JP2004294436A5

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Publication number: JP2004294436A5
Application number: JP2004088223A
Authority: JP
Filing date: 2004-03-25
Publication date: 2007-05-10
Anticipated expiration: 2024-03-25

Claims

ハウジング（３９）と、
電子ビームを生成する電子銃（２０）と、
前記電子ビームが当たるとＸ線を生成する材料を含む陽極（２２）と、
公称フラックスを有するＸ線ビームを生成するように前記電子ビームが前記陽極（２２）に当たる第１の方向と前記Ｘ線フラックスが前記公称フラックスと比較して減少する第２の方向とに、前記電子ビームを交互に向ける手段（２４）と、
を含むことを特徴とするＸ線源（１２）。
前記ビームが前記第２の方向に向けられている間に該電子ビームを受けるためのビームストップ（２６）を更に含むことを特徴とする、請求項１に記載のＸ線源（１２）。
前記電子ビームが、該電子ビームが前記第２の方向に向けられている時に、選択された焦点から間隔を置いた位置において前記陽極（２２）に当たることを特徴とする、請求項１に記載のＸ線源（１２）。
前記電子ビームを向ける前記手段（２４）が、少なくとも１つの電磁場を生成する手段（４６）を含むことを特徴とする、請求項１に記載のＸ線源（１２）。
電子ビームを生成する電子銃（２０）と、
前記電子のビームが当たるとＸ線を生成する材料を含む陽極（２２）と、
前記陽極（２２）と前記電子ビームとの間に選択的に相対運動を生じさせる手段（２４）と、を含み、
第１の相対位置において、前記電子ビームが前記陽極（２２）に当たって公称フラックスを有するＸ線ビームを生成し、第２の相対位置において、前記Ｘ線フラックスが前記公称フラックスと比較して減少する、
ことを特徴とするＸ線源（１２）。
電子ビームを生成する電子銃（２０）と、前記電子ビームが当たるとＸ線を生成する材料を含む陽極（２２）と、公称フラックスを有するＸ線ビームを生成するように前記電子ビームが前記陽極（２２）に当たる第１の方向と前記Ｘ線フラックスが前記公称フラックスと比較して減少する第２の方向とに、前記電子ビームを交互に向ける手段（２４）と、を含むＸ線源（１２）と、
前記Ｘ線ビームを受けるように配置されたＸ線検出器（１４）と、
前記検出器（１４）の出力を読取る手段（１６）と、
前記電子ビームを操向する前記手段（２４）と前記検出器（１４）を読取る前記手段（１６）とを、前記電子ビームが前記第２の方向に向けられている時に前記検出器（１４）の前記出力が読取られるように連係させる手段（４０）と、
を含むことを特徴とするＸ線検査システム（１０）。
前記電子ビームを操向する前記手段（２４）と前記検出器（１４）を読取る前記手段（１６）とを連係させる前記手段（４０）が、前記電子ビームを操向する前記手段（２４）と前記検出器（１４）を読取る前記手段（１６）とに接続された制御装置（４０）を含むことを特徴とする、請求項６に記載のＸ線検査システム（１０）。
前記電子ビームを操向する前記手段（２４）が、電源（４８）に接続された少なくとも１つの偏向コイル（４６）を含むことを特徴とする、請求項６に記載のＸ線検査システム（１０）。
前記電子ビームを操向する前記手段（２４）が、電源（４８）に接続された少なくとも一対の静電偏向プレートを含むことを特徴とする、請求項６に記載のＸ線検査システム（１０）。
電子ビームを生成する電子銃（２０）と、前記電子ビームが当たるとＸ線を生成する材料を含む陽極（２２）と、公称フラックスを有するＸ線ビームを生成するように前記電子ビームが前記陽極（２２）に当たる第１の方向と前記Ｘ線フラックスが前記公称フラックスと比較して減少する第２の方向とに、前記電子ビームを交互に向ける手段（２４）と、を含むＸ線源（１２）を設ける段階と、
Ｘ線検出器（１４）を設ける段階と、
前記検出器（１４）の出力を読取る手段（１６）を設ける段階と、
前記第１の方向と前記第２の方向とに前記電子ビームを交互に向ける段階と、
前記電子ビームが前記第２の方向に向けられている間に前記検出器（１４）の前記出力を読取る段階と、
を含むことを特徴とする対象を検査する方法。