JPH11233876A - レーザモジュール - Google Patents
レーザモジュールInfo
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- JPH11233876A JPH11233876A JP3332098A JP3332098A JPH11233876A JP H11233876 A JPH11233876 A JP H11233876A JP 3332098 A JP3332098 A JP 3332098A JP 3332098 A JP3332098 A JP 3332098A JP H11233876 A JPH11233876 A JP H11233876A
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- laser diode
- circuit
- lead pin
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Abstract
頼性の高いデータ伝送を行うことが可能なレーザモジュ
ール。 【解決手段】 差動出力部11の一方の差動出力端子1
3に接続された第1の出力回路の負荷インピーダンス
4,5,6と、他方の差動出力端子14に接続された第
2の出力回路の負荷インピーダンス20,21,22と
が等価で互いに平衡となるように接続をすることによっ
て、差動負荷のバランスを完全にとるようにする。
Description
に関し、特に、高速動作時に良好な発光出力を得ること
が可能なレーザモジュールに関する。
ル(LDパッケージ)の構造例を示すものである。これ
は、発光出力が円形パッケージ(TO型)の頭部から得
られる同軸型のモジュールの例である。
ム1上には、突起部2が形成されている。この突起部2
には、絶縁体の表面がメタライズされて構成された熱伝
導性のよいサブマウント3が搭載されている。このサブ
マウント3上には、n型半導体基板上に各層が形成され
たレーザダイオード(以下、LDという)4が搭載され
ている。このサブマウント3を設けるのは、n型半導体
基板ではカソードが下面側にあり、アノード接地として
LD4を駆動する際、n型半導体基板側に駆動用信号を
印加する心要があるためである。
ブマウント3上の電極と接続され、サブマウント3上の
電極(マウント表面のどこでも可)はボンディングワイ
ヤ5を介して信号用のリードピン6と接続されている。
リードピン6は、ステム1と電気的に絶縁されている。
一方、LD4の表面側のアノード(p電極)は、ボンデ
ィングワイヤ7を介して、突起部2と接続されている。
この突起部2は、ステム1の下面側で鉛直方向に延在し
たケースピン8と接続されている。
LD4の発光個所又はステム1の中央部に一致するよう
な位置とされている。このステム1の全体を覆うよう
に、中央部に集光レンズ(図示せず)が一体化して設け
られた蓋を被せることによって、レーザモジュールが構
成される。
示したレーザモジュールを等価回路的に示したものであ
る。図11は、図10の全体的な外観構成を示す。
らリードピン6の先端までには、ボンディングワイヤ
5,7による寄生インダクタンスLc,La(いずれ
も、1.0nH程度)、リードピン6,ケースピン8自
身が各々持つ寄生インダクタンスLp(0.5nH程
度)が存在する。この場合、Lcは、カソード側のボン
ディングワイヤ5のワイヤインダクタンスである。La
は、アノード側のボンディングワイヤ7のワイヤインダ
クタンスである。Lpは、カソード側のリードピン6の
ピンインダクタンス、および、アノード側のケースピン
8のピンインダクタンスである。
る。この駆動回路10は、3個のトランジスタ(FE
T)11a〜11cからなる差動出力部11と、アンプ
部12とにより構成されている。差動出力部11の一方
のOUT出力端子13は、リードピン6に接続されてい
る。差動出力部11の他方のOUTB(=/OUT)出
力端子14は、接地されている。そして、パッケージの
ケースピン8を駆動回路10の近辺に接地した場合に
は、パッケージ周辺に存在する寄生インダクタンスの成
分は、全て、駆動回路10のOUT出力端子13側に接
続されているとみなされる。
0の差動出力段の接合容量(Cgd、Cgs)、拡散容
量、配線経路中の寄生(浮遊)容量と一体となって回路
を構成する。LD4の動作周波数が数MHz〜数十MH
z程度の速度では、これら寄生インダクタンスを有する
寄生素子の影響は無視できるが、数百MHz〜GHz帯
の高速動作領域の速度では、寄生素子によって構成され
る寄生回路の時定数が動作周波数と重なり、その影響が
無視できなくなる。そして、従来のレーザモジュールで
は、寄生インダクタンスが全て駆動回路10のOUT側
に接続されているため、OUT側のみにその影響が現わ
れ、差動負荷にアンバランスが生じる。その結果、正確
な差動出力を得ることができず、LD4を正常に駆動さ
せることができなくなり、光通信等において入力データ
パターンに依存したジッタが発生するという問題があ
る。
て、図12に示すような回路が考えられる。図13は、
図12の全体的な概略構成を示す。
ールの構成部分である。このレーザモジュールのステム
(金属製)1と駆動回路10の接地線(GND)10a
とは、低インダクタンスな幅広の導体パターン15を用
いて接続され、電気的に確実に導通されている。また、
駆動回路10のOUTB出力端子14には、LD4のオ
ン抵抗rとほぼ同程度の抵抗値(10〜20Ω)をもつ
ダミー負荷16が挿入されている。図14は、ダミー負
荷16の1例を示すものであり、抵抗や、1個又は2個
のダイオードを用いて構成できる。
負荷16と、ケースピン8とからなる回路の一端は、ス
テム1(GND)に接続されている。一方、OUT出力
端子13には、信号用のリードピン6と、ボンディング
ワイヤ5と、LD4と、ボンディングワイヤ7とからな
る回路が接続され、この回路の一端はステム1(GN
D)に接続されている。
に、低インダクタンスの導体パターン15を設けると共
に、OUTB出力端子14にダミー負荷16を接続する
ことによって、差動負荷のバランスをとるようにしてい
る。
ったとしても、差動負荷のアンバランスを相殺除去でき
る部分は、リードピン6,ケースピン8の寄生インダク
タンスLp部分のみであり、ボンディングワイヤ5,7
に起因する寄生インダクタンスLc,LaはOUT出力
端子13側の回路に依然として混入されたままである。
このため、差動負荷のバランスを完全にとることができ
ないという問題が残る。
ンスを完全にとることによって、高速動作時の安定化を
図り、ひいては、ジッタのない信頼性の高いデータ伝送
を行うことが可能なレーザモジュールを提供することに
ある。
ケージに封止されたレーザダイオードと、差動回路とし
て構成された差動出力部を有し、前記レーザダイオード
を駆動する駆動回路と、前記差動出力部の一方の差動出
力端子に接続され、前記レーザダイオードを含む所定の
負荷インピーダンスを有する第1の出力回路と、前記差
動出力部の他方の差動出力端子に接続され、かつ、前記
第1の出力回路の負荷インピーダンスと等価な負荷イン
ピーダンスを有する第2の出力回路とを具え、前記第1
の出力回路の負荷インピーダンスと前記第2の出力回路
の負荷インピーダンスとを互いに平衡となるように接続
することによって、レーザモジュールを構成する。
ーダンスは、前記レーザダイオードと、前記パッケージ
の第1のリードピンと、前記第1のリードピンと前記レ
ーザダイオードの第1の電極に接続されたサブマウント
とを接続する第1のボンディングワイヤとにより構成さ
れ、前記第2の出力回路の負荷インピーダンスは、前記
レーザダイオードのダミー用抵抗と、前記パッケージの
第2のリードピンと、前記第2のリードピンと前記レー
ザダイオードの第2の電極とを接続する第2のボンディ
ングワイヤとにより構成し、前記第1のリードピンおよ
び前記第2のリードピンは前記パッケージと電気的に絶
縁することができる。
のリードピンと、前記第3のリードピンと前記レーザダ
イオードの第2の電極とを接続する第3のボンディング
ワイヤとをさらに具えることができる。
は、前記レーザダイオードと、前記パッケージの第1の
リードピンと、前記第1のリードピンと前記レーザダイ
オードの第1の電極に接続されたサブマウントとを接続
する第1のボンディングワイヤとによって構成し、前記
第2の出力回路の負荷インピーダンスは、前記レーザダ
イオードのダミー用レーザダイオードと、前記パッケー
ジの第2のリードピンと、前記第2のリードピンと前記
ダミー用レーザダイオードの第1の電極に接続されたサ
ブマウントとを接続する第2のボンディングワイヤとに
よって構成し、前記レーザダイオードの第2の電極と前
記ダミー用レーザダイオードの第2の電極とは第3のボ
ンディングワイヤで接続し、前記第1のリードピンおよ
び前記第2のリードピンは前記パッケージと電気的に絶
縁することができる。
ザダイオードとは一体にして構成し、前記レーザダイオ
ードおよび前記ダミー用レーザダイオードにおける前記
第1の電極は分離し、かつ、前記第2の電極は共通に形
成することができる。
とは、寄生インダクタンスを含まない低インピーダンス
の導体で接続することができる。
実施の形態を詳細に説明する。
に基づいて説明する。なお、従来例と同一部分について
は同一符号を付し、その説明は省略する。
1と絶縁されたピン(従来例では信号用のリードピンの
みが絶縁されていた)を少なくとも2本設け、一方のピ
ン側に接続される素子を用いてダミー用回路を構成した
ことを特徴とするものである。すなわち、2本のピンの
うち、その一方のピンであるリードピン6は、LD4の
カソードおよび駆動回路10のOUT出力端子13と接
続されることによって一つの回路を構成する。また、そ
の他方のピンであるケースピンは、LD4のアノードお
よび駆動回路10のOUTB出力端子14と接続される
ことによってダミー用回路を構成する。
す。図2は、図1の構成を等価的な回路として示したも
のである。
に配置されており、このLD4の裏面側に位置するカソ
ード(n型半導体基板側のn電極)は、サブマウント3
上の電極と接続されている。このサブマウント3上の電
極は、ボンディングワイヤ5を介して、信号用のリード
ピン6と接続されている。これにより、リードピン6か
ら入力された信号は、LD4のカソードに印加される。
リードピン6とステム1とは電気的に絶縁されている。
リードピン6は、駆動回路10の差動出力部11のOU
T出力端子13に接続されている。
極)は、ボンディングワイヤ20を介して、ケースピン
21と接続されている。ケースピン21とステム1とは
電気的に絶縁されている。そして、ケースピン21は、
ダミー負荷22を介して、駆動回路10の差動出力部1
1のOUTB出力端子14に接続されている。
ン抵抗rと同等程度の抵抗(駆動時)をもって構成され
ている。このダミー負荷22としては、前記図14に示
したような、抵抗や、ダイオード等を用いて構成できる
ものであり、本例では、以下、ダミー抵抗rdからなる
ものとする。
とは別個に、ケースピン31をステム1に設けてもよ
い。この場合、ケースピン31は、ボンディングワイヤ
30を介して、LD4上のアノードと接続される。この
ケースピン31は駆動回路10の接地線(GND)32
と接続されており、また、ケースピン31はステム1と
導通させてもよい。ここで、LD4のアノードは、図2
に示す電位Vdgを与える接続点pに相当する。
ワイヤを介してステム1に直接接続してもよい。この場
合、ステム1と駆動回路10の接地線(GND)とが、
幅広のパターンで結線されている方が、高速の信号に対
しては、安定した動作が得られる。
相当する。10は、前述した差動出力部11を有する駆
動回路に相当する。そして、差動出力部11のOUT出
力端子13には、LD4のオン抵抗rと、ボンディング
ワイヤ5のワイヤインダクタンスLc1と、リードピン
6のピンインダクタンスLpとの負荷インピーダンスか
らなる回路が接続されている。一方、OUTB出力端子
14には、ボンディングワイヤ20のワイヤインダクタ
ンスLa1と、ケースピン21のピンインダクタンスL
pと、ダミー負荷22のダミー抵抗rdとの負荷インピ
ーダンスからなる回路が接続されている。この場合、負
荷インピーダンス(r,Lc1,Lp)と、負荷インピ
ーダンス(La1,Lp,rd)とは、互いに等しいも
のとする。これら負荷インピーダンスを有する回路の一
端は、電位Vdgを有する接続点pで接続されている。
30のワイヤインダクタンスLa2と、ケースピン31
のピンインダクタンスLpとからなる回路が接続され、
この回路の一端は接地線32により接地されている。な
お、Lc1,Lp,La1,La2は、寄生インダクタ
ンスに相当する。
クタンスLa1=La2とすることにより、電位Vdg
の接続点pは仮想接地状態と考えることができる。ここ
で、Lc1=La1、Lp(リードピン6側)=Lp
(ケースピン21側)とすると、駆動回路10の差動出
力部11には、負荷インピーダンス(r,Lc1,L
p)と負荷インピーダンス(La1,Lp,rd)とが
互いに等しい回路が挿入されることになるため、差動負
荷のバランスをとることができる。従って、寄生素子の
存在が問題となるような高速動作時においても、差動回
路の正相/逆相とでほぼ対称な動作を実現することが可
能となる。
されている。さらに、ステム1と駆動回路10の接地線
10aとの間は、低インダクタンスな幅広の導体パター
ン40によって接続されている。このような幅広の導体
パターン40を用いて構成したことによって、図2のケ
ースピン31のピンインダクタンスLpは短絡状態とな
り、ボンディングワイヤ30によるワイヤインダクタン
スLa2が直接接地される回路となる。これにより、高
速動作に対して、応答性を一層安定化させることができ
る。
および図5に基づいて説明する。なお、前述した第1の
実施の形態と同一部分については同一符号を付し、その
説明は省略する。
10の両相の負荷をバランスさせるために、逆相出力側
にLD4の順方向抵抗値とほぼ同等なダミー抵抗を挿入
した。しかし、動作速度がGHzを越える領域になる
と、駆動回路10の差動出力部11の接合容量に加え、
LD4自身の持つ接合容量も問題となってくる。そこ
で、本例では、LD4の接合容量をも含めた系に対処す
る場合の例について述べる。
LD4と同様な構造をもつダミー負荷としてのダミー用
LD51が設けられている。この場合、ダミー用LD5
1は、LD4のオン抵抗rと同等な抵抗rdを有する。
また、ダミー用LD51の出射端面は95%以上の高反
射膜51aで覆われており、光が外部に取出せないよう
な構造とされている。すなわち、ダミー用LD51は、
単なるダイオードとしてのI−V特性を得るための目的
で設けられる。
ント50の電極と接触している。サブマウント50は、
ボンディングワイヤ52を介して、ケースピン53と接
続されている。ケースピン53は、駆動回路10のOU
TB出力端子14と接続されている。なお、ケースピン
53は、ステム1と電気的に絶縁されている。ここで、
ボンディングワイヤ52はワイヤインダクタンスLc2
を有し、ケースピン53はピンインダクタンスLpを有
している。
ンディングワイヤ54を介して、LD4のアノードと接
続されている。LD4のアノードは、ボンディングワイ
ヤ20を介して、ケースピン21と接続されている。ケ
ースピン21は、接地線25により接地され、また、ス
テム1と電気的に導通されている。ここで、ボンディン
グワイヤ54はワイヤインダクタンスLa2、ボンディ
ングワイヤ20はワイヤインダクタンスLa1、ケース
ピン21はピンインダクタンスLpをそれぞれ有してい
る。
ドピン6と接続され、リードピン6は駆動回路10のO
UT出力端子13と接続されている。なお、LD4は、
図4中ではステム1の中央部に位置していないが、前述
した例と同様に、ステム1の中央部に位置するように調
整しておく。
路10の差動出力部11からみた負荷インピーダンス
は、LD4とダミー用LD51とが接合容量的にも等価
となるため、高速動作時の安定性をさらに増加させるこ
とができる。
示したものである。
抵抗r、寄生インダクタンスLc1,Lpからなる負荷
インピーダンスを有している。OUTB出力端子14に
接続された回路は、抵抗rd、寄生インダクタンスLc
2,Lp,La2からなる負荷インピーダンスを有して
いる。電位Vdgを有する接続点pが仮想接地されてい
る。今、r=rd、Lc1=Lc2、Lp(カソード
側)=Lp(アノード側)とすると、寄生インダクタン
スLa2がOUTB出力端子14側に残るため、差動負
荷のアンバランスが生じる。
出力端子14側では2本のボンディングワイヤ52,5
4を介してLD4のアノードに接続されているのに対し
て、OUT出力端子13側では1本のワイヤしか介して
いないことに原因する。差動負荷のアンバランスが生じ
ると、動作速度がさらに速い場合に影響が現れてくる。
生インダクタンスLa2は非常に小さなものであり、し
かも、カソード側の個々のボンディングワイヤ5,52
の長さは調整することができるため、差動負荷のアンバ
ランスを解消させることができる。
ステム1と導通させ、さらに、ステム1と駆動回路10
の接地線10aとの間を幅広の導体パターンで接続する
ことによって、ケースピン21に起因する寄生インダク
タンスLp分をキャンセルすることが可能となる。
ないし図8に基づいて説明する。なお、前述した第1お
よび第2の実施の形態と同一部分については同一符号を
付し、その説明は省略する。
用いたLD4、ダミー用LD51を一体にして構成した
場合の例である。
す。ステム1の突起部2には、マルチビームレーザダイ
オード(LD)60のチップが取付けられている。この
マルチビームLD60は、発光部61と、ダミー用発光
部62とから構成されている。発光部61は、前記LD
4に対応した発光領域として形成されている。ダミー用
発光部62は、前記ダミー用LD51に対応した発光領
域として形成されている。そして、ダミー用発光部62
の出射端面は、高反射膜63で覆われている。64は、
光を出射する活性層の領域である。従って、光は、発光
部61の活性層64側のみから出射され、高反射膜63
が被覆されたダミー用発光部62からは出射されない。
る側の下面には、共通のアノード(p電極)65が形成
されている。また、マルチビームLD60の上面には、
カソード(n電極)66a,66bが形成されている。
カソード66aからはボンディングワイヤ5が引き出さ
れ、リードピン6と接続されている。カソード66bか
らはボンディングワイヤ52が引き出され、ケースピン
53と接続されている。
示したものである。
出力端子13側の回路に接続されている。オン抵抗rと
等価なダミー用抵抗rdを有するダミー用発光部62
は、OUTB出力端子14側の回路に接続されている。
その他の駆動回路10側の構成は、前述した図5の回路
と同様である。
マルチビームLD60の1例を示す。活性層64は、G
aAsInPからなっている。この活性層64は、狭窄
型のp型ブロック層70、n型ブロック層71によって
電流ブロックされている。72は、p型InP基板とさ
れたクラッド層である。このクラッド層72の下面に
は、アノード65の共通電極が形成されている。この共
通電極とされたアノード65は、ステム1の突起部2に
固着される。一方、73は、n型クラッド層である。こ
のクラッド層73上には、コンタクト層74、絶縁層7
5が積層されている。コンタクト層74の面には、n型
InPのカソード66a,66bの電極が各々形成され
ている。カソード66aの電極からはボンディングワイ
ヤ5が引き出され、カソード66bの電極からはボンデ
ィングワイヤ52が引き出される。
64からのみ光が出射され、ダミー用発光部62の出射
端面側の活性層64は高反射膜63で覆われた状態とな
っているため、光は出射しない。
4、ダミーLD51)を、独立したサブマウント3,5
0上に搭載するのは、製造工程上煩雑となり、出射光取
出し側のLD4の光軸調整にも支障を来すおそれがあ
る。しかし、本例のように、2つのLDをモノリシック
な構造として構成することによって、2つのLDを結線
するボンディングワイヤ54を省略することができ、こ
れにより、ワイヤインダクタンスLa2を除去でき、製
造工程の簡略化を図ることも可能となる。
差動出力部の一方の差動出力端子に接続された第1の出
力回路の負荷インピーダンスと、差動出力部の他方の差
動出力端子に接続された第2の出力回路の負荷インピー
ダンスとが等価で互いに平衡となるように回路接続をし
たので、差動負荷のバランスを完全にとることができ、
これにより、光通信等における高速動作時においても寄
生素子の影響をなくし安定した出力動作を行うことが可
能となり、引いては、ジッタのない信頼性の高いデータ
伝送が行えるレーザモジュールを作製することができ
る。
と駆動回路の接地電極とを低インピーダンスな導体で接
続したので、高速動作に対してさらに安定化を図ること
ができる。
ュールの構造を示す斜視図である。
路図である。
設した場合の接続形態を示す構成図である。
ュールの構造を示す斜視図である。
路図である。
ュールの構造を示す斜視図である。
路図である。
斜視図である。
ある。
回路図である。
形態を示す構成図である。
示す回路図である。
付設した場合の接続形態を示す構成図である。
Claims (6)
- 【請求項1】 金属製のパッケージに封止されたレーザ
ダイオードと、 差動回路として構成された差動出力部を有し、前記レー
ザダイオードを駆動する駆動回路と、 前記差動出力部の一方の差動出力端子に接続され、前記
レーザダイオードを含む所定の負荷インピーダンスを有
する第1の出力回路と、 前記差動出力部の他方の差動出力端子に接続され、か
つ、前記第1の出力回路の負荷インピーダンスと等価な
負荷インピーダンスを有する第2の出力回路とを具え、
前記第1の出力回路の負荷インピーダンスと前記第2の
出力回路の負荷インピーダンスとが互いに平衡となるよ
うに接続されたことを特徴とするレーザモジュール。 - 【請求項2】 前記第1の出力回路の負荷インピーダン
スは、前記レーザダイオードと、前記パッケージの第1
のリードピンと、前記第1のリードピンと前記レーザダ
イオードの第1の電極に接続されたサブマウントとを接
続する第1のボンディングワイヤとにより構成され、 前記第2の出力回路の負荷インピーダンスは、前記レー
ザダイオードのダミー用抵抗と、前記パッケージの第2
のリードピンと、前記第2のリードピンと前記レーザダ
イオードの第2の電極とを接続する第2のボンディング
ワイヤとにより構成され、 前記第1のリードピンおよび前記第2のリードピンは前
記パッケージと電気的に絶縁されていることを特徴とす
る請求項1記載のレーザモジュール。 - 【請求項3】 前記パッケージと電気的に短絡された第
3のリードピンと、前記第3のリードピンと前記レーザ
ダイオードの第2の電極とを接続する第3のボンディン
グワイヤとをさらに具えたことを特徴とする請求項2記
載のレーザモジュール。 - 【請求項4】 前記第1の出力回路の負荷インピーダン
スは、前記レーザダイオードと、前記パッケージの第1
のリードピンと、前記第1のリードピンと前記レーザダ
イオードの第1の電極に接続されたサブマウントとを接
続する第1のボンディングワイヤとによって構成され、 前記第2の出力回路の負荷インピーダンスは、前記レー
ザダイオードのダミー用レーザダイオードと、前記パッ
ケージの第2のリードピンと、前記第2のリードピンと
前記ダミー用レーザダイオードの第1の電極に接続され
たサブマウントとを接続する第2のボンディングワイヤ
とによって構成され、 前記レーザダイオードの第2の電極と前記ダミー用レー
ザダイオードの第2の電極とは第3のボンディングワイ
ヤで接続され、 前記第1のリードピンおよび前記第2のリードピンは前
記パッケージと電気的に絶縁されたことを特徴とする請
求項1記載のレーザモジュール。 - 【請求項5】 前記レーザダイオードと前記ダミー用レ
ーザダイオードとは一体にして構成され、 前記レーザダイオードおよび前記ダミー用レーザダイオ
ードにおける前記第1の電極は分離され、かつ、前記第
2の電極は共通に形成されたことを特徴とする請求項4
記載のレーザモジュール。 - 【請求項6】 前記パッケージと前記駆動回路の接地電
極とは、寄生インダクタンスを含まない低インピーダン
スの導体で接続されたことを特徴とする請求項2ないし
5のいずれかに記載のレーザモジュール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP03332098A JP3379421B2 (ja) | 1998-02-16 | 1998-02-16 | レーザモジュール |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP03332098A JP3379421B2 (ja) | 1998-02-16 | 1998-02-16 | レーザモジュール |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11233876A true JPH11233876A (ja) | 1999-08-27 |
JP3379421B2 JP3379421B2 (ja) | 2003-02-24 |
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ID=12383279
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP03332098A Expired - Fee Related JP3379421B2 (ja) | 1998-02-16 | 1998-02-16 | レーザモジュール |
Country Status (1)
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---|---|
JP (1) | JP3379421B2 (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004008593A1 (ja) | 2002-07-12 | 2004-01-22 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | 光半導体用パッケージ |
WO2004008594A1 (ja) * | 2002-07-12 | 2004-01-22 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | 光半導体装置 |
JP2004063852A (ja) * | 2002-07-30 | 2004-02-26 | Mitsubishi Electric Corp | 光半導体集積装置 |
JP2004146777A (ja) * | 2002-08-26 | 2004-05-20 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体レーザモジュールおよび半導体レーザ装置 |
EP1445843A1 (de) * | 2003-02-05 | 2004-08-11 | Alcatel | Ansteuerschaltung und Verfahren zum Betreiben eines Halbleiterlasers |
WO2006129684A1 (en) * | 2005-06-01 | 2006-12-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Laser driving circuit |
US7189012B2 (en) | 2003-05-27 | 2007-03-13 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Semiconductor laser module having a co-axial package and transmission lines for complementary driving signal |
JP2007116247A (ja) * | 2005-10-18 | 2007-05-10 | Sharp Corp | 直交信号発生回路並びにそれを備えた受信チューナおよび通信機器 |
JP2017204604A (ja) * | 2016-05-13 | 2017-11-16 | ローム株式会社 | 半導体レーザ装置および半導体レーザ装置の実装構造 |
JP2020064942A (ja) * | 2018-10-16 | 2020-04-23 | 新光電気工業株式会社 | ステム |
-
1998
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Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004008593A1 (ja) | 2002-07-12 | 2004-01-22 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | 光半導体用パッケージ |
WO2004008594A1 (ja) * | 2002-07-12 | 2004-01-22 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | 光半導体装置 |
US7154126B2 (en) | 2002-07-12 | 2006-12-26 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Feed through structure for optical semiconductor package |
US7217958B2 (en) | 2002-07-12 | 2007-05-15 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Feed through structure for optical semiconductor package |
JP2004063852A (ja) * | 2002-07-30 | 2004-02-26 | Mitsubishi Electric Corp | 光半導体集積装置 |
JP2004146777A (ja) * | 2002-08-26 | 2004-05-20 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体レーザモジュールおよび半導体レーザ装置 |
JP4586337B2 (ja) * | 2002-08-26 | 2010-11-24 | 住友電気工業株式会社 | 半導体レーザモジュールおよび半導体レーザ装置 |
EP1445843A1 (de) * | 2003-02-05 | 2004-08-11 | Alcatel | Ansteuerschaltung und Verfahren zum Betreiben eines Halbleiterlasers |
US7189012B2 (en) | 2003-05-27 | 2007-03-13 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Semiconductor laser module having a co-axial package and transmission lines for complementary driving signal |
JP2007013111A (ja) * | 2005-06-01 | 2007-01-18 | Canon Inc | レーザー駆動回路 |
US7697582B2 (en) | 2005-06-01 | 2010-04-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Laser driving circuit |
KR100966501B1 (ko) | 2005-06-01 | 2010-06-29 | 캐논 가부시끼가이샤 | 레이저 구동 회로 |
WO2006129684A1 (en) * | 2005-06-01 | 2006-12-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Laser driving circuit |
JP2007116247A (ja) * | 2005-10-18 | 2007-05-10 | Sharp Corp | 直交信号発生回路並びにそれを備えた受信チューナおよび通信機器 |
JP2017204604A (ja) * | 2016-05-13 | 2017-11-16 | ローム株式会社 | 半導体レーザ装置および半導体レーザ装置の実装構造 |
JP2020064942A (ja) * | 2018-10-16 | 2020-04-23 | 新光電気工業株式会社 | ステム |
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