JP2004214574A - 調湿機能付インナーリードボンディング装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】インナーリードとボンディングパッドとの位置ずれ不良を防止する。テープの湿度管理を容易にする。
【解決手段】半導体チップが搭載される配線テープが巻かれたローダ部と、ボンディングツール部と、両者を密閉収納した湿度調整領域密閉部と、該湿度調整領域密閉部の湿度を調整制御する湿度調整制御部と、前記湿度調整領域密閉部の所定位置に設けられたワーク通過穴と、該ワーク通過穴の前記配線テープ移動方向側の前面(前面側)に設けられた湿度侵入防止手段と、該湿度侵入防止手段を通過した配線テープを巻き取るアンローダとを具備する調湿機能付インナーリードボンディング装置である。
【選択図】 図1
【解決手段】半導体チップが搭載される配線テープが巻かれたローダ部と、ボンディングツール部と、両者を密閉収納した湿度調整領域密閉部と、該湿度調整領域密閉部の湿度を調整制御する湿度調整制御部と、前記湿度調整領域密閉部の所定位置に設けられたワーク通過穴と、該ワーク通過穴の前記配線テープ移動方向側の前面(前面側)に設けられた湿度侵入防止手段と、該湿度侵入防止手段を通過した配線テープを巻き取るアンローダとを具備する調湿機能付インナーリードボンディング装置である。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は調湿機能付インナーリードボンディング装置に関し、特に、インナーリードとボンディングパッドの位置ずれを防止する技術に適用して有効な技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のTCP(Tape Carrier Package)テープ、COF(Chip On Film)テープ、TAB(Tape Automated Bonding)テープ等の基材であるポリイミドは、湿度によって伸び縮みするため、例えば、TCPテープ製作時とインナーリードボンディング時の湿度条件が異なると、インナーリードピッチと半導体チップのパッドピッチとのピッチずれが発生する。
【0003】
前記ピッチずれを防止する対策に関する技術として、例えば、以下のような手段が開示されている。
【0004】
(1)インナーリードボンディングにおいて、ポリイミドフィルムのTABテープは、湿度の変化でトータルピッチが変化すること、及び湿度を60%±5%に維持することが重要である。(特許文献1参照。)
【0005】
(2)インナーリードボンディングにおいて、ピッチずれを防止するために、フレキシブルフィルム(TABテープ)を、一定の温度及び湿度の中で所定時間放置することによって、そのフィルムの水分率を所定の範囲にした後、インナーリードボンディングする。(特許文献2参照。)
【0006】
(3)アウターリードボンディングにおいて、ピッチずれを防止するために、フレキシブルフィルム(TABテープ)を、一定の湿度の中で所定時間放置した後、ボンディングする。(特許文献3参照。)
【0007】
(4)ギャングボンディングにおいて、湿度雰囲気によるテープキャリアの伸縮、及びテープの熱膨張係数のばらつきを考慮する必要がある。(特許文献4参照。)
【0008】
(5)TABテープの銅とポリイミドの熱膨張係数の違いにより、様々な温度範囲で異なる熱膨張係数をもつこと、及びテープの伸張又は収縮が起こること。(特許文献5参照。)
【0009】
(6)ILBボンディング(インナーリードボンディング)において、一括接合前にフレキシブル回路基板へ冷却用気体を吹き付けることによって、インナーリードと半導体素子の位置ずれを防止すること。(特許文献6参照。)
【0010】
(7)ILBボンディングにおいて、フレキシブル回路基板を押さえるクランバの中に冷却媒体を供給する装置を設けることによって、インナーリードと半導体素子との位置ずれを防止すること。(特許文献7参照。)
【0011】
(8)インナーリードボンディングにおいて、TABテープは、テープのクランパの中の加熱手段によって、ボンディングステージの加熱とは別に温度制御されること。(特許文献8参照。)
また、例えば、TCP等のインナーリードボンディングは、ステージ上に固定されたチップとその上方にセットされたインナーリードをボンディングツール(500℃加熱)で全ピン一括加圧し、接合することが一般的である。
【0012】
【特許文献1】
特開2001−144144号公報
【特許文献2】
特開平10−107092号公報
【特許文献3】
特開平5−190597号公報
【特許文献4】
特開2000−124255号公報
【特許文献5】
特開平5−198616号公報
【特許文献6】
特開平10−326808号公報
【特許文献7】
特開平6−85006号公報
【特許文献8】
特開平8−115950号公報
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、前記従来技術を検討した結果、以下の問題点を見い出した。
【0014】
前記従来技術では、前記インナーリードピッチと半導体チップのパッドピッチとのピッチずれ防止するため、前述した(1)〜(4)の技術手段に示すように、
1)ボンディングを開始する前にテープをクリーンルーム内に4〜5時間放置し、テープが指定寸法(テープの伸縮が一定)になるのを待ってからボンディングを開始している。
【0015】
2)また、梱包袋の中を特定の湿度(50〜60%)にした状態で購入し、使用しているため、コストアップになっている。
【0016】
特に、前記2)のように梱包袋の中を湿度50〜60%で管理することができるが、装置に1リールを装填している時間は約2時間もあり、その間にテープの吸湿率が変わり、テープ寸法が変化するという問題があった。
【0017】
本発明の目的は、インナーリードとボンディングパッドとの位置ずれ不良を防止することが可能な技術を提供することにある。
本発明の他の目的は、短時間で指定寸法のテープ(テープの伸縮が一定)にすることが可能な技術を提供することにある。
本発明の他の目的は、ボンディングを開始する前にテープの湿度を調整してテープ寸法の変化を低減することが可能な技術を提供することにある。
本発明の他の目的は、テープの湿度管理を容易にすることが可能な技術を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかになるであろう。
【0018】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明の概要を簡単に説明すれば下記の通りである。
第1の発明は、半導体チップが搭載される配線テープが巻かれたローダ部と、ボンディングツール部と、両者を密閉収納した湿度調整領域密閉部と、該湿度調整領域密閉部の湿度を調整制御する湿度調整制御部と、前記湿度調整領域密閉部の所定位置に設けられたワーク通過穴と、該ワーク通過穴の前記配線テープ移動方向側の前面(前面側)に設けられた湿度侵入防止手段と、該湿度侵入防止手段を通過した半導体チップが搭載されたテープを巻き取るアンローダ部とを具備する調湿機能付インナーリードボンディング装置である。
【0019】
第2の発明は、前記第1の発明の調湿機能付インナーリードボンディング装置において、前記湿度侵入防止手段は、エアーカーテンからなること特徴とする。
【0020】
第3の発明は、前記第1又は第2の発明の調湿機能付インナーリードボンディング装置において、前記湿度調整制御部は、湿度設定手段と、前記湿度調整領域密閉部の内部の湿度を測定する湿度測定手段と、前記湿度調整領域密閉部の内部を加湿する加湿手段と、前記湿度調整領域密閉部の内部を除湿する除湿手段と備えていることを特徴とする。
【0021】
第4の発明は、前記第1乃至第3のうちいずれか1つの調湿機能付インナーリードボンディング装置において、前記調湿調整手段は、前記湿度調整領域密閉部の内部もしくは外部に設けられていることを特徴とする。
以下、本発明について、図面を参照して、本発明の実施形態とともに詳細に説明する。
【0022】
【発明の実施の形態】
(実施形態1)
図1は本発明の実施形態1による調湿機能付インナーリードボンディング装置の概略構成を示す模式図、図2は本実施形態1の湿度コントロール領域隔壁とエアーカーテンとの位置関係を示す模式図である。図3(a)は図2の符号A部で示す部分の拡大図であり、図3(b)は図3(a)の側面図である。
【0023】
前記図1、図2及び図3(a)、(b)において、1はローダ部、2はTCPテープ繰出しリール、3はスペーサ巻取りリール、4は密閉壁により密閉した密閉カバー、4Aは湿度コントロール領域隔壁、5はTCPテープ、6はスペーサ、7はボンディングツール、8は半導体チップ(以下、チップという)、9はステージ、10はアンローダ部、11はTCPテープ巻取りリール、RCは湿度調整制御部、12は湿度測定器、13はコントローラ、14は湿度設定器、15は除湿器、16は加湿器、17はエアーカーテン、18はワーク通過穴、19はエアーの流れを示す矢印である。
【0024】
図1及び図2に示すように、本実施形態1による調湿機能付インナーリードボンディング装置100は、ローダ部1、TCPテープ繰出しリール2、TCPテープを保護していたスペーサを巻取るためのスペーサ巻取りリール3、密閉カバー4、ボンディングツール7、ステージ9、アンローダ部10、TCPテープを保護するためのスペーサを繰出すスペーサ繰出しリール11A、TCPテープ巻取りリール11、湿度測定器12、コントローラ13、湿度設定器14、除湿器15、加湿器16、エアーカーテン17、及びワーク通過穴18を備えている。
【0025】
前記密閉カバー4の内部(湿度調整領域密閉部)には、チップ8が装填されたTCPテープ5が巻かれたTCPテープ繰出しリール2、スペーサ巻取りリール3、ボンディングツール7及びステージ9が密閉収納されている。前記TCPテープ5のテープとしては、例えば、ポリイミドテープを用いる。このポリイミドテープは水分を吸収しやすい。
【0026】
前記アンローダ部10には、前記エアーカーテン17、チップ8が接着(搭載)されたTCPテープ5を巻取るTCPテープ巻取りリール11、及びTCPテープを保護するためのスペーサを繰出すスペーサ繰出しリール11Aが収納されている。
【0027】
前記エアーカーテン17は、図3(a)、(b)に示すように、前記密閉カバー4の所定位置に設けられたワーク通過穴18のTCPテープ5の移動方向側の前面(前面側)に設けられている。このエアーカーテン17は、図3(a)に示すように、エアーを上から下方向(矢印19の方向)に流して、前記ワーク通過穴18を遮蔽し、湿度侵入を防止する。
【0028】
前記湿度調整制御部RCは、湿度測定器12、コントローラ13、湿度設定器14、除湿器15、及び加湿器16からなっている。
【0029】
前記湿度調整制御部RCは、前記密閉カバー4の内部の湿度を制御(調整)するコントローラ13が前記密閉カバー4の内部もしくはその外部に設けられている。
【0030】
この前記湿度調整制御部RCの動作は、前記湿度設定器14により前記密閉カバー4の内部の適正な上限、下限の湿度を設定する。例えば、湿度50〜65%に設定する。次に、前記密閉カバー4の内部の湿度を湿度測定器12で測定し、前記コントローラ13により前記設定した湿度と測定した湿度とを比較して、湿度が高すぎる場合には除湿器15で除湿して湿度を下げ、湿度が低い場合には加湿器16で加湿して湿度を上げて前記密閉カバー4の内部の適正な湿度(例えば、湿度50〜65%)に保持する。
【0031】
前記湿度調整制御部RCの動作により、ボンディングを開始する前にテープの湿度を調整してテープ寸法の変化を低減し、インナーリードとボンディングパッドとの位置ずれ不良を防止する。
【0032】
次に、本実施形態1の調湿機能付インナーリードボンディング装置100によるインナーリードボンディング動作を簡単に説明する。
【0033】
まず、ローダ部1のTCPテープ繰出しリール2からTCPテープ5が繰出されると同時に、そのTCPテープ5が巻かれていたスペーサ6がスペーサ巻取りリール3に巻取られる。前記繰出されたTCPテープ5は、ボンディングツール7とステージ9の間に送られ、前記ステージ9上にチップ8が搭載され、ボンディングツール7の下に装填(セット)され、チップ8とTCPテープ5上のインナーリードとのボンディングが行われる。
【0034】
前記チップ8とインナーリードとのボンディングが行なわれたTCPテープ5は、前記密閉カバー4の所定位置に設けられたワーク通過穴18を通過してアンローダ部10に送られる。アンローダ部10ではスペーサ繰出しリール11Aから繰出されたスペーサ6に前記チップ8とインナーリードとのボンディングが行われたTCPテープ5がTCPテープ巻取りリール11に巻取られる。
【0035】
ところで、前記インナーリードボンディング装置の密閉カバーの内部(湿度調整領域密閉部)に湿度調整制御部を設けて、短時間で指定寸法のテープ(テープの伸縮が一定)したとしても、前記ボンディングツールの平行度が保持されていなければ、インナーリードとボンディングパッドとの位置ずれ不良を防止することができない。
【0036】
そこで、本実施形態1では、前記ボンディングツールの平行度を平行度測定器で測定する平行度測定器の測定ヘッドをステージの所定位置に設け、ボンディングを開始する前に、前記ボンディングツールの平行度を測定し、インナーリードとボンディングパッドとの位置ずれ不良を防止する。
【0037】
本実施形態1によれば、インナーリードボンディング装置の密閉カバーの内部(湿度調整領域密閉部)に湿度調整制御部を設けることにより、短時間で指定寸法のテープ(テープの伸縮が一定)にするので、インナーリードとボンディングパッドとの位置ずれ不良を防止することができる。
【0038】
また、ボンディングを開始する前にテープの湿度を調整してテープ寸法の変化を低減するので、テープの湿度管理を容易にすることができる。
【0039】
また、ボンディングを開始する前に、前記ボンディングツールの平行度を測定することにより、さらに、インナーリードとボンディングパッドとの位置ずれ不良を防止することができる。
【0040】
(実施形態2)
図4は本発明の実施形態2による調湿機能付インナーリードボンディング装置の概略構成を示す模式図である。
【0041】
図4に示すように、本実施形態2による調湿機能付インナーリードボンディング装置200は、図4に示すように、前記実施形態1の調湿機能付インナーリードボンディング装置100において、前記湿度調整制御部RCを前記密閉カバー4の内部(湿度調整領域密閉部)もしくは外部に設けられた湿度調整制御部RCの湿度設定値の代りにテープメーカのインナーリードピッチ測定データ(フラインテープ測定データ)ODを用い、その値に基づいてテープ湿度条件をコントロールするようにしたものである。
【0042】
(実施形態3)
図5は本発明の実施形態3による調湿機能付インナーリードボンディング装置の概略構成を示す模式図である。
【0043】
図5に示すように、本実施形態3による調湿機能付インナーリードボンディング装置300は、前記実施形態1の調湿機能付インナーリードボンディング装置100において、ローダ部1とボンディングツール7の間にインナーリードピッチ自動計測器OIPを前記密閉カバー4の内部(湿度調整領域密閉部)もしくは外部に設け、インナーリードピッチを自動計測し、その測定に基づき、テープ湿度条件をコントロールするものである。
【0044】
以上、本発明者によってなされた発明を、前記実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは勿論である。
【0045】
例えば、前記実施形態では、TCPテープを用いた場合について説明したが、本発明は、COFテープ、TABテープを用いたものについても適用できることはいうまでもない。
【0046】
【発明の効果】
本願において開示される発明によって得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである。
【0047】
(1)インナーリードボンディング装置の密閉カバーの内部(湿度調整領域密閉部)に湿度調整制御部を設けたことにより、短時間で指定寸法のテープ(テープの伸縮が一定)にするので、インナーリードとボンディングパッドとの位置ずれ不良を防止することができる。
【0048】
(2)ボンディングを開始する前にテープの湿度を調整してテープ寸法の変化を低減するので、テープの湿度管理を容易にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態1による調湿機能付インナーリードボンディング装置の概略構成を示す模式図である。
【図2】本実施形態1の湿度コントロール領域隔壁とエアーカーテンとの位置関係を示す模式図である。
【図3】図2の符号Aで示す部分の拡大図及びその側面図である。
【図4】本発明の実施形態2による調湿機能付インナーリードボンディング装置の概略構成を示す模式図である。
【図5】本発明の実施形態3による調湿機能付インナーリードボンディング装置の概略構成を示す模式図である。
【符号の説明】
100、200、300…調湿機能付インナーリードボンディング装置
1…ローダ部 2…TCPテープ繰出しリール
3…スペーサ巻取りリール 4…密閉カバー
4A…湿度コントロール領域隔壁 5…TCPテープ
6…スペーサ 7…ボンディングツール
8…チップ 9…ステージ
10…アンローダ部 11…TCPテープ巻取りリール
11A…スペーサ繰出しリール RC…湿度調整制御部
12…湿度測定器 13…コントローラ
14…湿度設定器 15…除湿器
16…加湿器 17…エアーカーテン
18…ワーク通過穴 19…エアーの流れを示す矢印
OD…インナーリードピッチ測定データ(フラインテープ測定データ)
OIP…インナーリードピッチ自動計測器。
【発明の属する技術分野】
本発明は調湿機能付インナーリードボンディング装置に関し、特に、インナーリードとボンディングパッドの位置ずれを防止する技術に適用して有効な技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のTCP(Tape Carrier Package)テープ、COF(Chip On Film)テープ、TAB(Tape Automated Bonding)テープ等の基材であるポリイミドは、湿度によって伸び縮みするため、例えば、TCPテープ製作時とインナーリードボンディング時の湿度条件が異なると、インナーリードピッチと半導体チップのパッドピッチとのピッチずれが発生する。
【0003】
前記ピッチずれを防止する対策に関する技術として、例えば、以下のような手段が開示されている。
【0004】
(1)インナーリードボンディングにおいて、ポリイミドフィルムのTABテープは、湿度の変化でトータルピッチが変化すること、及び湿度を60%±5%に維持することが重要である。(特許文献1参照。)
【0005】
(2)インナーリードボンディングにおいて、ピッチずれを防止するために、フレキシブルフィルム(TABテープ)を、一定の温度及び湿度の中で所定時間放置することによって、そのフィルムの水分率を所定の範囲にした後、インナーリードボンディングする。(特許文献2参照。)
【0006】
(3)アウターリードボンディングにおいて、ピッチずれを防止するために、フレキシブルフィルム(TABテープ)を、一定の湿度の中で所定時間放置した後、ボンディングする。(特許文献3参照。)
【0007】
(4)ギャングボンディングにおいて、湿度雰囲気によるテープキャリアの伸縮、及びテープの熱膨張係数のばらつきを考慮する必要がある。(特許文献4参照。)
【0008】
(5)TABテープの銅とポリイミドの熱膨張係数の違いにより、様々な温度範囲で異なる熱膨張係数をもつこと、及びテープの伸張又は収縮が起こること。(特許文献5参照。)
【0009】
(6)ILBボンディング(インナーリードボンディング)において、一括接合前にフレキシブル回路基板へ冷却用気体を吹き付けることによって、インナーリードと半導体素子の位置ずれを防止すること。(特許文献6参照。)
【0010】
(7)ILBボンディングにおいて、フレキシブル回路基板を押さえるクランバの中に冷却媒体を供給する装置を設けることによって、インナーリードと半導体素子との位置ずれを防止すること。(特許文献7参照。)
【0011】
(8)インナーリードボンディングにおいて、TABテープは、テープのクランパの中の加熱手段によって、ボンディングステージの加熱とは別に温度制御されること。(特許文献8参照。)
また、例えば、TCP等のインナーリードボンディングは、ステージ上に固定されたチップとその上方にセットされたインナーリードをボンディングツール(500℃加熱)で全ピン一括加圧し、接合することが一般的である。
【0012】
【特許文献1】
特開2001−144144号公報
【特許文献2】
特開平10−107092号公報
【特許文献3】
特開平5−190597号公報
【特許文献4】
特開2000−124255号公報
【特許文献5】
特開平5−198616号公報
【特許文献6】
特開平10−326808号公報
【特許文献7】
特開平6−85006号公報
【特許文献8】
特開平8−115950号公報
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、前記従来技術を検討した結果、以下の問題点を見い出した。
【0014】
前記従来技術では、前記インナーリードピッチと半導体チップのパッドピッチとのピッチずれ防止するため、前述した(1)〜(4)の技術手段に示すように、
1)ボンディングを開始する前にテープをクリーンルーム内に4〜5時間放置し、テープが指定寸法(テープの伸縮が一定)になるのを待ってからボンディングを開始している。
【0015】
2)また、梱包袋の中を特定の湿度(50〜60%)にした状態で購入し、使用しているため、コストアップになっている。
【0016】
特に、前記2)のように梱包袋の中を湿度50〜60%で管理することができるが、装置に1リールを装填している時間は約2時間もあり、その間にテープの吸湿率が変わり、テープ寸法が変化するという問題があった。
【0017】
本発明の目的は、インナーリードとボンディングパッドとの位置ずれ不良を防止することが可能な技術を提供することにある。
本発明の他の目的は、短時間で指定寸法のテープ(テープの伸縮が一定)にすることが可能な技術を提供することにある。
本発明の他の目的は、ボンディングを開始する前にテープの湿度を調整してテープ寸法の変化を低減することが可能な技術を提供することにある。
本発明の他の目的は、テープの湿度管理を容易にすることが可能な技術を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかになるであろう。
【0018】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明の概要を簡単に説明すれば下記の通りである。
第1の発明は、半導体チップが搭載される配線テープが巻かれたローダ部と、ボンディングツール部と、両者を密閉収納した湿度調整領域密閉部と、該湿度調整領域密閉部の湿度を調整制御する湿度調整制御部と、前記湿度調整領域密閉部の所定位置に設けられたワーク通過穴と、該ワーク通過穴の前記配線テープ移動方向側の前面(前面側)に設けられた湿度侵入防止手段と、該湿度侵入防止手段を通過した半導体チップが搭載されたテープを巻き取るアンローダ部とを具備する調湿機能付インナーリードボンディング装置である。
【0019】
第2の発明は、前記第1の発明の調湿機能付インナーリードボンディング装置において、前記湿度侵入防止手段は、エアーカーテンからなること特徴とする。
【0020】
第3の発明は、前記第1又は第2の発明の調湿機能付インナーリードボンディング装置において、前記湿度調整制御部は、湿度設定手段と、前記湿度調整領域密閉部の内部の湿度を測定する湿度測定手段と、前記湿度調整領域密閉部の内部を加湿する加湿手段と、前記湿度調整領域密閉部の内部を除湿する除湿手段と備えていることを特徴とする。
【0021】
第4の発明は、前記第1乃至第3のうちいずれか1つの調湿機能付インナーリードボンディング装置において、前記調湿調整手段は、前記湿度調整領域密閉部の内部もしくは外部に設けられていることを特徴とする。
以下、本発明について、図面を参照して、本発明の実施形態とともに詳細に説明する。
【0022】
【発明の実施の形態】
(実施形態1)
図1は本発明の実施形態1による調湿機能付インナーリードボンディング装置の概略構成を示す模式図、図2は本実施形態1の湿度コントロール領域隔壁とエアーカーテンとの位置関係を示す模式図である。図3(a)は図2の符号A部で示す部分の拡大図であり、図3(b)は図3(a)の側面図である。
【0023】
前記図1、図2及び図3(a)、(b)において、1はローダ部、2はTCPテープ繰出しリール、3はスペーサ巻取りリール、4は密閉壁により密閉した密閉カバー、4Aは湿度コントロール領域隔壁、5はTCPテープ、6はスペーサ、7はボンディングツール、8は半導体チップ(以下、チップという)、9はステージ、10はアンローダ部、11はTCPテープ巻取りリール、RCは湿度調整制御部、12は湿度測定器、13はコントローラ、14は湿度設定器、15は除湿器、16は加湿器、17はエアーカーテン、18はワーク通過穴、19はエアーの流れを示す矢印である。
【0024】
図1及び図2に示すように、本実施形態1による調湿機能付インナーリードボンディング装置100は、ローダ部1、TCPテープ繰出しリール2、TCPテープを保護していたスペーサを巻取るためのスペーサ巻取りリール3、密閉カバー4、ボンディングツール7、ステージ9、アンローダ部10、TCPテープを保護するためのスペーサを繰出すスペーサ繰出しリール11A、TCPテープ巻取りリール11、湿度測定器12、コントローラ13、湿度設定器14、除湿器15、加湿器16、エアーカーテン17、及びワーク通過穴18を備えている。
【0025】
前記密閉カバー4の内部(湿度調整領域密閉部)には、チップ8が装填されたTCPテープ5が巻かれたTCPテープ繰出しリール2、スペーサ巻取りリール3、ボンディングツール7及びステージ9が密閉収納されている。前記TCPテープ5のテープとしては、例えば、ポリイミドテープを用いる。このポリイミドテープは水分を吸収しやすい。
【0026】
前記アンローダ部10には、前記エアーカーテン17、チップ8が接着(搭載)されたTCPテープ5を巻取るTCPテープ巻取りリール11、及びTCPテープを保護するためのスペーサを繰出すスペーサ繰出しリール11Aが収納されている。
【0027】
前記エアーカーテン17は、図3(a)、(b)に示すように、前記密閉カバー4の所定位置に設けられたワーク通過穴18のTCPテープ5の移動方向側の前面(前面側)に設けられている。このエアーカーテン17は、図3(a)に示すように、エアーを上から下方向(矢印19の方向)に流して、前記ワーク通過穴18を遮蔽し、湿度侵入を防止する。
【0028】
前記湿度調整制御部RCは、湿度測定器12、コントローラ13、湿度設定器14、除湿器15、及び加湿器16からなっている。
【0029】
前記湿度調整制御部RCは、前記密閉カバー4の内部の湿度を制御(調整)するコントローラ13が前記密閉カバー4の内部もしくはその外部に設けられている。
【0030】
この前記湿度調整制御部RCの動作は、前記湿度設定器14により前記密閉カバー4の内部の適正な上限、下限の湿度を設定する。例えば、湿度50〜65%に設定する。次に、前記密閉カバー4の内部の湿度を湿度測定器12で測定し、前記コントローラ13により前記設定した湿度と測定した湿度とを比較して、湿度が高すぎる場合には除湿器15で除湿して湿度を下げ、湿度が低い場合には加湿器16で加湿して湿度を上げて前記密閉カバー4の内部の適正な湿度(例えば、湿度50〜65%)に保持する。
【0031】
前記湿度調整制御部RCの動作により、ボンディングを開始する前にテープの湿度を調整してテープ寸法の変化を低減し、インナーリードとボンディングパッドとの位置ずれ不良を防止する。
【0032】
次に、本実施形態1の調湿機能付インナーリードボンディング装置100によるインナーリードボンディング動作を簡単に説明する。
【0033】
まず、ローダ部1のTCPテープ繰出しリール2からTCPテープ5が繰出されると同時に、そのTCPテープ5が巻かれていたスペーサ6がスペーサ巻取りリール3に巻取られる。前記繰出されたTCPテープ5は、ボンディングツール7とステージ9の間に送られ、前記ステージ9上にチップ8が搭載され、ボンディングツール7の下に装填(セット)され、チップ8とTCPテープ5上のインナーリードとのボンディングが行われる。
【0034】
前記チップ8とインナーリードとのボンディングが行なわれたTCPテープ5は、前記密閉カバー4の所定位置に設けられたワーク通過穴18を通過してアンローダ部10に送られる。アンローダ部10ではスペーサ繰出しリール11Aから繰出されたスペーサ6に前記チップ8とインナーリードとのボンディングが行われたTCPテープ5がTCPテープ巻取りリール11に巻取られる。
【0035】
ところで、前記インナーリードボンディング装置の密閉カバーの内部(湿度調整領域密閉部)に湿度調整制御部を設けて、短時間で指定寸法のテープ(テープの伸縮が一定)したとしても、前記ボンディングツールの平行度が保持されていなければ、インナーリードとボンディングパッドとの位置ずれ不良を防止することができない。
【0036】
そこで、本実施形態1では、前記ボンディングツールの平行度を平行度測定器で測定する平行度測定器の測定ヘッドをステージの所定位置に設け、ボンディングを開始する前に、前記ボンディングツールの平行度を測定し、インナーリードとボンディングパッドとの位置ずれ不良を防止する。
【0037】
本実施形態1によれば、インナーリードボンディング装置の密閉カバーの内部(湿度調整領域密閉部)に湿度調整制御部を設けることにより、短時間で指定寸法のテープ(テープの伸縮が一定)にするので、インナーリードとボンディングパッドとの位置ずれ不良を防止することができる。
【0038】
また、ボンディングを開始する前にテープの湿度を調整してテープ寸法の変化を低減するので、テープの湿度管理を容易にすることができる。
【0039】
また、ボンディングを開始する前に、前記ボンディングツールの平行度を測定することにより、さらに、インナーリードとボンディングパッドとの位置ずれ不良を防止することができる。
【0040】
(実施形態2)
図4は本発明の実施形態2による調湿機能付インナーリードボンディング装置の概略構成を示す模式図である。
【0041】
図4に示すように、本実施形態2による調湿機能付インナーリードボンディング装置200は、図4に示すように、前記実施形態1の調湿機能付インナーリードボンディング装置100において、前記湿度調整制御部RCを前記密閉カバー4の内部(湿度調整領域密閉部)もしくは外部に設けられた湿度調整制御部RCの湿度設定値の代りにテープメーカのインナーリードピッチ測定データ(フラインテープ測定データ)ODを用い、その値に基づいてテープ湿度条件をコントロールするようにしたものである。
【0042】
(実施形態3)
図5は本発明の実施形態3による調湿機能付インナーリードボンディング装置の概略構成を示す模式図である。
【0043】
図5に示すように、本実施形態3による調湿機能付インナーリードボンディング装置300は、前記実施形態1の調湿機能付インナーリードボンディング装置100において、ローダ部1とボンディングツール7の間にインナーリードピッチ自動計測器OIPを前記密閉カバー4の内部(湿度調整領域密閉部)もしくは外部に設け、インナーリードピッチを自動計測し、その測定に基づき、テープ湿度条件をコントロールするものである。
【0044】
以上、本発明者によってなされた発明を、前記実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは勿論である。
【0045】
例えば、前記実施形態では、TCPテープを用いた場合について説明したが、本発明は、COFテープ、TABテープを用いたものについても適用できることはいうまでもない。
【0046】
【発明の効果】
本願において開示される発明によって得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである。
【0047】
(1)インナーリードボンディング装置の密閉カバーの内部(湿度調整領域密閉部)に湿度調整制御部を設けたことにより、短時間で指定寸法のテープ(テープの伸縮が一定)にするので、インナーリードとボンディングパッドとの位置ずれ不良を防止することができる。
【0048】
(2)ボンディングを開始する前にテープの湿度を調整してテープ寸法の変化を低減するので、テープの湿度管理を容易にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態1による調湿機能付インナーリードボンディング装置の概略構成を示す模式図である。
【図2】本実施形態1の湿度コントロール領域隔壁とエアーカーテンとの位置関係を示す模式図である。
【図3】図2の符号Aで示す部分の拡大図及びその側面図である。
【図4】本発明の実施形態2による調湿機能付インナーリードボンディング装置の概略構成を示す模式図である。
【図5】本発明の実施形態3による調湿機能付インナーリードボンディング装置の概略構成を示す模式図である。
【符号の説明】
100、200、300…調湿機能付インナーリードボンディング装置
1…ローダ部 2…TCPテープ繰出しリール
3…スペーサ巻取りリール 4…密閉カバー
4A…湿度コントロール領域隔壁 5…TCPテープ
6…スペーサ 7…ボンディングツール
8…チップ 9…ステージ
10…アンローダ部 11…TCPテープ巻取りリール
11A…スペーサ繰出しリール RC…湿度調整制御部
12…湿度測定器 13…コントローラ
14…湿度設定器 15…除湿器
16…加湿器 17…エアーカーテン
18…ワーク通過穴 19…エアーの流れを示す矢印
OD…インナーリードピッチ測定データ(フラインテープ測定データ)
OIP…インナーリードピッチ自動計測器。
Claims (4)
- 半導体チップが搭載される配線テープが巻かれたローダ部と、ボンディングツール部と、両者を密閉収納した湿度調整領域密閉部と、該湿度調整領域密閉部の湿度を調整制御する湿度調整制御部と、前記湿度調整領域密閉部の所定位置に設けられたワーク通過穴と、該ワーク通過穴の前記配線テープ移動方向側の前面(前面側)に設けられた湿度侵入防止手段と、該湿度侵入防止手段を通過した半導体チップが搭載されたテープを巻き取るアンローダ部とを具備することを特徴とする調湿機能付インナーリードボンディング装置。
- 前記湿度侵入防止手段は、エアーカーテンからなることを特徴とする請求項1に記載の調湿機能付インナーリードボンディング装置。
- 前記湿度調整制御部は、湿度設定手段と、前記湿度調整領域密閉部の内部の湿度を測定する湿度測定手段と、前記湿度調整領域密閉部の内部を加湿する加湿手段と、前記湿度調整領域密閉部の内部を除湿する除湿手段と備えていることを特徴とする請求項1又は2に記載の調湿機能付インナーリードボンディング装置。
- 前記調湿調整手段は、前記湿度調整領域密閉部の内部もしくは外部に設けられていることを特徴とする請求項1乃至3のうちいずれか1項に記載の調湿機能付インナーリードボンディング装置。
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Publications (1)
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2010035582A1 (ja) * | 2008-09-29 | 2010-04-01 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 電子部品の実装装置及び実装方法 |
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2003
- 2003-01-09 JP JP2003002710A patent/JP2004214574A/ja active Pending
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