JP2004307318A - ガラスの切断分離方法、フラットパネルディスプレイ用ガラス基板及びフラットパネルディスプレイ - Google Patents
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Abstract
切断分離に伴うガラスのひび割れを抑制して、高寸法精度のガラス基板を提供すること。
【解決手段】
ガラス表面へのスクライブライン形成後、ケミカル処理を行う。その後、機械的または熱的応力によってガラスを切断分離する。または、スクライブライン形成に変えて、ガラス表面に切断分離パターンに対応したマスキングを施した後、ケミカル処理を行って切断分離パターンに対応した溝を形成することによってガラスを切断分離する。
Description
三宅泰明、スクライブ・ブレーク技術、「月刊FPD Inteligence増刊号 第4世代のLCD製造・検査技術」、株式会社プレスジャーナル、平成12年1月20日発行、p.85−89 山本健、クリーンルーム内での使用を可能にする光配向装置とレーザー応用ガラス分断装置、「月刊FPD Inteligence1999.4」、株式会社プレスジャーナル、p.28−31
(1)ケミカル処理液に母材を浸漬。
(2)ケミカル処理液を母材に吹き付け。
(3)ケミカル処理液蒸気を母材に吹き付け。
(4)ケミカル処理液蒸気中への母材を暴露。
ケミカル処理液:フッ酸5%、塩酸10%、硝酸5%の水溶液。
ケミカル処理液への貼り合わせガラスの浸漬:ケミカル処理液の液面にガラスを垂直にして浸漬。
ケミカル処理液への気泡発生:ケミカル処理液貯留槽底部から気泡を発生(ガラス表面と実質的に平行に気泡が流れた)。
[比較例1]
ケミカル処理を行っていない貼り合わせガラスを切断分離した。ケミカル処理を行っていないこと以外は、実施例1と同様にした。
(1)2個の40mm(L2)×40mm(L3)×8.4mm(L4)のガラス板載置台15を、49mmの間隔(L1)で平行に設置した。
(2)試料ガラス板14を、載置台15に設置した。
(3)ステンレス製加圧冶具16(50mm(L5)×2.0mm(L6)×10mm(L7))を、試料ガラス板の中心線上垂直方向から加圧した。加圧治具の速度は、0.5mm/min.であった。
(4)試料が破壊するまでの最大加圧を測定した。
(5)前記最大加圧が、ガラス基板の強度とした。
3 スクライブライン又は溝
4 加圧治具
5 載置台
6、7 ガラス基板
8 ガラス欠け
9、11 分断面
10、12 スクライブライン
13 クラック
17 貼り合せガラス基板
三宅泰明、スクライブ・ブレーク技術、「月刊FPD Inteligence増刊号 第4世代のLCD製造・検査技術」、株式会社プレスジャーナル、平成12年1月20日発行、p.85−89 山本健、クリーンルーム内での使用を可能にする光配向装置とレーザー応用ガラス分断装置、「月刊FPD Inteligence1999.4」、株式会社プレスジャーナル、p.28−31
(1)ケミカル処理液に母材を浸漬。
(2)ケミカル処理液を母材に吹き付け。
(3)ケミカル処理液蒸気を母材に吹き付け。
(4)ケミカル処理液蒸気中への母材を暴露。
ケミカル処理液:フッ酸5%、塩酸10%、硝酸5%の水溶液。
ケミカル処理液への貼り合わせガラスの浸漬:ケミカル処理液の液面にガラスを垂直にして浸漬。
ケミカル処理液への気泡発生:ケミカル処理液貯留槽底部から気泡を発生(ガラス表面と実質的に平行に気泡が流れた)。
[比較例1]
ケミカル処理を行っていない貼り合わせガラスを切断分離した。ケミカル処理を行っていないこと以外は、実施例1と同様にした。
(1)2個の40mm(L2)×40mm(L3)×8.4mm(L4)のガラス板載置台15を、49mmの間隔(L1)で平行に設置した。
(2)試料ガラス板14を、載置台15に設置した。
(3)ステンレス製加圧冶具16(50mm(L5)×2.0mm(L6)×10mm(L7))を、試料ガラス板の中心線上垂直方向から加圧した。加圧治具の速度は、0.5mm/min.であった。
(4)試料が破壊するまでの最大加圧を測定した。
(5)前記最大加圧が、ガラス基板の強度とした。
3 スクライブライン又は溝
4 加圧治具
5 載置台
6、7 ガラス基板
8 ガラス欠け
9、11 分断面
10、12 スクライブライン
13 クラック
17 貼り合せガラス基板
Claims (15)
- ガラスの表面にスクライブラインを形成した後、ケミカル処理を行うことを特徴とするガラスの切断分離方法。
- ガラス表面に切断分離パターンに対応したマスキングを施した後、ケミカル処理を行って切断分離パターンに対応した溝を前記ガラス表面に形成することを特徴とするガラスの切断分離方法。
- 前記ガラス表面に切断分離パターンに対応したマスキングを施す方法として、スクリーン印刷法、ラミネートフィルム加工法またはレジスト塗布フォトリソ法を用いる請求項2に記載のガラスの切断分離方法。
- 前記ケミカル処理が、ケミカル処理液をガラス表面に接触させることにより行うものである請求項1〜3のいずれかに記載のガラスの切断分離方法。
- 前記ケミカル処理が、ケミカル処理液にガラスを浸漬するものである請求項4に記載のガラスの切断分離方法。
- 前記ケミカル処理が、ケミカル処理液に気泡又は噴流を発生させるものである請求項5に記載のガラスの切断分離方法。
- 前記ケミカル処理は、ケミカル処理液がガラス表面に沿って流動するものである請求項6に記載のガラスの切断分離方法。
- 前記ケミカル処理は、ケミカル処理液をスクライブライン又は溝形成部に流れ込ませるものである請求項6又は7に記載のガラスの切断分離方法。
- 前記ケミカル処理は、ガラス表面にケミカル処理液を吹き付け、ガラス表面にケミカル処理液蒸気を吹き付け、又はガラス表面をケミカル処理液蒸気に暴露するものである請求項4に記載のガラスの切断分離方法。
- 前記ケミカル処理の後、スクライブライン又は溝に機械的又は熱的応力を加えてガラスを切断分離する請求項1〜9のいずれかに記載のガラスの切断分離方法。
- 前記ケミカル処理の後、ガラス表面のスクライブライン又は溝を中心にガラスを引っ張り、ガラスを切断分離する請求項10に記載のガラスの切断分離方法。
- 前記ケミカル処理の後、ガラス表面のスクライブライン又は溝の形成面方向又は当該形成面の対向面方向から圧力を加え、スクライブライン又は溝に機械的応力を加えてガラスを切断分離する請求項10に記載のガラスの切断分離方法。
- 前記ケミカル処理の後、ガラス表面のスクライブライン又は溝の両側にレーザーを照射してガラスを切断分離する請求項10に記載のガラスの切断分離方法。
- 請求項1〜13のいずれかに記載の切断分離方法を使用して製造されたフラットパネルディスプレイ用ガラス基板。
- 請求項14に記載のガラス基板を使用したフラットパネルディスプレイ。
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