JP2004294436A - X線検査システム及びそれを作動させる方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 電子銃(20)とビーム操向手段(24)とを備えるX線源(12)を含むX線検査システム(10)が提供され、該ビーム操向手段(24)は、ビームが陽極(22)に当たって、X線源(12)を出るX線ビームを生成する第1の方向と有効なX線フラックスがX線源(12)から出ない第2の方向とに、銃からの電子ビームを交互に向ける。更に、X線検出器(14)及び該検出器(14)を読取る手段(16)が、設けられる。ビーム操向手段及び検出器(14)読取る手段は、有効なX線フラックスが線源(12)から出ていない周期の間に検出器(14)の出力が読取られるように連係されている。X線検査システム(10)を作動させる方法もまた、提供される。
【選択図】 図1
Description
12 X線源
14 検出器
16 検出器出力読取り手段
18 検査される部品
20 電子銃
22 陽極
24 ビーム操向手段
26 ビームストップ
28 シンチレータ要素
30 光電要素
32 電子ビーム
34 焦点
36 X線ビーム
37 開口部
38 光学フォトン
39 ハウジング
40 制御装置
46 偏向コイル
48 電源
Claims (27)
- 電子ビームを生成する電子銃(20)と、
前記電子ビームが当たるとX線を生成する材料を含む陽極(22)と、
公称フラックスを有するX線ビームを生成するように前記電子ビームが前記陽極(22)に当たる第1の方向と前記X線フラックスが前記公称フラックスと比較して減少する第2の方向とに、前記電子ビームを交互に向ける手段(24)と、
を含むX線源(12)と、
前記X線ビームを受けるように配置されたX線検出器(14)と、
前記検出器(14)の出力を読取る手段(16)と、
前記電子ビームを操向する前記手段(24)と前記検出器(14)を読取る前記手段(16)とを、前記電子ビームが前記第2の方向に向けられている時に前記検出器(14)の前記出力が読取られるように連係させる手段(40)と、
を含むことを特徴とするX線検査システム(10)。 - 前記電子ビームを操向する前記手段(24)と前記検出器(14)を読取る前記手段(16)とを連係させる前記手段(40)が、前記電子ビームを操向する前記手段(24)と前記検出器(14)を読取る前記手段(16)とに接続された制御装置(40)を含むことを特徴とする、請求項1に記載のX線検査システム(10)。
- 前記電子ビームを操向する前記手段(24)が、電源(48)に接続された少なくとも1つの偏向コイル(46)を含むことを特徴とする、請求項1に記載のX線検査システム(10)。
- 前記電子ビームを操向する前記手段(24)が、電源(48)に接続された少なくとも一対の静電偏向プレートを含むことを特徴とする、請求項1に記載のX線検査システム(10)。
- 前記検出器(14)の出力を読取る前記手段(16)が、前記検出器(14)の前記出力を格納するサンプリングデバイスを含むことを特徴とする、請求項1に記載のX線検査システム(10)。
- 前記サンプリングデバイスに接続された、前記検出器(14)の前記出力を表示する手段を更に含むことを特徴とする、請求項5に記載のX線検査システム(10)。
- 電子ビームを生成する電子銃(20)と、
前記電子ビームが当たるとX線を生成する材料を含む陽極(22)と、
公称フラックスを有するX線ビームを生成するように前記電子ビームが前記陽極(22)に当たる第1の方向と前記X線フラックスが前記公称フラックスと比較して減少する第2の方向とに、前記電子ビームを交互に向ける手段(24)と、
を含むX線源(12)を設ける段階と、
X線検出器(14)を設ける段階と、
前記検出器(14)の出力を読取る手段(16)を設ける段階と、
前記第1の方向と前記第2の方向とに前記電子ビームを交互に向ける段階と、
前記電子ビームが前記第2の方向に向けられている間に前記検出器(14)の前記出力を読取る段階と、
を含むことを特徴とする対象を検査する方法。 - 前記検出器(14)の前記出力を分析する段階、処理する段階、及び表示する段階の少なくとも1つを更に含むことを特徴とする、請求項7に記載の対象を検査する方法。
- 共通制御装置(40)が、前記第1の方向と前記第2の方向とに前記電子ビームを交互に向ける前記段階と、前記電子ビームが前記第2の方向に向けられている間に前記検出器(14)の前記出力を読取る前記段階とを制御することを特徴とする、請求項7に記載の対象を検査する方法。
- ハウジング(39)と、
電子ビームを生成する電子銃(20)と、
前記電子ビームが当たるとX線を生成する材料を含む陽極(22)と、
公称フラックスを有するX線ビームを生成するように前記電子ビームが前記陽極(22)に当たる第1の方向と前記X線フラックスが前記公称フラックスと比較して減少する第2の方向とに、前記電子ビームを交互に向ける手段(24)と、
を含むことを特徴とするX線源(12)。 - 前記ビームが前記第2の方向に向けられている間に該電子ビームを受けるためのビームストップ(26)を更に含むことを特徴とする、請求項10に記載のX線源(12)。
- 前記ビームストップ(26)が、前記陽極(22)と間隔を置いた関係で配置された二次ターゲットを含むことを特徴とする、請求項11に記載のX線源(12)。
- 前記ビームストップ(26)が、前記電子ビームに曝される低原子番号の材料を含む第1の層(61)と、前記第1の層に隣接して配置された高密度材料の層(63)とを含むことを特徴とする、請求項12に記載のX線源(12)。
- 前記第1の層(61)が、黒鉛を含むことを特徴とする、請求項13に記載のX線源(12)。
- 前記ビームストップ(26)を冷却する手段(62)を更に含むことを特徴とする、請求項13に記載のX線源(12)。
- 前記電子ビームが、該電子ビームが前記第2の方向に向けられている時に、選択された焦点から間隔を置いた位置において前記陽極(22)に当たることを特徴とする、請求項10に記載のX線源(12)。
- 前記電子ビームを向ける前記手段(24)が、少なくとも1つの電磁場を生成する手段(46)を含むことを特徴とする、請求項10に記載のX線源(12)。
- 前記少なくとも1つの電磁場が、少なくとも1つの偏向コイル(46)により生成されることを特徴とする、請求項17に記載のX線源(12)。
- 前記少なくとも1つの偏向コイル(46)が、前記ハウジング(39)の外側に配置されることを特徴とする、請求項18に記載のX線源(12)。
- 前記電子ビームを向ける前記手段(24)が、少なくとも1つの静電場を生成する手段を含むことを特徴とする、請求項10に記載のX線源(12)。
- 前記少なくとも1つの静電場が、少なくとも一対の偏向プレートにより生成されることを特徴とする、請求項20に記載のX線源(12)。
- 前記偏向プレートが、前記ハウジング(39)の外側に配置されることを特徴とする、請求項21に記載のX線源(12)。
- 前記陽極(22)が、第1の角度で配置された第1の表面と、第2の角度で配置された第2の表面とを含み、前記第1及び第2の表面は、交わって、断面で「V字」形を形成することを特徴とする、請求項10に記載のX線源(12)。
- 前記ハウジング(39)の内面上に配置された低原子番号の材料のライニングを更に含むことを特徴とする、請求項10に記載のX線源(12)。
- 前記ライニングが、黒鉛を含むことを特徴とする、請求項24に記載のX線源(12)。
- 電子ビームを生成する電子銃(20)と、
前記電子のビームが当たるとX線を生成する材料を含む陽極(22)と、
前記陽極(22)と前記電子ビームとの間に選択的に相対運動を生じさせる手段(24)と、を含み、
第1の相対位置において、前記電子ビームが前記陽極(22)に当たって公称フラックスを有するX線ビームを生成し、第2の相対位置において、前記X線フラックスが前記公称フラックスと比較して減少する、
ことを特徴とするX線源(12)。 - 前記第1の相対位置に対応する第1の位置と前記第2の相対位置に対応する第2の位置との間で前記陽極(22)を移動させる手段を更に含むことを特徴とする、請求項26に記載のX線源(12)。
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