JP2004281276A - Fpdの保護膜用蒸着材およびその製造方法ならびにこれを用いたfpd - Google Patents
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Abstract
【解決手段】FPDの保護膜用蒸着材は、表面が硫酸化物層および/または硫化物層12で覆われた多結晶体11,焼結体または単結晶体により形成される。
多結晶体11,焼結体または単結晶体が、MgO,CaO,SrO,BaO,アルカリ土類複合酸化物もしくは希土類酸化物,またはアルカリ土類酸化物および希土類酸化物の複合酸化物のいずれかにより形成され、硫酸化物層および/または硫化物層12がガス状硫酸化剤および/または硫化剤とMgO,CaO,SrO,BaO,アルカリ土類複合酸化物もしくは希土類酸化物,またはアルカリ土類酸化物および希土類酸化物の複合酸化物のいずれかとの反応によって得られる。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、PDP(Plasma Display Panel:プラズマディスプレイパネル)、PALC(Plasma Addressed Liquid Crystal display)等のFPD(Flat Panel Display)の保護膜を成膜するのに好適な蒸着材およびその製造方法に用いて好適な技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
ここ数年、液晶(Liquid Crystal Disply:以下、LCDという)をはじめとして、各種の平面ディスプレイの研究開発と実用化はめざましく、その生産も急増している。カラープラズマディスプレイパネル(以下、PDPという)についても、その開発と実用化の動きが最近活発になっている。PDPは大型化し易く、ハイビジョン用大画面壁掛けテレビの最短距離にあり、既に対角40インチクラスのPDPの製造が進められている。このようなPDPを含むFPDでは、ガラス誘電体層が直接放電にさらされ、イオン衝撃のスパッタリングにより誘電体層表面が変化して、放電開始電圧が上昇していた。そのため、高い昇華熱を持つ種々の酸化物を保護膜とすることがおこなわれる。
【0003】
従来、この保護膜を形成する方法として、電子ビーム蒸着法,スパッタリング法,イオンプレーティング法などの真空プロセスを用いてFPDの保護膜を形成する方法が知られている。電子ビーム蒸着法およびイオンプレーティング法では、保護膜を形成するための原料である蒸着材と、保護膜を形成させるFPDガラス基板を真空容器内に設置し、高真空下において蒸着材を加熱、または電子ビームやプラズマ等を用いて蒸発させ、その蒸気をFPDガラス基板の表面に薄膜として凝着させている。
【0004】
一方、PDPの保護膜は直接、放電空間に接しているため、放電特性に最も重要な役割を担うキーマテリアルであり、従来より2次電子放出能が高く、耐スパッタ性,光透過性および絶縁性に優れたMgO膜が使用されている。
【0005】
【特許文献1】
特開平10−149767号公報
【特許文献2】
特開2000−35382号公報
【特許文献3】
特開2001−43806号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このMgO膜は工程途中で大気中に曝されると、容易にCO2 やH2O と反応して変質することから、MgO本来の特性を得るためには、蒸着材を真空容器内部に設置した後、真空加熱下での長時間の脱ガス排気処理が必要であることが知られている。
即ち、比較的長い時間をかけて脱ガス排気処理をおこなわないと、蒸着材の変質した表面から多量に生じるH2O,CO2等の不純物ガスが得られた保護膜の特性に不具合を生じさせることが知られている。
【0007】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、容器内部に設置した直後の脱ガス排気処理時間を短縮し得るFPDの保護膜用蒸着材およびその製造方法を提供するという目的を達成しようとするものである。
また、本発明は、広いエリアで膜厚分布が小さく特性が安定した均一な成膜が可能なFPDの保護膜用蒸着材およびその製造方法を提供することを目的とする。
さらに、FPD製造過程における蒸着材のMgO等が大気中のH2O ,CO2 等と反応するのを硫酸化物層およびまたは硫化物層が阻止あるいは抑制することにより、MgO等がFPDに有害なMgCO3 やMg(OH)2 等に変質するのを防止あるいは抑制する、即ち蒸着材の耐環境性を向上できる、という目的を達成しようとするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明のFPDの保護膜用蒸着材(10)は、表面が硫酸化物層および/または硫化物層(12)で覆われた多結晶体(11),焼結体または単結晶体により形成されたことにより上記課題を解決した。
本発明は、多結晶体(11),焼結体または単結晶体が、MgO,CaO,SrO,BaO,アルカリ土類複合酸化物もしくは希土類酸化物,またはアルカリ土類酸化物および希土類酸化物の複合酸化物のいずれかにより形成されることが好ましい。
本発明は、硫酸化物層化物層および/または硫化物層がガス状硫酸化剤および/または硫化剤とMgO,CaO,SrO,BaO,アルカリ土類複合酸化物もしくは希土類酸化物,またはアルカリ土類酸化物および希土類酸化物の複合酸化物のいずれかとの反応によって得られたことが可能である。
本発明は、硫酸化物層および/または硫化物層(12)の厚さが0.1〜1000nmである手段を採用することができる。
本発明のFPDの保護膜用蒸着材の製造方法は、MgO,CaO,SrO,BaO,アルカリ土類複合酸化物もしくは希土類酸化物,またはアルカリ土類酸化物および希土類酸化物の複合酸化物のいずれかの多結晶体(11),焼結体または単結晶体を形成する工程と、
前記多結晶体,焼結体または単結晶体をガス状硫酸化剤および/または硫化剤にて表面処理することにより前記多結晶体,焼結体または単結晶体の表面に硫酸化物層および/または硫化物層(12)を形成する工程と、を含むことが望ましい。
本発明は、ガス状硫酸化剤および/または硫化剤がSO2 、SO3 、H2Sのいずれかであることが好ましい。
本発明のFPDは、上記の蒸着材または上記の方法により得られた蒸着材を用いて蒸着法により保護膜が形成されたことにより上記課題を解決した。
【0009】
本発明のFPDの保護膜用蒸着材(10)は、図1に示すように、表面が硫酸化物層および/または硫化物層12で覆われた多結晶体11,焼結体または単結晶体により形成され、このFPDの保護膜用蒸着材では、多結晶体11,焼結体または単結晶体の表面が硫酸化物層および/または硫化物層12により被覆されるため、この蒸着材10が大気中に長時間曝されても、多結晶体11,焼結体または単結晶体が大気中のCO2 ガスやH2O ガスとほとんど反応しない。この結果、容器内部にこの蒸着材10を設置した後に発生する有害物質の量は従来より抑制され、この有害物質を除去するために従来からおこなわれている脱ガス排気処理を短縮またはそのガス処理工程を省くことが可能になり、FPDの製造コストを従来より低減できる。
【0010】
本発明は、多結晶体11,焼結体または単結晶体が、MgO,CaO,SrO,BaO,アルカリ土類複合酸化物もしくは希土類酸化物,またはアルカリ土類酸化物および希土類酸化物の複合酸化物のいずれかにより形成されているため、電子ビーム蒸着法、イオンプレーティング法等により保護膜をFPDに成膜する際に、H2O,CO2等の不純物ガスが発生させることなく蒸発するので、広いエリアで膜厚分布が小さく特性が安定した均一な成膜が可能になる。
【0011】
本発明は、硫酸化物層および/または硫化物層12がガス状硫酸化剤および/または硫化剤とMgO,CaO,SrO,BaO,アルカリ土類複合酸化物もしくは希土類酸化物,またはアルカリ土類酸化物および希土類酸化物の複合酸化物のいずれかとの反応によって得ることが望ましい。さらに、ガス状硫酸化剤および/または硫化剤がSO2 、SO3 、H2S のいずれかであることが好ましく、硫酸化物層および/または硫化物層12の厚さが0.1〜1000nmであることが好ましく、これにより、多結晶体11,焼結体または単結晶体の表面に硫酸化物層および/または硫化物層12を比較的容易に形成することができ、上述のように多結晶体11,焼結体または単結晶体が大気中のCO2 ガスやH2O ガスとほとんど反応しなくなる。
【0012】
本発明のFPDの保護膜用蒸着材の製造方法は、MgO,CaO,SrO,BaO,アルカリ土類複合酸化物もしくは希土類酸化物,またはアルカリ土類酸化物および希土類酸化物の複合酸化物のいずれかの多結晶体11,焼結体または単結晶体を形成する工程と、前記多結晶体11,焼結体または単結晶体をガス状硫酸化剤および/または硫化剤にて表面処理することにより前記多結晶体,焼結体または単結晶体の表面に硫酸化物層および/または硫化物層12を形成する工程と、を含むことにより、大気中に長時間曝されても大気中のCO2ガスやH2Oガスとほとんど反応しない蒸着材を比較的容易に得ることができる。このため、MgO等がFPDの機能にとって有害なMgO等の炭酸塩(MgCO3 等)や水酸化物(Mg(OH)2 等)にほとんど変質せず、成膜工程で上記MgCO3 やMg(OH)2 等を除去する脱ガス処理工程時間を短縮または脱ガス処理工程を省くことができ、FPDの製造コストを低減できる蒸着材を提供できる。
【0013】
本発明は、ガス状硫酸化剤および/または硫化剤がSO2 、SO3 、HSのいずれかであることが好ましく、これら圧力が6.65Pa〜1.0×105 Pa(0.05〜760Torr)のガス状硫酸化剤および/または硫化剤により、MgO,CaO,SrO,BaO,アルカリ土類複合酸化物もしくは希土類酸化物,またはアルカリ土類酸化物および希土類酸化物の複合酸化物のいずれかを表面処理することが好ましい。これにより、蒸着材の表面にFPDに有害なMgO等の炭酸塩(MgCO3 等)や水酸化物(Mg(OH)2 等)の生成を防止あるいは抑制することができる。
【0014】
本発明のFPDは、上記の蒸着材または上記の方法により得られた蒸着材を用いて蒸着法により保護膜が形成されたことで、FPDの製造工数を大幅に低減できるので、安価にFPDを製造できる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るFPDの保護膜用蒸着材およびその製造方法ならびにこれを用いたFPDの第1実施形態を、図面に基づいて説明する。
本発明のFPDとしてはPDP、PALC等が挙げられる。
【0016】
図1に示すように、本発明のFPDの保護膜用蒸着材10は、表面が硫酸化物層および/または硫化物層12で覆われた多結晶体11により形成される。多結晶体11は、MgO,CaO,SrO,BaO,アルカリ土類複合酸化物もしくは希土類酸化物,またはアルカリ土類酸化物および希土類酸化物の複合酸化物のいずれかの粉末を用いて形成される。多結晶体11を得る方法は、特に限定しないが、粉末を成型し、焼結させる(焼結体)方法が一般的に広く知られている。
図1には表面が硫酸化物層および/または硫化物層12で覆われた多結晶体11により形成された保護膜用蒸着材10を示すが、本発明のFPDの保護膜用蒸着材10は、表面が硫酸化物層および/または硫化物層12で覆われた単結晶体により形成しても良い。単結晶体の作製方法は特に限定しないが、アーク溶融法が一般的に広く知られている(J.Chem.Phys.35[8].p.3752−6.(1971))。
【0017】
一方硫酸化物層および/または硫化物層12は、多結晶体11を形成するMgO,CaO,SrO,BaO,アルカリ土類複合酸化物もしくは希土類酸化物,またはアルカリ土類酸化物および希土類酸化物の複合酸化物のいずれかと、ガス状硫酸化剤および/または硫化剤との反応によって得ることができる。ガス状硫酸化剤および/または硫化剤としては反応性の高さや汎用性の観点からSO2 、SO3 、またはHSのいずれか、特にSO2 を用いることが好ましい。また硫酸化物層および/または硫化物層12の厚さはMgO等のCO2ガスやH2Oガスとの反応阻止向上と、MgO等とガス状硫酸化剤および/または硫化剤との反応時間とのバランスにより決定され、好ましくは0.1〜1000nmの範囲内、さらに好ましくは1nm〜10nmの範囲内に形成される。硫酸化物層および/または硫化物層12の厚さを0.1〜1000nmの範囲内に限定したのは、1000nmを越えると、MgO等とガス状硫酸化剤および/または硫化剤との反応時間が長くなって作業性が悪くなるためである。
【0018】
次にこのFPDの保護膜用蒸着材10の製造方法を説明する。
このFPDの保護膜用蒸着材10の製造方法は、MgO,CaO,SrO,BaO,アルカリ土類複合酸化物もしくは希土類酸化物,またはアルカリ土類酸化物および希土類酸化物の複合酸化物のいずれかの粉末を用いて多結晶体11を形成する工程と、その多結晶体11をガス状硫酸化剤および/または硫化剤にて表面処理することによりその多結晶体11の表面に硫酸化物層および/または硫化物層12を形成する工程とを含む。
【0019】
[1]多結晶体11の形成
ここでは、多結晶体11を得る方法として、焼結により得る方法を示すが、本発明の内容を限定するものではない。多結晶体11を形成する工程では、先ずMgO,CaO,SrO,BaO,アルカリ土類複合酸化物もしくは希土類酸化物,またはアルカリ土類酸化物および希土類酸化物の複合酸化物のいずれかの粉末を所定量準備する。この準備する粉末の平均粒径は0.01〜100μmの範囲内にあることが好ましい。粉末の平均粒径が0.01μm未満では、粉末が細かすぎて凝集するため、粉末のハンドリングが悪くなり、高濃度スラリーを調製することが困難となるためであり、100μmを越えると、微細構造の制御が難しく、緻密な多結晶体11が得られないからである。またMgO等の粉末の平均粒径を上記範囲に限定すると、焼結助剤を用いなくても所望の多結晶体11が得られる利点もある。
【0020】
次に、それらのいずれかの粉末とバインダと有機溶媒とを混合してスラリーを調製する。このときのスラリーの濃度は40〜70重量%であることが好ましく、70重量%を越えると上記スラリーが非水系であるため、安定した造粒が難しいため好ましくなく、40重量%未満では均一な組織を有する緻密な多結晶体11が得られないからである。即ち、スラリー濃度を上記範囲に限定すると、スラリーの粘度が200cps以下となり、例えばスプレードライヤによる粉末の造粒を安定しておこなうことができ、さらには成形体の密度が高くなって緻密な多結晶体11の製造が可能になる。
【0021】
また粉末とバインダと有機溶媒との湿式混合、特に粉末と分散媒である有機溶媒との湿式混合は、湿式ボールミルまたは撹拌ミルによりおこなわれる。湿式ボールミルでは、ZrO2 製ボールを用いる場合には、直径5〜10mmの多数のZrO2 製ボールを用いて8〜24時間、好ましくは20〜24時間湿式混合される。ZrO2 製ボールの直径を5〜10mmと限定したのは、5mm未満では混合が不十分となることからであり、10mmを越えると不純物が増大する不具合があるからである。また混合時間が最長24時間と長いのは、長時間連続混合しても不純物の発生が少ないからである。一方、湿式ボールミルにおいて、鉄芯入りの樹脂製ボールを用いる場合には、直径10〜15mmのボールを用いることが好ましい。
【0022】
撹拌ミルでは、直径1〜3mmのZrO2 製ボールを用いて0.5〜1時間湿式混合される。ZrO2 製ボールの直径を1〜3mmと限定したのは、1mm未満では混合が不十分となることからであり、3mmを越えると不純物が増える不具合があるからである。また混合時間が最長1時間と短いのは、1時間を越えると原料の混合のみならず粉砕の仕事をするため、不純物の発生の原因となり、また1時間もあれば十分に混合できるからである。
【0023】
次に上記スラリーを噴霧乾燥して平均粒径が50〜300μm、好ましくは50〜200μmの造粒粉末を得た後、この造粒粉末を所定の型に入れて所定の圧力で成形する。ここで、造粒粉末の平均粒径を50〜300μmと限定したのは、50μm未満では成形性が悪い不具合があり、300μmを越えると成形体12密度が低く強度も低い不具合があるからである。上記噴霧乾燥はスプレードライヤを用いておこなわれることが好ましい。またペレットの成形には、メカニカルプレス法、タブレットマシン法またはブリケットマシン法のいずれかの金型プレス法を用いておこなわれることが好ましい。
【0024】
図2に一例としてメカニカルプレス法に使用されるメカニカルプレス装置13を示す。この装置13は、円筒状の型13aと、この型13aに下方から挿入される下ポンチ13bと、型13aに上方から挿入される上ポンチ13cとを備える。
この装置13で造粒粉末14を成形するには、先ず円筒状の型13aに円柱状の下ポンチ13bを下方から挿入した状態で造粒粉末14を上記型13a内に投入し(図2(a))、上ポンチ13cを型13aに上方から挿入して造粒粉末14の圧密をおこなう(図2(b))。次に上ポンチ13cを抜いた後、下ポンチ13bによりペレット状の成形体16を突上げてこの成形体16を取出す(図2(c))。また上記メカニカルプレス法によるプレス圧力は300〜2000kg/cm2 、好ましくは500〜1000kg/cm2 である。プレス圧を上記範囲に限定したのは、300kg/cm2 未満では所定の密度が得られず、2000kg/cm2 を越えると割れや欠けの原因となる層状の亀裂(ラミネーション)が発生するからである。また高圧プレスを用いると、高強度の金型を必要とし成形装置が大型化するため、成形コストが上昇し好ましくない。この原料粉末にはバインダが混合されているため、比較的小さな圧力でも十分に強度が高くかつ密度の大きい成形体16を得ることができる。
【0025】
さらにペレット状の成形体16を所定の温度で焼結する。焼結する前に成形体16を350〜620℃の温度で脱脂処理することが好ましい。この脱脂処理は成形体16の焼結後の色むらを防止するためにおこなわれ、時間をかけて十分におこなうことが好ましい。焼結は1500℃〜1700℃の温度でおこなうことが好ましい。焼結温度を1500℃〜1700℃に限定したのは、1500℃未満では緻密な焼結体が得られず、1700℃を越えると粒成長が著しく速く、特性が低下するからである。また、成形体を不活性ガス雰囲気中で焼結する場合には、不活性ガスとしてアルゴンガスを用いることが好ましい。このようにして相対密度が95%以上の緻密な多結晶体11が得られる。
【0026】
[2]硫酸化物層(硫化物層)12の形成
次に、上述したようにして得られた多結晶体11の表面に硫酸化物層(硫化物層)12を形成する。この硫酸化物層(硫化物層)12の形成は、その多結晶体11をガス状硫酸化剤および/または硫化剤雰囲気中(温度10〜100℃)に0.1〜120分間保持して多結晶体11の表面を改質し、多結晶体11の表面に硫酸化物層(硫化物層)12を形成する。上記ガス状硫酸化剤および/または硫化剤が、SO2 、SO3 、またはH2S のいずれか、特にSO2 を用いることが好ましく、このガス状硫酸化剤および/または硫化剤の圧力は好ましくは6.65Pa〜1.0×105 Pa(0.05〜760Torr)、さらに好ましくは1.3×103 Pa〜4.0×104 Pa(10〜300Torr)の範囲内に設定される。ガス状硫酸化剤および/または硫化剤の圧力を0.05〜760Torrの範囲内に限定したのは反応進行度、即ち硫酸化物層(硫化物層)12の厚さの制御を容易にするためである。
【0027】
硫酸化物層(硫化物層)12の形成は、多結晶体11を真空中または不活性ガス中でガス状硫酸化剤および/または硫化剤にて表面処理することが好ましい。しかし、多結晶体11を大気に暴露した場合には、その多結晶体11を大気中で焼成して多結晶体11を活性化させ、ガス状硫酸化剤および/または硫化剤にて表面処理することにより多結晶体11の表面に硫酸化物層(硫化物層)12を形成することが好ましい。この場合の多結晶体11の大気中での焼成温度は250〜550℃、好ましくは350〜450℃であり、焼成時間は0.1〜24時間、好ましくは0.2〜1時間である。上記範囲の温度および時間で焼成することにより多結晶体11が活性化される。
【0028】
このような処理を施すことにより、多結晶体11の表面にFPDに有害なMgO等の炭酸塩(MgCO3 等)や水酸化物(Mg(OH)2 等)が生成されても、多結晶体11を大気中で焼成することにより多結晶体11が活性化され、多結晶体11の表面のMgO等の炭酸塩(MgCO3 等)や水酸化物(Mg(OH)2 等)がCO2 およびH2Oとして除去される。この状態で多結晶体11の表面に硫酸化物層(硫化物層)12を形成することにより、多結晶体11の表面が硫酸化物層(硫化物層)12により保護され、MgO等の炭酸塩(MgCO3 等)や水酸化物(Mg(OH)2 等)の生成を防止あるいは抑制することができる。
【0029】
このように製造されたFPDの保護膜用蒸着材10では、多結晶体11の表面が硫酸化物層(硫化物層)12により被覆されるため、この蒸着材10が大気中に長時間曝されても、多結晶体11が大気中のCO2 ガスやH2Oガスとほとんど反応しない。この結果、真空成膜容器内部にこの蒸着材10を設置した後おこなわれる脱ガス排気処理を従来より短縮することが可能になり、FPDの製造コストを低減できる。
また、この蒸着材10では多結晶体11の表面が変質しないことから、電子ビーム蒸着法、イオンプレーティング法等により保護膜をFPDに成膜する際に、H2O,CO2,等の不純物ガスを発生させることなく蒸着材10が蒸発するので、膜の膜厚均一性は向上する。また上記蒸着材10を用いて成膜した基板をPDPに組み込んだとき、放電時の耐スパッタ性を向上できる。従って、上記保護膜はAC型PDPの保護膜の成膜に好適であり、また高機能セラミック材料の保護膜などにも適用できる。
【0030】
以下、上記のFPDの保護膜用蒸着材を用いたFPDについて説明する。
【0031】
この実施の形態ではPDPについて説明する。図3および図4に示すように、AC型のPDP10は背面ガラス基板21上に所定の間隔をあけて形成された隔壁22を介して前面ガラス基板23を被せることにより構成される。前面ガラス基板23の両面のうち背面ガラス基板21に対向する面には表示電極26および透明誘電体層27を介して膜24が形成される。
背面ガラス基板21と前面ガラス基板23と隔壁22とにより多数の放電セル28が区画形成され、背面ガラス基板21上には放電セル28内に位置しかつ上記表示電極26に対向するようにアドレス電極29が形成される。また放電セル28内には隔壁22の側面から背面ガラス基板21の上面にかけて蛍光体層31が形成される。さらに放電セル28内には放電ガスが注入される。
【0032】
このように構成されたPDPの保護膜の製造方法を説明する。
【0033】
[1]蒸着法による膜の形成
先ず図3および図4に示すように、前面ガラス基板23の表面に表示電極26となるAgやAu等の電極用ペーストをスクリーン印刷法により所定の間隔をあけて塗布し乾燥・焼成した後に、上記前面ガラス基板23の表面に透明誘電体層27となる透明ガラスペーストをスクリーン印刷法により前面ガラス基板23の表面全体に塗布し乾燥する。上記前面ガラス基板23を大気中で100〜200℃に10〜60分間保持して乾燥した後に、大気中で500〜600℃に10〜60分間保持して焼成する。
【0034】
次に前述した本実施形態の蒸着材を電子ビーム蒸着法等の蒸着法により上記ガラス基板23の透明誘電体層27表面を覆うように蒸着して膜24を形成する。この膜24の成膜条件は、加速電圧が5〜30kV、蒸着圧力が0.1×10−2〜10×10−2Pa、蒸着距離が100〜1000mmの範囲内にあることが好ましい。
【0035】
このように製造されたFPDでは、蒸着材である多結晶体11の表面が硫酸化物層(硫化物層)12により被覆されるため、この蒸着材10が大気中に長時間曝されても、多結晶体11が大気中のCO2 ガスやH2Oガスとほとんど反応しない。この結果、真空成膜容器内部にこの蒸着材10を設置した後おこなわれる脱ガス排気処理を従来より短縮することが可能になり、FPDの製造コストを低減できる。
また、この蒸着材10では多結晶体11の表面が変質しないことから、電子ビーム蒸着法、イオンプレーティング法等により保護膜をFPDに成膜する際に、H2O ,CO2 ,等の不純物ガスを発生させることなく蒸着材10が蒸発するので、膜の膜厚均一性は向上する。また上記蒸着材10を用いて成膜した基板をPDPに組み込んだとき、放電時の耐スパッタ性を向上できる。従って、上記保護膜はAC型PDPの保護膜の成膜に好適であり、また高機能セラミック材料の保護膜などにも適用できる。
【0036】
【実施例】
次に本発明の実施例を比較例とともに詳しく説明する。ここでは、多結晶体を用いた例を示すが、単結晶体でも同様であり、発明内容を限定するものではない。
【0037】
<比較例1〜29>
表2の材料欄に示すMgO,CaO,SrO,BaO,アルカリ土類複合酸化物もしくは希土類酸化物,またはアルカリ土類酸化物および希土類酸化物の複合酸化物のいずれかの粉末を準備した。この粉末にバインダとしてのポリビニールブチラールと分散剤としてのエタノールを添加し、撹拌ミルで1時間湿式混合し、濃度が50%の混合スラリーに調製した。この混合スラリーをスプレードライヤで噴霧乾燥して造粒することにより造粒粉末を得た。この造粒粉末を金型(内径が6mmで深さが3mmの金型)に充填し、メカニカルプレスで成形して成形体を作製した。この成形体を大気雰囲気中、1650℃に昇温し、焼結炉で3時間焼結することにより直径が約5mmの多結晶体11を得た。
これらの多結晶体11単体から成り、硫酸化物層および/または硫化物層12を有しない蒸着材を比較例1〜29とした。
【0038】
<実施例1〜29>
比較例1〜29と同一の手順により比較例1〜29と同一の複数種類の多結晶体11を得た。これら複数種類の多結晶体11を、圧力が4.7kPa(35Torr)のSO2 ガス雰囲気中(温度25℃)に10分間保持してそれぞれの多結晶体11の表面を改質し、多結晶体11の表面に硫酸化物層(硫化物層)12をそれぞれ形成した。このように多結晶体11の表面が硫酸化物層(硫化物層)12で覆われた蒸着材10を実施例1〜29とした。この実施例1〜29におけるそれぞれの多結晶体11の材料を表1に示す。
【0039】
【表1】
【0040】
<比較試験1>
比較例1〜29および実施例1〜29におけるそれぞれの蒸着材10が得られた時点でその重量を測定し、その後7日間大気中に放置し、7日後の重量を再び測定し、重量の増加率(%)を計算した。この結果を表1,表2に示す。
【0041】
【表2】
【0042】
<比較試験2>
次に、7日間大気中に放置された比較例1〜29および実施例1〜29におけるそれぞれの蒸着材10を用い、電子ビーム蒸着法によりガラス基板21に成膜した。なお、保護膜24の成膜条件は、真空成膜容器内部に蒸着材10を設置した後に蒸着材を加熱しながら脱ガス排気処理を10分間実施し、その後加速電圧が15kV、蒸着圧力が1×10−2Pa、蒸着距離が600mmの条件で成膜した。
膜厚分布(%)は、エリプソミトリーにより測定した基板中央部膜厚(Tm)と基板端部膜厚(Te)により、
{(Tm − Te)/Tm}*100(%)
を用いて算出した。なお、基板中央部と端部との距離は20cmであった。
【0043】
上記の表1,表2から明らかなように、比較例1〜29に比較してその比較例1〜29に対応する実施例1〜29の重量増加率は著しく低いことが判る。蒸着材の重量は、多結晶体が大気中にのCO2 やH2Oと反応して変質することにより増加するため、重量増加率が高い比較例1〜29における蒸着材の表面はかなり変質したものと解される。一方、実施例1〜29における蒸着材の重量増加率は著しく低いので、その多結晶体の変質の程度が比較例1〜29に比較して低いことが判る。これは多結晶体の表面を硫酸化物層(硫化物層)で覆ったことに起因するものと考えられる。
【0044】
また、実施例1〜29の膜厚分布は比較例1〜29に比較して小さいことが判る。これは、保護膜24の成膜に際に、実施例1〜29の蒸着材10は比較例1〜29の蒸着材に比較して不純物ガスの発生が少ないことに起因していると考えられる。これにより本発明の蒸着材を用いて保護膜が形成されたFPDでは、広いエリアで同一特性の膜が得られることが判る。
【0045】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、多結晶体の表面を硫酸化物層および/または硫化物層で覆ったので、大気中に長時間曝されても多結晶体が大気中のCO2 ガスやH2Oガス と反応することはない。この結果、真空成膜容器内部にこの蒸着材を設置した後の蒸着材からの有害物質の発生は従来より抑制され、この有害物質を除去するために従来からおこなわれている脱ガス排気処理を短縮または脱ガス処理工程を省くことが可能になり、FPDの製造コストを低減できる。
また、電子ビーム蒸着法、イオンプレーティング法等により保護膜をFPDに成膜する際に、H2O,CO2,等の不純物ガスを発生させることなく蒸着材か蒸発するので、膜厚分布が小さく、広いエリアで特性が安定した均一な成膜が可能になる。
また、硫酸化物層および/または硫化物層をガス状硫酸化剤および/または硫化剤とMgO等との反応にて得たり、ガス状硫酸化剤および/または硫化剤としてSO2 、SO3 、またはH2S 等を用いたり、あるいは硫酸化物層および/または硫化物層の厚さを0.1〜1000nmの範囲内に形成したりすれば、上記効果をさらに顕著に奏することができる。
さらに上記蒸着材を用いてFPDを製造すれば、FPDの製造工数を大幅に低減できるので、安価にFPDを製造できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態におけるFPDの保護膜用蒸着材の断面図である。
【図2】メカニカルプレス法により多結晶体を成形する工程図である。
【図3】本発明の実施形態の保護膜が形成された前面基板の断面図である。
【図4】その前面基板が組込まれたPDPの要部断面図である。
【符号の説明】
10 蒸着材
11 多結晶体
12 硫酸化物層(硫化物層)
Claims (7)
- 表面が硫酸化物層および/または硫化物層で覆われた多結晶体,焼結体または単結晶体により形成されたことを特徴とするFPDの保護膜用蒸着材。
- 多結晶体,焼結体または単結晶体が、MgO,CaO,SrO,BaO,アルカリ土類複合酸化物もしくは希土類酸化物,またはアルカリ土類酸化物および希土類酸化物の複合酸化物のいずれかにより形成されたことを特徴とする請求項1記載のFPDの保護膜用蒸着材。
- 硫酸化物層化物層および/または硫化物層がガス状硫酸化剤および/または硫化剤とMgO,CaO,SrO,BaO,アルカリ土類複合酸化物もしくは希土類酸化物,またはアルカリ土類酸化物および希土類酸化物の複合酸化物のいずれかとの反応によって得られたことを特徴とする請求項2記載のFPDの保護膜用蒸着材。
- 硫酸化物層および/または硫化物層の厚さが0.1〜1000nmであることを特徴とする請求項1ないし3いずれか記載のFPDの保護膜用蒸着材。
- MgO,CaO,SrO,BaO,アルカリ土類複合酸化物もしくは希土類酸化物,またはアルカリ土類酸化物および希土類酸化物の複合酸化物のいずれかの多結晶体,焼結体または単結晶体を形成する工程と、
前記多結晶体,焼結体または単結晶体をガス状硫酸化剤および/または硫化剤にて表面処理することにより前記多結晶体,焼結体または単結晶体の表面に硫酸化物層化物層および/または硫化物層を形成する工程とを含むことを特徴とするFPDの保護膜用蒸着材の製造方法。 - ガス状硫酸化剤および/または硫化剤がSO2 、SO3 、H2S のいずれかであることを特徴とする請求項5記載のFPDの保護膜用蒸着材の製造方法。
- 請求項1ないし4いずれか記載の蒸着材または請求項5もしくは請求項6に記載された方法により得られた蒸着材を用いて保護膜が形成されたことを特徴とするFPD。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003072387A JP4147988B2 (ja) | 2003-03-17 | 2003-03-17 | Fpdの保護膜用蒸着材およびその製造方法 |
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Publications (2)
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---|---|
JP2004281276A true JP2004281276A (ja) | 2004-10-07 |
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4147988B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007100173A (ja) * | 2005-10-05 | 2007-04-19 | Ulvac Japan Ltd | 蒸発材料及びその製造方法並びにその保管方法 |
JP2007119833A (ja) * | 2005-10-27 | 2007-05-17 | Ulvac Japan Ltd | 蒸着膜の形成方法、保護膜の形成方法及びプラズマディスプレイパネル製造装置 |
WO2009044456A1 (ja) * | 2007-10-02 | 2009-04-09 | Hitachi, Ltd. | プラズマディスプレイパネル及びその製造方法、並びに放電安定化粉体 |
KR101609010B1 (ko) | 2008-07-15 | 2016-04-04 | 우베 마테리알즈 가부시키가이샤 | 스트론튬·칼슘 복합 산화물막 제조용 증착재 |
-
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- 2003-03-17 JP JP2003072387A patent/JP4147988B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007100173A (ja) * | 2005-10-05 | 2007-04-19 | Ulvac Japan Ltd | 蒸発材料及びその製造方法並びにその保管方法 |
JP2007119833A (ja) * | 2005-10-27 | 2007-05-17 | Ulvac Japan Ltd | 蒸着膜の形成方法、保護膜の形成方法及びプラズマディスプレイパネル製造装置 |
WO2009044456A1 (ja) * | 2007-10-02 | 2009-04-09 | Hitachi, Ltd. | プラズマディスプレイパネル及びその製造方法、並びに放電安定化粉体 |
JP4945641B2 (ja) * | 2007-10-02 | 2012-06-06 | 株式会社日立製作所 | プラズマディスプレイパネル及びその製造方法 |
US8207672B2 (en) | 2007-10-02 | 2012-06-26 | Hitachi, Ltd | Plasma display panel having a discharge stabilizer powder and method of manufacturing the same |
KR101609010B1 (ko) | 2008-07-15 | 2016-04-04 | 우베 마테리알즈 가부시키가이샤 | 스트론튬·칼슘 복합 산화물막 제조용 증착재 |
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---|---|
JP4147988B2 (ja) | 2008-09-10 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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|
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110704 Year of fee payment: 3 |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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