JP2004281682A - 光送信装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】光素子駆動回路の寄生インダクタンスを低減できる構造の光送信装置を提供する。
【解決手段】光送信装置1は、AlNからなるヒートシンク13及びレーザダイオード15を備えている。ヒートシンク13上には、蒸着されたAu膜からなる導電層14が設けられている。レーザダイオード15は、アノード電極151が下になるように導電層14上に搭載されている。導電層14は、ワイヤ39及び配線層35dを介してリード端子35bに電気的に接続されており、ここへ電源電圧が供給される。レーザダイオード15のカソード電極157は、駆動素子17にワイヤ41を介して接続されている。
【選択図】 図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光送信装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
光通信システムにはレーザダイオードを内蔵した光送信装置が用いられる。この光送信装置は、その中に、レーザダイオードを駆動するための駆動素子、レーザダイオードにパワーを供給するための配線、電源電圧を安定化するためのダイキャップを含んでいる。これらとレーザダイオードとが電気的に接続されて光素子駆動回路が構成される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
近年、光送信装置には、例えば10Gbpsといった高い伝送速度の光通信を実現するための光信号を発生することが求められている。光素子駆動回路においては、配線等によって寄生インダクタンス及び寄生キャパシタンスが伝送線路上に生じる。そして、寄生インダクタンスや寄生キャパシタンスにより、伝送線路上に共振回路が構成される。光送信装置が発生する光信号の伝送速度が共振周波数に近づくと、光素子駆動回路が発振してしまい正常に動作できない。よって、光素子駆動回路では、伝送レートに対応する周波数より共振周波数が大きくなる程度に寄生インダクタンスが小さいことが望ましい。近年の光通信システムの伝送速度が高くなるのに伴い、光素子駆動回路における寄生インダクタンスを小さくできる構造を備える光送信装置が求められている。
【0004】
本発明の目的は、光素子駆動回路の寄生インダクタンスを低減できる構造の光送信装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明による光送信装置は、(a)導電性部材と、(b)この部材上に載置されたヒートシンクと、(c)このヒートシンク上に設けられた第1の導電層と、(d)この第1の導電層上に載置され、当該層に電気的に接続された半導体発光素子と、(e)この半導体発光素子に電気的に接続された駆動素子と、(f)第1の導電層に電気的に接続されたリード端子と、(g)半導体発光素子に光結合する光ファイバとを備える。
【0006】
本発明の光送信装置によれば、導電性部材、ヒートシンク、及び第1の導電層によってキャパシタが構成される。そして、キャパシタ上に半導体発光素子を搭載すると、ヒートシンクとは別個のダイキャップといった容量性素子が不要となり、ダイキャップから半導体発光素子への配線も不要となる。このため、半導体発光素子とダイキャップとの間の寄生インダクタンスを削減できる。これにより、半導体発光素子を駆動する回路の寄生インダクタンスが低減される。
【0007】
また、光送信装置は、導電性部材、ヒートシンク、及び第1の導電層から構成されるキャパシタの静電容量が、50pF以上であることを特徴としてもよい。これによって、例えば最大10Gbpsの光信号が光送信装置から出力される場合でも、半導体発光素子を駆動する回路の共振周波数による光信号への影響を抑えることができる。
【0008】
また、光送信装置は、ヒートシンクが、AlN、BaまたはPbのチタン酸塩、あるいはKLiまたはSrBaのニオブ酸塩からなることを特徴としてもよい。これによって、導電性部材、ヒートシンク、及び第1の導電層によるキャパシタを容易に構成できる。
【0009】
また、本発明による光送信装置は、(h)導電性部材と、(i)この部材上に載置された導電性のヒートシンクと、(j)このヒートシンク上に設けられた絶縁層と、(k)この絶縁層上に設けられた第1の導電層と、(l)この第1の導電層上に載置され、当該層に電気的に接続された半導体発光素子と、(m)この半導体発光素子に電気的に接続された駆動素子と、(n)第1の導電層に電気的に接続されたリード端子と、(o)半導体発光素子に光結合する光ファイバとを備える。
【0010】
この光送信装置によれば、導電性のヒートシンク、絶縁層、及び第1の導電層によってキャパシタが構成される。そして、キャパシタ上に半導体発光素子を搭載すると、ヒートシンクとは別個のダイキャップといった容量性素子が不要となり、ダイキャップから半導体発光素子への配線も不要となる。このため、半導体発光素子とダイキャップとの間の寄生インダクタンスを削減できる。これにより、半導体発光素子を駆動する回路の寄生インダクタンスが低減される。
【0011】
また、光送信装置は、ヒートシンク、絶縁層、及び第1の導電層から構成されるキャパシタの静電容量が、50pF以上であることを特徴としてもよい。これによって、例えば最大10Gbpsの光信号が光送信装置から出力される場合でも、半導体発光素子を駆動する回路の共振周波数による光信号への影響を抑えることができる。
【0012】
また、光送信装置は、絶縁層が、SiO、SiN、またはSiONからなることを特徴としてもよい。これによって、導電性のヒートシンク、絶縁層、及び第1の導電層によるキャパシタを容易に構成できる。
【0013】
また、光送信装置は、ヒートシンクが、半導体発光素子を搭載する領域から所定の方向に延びる溝を有しており、光ファイバが該溝に搭載されることを特徴としてもよい。これによって、半導体発光素子と光ファイバとを光学的に位置合わせする作業が簡易になる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、図面とともに本発明による光送信装置の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明においては同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。なお、以下の説明で「前方」は信号光を出射する方向を表す。
【0015】
(第1の実施の形態)
図1〜図3は、本発明の第1実施形態に係る光送信装置の構成を説明するための図である。図1は、本実施形態に係る光送信装置1の斜視図である。図2は、図1に示された光送信装置1の上面図である。図3は、図1に示された光送信装置1のI−I断面を示す断面図である。
【0016】
図1〜図3を参照すると、光送信装置1は、パッケージ3、第1の搭載部材5、基板7、ヒートシンク13、レーザダイオード15といった半導体発光素子、及び駆動素子17を備えている。パッケージ3は、本実施形態ではバタフライ型パッケージといった容器である。パッケージ3は、レーザダイオードや駆動素子17を内蔵する本体部3aと、本体部3aの前面に突出して設けられた筒状部3bとを有している。本体部3aの内部は、不活性ガス、例えば窒素ガスが封入されている。
【0017】
第1の搭載部材5は、略平板状の導電性部材であり、本体部3a内の底面上に配置されている。ヒートシンク13及び駆動素子17は、前後方向に延びる所定の軸51(図2を参照)に沿って第1の搭載部材5の主面上に載置されている。ヒートシンク13は、絶縁性材料からなり、レーザダイオード15において発生する熱を伝達するための部材であり、例えばAlNからなる。ヒートシンク13の材料としてはこの他にも、BaまたはPbのチタン酸塩、或いはKLiまたはSrBaのニオブ酸塩などを用いることができる。また、駆動素子17は、レーザダイオード15に駆動電流を供給するための回路素子である。ヒートシンク13上には、レーザダイオード15が搭載されている。レーザダイオード15は、レーザ光を出射する光出射面が前方を向くように載置されている。
【0018】
図4は、図3に示されたヒートシンク13及びレーザダイオード15の周辺部Aを拡大した側面断面図である。図4を参照すると、ヒートシンク13上には、第1の導電層として導電層14が設けられている。導電層14は、例えば蒸着されたAu膜から成ることができる。ヒートシンク13は絶縁性材料からなるので、第1の搭載部材5、ヒートシンク13、及び導電層14によって、所定の静電容量を有するキャパシタ16が構成される。このキャパシタ16は、レーザダイオード15を駆動する回路の共振周波数を考慮して、50pF以上の静電容量を有するように構成される。本実施形態においては、例えば面積0.25mmのヒートシンク13及び導電層14を形成した場合、ヒートシンク13を構成するAlNは比誘電率が9.1であるので、ヒートシンクの厚さを0.3mmとするとキャパシタ16の静電容量は67pF程度となる。よって、ヒートシンク13上にレーザダイオード15を搭載する面積を充分に確保した上で、有効な静電容量を有するキャパシタ16を構成することができる。
【0019】
また、レーザダイオード15は、n型半導体基板156を有している。そして、n型半導体基板156の一方の面156a上に、n型クラッド層155、活性層154、及びp型クラッド層153が順に積層されている。n型半導体基板156の他方の面156b上には、カソード電極157が設けられている。一方、アノード電極151はP型クラッド層153上に設けられており、このアノード電極151が導電層14に面するようにヒートシンク13上に搭載されている。
【0020】
また、キャパシタを、図5に示されるような構成としてもよい。すなわち、図5に示されるヒートシンク13aは導電性を有しており、例えばSiからなる。そして、ヒートシンク13a上には、絶縁層18が設けられている。絶縁層18は、例えばSiO、SiN、またはSiONからなる。さらに、絶縁層18上には、第1の導電層として導電層14が設けられている。ヒートシンク13a、絶縁層18、及び導電層14によって、所定の静電容量を有するキャパシタ16aが構成される。このキャパシタ16aは、前述したキャパシタ16と同様に、レーザダイオード15を駆動する回路の共振周波数を考慮して50pF以上の静電容量を有するように構成される。本実施形態においては、例えば面積0.25mmの絶縁層18及び導電層14を形成し、絶縁層18の厚さを0.1μmとした場合、絶縁層18を構成するSiOは比誘電率が4であるので、キャパシタ16aの静電容量は80pF程度となる。
【0021】
再び図1〜図3を参照すると、光送信装置1は、第2の搭載部材9、レンズ保持部材11、及びレンズ47を備えている。第2の搭載部材9は、第1の搭載部材5の前方に配置されている。第2の搭載部材9は、レンズ保持部材11を受け入れるためのガイド孔を有する。ガイド孔には、レンズ保持部材11が位置合わせされている。レンズ保持部材11は、レーザダイオード15からのレーザ光を集光するためのレンズ47を保持している。レンズ保持部材11のガイド孔内における位置を移動させることによって、レーザダイオード15とレンズ47との距離を調整することができる。
【0022】
また、光送信装置1は、基板7、第3の搭載部材19、及びフォトダイオード21といった受光素子を備えている。基板7は、第1の搭載部材5上に載置され、駆動素子17の後方から側方にわたる形状を有している。第3の搭載部材19は、所定の軸51に対して直交する方向に延びた柱状を呈しており、所定の軸51に沿って基板7上に載置されている。フォトダイオード21は、第3の搭載部材19の前面上に設けられている。フォトダイオード21は、レーザダイオード15の光出射面とは反対側の光反射面に光学的に結合されている。
【0023】
また、光送信装置1は、リード端子35a〜35cを備えている。複数のリード端子35aは、パッケージ3の本体部3aの一側面の外壁面に設けられ、所定の軸51と交差する方向に延びている。また、複数のリード端子35aは、一側面の内壁面に設けられた複数の配線層35dにそれぞれ電気的に接続されている。複数のリード端子35bは、パッケージ3の本体部3aの他側面の外壁面に設けられ、所定の軸51と交差する方向に延びている。複数のリード端子35bは、一側面の内壁面に設けられた複数の配線層35eにそれぞれ電気的に接続されている。複数のリード端子35cは、本体部3aの背面の外壁面に設けられ、所定の軸方向に延びている。複数のリード端子35cは、背面の内壁面に設けられた複数の配線層35fにそれぞれ電気的に接続されている。
【0024】
パッケージ3の本体部3aにおける前壁には、筒状部3bに通じる部分に、ハーメチックガラス23で封止された光学的な窓が形成されている。筒状部3bは、本体部3aの内部に通じる貫通孔を有する。この貫通孔には、レーザダイオード15から光ファイバ33の端部(図示せず)へ伝搬するレーザ光が通過する。筒状部3bの先端部分には、レンズ(図3の27a)を保持するレンズ保持部材27が設けられている。レンズ保持部材27と筒状部3bとの間には、光アイソレータ25を設けることができる。光アイソレータ25は、光ファイバ33からの戻り光を遮断する。
【0025】
筒状部3bの先端部分からは光ファイバ33が導入される。光ファイバ33は、フェルール31によって先端部分が覆われ保護されている。レンズ保持部材27は、スリーブ29を保持している。フェルール31は、スリーブ29に挿入されて、パッケージ3に対して光学的に位置決めされる。つまり、光ファイバ33が、レンズ27a、レンズ47、及びレーザダイオード15に対して位置合わせされる。
【0026】
図6は、図1に示された光送信装置1の主要部を拡大した斜視図である。図6に基づいて、光送信装置1における電気的な接続関係について説明する。
【0027】
図6を参照すると、ヒートシンク13上の導電層14は、ボンディングワイヤ39を介して配線層35dに電気的に接続されている。すなわち、レーザダイオード15のアノード電極151は、導電層14、ボンディングワイヤ39、及び配線層35dを介してリード端子35bに電気的に接続されている。また、第1の搭載部材5は、図示しない配線によって配線層35d〜35fのうち所定の配線層に電気的に接続されており、リード端子35a〜35cのうち当該所定の配線層に接続されたリード端子は、光送信装置1の外部に設けられる配線によって接地される。
【0028】
また、レーザダイオード15のカソード電極157は、ボンディングワイヤ41を介して駆動素子17に電気的に接続されている。駆動素子17は、種々の電気信号を光送信装置1の外部から得るために、駆動素子17の複数の入出力端子から複数のボンディングワイヤ37a及び37bを介して複数の配線層35d及び35eに電気的に接続されている。ボンディングワイヤ37a及び37bは、その途中部分が容量性素子43の一端に電気的に接続されている。容量性素子43の他端は、第1の搭載部材5や基板7に電気的に接続されている。
【0029】
また、駆動素子17は、レーザダイオード15を駆動するための変調信号を光送信装置1の外部から得るために、2本のボンディングワイヤ53aそれぞれを介して基板7上に設けられた2本の配線パターン45それぞれに電気的に接続されている。2本の配線パターン45は、図2に示されるように、ボンディングワイヤ53bを介して配線層35fに電気的に接続される。
【0030】
以上の配線によって、光送信装置1の外部回路に接続されたリード端子35a、35b、及び35cと、駆動素子17との間で電気信号が入出力される。なお、図2及び図3に示されたフォトダイオード21は、いずれかの配線層に電気的に接続されている。
【0031】
以上の構成を有する光送信装置1は、次のような動作を行う。すなわち、導電層14は、ボンディングワイヤ39を介して接続されているリード端子35bから電源供給を受ける。導電層14はキャパシタ16または16aの一電極を構成しているので、このキャパシタ16または16aにより電源電圧が安定化される。また、光送信装置1の外部からリード端子35a〜35cのうち所定のリード端子に、変調信号が供給される。変調信号は、レーザダイオード15に供給される駆動電流を変調するための信号である。
【0032】
変調信号は、駆動素子17に提供される。また、フォトダイオード21から、レーザダイオード15が発生するレーザ光の光量を示す光量信号が取り出される。駆動素子17は、レーザダイオード15が発生するレーザ光の光量が所定の光量に近づくように、フォトダイオード21からの光量信号に応じた駆動電流をレーザダイオード15に供給する。また、駆動電流は、変調信号に応じて変調される。こうして、レーザダイオード15のアノード電極151とカソード電極157との間に変調された駆動電流が流れ、活性層154においてレーザ光が発生する。レーザ光はレーザダイオード15の光出射面15aから出射され、レンズ47及びレンズ27aを介して光ファイバ33に入射される。
【0033】
以上に説明した、本実施形態による光送信装置1の効果について説明する。図7(a)は、レーザダイオード15から配線層35dへの配線部分を示す上面図である。また、図7(b)は、光送信装置の別の例における図7(a)と同じ箇所を示す上面図である。また、図8(a)及び図8(b)それぞれは、図7(a)及び図7(b)それぞれに示された配線部分の電気的接続を模式的に示す図である。
【0034】
図7(a)及び図8(a)を参照すると、本実施形態による光送信装置1では、ヒートシンク13上の導電層14が、ボンディングワイヤ39を介して配線層35dに電気的に接続されている。図8(a)に示されるように、ボンディングワイヤ39はインダクタンスL11として作用する。配線層35dは、リード端子35bを介して電源V11に電気的に接続されている。また、ヒートシンク13は第1の搭載部材5に接しており、第1の搭載部材5は接地されている。第1の搭載部材5、ヒートシンク13、及び導電層14によって構成されるキャパシタ16により電源電圧が安定化される。レーザダイオード15のカソード電極157は、ボンディングワイヤ42を介して駆動素子17に電気的に接続されている。ボンディングワイヤ42は、インダクタンスL12として作用する。以上の構成により、配線層35d、ボンディングワイヤ39、及び導電層14を介してレーザダイオード15のアノード電極151に+5Vといった電源電圧が供給されるとともに、駆動素子17からの駆動電流Idがボンディングワイヤ41を介してカソード電極157に流れる。
【0035】
一方、図7(b)及び図8(b)を参照すると、別の例による光送信装置では、ヒートシンク58上に設けられた導電層58aが、ボンディングワイヤ40aを介してダイキャップ88の一端に電気的に接続されている。そして、ダイキャップ88の一端は、ボンディングワイヤ40bを介して配線層35dに電気的に接続されている。ボンディングワイヤ40a及び40bそれぞれは、インダクタンスL21及びL22として作用する。配線層35dは、リード端子35bを介して電源V11に電気的に接続されている。ダイキャップ88の他端は、第1の搭載部材5を介して接地されている。また、ヒートシンク58はAlNなどの絶縁性材料からなる。レーザダイオード15のカソード電極157は、図8(a)と同様に、インダクタンスL12として作用するボンディングワイヤ42を介して駆動素子17に電気的に接続されている。以上の構成により、配線層35d、ボンディングワイヤ40b及び40a、並びに導電層58aを介してレーザダイオード15のアノード電極151に+5Vといった電源電圧が供給されるとともに、駆動素子17からの駆動電流Idがボンディングワイヤ41を介してカソード電極157に流れる。
【0036】
図9(a)及び図9(b)は、それぞれ図8(a)及び図8(b)に示された電気的接続のモデルを表す回路図である。図9(a)及び図9(b)を参照すると、駆動素子17は、信号源171を有している。また、駆動素子17は、端子間容量C17を有している。信号源171のプラス端子は、ノードN1に接続されており、マイナス端子は、ノードN2に接続されている。ノードN2は、GNDレベルといった基準電位線に接続されている。インダクタンスL12を有するボンディングワイヤ41は、一端がノードN1に、他端がレーザダイオード15のカソード電極157に、それぞれ接続されている。レーザダイオード15は、抵抗成分R15及び降下電圧V15を有するとともに、端子間容量C15を有している。レーザダイオード15のアノード電極151は、ノードN4に接続されている。
【0037】
ここで、図9(b)を参照すると、別の例による光送信装置においては、ノードN4すなわち導電層58aと、ノードN5すなわちダイキャップ88の一端とをボンディングワイヤ40aにより接続している。ここで、ボンディングワイヤ40a、ダイキャップ88、駆動素子17、及びレーザダイオード15によって構成されるループにおいて、インダクタンスL12、L21、L88、及び静電容量C88に基づいて当該ループの共振周波数が定まる。この共振周波数が光信号の伝送速度に近いと、レーザダイオード15駆動回路の正常動作を妨げる一因となる。
【0038】
これに対し、図9(a)を参照すると、本実施形態による光送信装置1では、キャパシタ16の静電容量C16、駆動素子17、及びレーザダイオード15によって構成されるループにおいて、インダクタンスL12、L16、及び静電容量C16に基づいて当該ループの共振周波数が定まる。つまり、光送信装置1では、第1の搭載部材5、ヒートシンク13、及び導電層14から構成されるキャパシタ16上にレーザダイオード15が搭載されているので、別の例の光送信装置におけるボンディングワイヤ40aに相当する配線が存在しない。このため、光送信装置1では、別の例の光送信装置におけるインダクタンスL21に相当するインダクタンスがなくなり、ループの共振周波数が別の例の光送信装置と比べて高周波側へ移動する。
【0039】
すなわち、本実施形態による光送信装置1では、キャパシタ16または16a上にレーザダイオード15を搭載しているので、ヒートシンク13とは別個のダイキャップ88といった容量性素子が不要となり、ダイキャップ88からレーザダイオード15への配線も不要となる。このため、レーザダイオード15とダイキャップ88との間にインダクタンスL21が存在しない。これにより、レーザダイオード15を駆動する回路の寄生インダクタンスを低減できるので、レーザダイオード15を高速に駆動できる光送信装置が提供される。
【0040】
なお、以下に、図9(a)及び図9(b)に示された回路モデルにおける各要素が有する値の一例を示す。インダクタンスL11は50nH、L12は0.3nH、L88は0.07nHである。また、容量C15のキャパシタンスは8.5pF、C16のキャパシタンスは80pF(キャパシタ16の構成及び形状による)、C17のキャパシタンスは0.7pF、C58のキャパシタンスは0.1pF、C88のキャパシタンスは220pF(ダイキャップ88として様々な容量を選択できる)である。また、電源電圧V11は+5V、電圧降下V15は+1.2Vである。また、抵抗成分R15は5.5Ωである。
【0041】
また、光送信装置から例えば最大10Gbpsの光信号を出力する場合には、レーザダイオード15を駆動する回路への影響を抑えるため、該回路の共振周波数が10GHz以上であることが好ましい。ここで、図10(a)〜図10(d)は、キャパシタ16の静電容量を1000pF(図10(a))、50pF(図10(b))、1pF(図10(c))、及び0pF(図10(d))としたときの、レーザダイオード15を駆動する回路の周波数特性を示すグラフである。図10(a)及び図10(b)を参照すると、キャパシタ16の静電容量を1000pFまたは50pFとした場合には、共振周波数aの値は10GHzを超えている。一方、図10(c)及び図10(d)を参照すると、キャパシタ16の静電容量を1pFまたは0pFとした場合には、共振周波数aの値は10GHzよりも小さい。すなわち、キャパシタ16の静電容量が50pF以上であれば、光送信装置から10Gbpsの光信号を出力する際に、共振周波数が影響しないような駆動回路を構成できる。
【0042】
本実施形態による光送信装置1では、キャパシタ16または16aが50pF以上の静電容量を有するので、例えば最大10Gbpsの光信号を出力する場合でも、レーザダイオード15を駆動する回路の共振周波数による信号への影響を抑えることができる。
【0043】
また、本実施形態による光送信装置1では、ヒートシンク13が、AlN、BaまたはPbのチタン酸塩、あるいはKLiまたはSrBaのニオブ酸塩からなることによって、第1の搭載部材5、ヒートシンク13、及び導電層14によるキャパシタ16を容易に構成できる。
【0044】
また、本実施形態による光送信装置1では、絶縁層18が、SiO、SiN、またはSiONからなることによって、導電性のヒートシンク13a、絶縁層18、及び導電層14によるキャパシタ16aを容易に構成できる。
【0045】
また、本実施形態による光送信装置1では、レーザダイオード15が、アノード電極151が導電層14に面するようにヒートシンク13上に搭載され、カソード電極157は、ボンディングワイヤ41を介して駆動素子17に電気的に接続されている。これによって、アノード電極151は、ヒートシンク13上に設けられた導電層14に配線を介することなく電気的に接続されるので、キャパシタ16からレーザダイオード15への配線が不要となり、レーザダイオード15を駆動する回路の寄生インダクタンスをさらに低減できる。
【0046】
図11は、上記した実施形態による光送信装置1の変形例を示す断面図である。図11は、レーザダイオード15付近を示している。本変形例では、ヒートシンク13と絶縁層18との間に、第2の導電層として導電層20が設けられている。すなわち、ヒートシンク13上に構成されるキャパシタ16bとして、2枚の電極(導電層14及び20)の間に絶縁層18を挟んだような平行平板コンデンサが構成されている。例えば、面積0.25mmの導電層14及び導電層20を設け、絶縁層18の厚さを0.35mmとすれば、220pFや1000pFといった大容量のキャパシタ16bをヒートシンク13上に構成できる。
【0047】
(第2の実施の形態)
次に、本発明による光送信装置の第2実施形態として、導電性のヒートシンク、絶縁層、及び導電層からなるキャパシタを備えるパッシブアライメント型の光送信装置を説明する。図12は、本実施形態に係る光送信装置2を示す斜視図である。また、図13(a)は、図12に示された光送信装置2のI−I断面を示す断面図である。図13(b)は、図12に示された光送信装置2の上面図である。図13(c)は、図12に示された光送信装置のII−II断面を示す断面図である。
【0048】
図12及び図13(a)〜図13(c)を参照すると、光送信装置2は、リードフレーム75といった導電性部材、ヒートシンク61、IC搭載部材63、レーザダイオード67といった半導体発光素子、駆動素子65、複数のリード端子79a〜79d、及び光ファイバ71を備えている。さらに、光送信装置1は、光ファイバ71を保持するためのフェルール73、光送信装置2全体を封止するための樹脂体77を備えている。
【0049】
リードフレーム75の主面上にはヒートシンク61及びIC搭載部材63が所定の軸76に沿って載置される。ヒートシンク61は、CuW(銅タングステン合金)といった導電性材料から形成される。また、ヒートシンク61は、フェルール搭載部61e、ファイバ搭載部61d、及びLD搭載部61aが一体に形成されてなる。フェルール搭載部61e、ファイバ搭載部61d、及びLD搭載部61aは、所定の軸76に沿って順に設けられている。LD搭載部61aの主面は、リードフレーム75の主面に垂直な方向の高さが、ファイバ搭載部61dの主面の高さよりも低く設けられている。ファイバ搭載部61dとフェルール搭載部61eとの間には、所定の軸76と交差する方向に延びる溝61hが形成されている。
【0050】
LD搭載部61aの主面上には、例えばSiOからなる絶縁層61bが設けられている。また、絶縁層61b上には、例えば蒸着されたAu膜からなる導電層61cが設けられている。これらLD搭載部61a、絶縁層61b、及び導電層61cによって、キャパシタ70が構成されている。導電層61c上には、レーザダイオード67が搭載されている。レーザダイオード67の構成は、上記した第1実施形態におけるレーザダイオード15の構成(図6参照)と同様である。ファイバ搭載部61dには、LD搭載部61aにおけるレーザダイオード67を搭載する領域から所定の軸76に沿って延びるV型溝61fが形成されている。光ファイバ71がV型溝61fに搭載されると、レーザダイオード67の光出射面67aと、光ファイバ71の端面とが光学的に結合される。
【0051】
フェルール搭載部61eには、前後方向に延び、V型溝61fよりも幅が広いV型溝61gが設けられている。また、光ファイバ71を保持するフェルール73がV型溝61gに載置されている。フェルール73は、その端面が溝61hの壁面に当接されることにより前後方向の位置合わせがなされている。
【0052】
駆動素子65は、IC搭載部材63の主面上に載置されている。駆動素子65は、ボンディングワイヤ81を介してレーザダイオード67のカソード電極(後述)に電気的に接続される端子を有する。また、駆動素子65の他の端子は、ボンディングワイヤ85を介して複数のリード端子79a及び79bに電気的に接続されている。導電層61cは、ボンディングワイヤ83を介してリード端子79dに電気的に接続されている。リード端子79a〜79dは、所定の軸76の方向と交差する方向に延びており、リードフレーム75のアイランド部75aの側面に沿って配置されている。また、リード端子79cは、アイランド部75aに接続されている。
【0053】
図14は、光送信装置2の外観を示す斜視図である。図14を参照すると、光送信装置2は、樹脂体77によって全体を封止されている。樹脂体77は、本体部77d及び本体部77dの前方に形成されたヘッド部77eを有している。本体部77dの一側面77a及び他側面77bにはリード端子79a〜79dが配列されている。ヘッド部77eの前面77cには、フェルール73の一端が突出している。ヘッド部77eの両側面77f及び77gには、光コネクタと嵌め合わされる突起77h及び77iが設けられている。
【0054】
以上の構成を有する光送信装置2は、次のような動作を行う。すなわち、複数のリード端子79bのうち、ボンディングワイヤ83を介して導電層61cに接続されているリード端子79bに電源電圧が供給される。導電層61cはキャパシタ70を構成しているので、このキャパシタ70により電源電圧が安定化される。また、光送信装置2の外部からリード端子79a及び79bのうち所定のリード端子に、変調信号が供給される。駆動素子65は、変調信号に応じて変調された駆動電流をレーザダイオード67に供給する。こうして、レーザダイオード67に変調された駆動電流が流れ、レーザ光が発生する。レーザ光はレーザダイオード67の光出射面67aから出射され、光ファイバ71に入射される。
【0055】
本実施形態による光送信装置2では、キャパシタ70上にレーザダイオード67を搭載しているので、第1実施形態による光送信装置1と同様に、レーザダイオード67と容量性素子との間のボンディングワイヤをなくせる。これにより、レーザダイオード67を駆動する回路の寄生インダクタンスを低減できるので、レーザダイオード67を高速に駆動できる光送信装置が提供される。
【0056】
また、本実施形態による光送信装置2では、ヒートシンク61が、レーザダイオード67を載置する領域から所定の軸76に沿って延びるV型溝61fを有しており、光ファイバ71がV型溝61f上に搭載されている。これによって、レーザダイオード67の光出射面67aと光ファイバ71の端面とを光学的に位置合わせする作業を簡易にできる。
【0057】
本発明による光送信装置は、上記した実施形態に限られるものではなく、様々な変形が可能である。例えば、ヒートシンクの材料は、上記した材料に限らず絶縁性を有する様々な材料を用いることができる。また、導電層の材料はAuに限らず、様々な金属を用いることができる。
【0058】
【発明の効果】
本発明による光送信装置は、光素子駆動回路の寄生インダクタンスを低減できる構造を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、第1実施形態に係る光送信装置の斜視図である。
【図2】図2は、図1に示された光送信装置の上面図である。
【図3】図3は、図1に示された光送信装置のI−I断面を示す側面断面図である。
【図4】図4は、図3に示されたヒートシンク及びレーザダイオードの周辺部を拡大した断面図である。
【図5】図5は、図3に示されたヒートシンク及びレーザダイオードの他の構成の周辺部を拡大した断面図である。
【図6】図6は、図1に示された光送信装置の主要部を拡大した斜視図である。
【図7】図7(a)は、レーザダイオードから端子への配線部分を示す上面図である。図7(b)は、光送信装置の別の例における図7(a)と同じ箇所を示す上面図である。
【図8】図8(a)は、図7(a)に示された配線部分の電気的接続を模式的に示す図である。図8(b)は、図7(b)に示された配線部分の電気的接続を模式的に示す図である。
【図9】図9(a)は、図8(a)に示された電気的接続を表す回路図である。図9(b)は、図8(b)に示された電気的接続を表す回路図である。
【図10】図10(a)は、キャパシタ16の静電容量を1000pFとしたときの、レーザダイオードを駆動する回路の周波数特性を示すグラフである。図10(b)は、キャパシタ16の静電容量を50pFとしたときの、レーザダイオードを駆動する回路の周波数特性を示すグラフである。図10(c)は、キャパシタ16の静電容量を1pFとしたときの、レーザダイオードを駆動する回路の周波数特性を示すグラフである。図10(d)は、キャパシタ16の静電容量を0pFとしたときの、レーザダイオードを駆動する回路の周波数特性を示すグラフである。
【図11】図11は、第1実施形態による光送信装置の変形例を示す断面図である。
【図12】図12は、本発明による光送信装置の第2実施形態を示す斜視図である。
【図13】図13(a)は、図12に示された光送信装置のI−I断面を示す断面図である。図13(b)は、図12に示された光送信装置の上面図である。図13(c)は、図12に示された光送信装置のII−II断面を示す断面図である。
【図14】図14は、第2実施形態による光送信装置の外観を示す斜視図である。
【符号の説明】
1、2…光送信装置、3…パッケージ、3a…本体部、3b…筒状部、5…第1の搭載部材、7…基板、9…第2の搭載部材、11…レンズ保持部材、13、13a…ヒートシンク、14、20…導電層、15…レーザダイオード、15a…光出射面、15b…光反射面、16、16a…キャパシタ、17…駆動素子、18…絶縁層、19…第3の搭載部材、21…フォトダイオード、23…ハーメチックガラス、25…光アイソレータ、27a…レンズ、27…レンズ保持部材、29…スリーブ、31…フェルール、33…光ファイバ、35a〜35c…リード端子、35d〜35f…配線層、37a、39、40a、40b、41、42、53a、53b…ボンディングワイヤ、43…容量性素子、45…配線パターン、47…レンズ、151…アノード電極、153…p型クラッド層、154…活性層、155…n型クラッド層、156…n型半導体基板、157…カソード電極。

Claims (7)

  1. 導電性部材と、
    この部材上に載置されたヒートシンクと、
    このヒートシンク上に設けられた第1の導電層と、
    この第1の導電層上に載置され、当該層に電気的に接続された半導体発光素子と、
    この半導体発光素子に電気的に接続された駆動素子と、
    前記第1の導電層に電気的に接続されたリード端子と、
    前記半導体発光素子に光結合する光ファイバと
    を備えた光送信装置。
  2. 前記導電性部材、前記ヒートシンク、及び前記第1の導電層から構成されるキャパシタの静電容量が、50pF以上である請求項1に記載の光送信装置。
  3. 前記ヒートシンクが、AlN、BaまたはPbのチタン酸塩、あるいはKLiまたはSrBaのニオブ酸塩からなる請求項1または2に記載の光送信装置。
  4. 導電性部材と、
    この部材上に載置された導電性のヒートシンクと、
    このヒートシンク上に設けられた絶縁層と、
    この絶縁層上に設けられた第1の導電層と、
    この第1の導電層上に載置され、当該層に電気的に接続された半導体発光素子と、
    この半導体発光素子に電気的に接続された駆動素子と、
    前記第1の導電層に電気的に接続されたリード端子と、
    前記半導体発光素子に光結合する光ファイバと
    を備えた光送信装置。
  5. 前記ヒートシンク、前記絶縁層、及び前記第1の導電層から構成されるキャパシタの静電容量が、50pF以上である請求項4に記載の光送信装置。
  6. 前記絶縁層が、SiO、SiN、またはSiONからなる請求項4または5に記載の光送信装置。
  7. 前記ヒートシンクが、前記半導体発光素子を搭載する領域から所定の方向に延びる溝を有しており、前記光ファイバが該溝に搭載される請求項1〜6のいずれか一項に記載の光送信装置。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007123738A (ja) * 2005-10-31 2007-05-17 Sony Corp 光送信モジュール、光送受信モジュール及び光通信装置
JP2008005186A (ja) * 2006-06-22 2008-01-10 Ube Ind Ltd 薄膜圧電共振器と薄膜圧電フィルタ
JP2010161265A (ja) * 2009-01-09 2010-07-22 Denso Corp 電子装置
JP2020188239A (ja) * 2019-05-17 2020-11-19 富士ゼロックス株式会社 発光装置
CN114204407A (zh) * 2021-12-13 2022-03-18 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 激光器管芯的封装结构及封装方法
US20220181842A1 (en) * 2019-04-12 2022-06-09 Fujikura Ltd. Laser module and method of manufacturing the same

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1811617A1 (de) * 2006-01-18 2007-07-25 JENOPTIK Laserdiode GmbH Träger für eine vertikale Anordnung von Laserdiodenbarren mit Anschlag
US9337611B2 (en) * 2009-08-06 2016-05-10 Neophotonics Corporation Small packaged tunable laser transmitter
JP5286206B2 (ja) * 2009-09-11 2013-09-11 日立コンシューマエレクトロニクス株式会社 液晶表示装置
US8811445B2 (en) * 2010-03-29 2014-08-19 Lawrence Livermore National Security, Llc Enhanced vbasis laser diode package
WO2012151694A1 (en) 2011-05-10 2012-11-15 Obzerv Technologies Inc. Low inductance laser diode bar mount
JP6238226B2 (ja) * 2013-09-30 2017-11-29 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 半導体レーザ装置
US10205298B2 (en) 2015-06-29 2019-02-12 Hebei Hymax Optoelectronics Inc. Packaging structure for four-channel integrated tunable laser array chip
JP2018074057A (ja) * 2016-11-01 2018-05-10 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 半導体レーザキャリア組立体、光半導体装置、及び光半導体装置の製造方法
JP7303457B2 (ja) * 2019-09-18 2023-07-05 日本電信電話株式会社 光モジュール用パッケージ
JP2021136306A (ja) * 2020-02-26 2021-09-13 富士フイルムビジネスイノベーション株式会社 発光装置、光学装置及び情報処理装置
WO2021212289A1 (zh) * 2020-04-20 2021-10-28 深圳市汇顶科技股份有限公司 激光发射装置
WO2022165816A1 (zh) 2021-02-07 2022-08-11 深圳市汇顶科技股份有限公司 电容基线更新方法、芯片以及电容检测装置
CN118539284A (zh) * 2024-05-26 2024-08-23 华夏芯智慧光子科技(北京)有限公司 一种蝶形激光器及制备方法

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0464243A (ja) 1990-07-04 1992-02-28 Hitachi Ltd 半導体装置
US5615224A (en) * 1995-01-04 1997-03-25 The Regents Of The University Of California Apparatus and method for stabilization of the bandgap and associated properties of semiconductor electronic and optoelectronic devices
US5757027A (en) * 1995-11-06 1998-05-26 International Business Machines Corporation Semiconductor wafer testing method and apparatus
JPH1174618A (ja) * 1997-08-28 1999-03-16 Canon Inc 半導体レーザ装置および光量制御装置、画像形成装置
JPH11103120A (ja) * 1997-09-25 1999-04-13 Rohm Co Ltd 半導体レーザ装置
JP3416942B2 (ja) 1997-09-25 2003-06-16 住友電気工業株式会社 光モジュールおよび光モジュール用リードフレーム
JP2001210841A (ja) 2000-01-24 2001-08-03 Sumitomo Electric Ind Ltd 光通信装置
JP2001274500A (ja) 2000-03-28 2001-10-05 Sharp Corp 半導体レーザ装置
US6799967B2 (en) * 2001-07-10 2004-10-05 Cao Group, Inc. Light for use in activating light-activated materials, the light having a plurality of light emitting single chip arrays
US6663294B2 (en) * 2001-08-29 2003-12-16 Silicon Bandwidth, Inc. Optoelectronic packaging assembly
US6786627B2 (en) * 2001-09-21 2004-09-07 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Light generating module
JP2004179273A (ja) * 2002-11-26 2004-06-24 Nec Corp 半導体レーザチップ部品及びこれを用いた半導体レーザモジュール
US7039083B2 (en) * 2003-03-12 2006-05-02 Opnext, Inc. High speed optical transmission assembly
JP2005340567A (ja) * 2004-05-28 2005-12-08 Fuji Xerox Co Ltd 表面発光型半導体レーザ素子およびその製造方法

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007123738A (ja) * 2005-10-31 2007-05-17 Sony Corp 光送信モジュール、光送受信モジュール及び光通信装置
JP2008005186A (ja) * 2006-06-22 2008-01-10 Ube Ind Ltd 薄膜圧電共振器と薄膜圧電フィルタ
JP2010161265A (ja) * 2009-01-09 2010-07-22 Denso Corp 電子装置
US20220181842A1 (en) * 2019-04-12 2022-06-09 Fujikura Ltd. Laser module and method of manufacturing the same
JP2020188239A (ja) * 2019-05-17 2020-11-19 富士ゼロックス株式会社 発光装置
US11646547B2 (en) 2019-05-17 2023-05-09 Fujifilm Business Innovation Corp. Light emitting device
JP7318305B2 (ja) 2019-05-17 2023-08-01 富士フイルムビジネスイノベーション株式会社 発光装置
CN114204407A (zh) * 2021-12-13 2022-03-18 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 激光器管芯的封装结构及封装方法

Also Published As

Publication number Publication date
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