１項に記載の成膜装置であって、前記防着部材の成
膜材料粒子が付着する表面に剥離可能なシート状部材が
貼着されるものである。

【００２０】請求項７記載の発明は、請求項６記載の成
膜装置であって、前記シート状部材の複数枚が積層状態
で当該表面に貼着されるものである。

【００２１】また、本発明に係る請求項８記載の防着部
材は、基板に成膜材料粒子を付着させて膜を形成する成
膜装置に用いる防着部材であって、前記防着部材は、前
記基板と成膜材料源との間に配設され前記成膜材料源か
ら放出された成膜材料粒子を通す開口部を有すると共
に、前記開口部の形状を変える開口部可変機構を備える
ことを特徴としたものである。

【００２２】請求項９記載の発明は、請求項８記載の防
着部材であって、成膜材料粒子が付着する表面に剥離可
能なシート状部材が貼着されてなるものである。

【００２３】請求項１０記載の防着部材は、請求項９記
載の防着部材であって、前記シート状部材の複数枚が積
層状態で当該表面に貼着されるものである。

【００２４】また、本発明に係る請求項１１記載の防着
部材は、基板に成膜材料粒子を付着させて膜を形成する
成膜装置に用いる防着部材であって、成膜材料粒子が付
着する表面に剥離可能なシート状部材が貼着されること
を特徴としたものである。

【００２５】請求項１２記載の発明は、請求項１１記載
の防着部材であって、前記シート状部材の複数枚が積層
状態で当該表面に貼着されるものである。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施の形態について説明する。

【００２７】図１は、本実施の形態に係る成膜装置１を
説明するための概略図である。この成膜装置１は、成膜
室２の側部に電子銃３を配設し、成膜室２の底部にルツ
ボ４内のハース（炉床）に納めた成膜材料源である堆積
源（ターゲット）５を配置することにより、高真空条件
下で、外部磁場などの作用により前記電子銃３から射出
した電子ビーム６を堆積源５に衝突させ、この堆積源５
を加熱して蒸着粒子を生成し、蒸着粒子を上方の基板表
面に付着堆積させて薄膜を形成する電子ビーム加熱蒸着
法を採用したものである。

【００２８】また、膜を形成される基板は、防着部材１
１ａ，１１ｂ，１１ｃを備えた基板キャリア１０，１
０，１０，…に搭載されており、前記蒸着粒子は、当該
基板キャリア１０に搭載した基板の底面に付着し膜を形
成する。成膜処理を終えた当該基板キャリア１０は、搬
送機構（図示せず）により矢印７の方向へ次の成膜室
（図示せず）などに移送される。特にインライン式成膜
装置の場合、基板キャリア１０は外気などに曝されるこ
と無く、複数の成膜室を連続的に移送されるから、縦型
の基板キャリアの場合と比べると、基板キャリア１０へ
の膜の付着量は多くなり、上記した洗浄費用の削減はよ
り一層大きな課題となる。

【００２９】また、上記成膜室２の側壁面を覆うように
側部防着部材１２，１２，１２が配設されており、ま
た、前記堆積源５の付近を除く成膜室２の底部壁面を覆
うように底部防着部材１３が配設されている。更に、成
膜室２の天井部には、蒸着粒子が通過する開口部１４ａ
を形成された天部防着部材１４が配設されており、これ
ら防着部材１２，１３，１４により成膜室２の内壁面に
蒸着粒子が付着することが防止される。

【００３０】尚、本発明は、電子ビーム加熱蒸着法に限
らず、既知のＰＶＤ（物理蒸着；Physical Vapor Depos
ition）法やＣＶＤ（化学蒸着；Chemical Vapor Deposi
tion）法に適用できる。例えば、高融点金属などで作製
したヒータに堆積源（ターゲット）を納めておき、高真
空条件下で、このヒータに電流を流して堆積源を加熱蒸
発させて蒸着粒子を飛翔させる抵抗加熱蒸着法や、高エ
ネルギーの粒子を固体の堆積源（ターゲット）に照射し
てこの堆積源から蒸着粒子を放出させるスパッタリング
法、高真空条件下で蒸着粒子の一部をイオン化して加速
し、蒸着粒子とそのイオンとを照射して基板上に薄膜を
形成するイオンプレーティング法などが挙げられる。

【００３１】図２（ａ）は、上記基板キャリア１０の一
例を示す底面図であり、同図（ｂ）は図２（ａ）のＡ−
Ａ断面図である。この基板キャリア１０は、図７で示し
た従来の基板キャリア７０と同様に、当該基板キャリア
１０の周縁部を構成する四角形状の主フレーム１５と、
この主フレーム１５にネジなどを用いて固定され内部領
域を２領域に区画する着脱自在の中間フレーム１６とを
備えている。前記主フレーム１５と中間フレーム１６
は、蒸着粒子の付着により変質し難い材質からなるのが
望ましい。

【００３２】このような主フレーム１５と中間フレーム
１６とで区画される領域の各々に、開口部１７ａを有す
るマスク保持部材１７，１７を固定し、これらマスク保
持部材１７，１７の上に開口部１８ａを備えたマスク１
８，１８を配設する。そして、これらマスク１８，１８
の上に基板（図示せず）が載置される。

【００３３】また、前記主フレーム１５の蒸着粒子が付
着する底面には、当該底面を覆う形で複数の板状の防着
部材１１ａ〜１１ｈがボルトなどを用いて固定されてい
る。ここで、当該底面への防着部材１１ａ〜１１ｈの取
り付けもしくは取り外しが容易になるように、防着部材
１１ａ〜１１ｈの間にはクリアランス１９ａ〜１９ｈが
設定されている。また、前記中間フレーム１６の蒸着粒
子が付着する底面にも、当該底面を覆う形で板状の防着
部材１１ｉ，１１ｊがボルトなどを用いて固定される。
前記防着部材１１ｉ，１１ｊの間には前述の理由からク
リアランス１９ｉが設定されている。ここで、前記防着
部材１１ａ〜１１ｊの母材には、付着した膜が剥離して
成膜室２の内部に落下するの防ぐために、ブラスト処理
を施すのが望ましい。

【００３４】更に、本実施の形態では明示しないが、図
２（ｂ）に例示するように前記防着部材１１ａ〜１１ｊ
とマスク保持部材１７，１７との間隙２０ａ〜２０ｄ
に、蒸着粒子が回り込み基板キャリア１０に付着するの
を防ぐため、これら隙間２０ａ〜２０ｄを埋めるように
防着部材の一部を変形したり、更に他の防着部材を前記
間隙に取り付けたりしても構わない。

【００３５】このような構成により、基板キャリア１０
の底面側から飛翔する蒸着粒子は、マスク１８，１８の
開口部１８ａ，１８ａを通り基板キャリア１０の底面を
覆う防着部材１１ａ〜１１ｊの表面に付着することとな
り、成膜装置のメンテナンスの際には、主フレーム１５
や中間フレーム１６から前記防着部材１１ａ〜１１ｊを
取り外して交換すればよいため、基板キャリア１０の洗
浄処理に要する費用と手間を大幅に削減することが可能
となる。また、前記防着部材１１ａ〜１１ｊとして、基
板キャリア１０への装着箇所に適合する形状を有するも
のが複数種類用意されているから、搭載基板の形状や枚
数に対応して、必要に応じて適合する防着部材を適宜選
択し、当該防着部材を基板キャリア１０に取り付けたり
取り替えたりすることができ、膜の防着効果を確実に発
揮することが可能となる。

【００３６】また、本実施の形態では、前記防着部材１
１ａ〜１１ｊを裏返して主フレーム１５や中間フレーム
１６に固定することもできる。例えば、防着部材１１ａ
と１１ｃとを裏返し、相互に位置を入れ替えて主フレー
ム１５に固定したり、防着部材１１ｉと１１ｊとを裏返
し、相互に位置を入れ替えて中間フレーム１６に固定し
たりすることができる。このように、防着部材１１ａ〜
１１ｊは、主フレーム１５や中間フレーム１６に対する
装着面をその第１主面と第２主面との両面に有するた
め、その第１および第２主面を表裏反転してフレーム１
５，１６に装着でき、メンテナンス時における防着部材
の交換作業を素早く且つ確実に行い、それに要する費用
と手間を更に削減することが可能となる。

【００３７】また、前記中間フレーム１６は主フレーム
１５に着脱自在に固定されているため、これを取り外す
ことができる。前記中間フレーム１６を取り外した基板
キャリア３０の例を図３に示す。図３（ａ）は、基板キ
ャリア３０の底面図、同図（ｂ）は、図３（ａ）のＢ−
Ｂ断面図である。図３において、図２と同じ符号を付し
た部材については同構成を有するものとしてその説明を
省略する。本例の基板キャリア３０は１枚の基板を搭載
するものであり、主フレーム１５の内側にそのための開
口部３１ａを有するマスク保持部材３１を固定し、この
マスク保持部材３１の上に開口部３２ａを備えたマスク
３２が配設され、このマスク３２の上に基板が載置され
る。

【００３８】以上に示した例では、主フレーム１５や中
間フレーム１６に取り付ける防着部材１１ａ〜１１ｊの
形状は板状であったが、本発明ではこれに限らず、基板
キャリアの表面形状に相応する形状であれば何れの形状
でもよい。

【００３９】次に、図１に示した成膜室２の側壁面を覆
う側部防着部材１２の例について説明する。図４（ａ）
は側部防着部材１２の正面図であり、同図（ｂ）はその
側面図である。上述したように側部防着部材１２への膜
の付着量は多く、側部防着部材１２の洗浄費用を削減す
るため、図４に示すように、側部防着部材１２の蒸着粒
子が付着する面には、厚みが数十μｍのシート状部材４
０が複数枚積層した状態で貼着されている。シート状部
材４０としては、蒸着粒子の付着により変質し難い材
質、例えばアルミニウムを用いるのが好ましく、このよ
うなシート状部材４０は両面テープを用いたり、端部に
折曲片を形成して側部防着部材１２に係合したり、側部
防着部材１２を成膜室２に固定するのに用いたボルトを
流用したりすることで側部防着部材１２に貼着される。

【００４０】このような構成により、成膜装置１のメン
テナンス時には側部防着部材１２に貼着したシート状部
材を剥離して交換すればよいため、極めて短時間で且つ
効良くメンテナンスを実行できる。また、複数枚のシー
ト状部材４０ａ，４０ｂを用いることにより、側部防着
部材１２への蒸着粒子の付着をより確実に防止でき、図
４（ｂ）に示す最も外側のシート状部材４０ａのみを剥
離して交換することができる。

【００４１】次に、図１に示した成膜室２の天井部に配
設した天部防着部材１４の例について説明する。図５
（ａ）は天部防着部材１４の底面図であり、同図（ｂ）
は図５（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。この天部防着部材
１４は、図５の上下方向が図２や図３の基板キャリア１
０，３０の左右方向（搬送方向）と一致するように配設
される。

【００４２】前述の側部防着部材１２と同様に天部防着
部材１４への膜の付着量は多く、その洗浄費用を削減す
るために、図５に示すように、天部防着部材１４の蒸着
粒子が付着する底面に、上記側部防着部材１２で用いた
シート状部材４０と同じ材質と厚みをもつ複数のシート
状部材４１ａ，４１ｂが積層して貼着されている。よっ
て、上記の側部防着部材１２の場合と同様の理由によ
り、成膜装置１のメンテナンス時には、天部防着部材１
４への膜の付着をより確実に防止でき、最も外側のシー
ト状部材４１ａのみを剥離して交換することができる。

【００４３】以上のように、側部防着部材１２と天部防
着部材１４に対してシート状部材を用いた場合のその洗
浄費用は、シート状部材を用いずに前記防着部材１２，
１４にブラスト処理を施した場合と比べて、４０％以上
も削減されることが確認されており、前記防着部材は成
膜装置のメンテナンス費用を削減する点で極めて有効な
手段であることが分かる。

【００４４】また、天部防着部材１４の開口部１４ａ
は、上述した通り蒸着粒子の通過量を制限して膜の膜厚
を制御する機能を果たすものであり、その開口部１４ａ
の形状を調整することで基板に堆積する膜の膜厚分布を
制御できる。

【００４５】例えば、その開口部１４ａの形状を図面の
左右方向、すなわち図２，３に示した基板キャリアの左
右方向（搬送方向）に対し直角方向に拡大することで膜
厚を増加できる。図６は、この種の開口部形状を変える
可変構造を有する天部防着部材の例を示す概略図であ
り、同図（ａ）はその正面図、同図（ｂ）はその背面図
である。この天部防着部材５０は、弓形形状の開口部５
１ａを有する板状の本体部５１と、この本体部５１に対
してスライド自在に装着された板状の調整部材５２Ａ，
５２Ｂとからなる。調整部材５２Ａ、５２Ｂは、図示し
た実線位置から一点鎖線で示した仮想位置５３Ａ，５３
Ｂまでスライドすることができるため、本体部５１に設
けた弓形形状の開口部５１ａの開放面積を自在に変更す
ることができ、蒸着粒子の流通量を調整して膜厚を制御
することが可能となる。

【００４６】また、上記天部防着部材１４の開口部１４
ａの形状を図面の上下方向、すなわち図２，３に示した
基板キャリアの左右方向（搬送方向）に縮小することで
基板上に堆積する膜の堆積範囲を狭めることができる。
図７は、この種の開口部形状を変える可変構造を有する
天部防着部材の例を示す概略正面図である。この天部防
着部材５５は、開口部５６ａを有する本体部５６と、こ
の本体部５６にスライド自在に装着された調整部材５７
Ａ，５７Ｂとから構成されており、前記調整部材５７
Ａ，５７Ｂは図示した実線位置から一点鎖線で示した仮
想位置５８Ａ，５８Ｂまでスライドすることができる。
これら調整部材５７Ａ，５７Ｂにより、本体部５６の開
口部５６ａの両端部を閉じるもしくは開放することによ
り、開口部５６ａの開放面積を自在に変更し、当該基板
上の膜の堆積範囲を制御することが可能となる。したが
って、例えば、図３に示した基板キャリアを用いて１枚
の基板に膜を堆積させる場合などは、開口部５６ａの開
放面積を小さくすることにより膜の堆積範囲を制限して
効率良く膜形成を実行できるという利点が得られる。

【００４７】尚、図６の膜厚調整を可能とする開口部可
変機構と、図７の膜の堆積範囲を調整可能とする開口部
可変機構とを組み合わせてもよい。その可変機構は、手
動で制御されてもよいし、既知の自動制御手段により制
御されても構わない。

【００４８】以上、図６および図７に示した天部防着部
材の開口部の可変機構により、基板キャリアに搭載する
基板の形状や搭載枚数に相応するように、開口部形状が
異なる天部防着部材を一々用意して交換する費用と手間
を削減することができる。

【００４９】

【発明の効果】以上の如く、本発明の請求項１記載の成
膜装置によれば、防着部材により基板キャリアへの膜の
付着が防止され、メンテナンスの際には、基板キャリア
から膜が付着した防着部材を取り外して交換すればよ
く、成膜装置のメンテナンスに要する費用と手間を大幅
に削減することが可能となる。

【００５０】請求項２記載の成膜装置によれば、基板を
水平に保持した状態で前記基板の底面に膜を付着させ
る、いわゆる横型の基板キャリアに対しても、メンテナ
ンスに要する費用と手間を大幅に削減できる。

【００５１】請求項３記載の成膜装置によれば、基板キ
ャリアに搭載する基板の形状および枚数に対応して、基
板キャリアに対する防着部材の装着位置を柔軟に変更で
き、膜の防着効果を確実に発揮することができる。

【００５２】請求項４記載の成膜装置によれば、防着部
材の第１および第２主面の何れも基板キャリアに装着で
きることから、成膜装置のメンテナンス時における防着
部材の交換作業を素早く且つ確実に実行することがで
き、同時にそのメンテナンスに要する費用と手間を更に
削減することが可能となる。

【００５３】請求項５記載の成膜装置および請求項８記
載の防着部材によれば、基板の形状や搭載枚数に応じ
て、開口部形状が異なる天部防着部材を一々用意して交
換する費用と手間を削減することが可能となる。

【００５４】請求項６記載の成膜装置および請求項９，
１１記載の防着部材によれば、メンテナンス時には防着
部材に貼着したシート状部材を剥離して交換すればよい
ため、極めて短時間で且つ効率よくメンテナンスを実行
でき、洗浄費用を大幅に削減することが可能となる。

【００５５】請求項７記載の成膜装置および請求項１
０，１２記載の防着部材によれば、積層状態にあるシー
ト状部材のうち外側のシート状部材から順に剥離して交
換できるから、メンテナンスに要する費用と手間を更に
削減することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施の形態に係る成膜装置を説明す
るための概略図である。

【図２】 （ａ）は、本発明の実施の形態に係る基板キ
ャリアの一例を示す底面図、（ｂ）は、前記（ａ）のＡ
−Ａ断面図である。

【図３】 （ａ）は、本発明の実施の形態に係る基板キ
ャリアの他の例を示す底面図、（ｂ）は、前記（ａ）の
Ｂ−Ｂ断面図である。

【図４】 （ａ）は、本発明の実施の形態に係る側部防
着部材の一例を示す正面図、（ｂ）は、その側面図であ
る。

【図５】 （ａ）は、本発明の実施の形態に係る天部防
着部材の一例を示す底面図、（ｂ）は、前記（ａ）のＣ
−Ｃ断面図である。

【図６】 膜厚を調整可能とする天部防着部材の開口部
の可変機構を示す概略図である。

【図７】 膜の堆積範囲を調整可能とする天部防着部材
の開口部の可変機構を示す概略図である。

【図８】 成膜装置の従来例を説明するための概略図で
ある。

【図９】 （ａ）は、基板キャリアの従来例を示す底面
図であり、（ｂ）は、前記（ａ）のＤ−Ｄ断面図であ
る。

【図１０】 （ａ）は、側部防着板の従来例を示す正面
図、（ｂ）は、その側面図である。

【図１１】 （ａ）は、天部防着板の従来例を示す底面
図、（ｂ）は、前記（ａ）のＥ−Ｅ断面図である。

【符号の説明】

１ 成膜装置、２ 成膜室、３ 電子銃、４ ルツボ、
５ 堆積源（ターゲット）、６ 電子ビーム、７ 矢印
方向、１０ 基板キャリア、１１ａ〜１１ｊ防着部材、
１２ 側部防着部材、１３ 底部防着部材、１４ 天部
防着部材、１５ 主フレーム、１６ 中間フレーム、１
７ マスク保持部材、１８ マスク。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 4D073 AA01 BB05 DB03 DB04 DB13 DB15 DB43 4K029 CA01 DA10 DB21 KA01 4K030 GA14 KA12 5F045 AA08 BB20 DP05 DP23 EB06 EC05 5F103 AA08 BB60 RR10

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を保持して搬送する基板キャリアを
   備え、当該基板キャリアに搭載した基板に成膜材料粒子
   を付着させて膜を形成する成膜装置であって、 前記基板キャリアへの膜の付着を防止する着脱自在の防
   着部材を前記基板キャリアの当該表面に装着したことを
   特徴とする成膜装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の成膜装置であって、前記
   基板キャリアが基板を略水平状態に保持する構造を有
   し、前記成膜材料粒子が前記基板キャリアの下方から与
   えられる成膜装置。
3. 【請求項３】 請求項１または２記載の成膜装置であっ
   て、前記防着部材が複数種類準備されており、前記基板
   キャリアの当該表面に取り替えて装着可能な成膜装置。
4. 【請求項４】 請求項１〜３の何れか１項に記載の成膜
   装置であって、前記防着部材が、前記基板キャリアに対
   し第１および第２主面を反転して装着可能となるように
   構成されている成膜装置。
5. 【請求項５】 請求項１〜４の何れか１項に記載の成膜
   装置であって、前記基板キャリアと成膜材料源との間に
   配設され前記成膜材料源から放出された成膜材料粒子を
   通す開口部を有する防着部材を更に備え、前記防着部材
   が前記開口部の形状を変える開口部可変機構を備えてな
   る成膜装置。
6. 【請求項６】 請求項１〜５の何れか１項に記載の成膜
   装置であって、前記防着部材の成膜材料粒子が付着する
   表面に剥離可能なシート状部材が貼着される成膜装置。
7. 【請求項７】 請求項６記載の成膜装置であって、前記
   シート状部材の複数枚が積層状態で当該表面に貼着され
   る成膜装置。
8. 【請求項８】 基板に成膜材料粒子を付着させて膜を形
   成する成膜装置に用いる防着部材であって、 前記防着部材は、前記基板と成膜材料源との間に配設さ
   れ前記成膜材料源から放出された成膜材料粒子を通す開
   口部を有すると共に、前記開口部の形状を変える開口部
   可変機構を備えることを特徴とする防着部材。
9. 【請求項９】 請求項８記載の防着部材であって、成膜
   材料粒子が付着する表面に剥離可能なシート状部材が貼
   着されてなる防着部材。
10. 【請求項１０】 請求項９記載の防着部材であって、前
    記シート状部材の複数枚が積層状態で当該表面に貼着さ
    れる防着部材。
11. 【請求項１１】 基板に成膜材料粒子を付着させて膜を
    形成する成膜装置に用いる防着部材であって、 成膜材料粒子が付着する表面に剥離可能なシート状部材
    が貼着されることを特徴とする防着部材。
12. 【請求項１２】 請求項１１記載の防着部材であって、
    前記シート状部材の複数枚が積層状態で当該表面に貼着
    される防着部材。