JP2018074057A - 半導体レーザキャリア組立体、光半導体装置、及び光半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体レーザキャリア組立体は、絶縁性のキャリアと、キャリア上に配置され互いに電気的に分離された導電性の第1パターン及び第2パターンと、キャリア上に実装されるとともに、第1パターンと電気的に接続された第1電極および第1電極とは反対導電型の第2電極を有する半導体レーザと、第2パターンと半導体レーザの第2電極とを電気的に接続する第1ワイヤと、を備える。キャパシタの一方の電極は、第1パターンと電気的に接続される。キャパシタの他方の電極は、キャリアの外部における電位を供給する第2ワイヤが直接にボンディングされるとともに、第3ワイヤを介して第2パターン及び第2電極の少なくとも一方と電気的に接続される。
【選択図】図4
Description
最初に、本発明の実施形態の内容を列記して説明する。一実施形態に係る半導体レーザキャリア組立体は、絶縁性のキャリアと、キャリア上に配置された導電性の第1パターンと、キャリア上に配置され、第1パターンとは電気的に分離された、導電性の第2パターンと、キャリア上に実装されるとともに、第1パターンと電気的に接続された第1電極および第1電極とは反対導電型の第2電極を有する半導体レーザと、第2パターンと半導体レーザの第2電極とを電気的に接続する第1ワイヤと、を備え、第1パターンは、一方の電極及び他方の電極を有するキャパシタの実装領域を提供し、キャパシタの一方の電極は、第1パターンと電気的に接続されるものであり、キャパシタの他方の電極は、キャリアの外部における電位を供給する第2ワイヤが直接にボンディングされるとともに、第3ワイヤを介して第2パターン及び第2電極の少なくとも一方と電気的に接続されるものである。
本発明の実施形態に係る半導体レーザキャリア組立体、光半導体装置、及び光半導体装置の製造方法の具体例を、以下に図面を参照しつつ説明する。なお、本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。以下の説明では、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
続いて、上記実施形態の一変形例について説明する。図12は、本変形例に係る光半導体装置としての発光部11a〜11dの構成を示す平面図である。本変形例と上記実施形態との相違点は、ワイヤの接続形態である。上記実施形態のボンディングワイヤ43は、図4に示すように半導体光集積素子30のパッド30aとバイアスパターン35とを電気的に接続している。これに対し、本変形例のボンディングワイヤ49は、半導体光集積素子30のパッド30aとキャパシタ38の上面電極とを電気的に接続している。
Claims (3)
- 絶縁性のキャリアと、
前記キャリア上に配置された導電性の第1パターンと、
前記キャリア上に配置され、前記第1パターンとは電気的に分離された、導電性の第2パターンと、
前記キャリア上に実装されるとともに、前記第1パターンと電気的に接続された第1電極および前記第1電極とは反対導電型の第2電極を有する半導体レーザと、
前記第2パターンと前記半導体レーザの前記第2電極とを電気的に接続する第1ワイヤと、を備え、
前記第1パターンは、一方の電極及び他方の電極を有するキャパシタの実装領域を提供し、
前記キャパシタの前記一方の電極は、前記第1パターンと電気的に接続されるものであり、
前記キャパシタの前記他方の電極は、前記キャリアの外部における電位を供給する第2ワイヤが直接にボンディングされるとともに、第3ワイヤを介して前記第2パターン及び前記第2電極の少なくとも一方と電気的に接続されるものである、半導体レーザキャリア組立体。 - 絶縁性のキャリアと、
前記キャリア上に配置された導電性の第1パターンと、
前記キャリア上に配置され、前記第1パターンとは電気的に分離された、導電性の第2パターンと、
前記キャリア上に実装されるとともに、前記第1パターンと電気的に接続された第1電極および前記第1電極とは反対導電型の第2電極を有する半導体レーザと、
前記第1パターン上に実装され、前記第1パターンと電気的に接続される一方の電極と前記半導体レーザの前記第2電極と電気的に接続される他方の電極とを有するキャパシタと、
前記第2パターンと前記半導体レーザの前記第2電極とを電気的に接続するワイヤ、前記キャパシタの前記他方の電極と前記半導体レーザの前記第2電極とを電気的に接続するワイヤ、及び、前記第2パターンと前記キャパシタの前記他方の電極とを電気的に接続するワイヤのうち少なくとも2つのワイヤと、
を備える光半導体装置。 - 導電性の第1パターンと、前記第1パターンとは電気的に分離された導電性の第2パターンとを有する絶縁性のキャリアを準備する工程と、
前記キャリア上に、前記第1パターンと電気的に接続される第1電極および前記第1電極とは反対導電型の第2電極を有する半導体レーザを実装する工程と、
前記半導体レーザの前記第2電極と前記第2パターンとをワイヤボンディングにより電気的に接続する工程と、
前記第2パターンに対してプローブを接続し、前記半導体レーザを試験する工程と、
前記第1パターン上に実装され、前記第1パターンに電気的に接続される一方の電極と前記半導体レーザの前記第2電極に電気的に接続される他方の電極とを有するキャパシタの前記他方の電極と、前記キャリアの外部における電位とをワイヤボンディングにより直接に接続する工程と、
を備える光半導体装置の製造方法。
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