JP2000311644A - 走査型顕微鏡 - Google Patents
走査型顕微鏡Info
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 走査型顕微鏡において、回路段数を低減し、
低ノイズで、信号の遅れによる像歪みが小さく、さらに
コスト低減可能な走査偏向系を得る。 【解決手段】 走査型顕微鏡のプローブ走査制御に４象
限乗算ＤＡＣを用い、これに回転角設定・補正だけでな
く直交補正、縦横比補正、連動比設定を行わせることに
より、任意の加速電圧やＷＤに対応する像の補正を容易
に行えるようにし、補正のための回路段数を減らすこと
でノイズ、コストを低減した走査型顕微鏡。
低ノイズで、信号の遅れによる像歪みが小さく、さらに
コスト低減可能な走査偏向系を得る。 【解決手段】 走査型顕微鏡のプローブ走査制御に４象
限乗算ＤＡＣを用い、これに回転角設定・補正だけでな
く直交補正、縦横比補正、連動比設定を行わせることに
より、任意の加速電圧やＷＤに対応する像の補正を容易
に行えるようにし、補正のための回路段数を減らすこと
でノイズ、コストを低減した走査型顕微鏡。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は電子ビームやイオン
ビーム等の１次荷電粒子線を試料表面に走査して生ずる
２次電子線、イオン線等を検出して画像を表示する走査
型荷電粒子線装置あるいは、プローブを試料表面に走査
して画像を表示する走査型プローブ顕微鏡に関する。
ビーム等の１次荷電粒子線を試料表面に走査して生ずる
２次電子線、イオン線等を検出して画像を表示する走査
型荷電粒子線装置あるいは、プローブを試料表面に走査
して画像を表示する走査型プローブ顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の走査型電子顕微鏡走査制御回路の
一例を図４に示す。これは図７に示すような二段方式走
査型電子顕微鏡に用いられる制御回路の例である。図７
に示すような二段方式走査型電子顕微鏡においては、上
方から下方に向かう電子ビーム７１はまず上段走査コイ
ル７２により発生する前面から背面に向かう磁束Ｂによ
り曲げられ、次に下段走査コイル７３により発生する背
面から前面に向かう磁束Ｂにより反対方向に曲げられ電
子ビーム軸が対物レンズの中心を通るようにして、対物
レンズ７4にて集束され、試料に照射される。各走査コ
イルにおいて、走査コイルはＸ方向走査用と、Ｙ方向走
査用とがある。走査コイルを電子源側から見た場合の走
査コイルの模式図を図５に示す。走査コイルには鞍型コ
イルが用いられることが多いが、簡単のため、矩形コイ
ルを図示してある。Ｘ方向走査コイル、Ｙ方向走査コイ
ルに流す電流を変えることにより、電子ビームの走査状
態が変わる。Ｘ方向、Ｙ方向各走査コイルにて作られる
電子源側から見た形状が電子ビーム軸がその中心を通る
正方形であり、又このＸ方向、Ｙ方向が表示画面上のＸ
方向、Ｙ方向と一致していることが望ましいが、実際は
例えば図５に示されるように、いびつになっている。こ
の様な場合、画面に映し出されるＳＥＭ像も像歪や回転
が生じてしまう。また、ＷＤが可変である場合等対物レ
ンズ磁場強度に応じて回転角を補正する必要がある場合
もある。さらに上段と下段の走査コイルに流れる電流の
比すなわち連動比が適切でないと、電子ビームが対物レ
ンズの中心を通らないため、像歪みを生ずる。そこで、
回転角補正をしたり、像歪をなくすために各種補正回路
が設けられる。それらの補正回路は、図４においては、
回転角設定回路４５、直交補正回路４６、連動比設定回
路４７、縦横比補正回路４８等である。走査信号発生器
から発した、掃引信号Ｘo（ｔ）、Ｙo（ｔ）は各々加速
電圧連動回路、ＷＤ連動回路、倍率設定回路により適当
な大きさの信号に設定され、回転角設定回路の４象限乗
算ＤＡＣにてＸ、Ｙ信号が結合され回転角が設定され
る。乗算ＤＡＣについての説明図を図６に示す。乗算Ｄ
ＡＣ６１はアナログ入力端子とデジタル入力端子を持
ち、アナログ入力電圧にデジタル値を掛け合わせアナロ
グ出力電圧として出力する。４象限乗算ＤＡＣは、正負
のアナログ入力電圧と正負のデジタルデータを乗算し、
適正な符号、大きさのアナログ出力電圧を得ることがで
きる。従って４象限乗算ＤＡＣにより任意の回転角が設
定できる。図８において４象限乗算ＤＡＣを用いてθ度
回転させる場合の回転角設定回路について説明する。入
力Ｘ0′、Ｙ0′に対してθ度回転させる場合は図８
（ｃ）に表される行列式を用いればよい。これを計算す
ると、出力Ｘ，Ｙは図８（ｂ）のように表せる。よっ
て、図８（ａ）に示される４象限乗算ＤＡＣ８１、８
２、８３、８４に対し、デジタル入力として順にｃｏｓ
θ、ｓｉｎθ、−ｓｉｎθ、ｃｏｓθの値を与えてやれ
ばよい。この回転角設定回路は、磁場型対物レンズによ
る像の回転を補正するためにも用いられる。回転角設定
回路より出た信号は上下２段のコイルに分離される。次
に適当な大きさのＸ信号をＹ信号に付加すること等によ
り、Ｘ、Ｙの直交補正をおこなう。次に電子線を対物レ
ンズの中心付近に通過させて像歪みが最小になる様に、
連動比設定回路により上下のコイル電流の比を設定す
る。さらに縦横比補正回路により、像の縦横の長さを同
じにする。この様に各設定や、補正回路を機能ごとに個
別に設け、直列に接続して、走査信号を入力し、各走査
偏向コイルに所定の電流を供給していた。
一例を図４に示す。これは図７に示すような二段方式走
査型電子顕微鏡に用いられる制御回路の例である。図７
に示すような二段方式走査型電子顕微鏡においては、上
方から下方に向かう電子ビーム７１はまず上段走査コイ
ル７２により発生する前面から背面に向かう磁束Ｂによ
り曲げられ、次に下段走査コイル７３により発生する背
面から前面に向かう磁束Ｂにより反対方向に曲げられ電
子ビーム軸が対物レンズの中心を通るようにして、対物
レンズ７4にて集束され、試料に照射される。各走査コ
イルにおいて、走査コイルはＸ方向走査用と、Ｙ方向走
査用とがある。走査コイルを電子源側から見た場合の走
査コイルの模式図を図５に示す。走査コイルには鞍型コ
イルが用いられることが多いが、簡単のため、矩形コイ
ルを図示してある。Ｘ方向走査コイル、Ｙ方向走査コイ
ルに流す電流を変えることにより、電子ビームの走査状
態が変わる。Ｘ方向、Ｙ方向各走査コイルにて作られる
電子源側から見た形状が電子ビーム軸がその中心を通る
正方形であり、又このＸ方向、Ｙ方向が表示画面上のＸ
方向、Ｙ方向と一致していることが望ましいが、実際は
例えば図５に示されるように、いびつになっている。こ
の様な場合、画面に映し出されるＳＥＭ像も像歪や回転
が生じてしまう。また、ＷＤが可変である場合等対物レ
ンズ磁場強度に応じて回転角を補正する必要がある場合
もある。さらに上段と下段の走査コイルに流れる電流の
比すなわち連動比が適切でないと、電子ビームが対物レ
ンズの中心を通らないため、像歪みを生ずる。そこで、
回転角補正をしたり、像歪をなくすために各種補正回路
が設けられる。それらの補正回路は、図４においては、
回転角設定回路４５、直交補正回路４６、連動比設定回
路４７、縦横比補正回路４８等である。走査信号発生器
から発した、掃引信号Ｘo（ｔ）、Ｙo（ｔ）は各々加速
電圧連動回路、ＷＤ連動回路、倍率設定回路により適当
な大きさの信号に設定され、回転角設定回路の４象限乗
算ＤＡＣにてＸ、Ｙ信号が結合され回転角が設定され
る。乗算ＤＡＣについての説明図を図６に示す。乗算Ｄ
ＡＣ６１はアナログ入力端子とデジタル入力端子を持
ち、アナログ入力電圧にデジタル値を掛け合わせアナロ
グ出力電圧として出力する。４象限乗算ＤＡＣは、正負
のアナログ入力電圧と正負のデジタルデータを乗算し、
適正な符号、大きさのアナログ出力電圧を得ることがで
きる。従って４象限乗算ＤＡＣにより任意の回転角が設
定できる。図８において４象限乗算ＤＡＣを用いてθ度
回転させる場合の回転角設定回路について説明する。入
力Ｘ0′、Ｙ0′に対してθ度回転させる場合は図８
（ｃ）に表される行列式を用いればよい。これを計算す
ると、出力Ｘ，Ｙは図８（ｂ）のように表せる。よっ
て、図８（ａ）に示される４象限乗算ＤＡＣ８１、８
２、８３、８４に対し、デジタル入力として順にｃｏｓ
θ、ｓｉｎθ、−ｓｉｎθ、ｃｏｓθの値を与えてやれ
ばよい。この回転角設定回路は、磁場型対物レンズによ
る像の回転を補正するためにも用いられる。回転角設定
回路より出た信号は上下２段のコイルに分離される。次
に適当な大きさのＸ信号をＹ信号に付加すること等によ
り、Ｘ、Ｙの直交補正をおこなう。次に電子線を対物レ
ンズの中心付近に通過させて像歪みが最小になる様に、
連動比設定回路により上下のコイル電流の比を設定す
る。さらに縦横比補正回路により、像の縦横の長さを同
じにする。この様に各設定や、補正回路を機能ごとに個
別に設け、直列に接続して、走査信号を入力し、各走査
偏向コイルに所定の電流を供給していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この図４で示した従来
の回路例では、各回路の機能が単一化されており理解し
やすいが、加速電圧や、ＷＤ（対物レンズ頂面と試料と
の距離）の変化に伴い、像の直交度、歪み、縦横比が変
化する場合、単純なアナログ回路でこれらの補正を行う
ことは困難である。また回路の段数が多くなるため、像
ノイズや高速で走査した時の信号の遅れによる像歪みが
大きくなりやすい。またコストの点でも不利である。
の回路例では、各回路の機能が単一化されており理解し
やすいが、加速電圧や、ＷＤ（対物レンズ頂面と試料と
の距離）の変化に伴い、像の直交度、歪み、縦横比が変
化する場合、単純なアナログ回路でこれらの補正を行う
ことは困難である。また回路の段数が多くなるため、像
ノイズや高速で走査した時の信号の遅れによる像歪みが
大きくなりやすい。またコストの点でも不利である。
【０００４】この発明の目的は、走査型電子顕微鏡や、
走査型イオン顕微鏡の様に、直交するＸ、Ｙ方向に一次
ビームを試料上に走査して、試料から発生する二次電子
線等を検出し像表示する装置に於いて、４象限乗算ＤＡ
Ｃに回転角補正、直交補正、縦横比補正のデータ設定す
ることで、像の回転補正のみならず、直交補正、縦横比
補正等を行うことにより、複数の加速電圧やＷＤに応じ
て、像の直交度、歪み、縦横比を精密かつ容易に補正可
能な走査偏向系を得ることである。また回路段数を低減
し、低ノイズで、信号の遅れによる像歪みが小さく、コ
スト低減可能な走査偏向系を得ることである。
走査型イオン顕微鏡の様に、直交するＸ、Ｙ方向に一次
ビームを試料上に走査して、試料から発生する二次電子
線等を検出し像表示する装置に於いて、４象限乗算ＤＡ
Ｃに回転角補正、直交補正、縦横比補正のデータ設定す
ることで、像の回転補正のみならず、直交補正、縦横比
補正等を行うことにより、複数の加速電圧やＷＤに応じ
て、像の直交度、歪み、縦横比を精密かつ容易に補正可
能な走査偏向系を得ることである。また回路段数を低減
し、低ノイズで、信号の遅れによる像歪みが小さく、コ
スト低減可能な走査偏向系を得ることである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】１）走査信号発生器から
出力されたＸ信号を複数の４象限乗算ＤＡＣ；ＤＸＸ及
びＤＸＹ に入力し、Ｙ信号をＤＹＸ及びＤＹＹに入力
して回 転角設定・補正を行う様にした走 査型顕微
鏡に於いて、回転角設定・補正とともに、それ以外の補
正に関する計算結果を該乗算ＤＡＣに入力し、これらの
補正を該乗算ＤＡＣにより行うようにする。
出力されたＸ信号を複数の４象限乗算ＤＡＣ；ＤＸＸ及
びＤＸＹ に入力し、Ｙ信号をＤＹＸ及びＤＹＹに入力
して回 転角設定・補正を行う様にした走 査型顕微
鏡に於いて、回転角設定・補正とともに、それ以外の補
正に関する計算結果を該乗算ＤＡＣに入力し、これらの
補正を該乗算ＤＡＣにより行うようにする。
【０００６】２）走査信号発生器から出力されたＸ信号
を複数の４象限乗算ＤＡＣ；ＤＸＸ及びＤＸＹ に入力
し、Ｙ信号をＤＹＸ及びＤＹＹに入力して回 転角設
定・補正を行う様にした、連動制御される２段の走査偏
向系を有する 走査型顕微鏡に於いて、１段目の走査
系を制御する４象限乗算ＤＡＣ；ＤＸ−１Ｘ、ＤＸ−１
Ｙ、ＤＹ−１Ｘ、ＤＹ−１Ｙと２段目の走査系を制
御する４ 象限乗算ＤＡＣ；ＤＸ−２Ｘ、ＤＸ−２
Ｙ、ＤＹ−２Ｘ、Ｄ Ｙ−２Ｙを設け、回転角設定・
補正と、それ以外の補正・設定に関する計 算結果を
該乗算ＤＡＣに入力し、これらの補正を該乗算ＤＡＣに
より行うよ うにする。
を複数の４象限乗算ＤＡＣ；ＤＸＸ及びＤＸＹ に入力
し、Ｙ信号をＤＹＸ及びＤＹＹに入力して回 転角設
定・補正を行う様にした、連動制御される２段の走査偏
向系を有する 走査型顕微鏡に於いて、１段目の走査
系を制御する４象限乗算ＤＡＣ；ＤＸ−１Ｘ、ＤＸ−１
Ｙ、ＤＹ−１Ｘ、ＤＹ−１Ｙと２段目の走査系を制
御する４ 象限乗算ＤＡＣ；ＤＸ−２Ｘ、ＤＸ−２
Ｙ、ＤＹ−２Ｘ、Ｄ Ｙ−２Ｙを設け、回転角設定・
補正と、それ以外の補正・設定に関する計 算結果を
該乗算ＤＡＣに入力し、これらの補正を該乗算ＤＡＣに
より行うよ うにする。
【０００７】３）さらに倍率制御を行うための乗算ＤＡ
Ｃを設ける。
Ｃを設ける。
【０００８】
【作用】走査信号発生回路からの走査信号をＸo
（ｔ）、Ｙo（ｔ）としたとき、４象限乗算ＤＡＣ；Ｄ
Ｘ，ＤＹ，ＤＸＸ，ＤＹＸ，ＤＸＹ，ＤＹＹより構成さ
れた図２の回路に於いて走査コイルＸ、Ｙに流れる電流
ＩＸ，ＩＹは、式（１）で表される。図２において〇の
中に＋が入った記号は加算を示す。Ｇは走査コイルに続
く基準抵抗値等に依存する係数である。
（ｔ）、Ｙo（ｔ）としたとき、４象限乗算ＤＡＣ；Ｄ
Ｘ，ＤＹ，ＤＸＸ，ＤＹＸ，ＤＸＹ，ＤＹＹより構成さ
れた図２の回路に於いて走査コイルＸ、Ｙに流れる電流
ＩＸ，ＩＹは、式（１）で表される。図２において〇の
中に＋が入った記号は加算を示す。Ｇは走査コイルに続
く基準抵抗値等に依存する係数である。
【０００９】
【数１】
【００１０】ＤＸ、ＤＹには、倍率設定データを入力す
る。
る。
【００１１】ＤＸＹ等は、式（２）の様に、回転角設
定、直交補正、縦横比補正の項の積として展開可能であ
る。
定、直交補正、縦横比補正の項の積として展開可能であ
る。
【００１２】
【数２】
【００１３】式（２）右辺の各項に適切な値を設定する
ことにより、図４で示した様な、単機能回路を直列に接
続した従来例の走査系と同様に、回転角設定、直交補
正、縦横比補正を行うことができる。
ことにより、図４で示した様な、単機能回路を直列に接
続した従来例の走査系と同様に、回転角設定、直交補
正、縦横比補正を行うことができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】図１に、本発明の荷電粒子線装置
に於いて、上下２段の走査コイルを制御する走査回路の
１実施例を示す。
に於いて、上下２段の走査コイルを制御する走査回路の
１実施例を示す。
【００１５】走査信号発生器から発生した掃引信号Ｘo
（ｔ）、Ｙo（ｔ）は、乗算ＤＡＣ；ＤＸ、ＤＹに入力
し、倍率、加速電圧連動、ＷＤ連動の各設定がおこなわ
れて後、一部は上段の走査コイル１Ｘ、１Ｙを制御する
４象限乗算ＤＡＣ；ＤＸ-１Ｘ、ＤＹ-１Ｘ、ＤＸ-１
Ｙ、ＤＹ-１Ｙに入力し、もう一部は下段の走査コイル
２Ｘ、２Ｙを制御する４象限乗算ＤＡＣ；ＤＸ-２Ｘ、
ＤＹ-２Ｘ、ＤＸ-２Ｙ、ＤＹ-２Ｙに入力し、各々回転
角設定、直交補正、縦横比補正が行われた後、各走査コ
イルに所望の走査電流が流れる。各コイルに流れる電流
は、図１で示した回路図から明らかな様に式（１）と同
様に、式（３）、式（４）で求められる。Ｇは走査コイ
ルに続く基準抵抗値等に依存する係数である。
（ｔ）、Ｙo（ｔ）は、乗算ＤＡＣ；ＤＸ、ＤＹに入力
し、倍率、加速電圧連動、ＷＤ連動の各設定がおこなわ
れて後、一部は上段の走査コイル１Ｘ、１Ｙを制御する
４象限乗算ＤＡＣ；ＤＸ-１Ｘ、ＤＹ-１Ｘ、ＤＸ-１
Ｙ、ＤＹ-１Ｙに入力し、もう一部は下段の走査コイル
２Ｘ、２Ｙを制御する４象限乗算ＤＡＣ；ＤＸ-２Ｘ、
ＤＹ-２Ｘ、ＤＸ-２Ｙ、ＤＹ-２Ｙに入力し、各々回転
角設定、直交補正、縦横比補正が行われた後、各走査コ
イルに所望の走査電流が流れる。各コイルに流れる電流
は、図１で示した回路図から明らかな様に式（１）と同
様に、式（３）、式（４）で求められる。Ｇは走査コイ
ルに続く基準抵抗値等に依存する係数である。
【００１６】
【数３】
【００１７】
【数４】
【００１８】４象限乗算ＤＡＣに入力すべきデータ：Ｄ
Ｘ-１Ｘ、ＤＹ-１Ｘ、ＤＸ-１Ｙ、ＤＹ-１Ｙ、ＤＸ-２
Ｘ、ＤＹ-２Ｘ、ＤＸ-２Ｙ、ＤＹ-２Ｙを、式（５）、
式（６）の様に展開することができる。
Ｘ-１Ｘ、ＤＹ-１Ｘ、ＤＸ-１Ｙ、ＤＹ-１Ｙ、ＤＸ-２
Ｘ、ＤＹ-２Ｘ、ＤＸ-２Ｙ、ＤＹ-２Ｙを、式（５）、
式（６）の様に展開することができる。
【００１９】
【数５】
【００２０】
【数６】
【００２１】このように展開することにより、右辺の各
項は画像と対応した、各項に下記した意味をもつことが
でき、画像をもとに適切な値を入力することによって、
各設定・補正ができることがわかった。すなわち、本方
法により、単機能の設定・補正回路を直列に接続した従
来の走査制御回路と全く同じ方法で、画像調整可能であ
ることを見いだした。
項は画像と対応した、各項に下記した意味をもつことが
でき、画像をもとに適切な値を入力することによって、
各設定・補正ができることがわかった。すなわち、本方
法により、単機能の設定・補正回路を直列に接続した従
来の走査制御回路と全く同じ方法で、画像調整可能であ
ることを見いだした。
【００２２】図１の実施例は、加速電圧やＷＤを大幅に
変え、それに伴い像の直交度、歪み、縦横比が変化した
場合に於いて、これらを補正できる値を入力・メモリー
することで容易に対応できる。また従来例に比し構成す
る回路の段数が少ないため、ノイズや高速走査時の歪み
が小さい像が得られ、コストも低減される。
変え、それに伴い像の直交度、歪み、縦横比が変化した
場合に於いて、これらを補正できる値を入力・メモリー
することで容易に対応できる。また従来例に比し構成す
る回路の段数が少ないため、ノイズや高速走査時の歪み
が小さい像が得られ、コストも低減される。
【００２３】図１の実施例は、ＷＤが短い場合やインレ
ンズ方式等歪みを精度良く補正する必要がある場合に適
当であるが、歪みがそれほど大きくない場合には、ＤＡ
Ｃの数を少なくし、図３の様に構成することもできる。
連動比の設定は単純な連動比設定回路で行う。図１に比
し、さらにコストを低減することができる。
ンズ方式等歪みを精度良く補正する必要がある場合に適
当であるが、歪みがそれほど大きくない場合には、ＤＡ
Ｃの数を少なくし、図３の様に構成することもできる。
連動比の設定は単純な連動比設定回路で行う。図１に比
し、さらにコストを低減することができる。
【００２４】また、図１，２，３で示した４象限乗算Ｄ
ＡＣ；ＤＸ、ＤＹには倍率設定データや、加速電圧やＷ
Ｄ変化に対応した倍率補正のためのデータを入力する。
たとえば、倍率設定データをＧＸＹ、ＷＤ変化に対応し
た倍率補正係数をＬ、加速電圧連動データを√（Ｕ／Ｕ
ｍａｘ）として、ＤＸ＝ＧＸＹ＊Ｌ＊√（Ｕ／Ｕｍａ
ｘ）を設定する。ＤＹにはさらに、走査信号発生回路か
らのＸ信号、Ｙ信号の大きさの違いを補正する係数を乗
算することができる。図１，２，３では４象限乗算ＤＡ
Ｃを用いたが倍率設定データー等は正負の値を設定しな
いため、２象限乗算ＤＡＣで良い。
ＡＣ；ＤＸ、ＤＹには倍率設定データや、加速電圧やＷ
Ｄ変化に対応した倍率補正のためのデータを入力する。
たとえば、倍率設定データをＧＸＹ、ＷＤ変化に対応し
た倍率補正係数をＬ、加速電圧連動データを√（Ｕ／Ｕ
ｍａｘ）として、ＤＸ＝ＧＸＹ＊Ｌ＊√（Ｕ／Ｕｍａ
ｘ）を設定する。ＤＹにはさらに、走査信号発生回路か
らのＸ信号、Ｙ信号の大きさの違いを補正する係数を乗
算することができる。図１，２，３では４象限乗算ＤＡ
Ｃを用いたが倍率設定データー等は正負の値を設定しな
いため、２象限乗算ＤＡＣで良い。
【００２５】以上の実施例は走査型電子顕微鏡について
説明したが、電流制御・走査コイルのかわりに電圧制御
・静電走査板を用いる走査型イオン顕微鏡に於いても全
く同様に適応される。
説明したが、電流制御・走査コイルのかわりに電圧制御
・静電走査板を用いる走査型イオン顕微鏡に於いても全
く同様に適応される。
【００２６】また、プローブを試料表面に走査して画像
を表示するプローブ顕微鏡にも同様に適用できる。
を表示するプローブ顕微鏡にも同様に適用できる。
【００２７】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明による走査型
顕微鏡は、走査制御系に複数の４象限ＤＡＣを用い、回
転角設定のみならず、直交補正、連動比補正、縦横比補
正を行うことにより、加速電圧やＷＤを大幅に変えて設
定し、像の直交度、歪み、縦横比が変化した場合でも容
易に補正することができる。また回路段数を減らし、像
ノイズや高速時の像歪み、またコストを低減することが
できる。
顕微鏡は、走査制御系に複数の４象限ＤＡＣを用い、回
転角設定のみならず、直交補正、連動比補正、縦横比補
正を行うことにより、加速電圧やＷＤを大幅に変えて設
定し、像の直交度、歪み、縦横比が変化した場合でも容
易に補正することができる。また回路段数を減らし、像
ノイズや高速時の像歪み、またコストを低減することが
できる。
【図１】本発明に基づく走査型電子顕微鏡の二段方式走
査制御回路の一実施例である。
査制御回路の一実施例である。
【図２】本発明に基づく走査型電子顕微鏡の走査制御回
路の一実施例である。
路の一実施例である。
【図３】本発明に基づく走査型電子顕微鏡の二段方式走
査制御回路の一実施例である。
査制御回路の一実施例である。
【図４】従来の走査型電子顕微鏡の二段方式走査制御回
路の一例である。
路の一例である。
【図５】電子源側から見た場合の走査コイルの模式図で
ある。
ある。
【図６】乗算ＤＡＣについての説明図である。
【図７】二段方式走査型電子顕微鏡の走査部の説明図で
ある。
ある。
【図８】４象限乗算ＤＡＣを用いた回転角設定回路につ
いての説明図である。
いての説明図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森田 成司 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者 大井 將道 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者 米澤 彬 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内
Claims (5)
- 【請求項１】 走査信号発生器から出力されたＸ信号を
複数の４象限乗算ＤＡＣ；ＤＸＸ及びＤＸＹ に入力
し、Ｙ信号をＤＹＸ及びＤＹＹに入力して回転角設定あ
るいは回転角補正を行う様にした走査型顕微鏡に於い
て、 回転角設定・補正とともに、それ以外の補正に関する計
算結果を該乗算ＤＡＣに入力し、これらの補正を該乗算
ＤＡＣにより行うようにしたことを特徴とする走査型顕
微鏡。 - 【請求項２】 走査信号発生器から出力されたＸ信号を
複数の４象限乗算ＤＡＣ；ＤＸＸ及びＤＸＹ に入力
し、Ｙ信号をＤＹＸ及びＤＹＹに入力して回転角設定あ
るいは回転角補正を行う様にした、連動制御される２段
の走査偏向系を有する走査型顕微鏡に於いて、 １段目の走査系を制御する４象限乗算ＤＡＣ；ＤＸ-１
Ｘ、ＤＸ-１Ｙ、ＤＹ-１Ｘ、ＤＹ-１Ｙと２段目の走査
系を制御する４象限乗算ＤＡＣ；ＤＸ-２Ｘ、ＤＸ-２
Ｙ、ＤＹ-２Ｘ、ＤＹ-２Ｙを設け、回転角設定・補正
と、それ以外の補正に関する計算結果を該乗算ＤＡＣに
入力し、これらの補正を該乗算ＤＡＣにより行うように
したことを特徴とする走査型顕微鏡。 - 【請求項３】 倍率を制御するための乗算ＤＡＣを設け
たことを特徴とする、請求項１又は２記載の走査型顕微
鏡 - 【請求項４】 走査信号発生器から出力されたＸ信号を
複数の４象限乗算ＤＡＣ；ＤＸＸ及びＤＸＹ に入力
し、Ｙ信号をＤＹＸ及びＤＹＹに入力して回転角設定あ
るいは回転角補正を行う様にした走査型顕微鏡に於い
て、 回転角設定・補正に対する補正値に、直交補正あるいは
縦横比補正に関する補正値を加味した値を該乗算ＤＡＣ
に入力し、これらの補正を該乗算ＤＡＣにより行うよう
にしたことを特徴とする走査型顕微鏡。 - 【請求項５】 走査信号発生器から出力されたＸ信号を
複数の４象限乗算ＤＡＣ；ＤＸＸ及びＤＸＹ に入力
し、Ｙ信号をＤＹＸ及びＤＹＹに入力して回転角設定あ
るいは回転角補正を行う様にした、連動制御される２段
の走査偏向系を有する走査型顕微鏡に於いて、 １段目の走査系を制御する４象限乗算ＤＡＣ；ＤＸ-１
Ｘ、ＤＸ-１Ｙ、ＤＹ-１Ｘ、ＤＹ-１Ｙと２段目の走査
系を制御する４象限乗算ＤＡＣ；ＤＸ-２Ｘ、ＤＸ-２
Ｙ、ＤＹ-２Ｘ、ＤＹ-２Ｙを設け、回転角設定・補正
に、直交補正あるいは縦横比補正に関する補正値を加味
した値、あるいは連動比設定値を加味した値を該乗算Ｄ
ＡＣに入力し、これらの補正を該乗算ＤＡＣにより行う
ようにしたことを特徴とする走査型顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000045975A JP2000311644A (ja) | 1999-02-25 | 2000-02-23 | 走査型顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11-48176 | 1999-02-25 | ||
| JP4817699 | 1999-02-25 | ||
| JP2000045975A JP2000311644A (ja) | 1999-02-25 | 2000-02-23 | 走査型顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000311644A true JP2000311644A (ja) | 2000-11-07 |
Family
ID=26388406
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000045975A Withdrawn JP2000311644A (ja) | 1999-02-25 | 2000-02-23 | 走査型顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000311644A (ja) |
Cited By (7)
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-
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- 2000-02-23 JP JP2000045975A patent/JP2000311644A/ja not_active Withdrawn
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