JP2004311943A - ナノチューブを用いたメモリ素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ストライプパターンに形成される第1電極11のアレイと、この第1電極11のアレイ上に積層され、複数のホールが配列された誘電層12と、第1電極11のアレイと接触し、誘電層12のホールの内部に垂直成長され、電子を放出するナノチューブ19のアレイと、このナノチューブ19のアレイと接触し、第1電極11に直交するように誘電層12上にストライプパターンに形成される第2電極13のアレイと、第2電極13のアレイ上に位置し、ナノチューブ19のアレイから放出された電子を捕獲するメモリセル15と、このメモリセル15の上部に積層され、ナノチューブ19のアレイ周辺に電場を形成するゲート電極17とを備えることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
MOS FETのトランスコンダクタンス(gm)は、所定の電圧条件下において、チャネルの長さ、ゲート酸化膜の厚さ等に対して反比例の関係を示し、表面移動度、ゲート酸化膜の誘電率およびチャネルの幅に対して比例する関係を示す。これら因子のうち、表面移動度およびゲート酸化膜の誘電率等の値は、ウェハーやゲート酸化膜等を構成する素材の選択により決定される。一方、チャネルの幅と長さとの比(W/L ratio)を大きくするか、ゲート酸化膜の厚さを薄くすることにより、高いトランスコンダクタンスが実現されることになる。
前記ナノチューブは炭素ナノチューブである。
前記メモリセルは、前記ゲート電極の下部に形成される第1絶縁膜と、前記第2電極のアレイ上に積層される第2絶縁膜と、前記第1絶縁膜と第2絶縁膜との間に介在されて前記ナノチューブのアレイから放出される電荷をトラップする電荷貯蔵膜とより成る。
前記第1および第2絶縁膜はアルミニウムオキサイド膜である。
前記電荷貯蔵膜はシリコン膜またはシリコンナイトライド膜である。
また、前記電荷貯蔵膜はシリコンナノ量子ドット(silicon nano quantum dots)で形成されうる。
前記ナノチューブの長さは前記第2電極幅の5倍〜10倍に形成されることが望ましい。
前記ゲート電極の幅は前記第2電極幅の5倍〜10倍に形成されることが望ましい。
前記メモリセルは30nm程度の厚さを有することが望ましい。
図1に示すように、本発明の第1の実施形態におけるメモリ素子10は、一方向にストライプパターン状に配列されたソース電極(第1電極)11のアレイと、このソース電極11のアレイの上面に積層され複数のナノホールがパターニングされた誘電層12と、この誘電層12のナノホールの内部に、ソース電極11から垂直に成長した炭素ナノチューブ19のアレイと、この炭素ナノチューブ19の先端に側面が接し、炭素ナノチューブ19およびソース電極11の両者に対して直交方向に長手方向が揃うようにストライプパターン状に配列するドレイン電極(第2電極)13のアレイと、このドレイン電極13のアレイの上面に接触して積層されるメモリセル15と、このメモリセル15の上部に積層されるゲート電極17と、を含む。
図4に示すように、電気ポテンシャルの分布が等電位線によって表示され、青色ラインから赤色ラインにいく程、電気ポテンシャルの値が大きいことを示している。また、電場の方向は、電気ポテンシャルに直交する方向となるので、電場は、全てゲート電極17に向いていることが分かる。ところで、炭素ナノチューブ19から放出される電子は初期運動エネルギーが殆どゼロであるため、電子は電場に沿って移動し、最終的にはゲート電極17に到達することになる。なお、電子の分布はゲート電極17とドレイン電極間との電場分布にほぼ一致するものである。
シミュレーションのため設定された炭素ナノチューブ19の放出電流Iと駆動周波数(f=1/(T)とから炭素ナノチューブ19から放出される電子の電荷量Qは数式1のように計算される。
11 ソース電極(第1電極)
12 誘電層
13 ドレイン電極(第2電極)
15、25 メモリセル
15a、25a 第1オキサイド膜(第1絶縁膜)
15b ナイトライド膜
15c、25c 第2オキサイド膜(第2絶縁膜)
17、27 ゲート電極
19 炭素ナノチューブ(ナノチューブ)
25b 電荷貯蔵膜
Claims (10)
- ストライプパターンに形成される第1電極のアレイと、
前記第1電極のアレイ上に積層され、複数のホールが配列された誘電層と、
前記第1電極に一端が接触し、前記誘電層のホールの内部に垂直成長され、電子を放出するナノチューブのアレイと、
前記ナノチューブの他端と接触し、前記第1電極に直交するように前記誘電層上にストライプパターンで形成される第2電極のアレイと、
前記第2電極のアレイ上に位置し、前記ナノチューブのアレイから放出された電子を捕獲するメモリセルと、
前記メモリセルの上部に積層され、前記ナノチューブのアレイの周辺に電場を形成するゲート電極と、を備えることを特徴とするナノチューブを用いたメモリ素子。 - 前記第1電極のアレイはソース電極であり、前記第2電極のアレイはドレイン電極であることを特徴とする請求項1に記載のナノチューブを用いたメモリ素子。
- 前記ナノチューブは炭素ナノチューブであることを特徴とする請求項1に記載のナノチューブを用いたメモリ素子。
- 前記メモリセルは、
前記ゲート電極の下部に形成される第1絶縁膜と、
前記第2電極のアレイ上に積層される第2絶縁膜と、
前記第1絶縁膜と第2絶縁膜との間に介在されて前記ナノチューブのアレイから放出される電荷をトラップする電荷貯蔵膜とから成ることを特徴とする請求項1に記載のナノチューブを用いたメモリ素子。 - 前記第1および第2絶縁膜はアルミニウムオキサイド膜であることを特徴とする請求項4に記載のナノチューブを用いたメモリ素子。
- 前記電荷貯蔵膜はシリコン膜またはシリコンナイトライド膜であることを特徴とする請求項4または請求項5に記載のナノチューブを用いたメモリ素子。
- 前記電荷貯蔵膜はシリコンナノ量子ドットで形成されることを特徴とする請求項4または請求項5に記載のナノチューブを用いたメモリ素子。
- 前記ナノチューブの長さは前記第2電極の幅の5倍〜10倍に形成されることを特徴とする請求項1または請求項3に記載のナノチューブを用いたメモリ素子。
- 前記ゲート電極の幅は前記第2電極の幅の5倍〜10倍に形成されることを特徴とする請求項1に記載のナノチューブを用いたメモリ素子。
- 前記メモリセルは30nm程度の厚さを有することを特徴とする請求項1に記載のナノチューブを用いたメモリ素子。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Families Citing this family (40)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US7109546B2 (en) | 2004-06-29 | 2006-09-19 | International Business Machines Corporation | Horizontal memory gain cells |
US7345296B2 (en) * | 2004-09-16 | 2008-03-18 | Atomate Corporation | Nanotube transistor and rectifying devices |
US7462890B1 (en) * | 2004-09-16 | 2008-12-09 | Atomate Corporation | Nanotube transistor integrated circuit layout |
US20060131555A1 (en) * | 2004-12-22 | 2006-06-22 | Micron Technology, Inc. | Resistance variable devices with controllable channels |
KR100677771B1 (ko) * | 2005-03-31 | 2007-02-02 | 주식회사 하이닉스반도체 | 무촉매층으로 성장시킨 나노튜브를 갖는 캐패시터 및 그의제조 방법 |
US7482653B2 (en) * | 2005-07-20 | 2009-01-27 | Micron Technology, Inc. | Non-volatile memory with carbon nanotubes |
US7352607B2 (en) | 2005-07-26 | 2008-04-01 | International Business Machines Corporation | Non-volatile switching and memory devices using vertical nanotubes |
US7491962B2 (en) | 2005-08-30 | 2009-02-17 | Micron Technology, Inc. | Resistance variable memory device with nanoparticle electrode and method of fabrication |
KR100723412B1 (ko) * | 2005-11-10 | 2007-05-30 | 삼성전자주식회사 | 나노튜브를 이용하는 비휘발성 메모리 소자 |
US7342277B2 (en) * | 2005-11-21 | 2008-03-11 | Intel Corporation | Transistor for non volatile memory devices having a carbon nanotube channel and electrically floating quantum dots in its gate dielectric |
KR100674144B1 (ko) * | 2006-01-05 | 2007-01-29 | 한국과학기술원 | 탄소 나노 튜브를 이용한 상변화 메모리 및 이의 제조 방법 |
US8679630B2 (en) * | 2006-05-17 | 2014-03-25 | Purdue Research Foundation | Vertical carbon nanotube device in nanoporous templates |
KR100745769B1 (ko) * | 2006-09-11 | 2007-08-02 | 삼성전자주식회사 | 나노와이어 전기기계 스위칭 소자 및 그 제조방법, 상기나노와이어 전기기계 소자를 이용한 전기기계 메모리 소자 |
KR100843336B1 (ko) * | 2006-11-30 | 2008-07-03 | 한국과학기술원 | 비휘발성 메모리 소자 및 그 제조 방법 |
US8168495B1 (en) | 2006-12-29 | 2012-05-01 | Etamota Corporation | Carbon nanotube high frequency transistor technology |
US9487877B2 (en) * | 2007-02-01 | 2016-11-08 | Purdue Research Foundation | Contact metallization of carbon nanotubes |
US7851784B2 (en) * | 2007-02-13 | 2010-12-14 | Nano-Electronic And Photonic Devices And Circuits, Llc | Nanotube array electronic devices |
US7728333B2 (en) * | 2007-03-09 | 2010-06-01 | Nano-Electronic And Photonic Devices And Circuits, Llc | Nanotube array ballistic light emitting devices |
WO2009023304A2 (en) * | 2007-05-02 | 2009-02-19 | Atomate Corporation | High density nanotube devices |
US8063430B2 (en) | 2007-10-18 | 2011-11-22 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor devices and methods of manufacturing and operating same |
US20090166610A1 (en) * | 2007-12-31 | 2009-07-02 | April Schricker | Memory cell with planarized carbon nanotube layer and methods of forming the same |
CN101933125A (zh) * | 2007-12-31 | 2010-12-29 | 伊特蒙塔公司 | 边缘接触型垂直碳纳米管晶体管 |
US8440994B2 (en) * | 2008-01-24 | 2013-05-14 | Nano-Electronic And Photonic Devices And Circuits, Llc | Nanotube array electronic and opto-electronic devices |
US8492249B2 (en) * | 2008-01-24 | 2013-07-23 | Nano-Electronic And Photonic Devices And Circuits, Llc | Methods of forming catalytic nanopads |
US8610104B2 (en) * | 2008-01-24 | 2013-12-17 | Nano-Electronic And Photonic Devices And Circuits, Llc | Nanotube array injection lasers |
US8624224B2 (en) * | 2008-01-24 | 2014-01-07 | Nano-Electronic And Photonic Devices And Circuits, Llc | Nanotube array bipolar transistors |
US8610125B2 (en) * | 2008-01-24 | 2013-12-17 | Nano-Electronic And Photonic Devices And Circuits, Llc | Nanotube array light emitting diodes |
US20090194424A1 (en) * | 2008-02-01 | 2009-08-06 | Franklin Aaron D | Contact metallization of carbon nanotubes |
US8487296B2 (en) | 2008-11-26 | 2013-07-16 | New Jersey Institute Of Technology | Graphene deposition and graphenated substrates |
US20110227022A1 (en) * | 2009-01-15 | 2011-09-22 | Cho Hans S | Memristor Having a Nanostructure Forming An Active Region |
US8715981B2 (en) * | 2009-01-27 | 2014-05-06 | Purdue Research Foundation | Electrochemical biosensor |
US8872154B2 (en) * | 2009-04-06 | 2014-10-28 | Purdue Research Foundation | Field effect transistor fabrication from carbon nanotubes |
US8710481B2 (en) * | 2012-01-23 | 2014-04-29 | Sandisk 3D Llc | Non-volatile memory cell containing a nano-rail electrode |
US10903075B2 (en) * | 2018-09-18 | 2021-01-26 | University Of Massachusetts | Ordered nanoscale electric field concentrators for embedded thin film devices |
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Family Cites Families (5)
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---|---|---|---|---|
KR100343210B1 (ko) | 1999-08-11 | 2002-07-10 | 윤종용 | 단일 전자 충전 mnos계 메모리 및 그 구동 방법 |
KR100360476B1 (ko) | 2000-06-27 | 2002-11-08 | 삼성전자 주식회사 | 탄소나노튜브를 이용한 나노 크기 수직 트랜지스터 및 그제조방법 |
DE10032412A1 (de) * | 2000-07-04 | 2002-01-24 | Infineon Technologies Ag | Elektronisches Speicherelement und Verfahren zum Herstellen eines elektronischen Speicherelements |
EP1170799A3 (de) * | 2000-07-04 | 2009-04-01 | Infineon Technologies AG | Elektronisches Bauelement und Verfahren zum Herstellen eines elektronischen Bauelements |
DE10036897C1 (de) * | 2000-07-28 | 2002-01-03 | Infineon Technologies Ag | Feldeffekttransistor, Schaltungsanordnung und Verfahren zum Herstellen eines Feldeffekttransistors |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007158344A (ja) * | 2005-12-02 | 2007-06-21 | Samsung Electronics Co Ltd | 金属層−絶縁層−金属層構造を備えるストレージノード、及び、そのストレージノードを備える不揮発性メモリ素子及びその動作方法 |
Also Published As
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---|---|
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