JP2004294321A - 走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】試料表面に探針を近接または接触させて走査し、試料表面を観察する走査型プローブ顕微鏡において、主走査信号Sxおよび副走査信号Syを発生する走査信号発生部78と、主走査の主走査方向に関する位置を補正する主走査位置補正信号Scを発生する主走査位置補正部61と、主走査信号Sxに補正信号Scを重畳して補正後主走査信号Sxcを生成する加算回路74と、補正後主走査信号Sxcおよび副走査信号Syに応答して、探針54を試料表面に対して主走査および副走査させるアクチュエータ駆動増幅器70とを含む。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、走査型原子間力顕微鏡(AFM:Atomic Force Microscope)に代表される走査型プローブ顕微鏡に係り、特に、主走査の位置精度を向上させることにより、正確な走査像あるいは観察データを得られるようにした走査型プローブ顕微鏡に関する。
【0002】
【従来の技術】
AFM等の走査型プローブ顕微鏡では、試料表面とプローブとの間の相互作用を利用して試料表面の微細な組織や構造を検出するために、片持ち梁の先端に探針を装着したカンチレバーがプローブとして使用される。このようなカンチレバーを用いると、探針を試料表面で走査すれば試料表面と探針との間に原子間力に基づく引力または斥力が発生する。したがって、この原子間力をカンチレバーの歪量として検出し、この歪量が一定となるように、すなわち試料表面と探針との間隙が一定となるように試料ステージをZ軸方向へ微動させれば、その際の微動信号、あるいは検出された歪量そのものが、試料の表面形状、材質あるいはその他の特性を代表するようになる。
【0003】
図10は、従来の走査型プローブ顕微鏡の信号処理系統の構成を示したブロック図である。
【0004】
3次元試料ステージ55上には観察対象の試料52が載置されている。試料52の上方には、カンチレバー53の自由端に取り付けられた探針54が対向して配置されている。カンチレバー53の歪量は検知部50で検知され、試料表面と探針54との間隙を代表する歪信号S1として比較器75の非反転入力端子(+)に入力される。比較器75の反転入力端子(−)には、カンチレバー53の歪量に関する目標値信号が目標値設定部79から入力される。
【0005】
比較器75から出力される誤差信号S2は比例積分(PI)制御部76に入力され、誤差信号S2およびその積分値を合成した信号が、走査像信号を兼ねたアクチュエータ駆動信号S3としてアクチュエータ駆動増幅器70およびフィルタ80に入力される。走査信号発生部78は、探針54を試料52に対してXY方向へ走査させるための主走査信号Sx、副走査信号Syをアクチュエータ駆動増幅器70へ供給する。前記検知部50、比較器75、PI制御部76、およびアクチュエータ駆動増幅器70はフィードバック回路を構成している。
【0006】
フィルタ80の出力信号は走査像信号として、増幅器81を介してA/D変換器82へ供給され、ここでデジタル信号(画像データ)に変換されて画像メモリ83に記憶される。画像形成部65は、同期信号発生器85から出力されるクロック信号に同期して、アドレス信号およびリード信号を画像メモリ83へ出力する。当該アドレス信号およびリード信号に応答して画像メモリ83から出力された画像データは、画像形成部65において、前記同期信号発生器85から供給される水平および垂直同期信号に応答してアナログ信号に変換され、カラーモニタ63へ出力される。
【0007】
なお、この種のAFM装置に関しては、社団法人「日本設計工学会」発行の学会誌『設計工学』(Vol.37、No10:2002年10月)の第495〜499頁(非特許文献1)において、「AFMの現状と広範囲観察AFM装置」と題して論じられている。
【0008】
【非特許文献1】
『設計工学』(Vol.37、No10:2002年10月)第495〜499頁
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
図11、12は、探針54の走査範囲と走査軌跡を模式的に表現した図であり、探針54は、理想的には図11に示したように、矩形の走査範囲内をY方向への主走査を繰り返しながらX方向へ徐々に副走査される。しかしながら、実際には試料ステージ55の駆動精度や組み付け精度等の影響により、主走査の開始点および終了点に微妙なズレが生じる。そして、図12に示したように、主走査位置(始点および終点)に位置ズレが生じると、走査範囲が略平行四辺形となってしまうことがある。
【0010】
画像処理系統では、探針54の主および副走査位置と表示部63の主および副走査位置とを対応させている。このために、上記したように走査範囲が平行四辺形になると、図12に示したような四角形の観察対象10が、表示部63上に走査像として表示される際には、図8に示したように菱形に変形してしまい、正確な走査像が得られないという技術課題があった。
【0011】
本発明の目的は、上記した従来技術の課題を解決し、主走査の位置精度を向上させて正確な走査像や観察データを得られるようにした走査型プローブ顕微鏡を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上記した目的を達成するために、本発明は、試料表面に探針を近接または接触させて走査し、試料の表面形状あるいは物理量を計測する走査型プローブ顕微鏡において、主走査信号および副走査信号を発生する走査信号発生手段と、主走査の主走査方向に関する位置を補正する主走査位置補正信号を発生する手段と、前記主走査信号に主走査位置補正信号を重畳して補正後主走査信号を生成する手段と、前記補正後主走査信号および副走査信号に応答して、探針を試料表面で主走査および副走査させる手段とを含むことを特徴とする。
【0013】
上記した特徴によれば、主走査の主走査方向に関する位置を補正できるので、主走査の主走査方向に関する位置ズレがキャンセルされるように主走査位置補正信号を設定すれば、主走査の主走査方向に関する位置が常に一定になる。この結果、試料表面の所定の走査範囲内を正確に走査できるようになり、正確な走査像あるいは観察データを得られるようになる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態について詳細に説明する。図1は、本発明に係る走査型プローブ顕微鏡の第1実施形態の信号処理系統の構成を示したブロック図であり、前記と同一の符号は同一または同等部分を表している。
【0015】
3次元試料ステージ55上には観察対象の試料52が載置されている。試料52の上方には、カンチレバー53の自由端に取り付けられた探針54が対向して配置されている。カンチレバー53の歪量は検知部50で検知され、試料表面と探針54との間隙を代表する歪信号S1 として比較器75の非反転入力端子(+)に入力される。比較器75の反転入力端子(−)には、カンチレバー53の歪量に関する目標値信号が目標値設定部79から入力される。
【0016】
比較器75から出力される誤差信号S2 は比例積分(PI)制御部76に入力され、誤差信号S2 およびその積分値を合成した信号が、走査像信号を兼ねたアクチュエータ駆動信号S3 としてアクチュエータ駆動増幅器70およびフィルタ80に入力される。
【0017】
D/A変換器77は、主制御部60の主走査位置補正部61から出力されるデジタルの主走査位置補正信号S4をアナログの主走査位置補正信号Scに変換する。主走査位置補正部61による補正量は、入力操作部62からオペレータにより手動で入力される。
【0018】
走査信号発生部78は、探針54を試料表面でX方向へ主走査させるための主走査信号Sx、およびY方向へ副走査させるための副走査信号Syを出力する。図2、3は、それぞれ前記主走査信号Sxおよび副走査信号Syの波形図である。前記主走査信号Sxは、加算回路74において主走査位置補正信号Scと重畳され、補正後主走査信号Sxcとしてアクチュエータ駆動増幅器70へ供給される。副走査信号Syは、そのままアクチュエータ駆動増幅器70へ供給される。
【0019】
前記アクチュエータ駆動増幅器70は、前記補正後主走査信号Sxcおよび副走査信号Syに応答して探針54が試料表面で主走査および副走査されるように、3次元試料ステージ55を駆動する。前記検知部50、比較器75、PI制御部76、およびアクチュエータ駆動増幅器70はフィードバック回路を構成している。
【0020】
このような構成において、前記主制御部60の主走査位置補正部61から出力される主走査位置補正信号Sc(S4)は、主走査位置の主走査方向へのズレを補正するするためのオフセット信号であり、図4に示したように、副走査位置が進行するに連れて漸増(または漸減)する。したがって、加算回路74から出力される補正後主走査信号Sxcは、図5に示したように、主走査位置が副走査方向へ進むに連れて始点および終点の位置が主走査方向(X方向)へシフトされる。このため、主走査信号のズレ量に合わせて、その補正量(シフト量)を調整すれば、主走査位置を正規の位置へ戻すことができる。
【0021】
このように、本実施形態によれば、主走査の主走査方向に関する位置を補正できるので、主走査の主走査方向に関する位置ズレがキャンセルされるように補正信号を設定することにより、主走査の主走査方向に関する位置が常に一定になる。この結果、試料表面の所定の走査範囲内を正確に走査できるようになり、正確な走査像あるいは観察データを得られるようになる。
【0022】
図6は、本発明に係る走査型プローブ顕微鏡の第2実施形態の信号処理系統の構成を示したブロック図であり、前記と同一の符号は同一または同等部分を表している。
【0023】
本実施形態では、前記D/A変換器77の代わりに、副走査信号Syを減衰して主走査位置補正信号Scを生成し、これを加算回路74において主走査信号Sxに重畳する減衰器72を設けると共に、前記主走査位置補正部61が、前記主走査位置補正信号S4に代えて、前記入力操作62から入力される操作信号に応答して、減衰率指示信号S5を出力するようにした点に特徴がある。
【0024】
すなわち、上記した第1実施形態では、主制御部60の主走査位置補正部61から出力される主走査位置補正信号Sc(S4)を主走査信号Sxに加算することで主走査の主走査方向に関する位置を補正したが、主走査位置補正信号Scは、前記図4に示したように、主走査位置が副走査方向(Y方向)へ進むに連れて漸増(または漸減)する信号であって、図3の副走査信号Syを変倍した波形に略等しい。そこで、本実施形態では主走査位置補正信号Scを独自に生成する代わりに、副走査信号Syを減衰器72で減衰させることによって主走査位置補正信号Scを生成するようにした。
【0025】
本実施形態によれば、副走査信号Syを減衰させるだけで主走査位置補正信号Scを生成できるので、第1実施形態に較べて構成が簡単になる。
【0026】
図7は、本発明に係る走査型プローブ顕微鏡の第3実施形態の信号処理系統の構成を示したブロック図であり、前記と同一の符号は同一または同等部分を表している。
【0027】
上記した第1実施形態では、主走査位置の補正量をオペレータが入力操作部62から入力し、第2実施形態でも、副走査信号Syに対する減衰率をオペレータが入力操作部62から入力するものとして説明した。しかしながら、次に説明する第3実施形態では、始めにプレスキャンを行って主走査位置のズレ量を検出し、その補正量を自動的に求めることで、主走査位置が自動的に補正されるようにしている。
【0028】
図8は、本実施形態による自動補正方法を模式的に表現した図であり、始めに、レファレンスサンプルとして、主走査方向と垂直な基準線Lrefを備えたサンプルを試料ステージ52に載置し、次いで、主制御部60のプレスキャン部63により、副走査位置の異なる少なくとも2箇所で主走査(Lx1、Lx2)を行う。
【0029】
このとき、A/D変換器82からは、図9に示したように、走査位置ごとにラインプロファイルSref1,Sref2が得られる。主制御部60の補正量検出部62は、各ラインプロファイルSref1,Sref2における前記基準線Lrefの検出位置の差分ΔXと、主走査位置Lx1、Lx2の差分ΔYとに基づいて主走査位置のズレ量を検出すると共にその補正量を求め、これを主走査位置補正部61に登録する。これ以後は、前記第1実施形態と同様の手順で主走査位置が補正される。
【0030】
なお、上記した説明では第1実施形態への適用例を説明したが、検出された補正量で減衰率を制御するようにすれば、第2実施形態にも同様に適用できる。
【0031】
本実施形態によれば、主走査位置の主走査方向へのズレを、オペレータの手を煩わせることなく自動的に補正できるようになる。
【0032】
【発明の効果】
本発明によれば、以下のような効果が達成される。
(1)本発明によれば、主走査の主走査方向に関する位置を補正できるので、主走査の主走査方向に関する位置ズレがキャンセルされるように主走査位置補正信号を設定することにより、主走査の主走査方向に関する位置が常に一定になる。この結果、試料表面の所定の走査範囲内を正確に走査できるようになり、正確な走査像あるいは観察データを得られるようになる。
(2)副走査信号を減衰させて主走査位置補正信号を生成すれば、簡単な構成で主走査位置のズレを補正できるようになる。
(3)始めにプレスキャンを行って主走査位置のズレ量を求め、このズレ量に基づいて補正量を求めるようにすれば、主走査位置のズレを自動的に補正できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る走査型プローブ顕微鏡の第1実施形態の信号処理系統の構成を示したブロック図である。
【図2】主走査信号Sxの波形図の一例を示した図である。
【図3】副走査信号Syの波形図の一例を示した図である。
【図4】主走査位置補正信号Scの波形図の一例を示した図である。
【図5】補正後主走査信号Sxcの波形図の一例を示した図である。
【図6】本発明に係る走査型プローブ顕微鏡の第2実施形態の信号処理系統の構成を示したブロック図である。
【図7】本発明に係る走査型プローブ顕微鏡の第3実施形態の信号処理系統の構成を示したブロック図である。
【図8】第3実施形態の補正量検出方法を模式的に表現した図(その1)である。
【図9】第3実施形態の補正量検出方法を模式的に表現した図(その2)である。
【図10】従来の走査型プローブ顕微鏡の信号処理系統の構成を示したブロック図である。
【図11】従来技術の問題点を説明するための図(その1)である。
【図12】従来技術の問題点を説明するための図(その2)である。
【図13】従来技術の問題点を説明するための図(その3)である。
【図14】従来技術の問題点を説明するための図(その4)である。
【符号の説明】
52…試料
53…カンチレバー
54…探針
55…3次元試料ステージ
70…アクチュエータ駆動増幅器
74…差動増幅器
76…比例積分(PI)制御部
Claims (5)
- 試料表面に探針を近接または接触させて走査し、試料の表面形状あるいは物理量を計測する走査型プローブ顕微鏡において、
主走査信号および副走査信号を発生する走査信号発生手段と、
主走査の主走査方向に関する位置を補正する主走査位置補正信号を発生する手段と、
前記主走査信号に主走査位置補正信号を重畳して補正後主走査信号を生成する手段と、
前記補正後主走査信号および副走査信号に応答して、探針を試料表面で主走査および副走査させる手段とを含むことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。 - 前記主走査位置補正信号のレベルが、副走査位置の関数であることを特徴とする請求項1に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記主走査位置補正信号のレベルが、副走査位置の進行に応じて漸増または漸減することを特徴とする請求項1または2に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記主走査位置補正信号を発生する手段は、副走査信号を所定の減衰率で減衰して前記主走査位置補正信号を生成することを特徴とする請求項1または2に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 副走査方向に関して異なる少なくとも2箇所で主走査を行うプレスキャン手段と、
前記プレスキャンで得られた複数のラインプロファイルに基づいて、主走査位置の補正量を検出する手段とを更に含み、
前記主走査位置補正信号を発生する手段は、前記補正量に応じた主走査位置補正信号を発生することを特徴とする請求項1に記載の走査型プローブ顕微鏡。
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