JP2004214428A - 厚膜多層配線基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】セラミック絶縁基板上にAg系導体3,6,厚膜抵抗体9,絶縁層7から成る厚膜多層配線基板において、チップ電子部品12との接続部の導体膜厚を厚くする構造にて熱影響による接続強度低下を抑制可能とする。一つに、絶縁層に貫通穴を形成しその中に表層導体を形成する。また、クサビ導体5を絶縁層の貫通穴より大きく形成し端部を絶縁層で覆う構造とすることにより導体と絶縁層の接する面積を大きくし接続強度の確保が可能になる。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、セラミック絶縁基板上にAg系導体,厚膜抵抗体,絶縁層から成る厚膜多層配線基板上に、チップ電子部品等を搭載した厚膜多層配線基板において、電子部品と厚膜多層配線基板の接続部の構造に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
特開2000−286539号公報,実開平5−69977号公報には、最上層の絶縁層の上に表層導体(Ag系)にて接続パッドを形成する構造が示されている。
【0003】
【特許文献1】
特開2000−286539号公報
【特許文献2】
実開平5−69977号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上記した従来技術は、表層導体(Ag系)の膜厚を厚くするには限界があり、はんだリフロー及び製品の熱影響によるはんだ接続部のSn等の拡散により脆い金属間化合物が形成するためチップ電子部品等の接続強度を低下させ接続信頼性の確保が難しい構造であった。
【0005】
本発明の目的は、金属間化合物形成による接続強度低下を抑制した接続信頼性に優れた厚膜多層配線基板を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、チップ電子部品等の接続表層導体の膜厚を厚くする構造及びクサビ構造とすることにより金属間化合物の影響による接続強度低下を抑制する。また、表層導体の膜厚を確保すると同時にクサビ構造とする。
【0007】
一つに、接続表層導体直下の絶縁層(1層)に貫通穴を形成し表層導体を埋め込むことにより導体の膜厚を確保する。また、表層導体直下に絶縁層貫通穴より大きいクサビ導体を形成しその端部を絶縁層で覆う構造を形成し接続信頼性を確保する。
【0008】
【発明の実施の形態】
関係する技術例として今回発明者らは、以下のことを検討した。図3(a)
(b)(c)に示す様に最上層の絶縁層7fの上に上層導体(Ag系)6にて接続パッドを形成する構造となっており、上層導体(Ag系)6の膜厚は10数μmが限界である。また、この種に関連するものには特許文献に示されている。
【0009】
以下、実施例を図により説明する。
【0010】
図1は厚膜多層配線基板の一例(4層構造)を示す断面図である。
【0011】
厚膜多層配線基板1は、セラミック絶縁基板2上に内層導体(Ag系)3aを印刷・焼成しその上に絶縁層7a,7b及びコンタクト導体4を印刷・焼成し形成する。
【0012】
同様に内層導体(Ag系)3b,絶縁層7c,7d及びコンタクト導体4を形成する。
【0013】
同様に内層導体(Ag系)3c,内層抵抗体9,絶縁層7e,7f,コンタクト導体4,クサビ導体5、及びを形成する。更にその上に上層導体(Ag系)6及びオーバーコートガラス8を形成した多層厚膜配線基板の部品搭載部にはんだペーストを印刷しチップ電子部品12,MCM(マルチ チップ モジュール)11,ボンディングパッド13等を搭載しはんだリフロー・接続ワイヤー14にて電気的接続する構造の厚膜多層配線基板である。
【0014】
この構造によれば、チップ電子部品等の接続部に特徴を有し、一実施例を図2,図3で説明すると、図2(a)は、MCM11部のはんだと厚膜多層配線基板1の接続部構造を示す。この図は、厚膜多層配線基板の内層との接続が無い構造部である。図2(b)は、MCM11部のはんだと厚膜多層配線基板1の接続部構造で、厚膜多層配線基板の内層との接続が有る構造を示す。また、図2(c)はチップ電子部品12と厚膜多層配線基板1の接続部構造を示す。
【0015】
図3(a)(b)(c)は上記図2(a)(b)(c)で示した従来構造を示す。
【0016】
本実施例の特徴は、図2で示す最上層の絶縁層7fに貫通穴を設けその中に上層導体6を埋め込み形成するもので、上層導体6の膜厚を厚くできることにある。
【0017】
ここで、接続部の導体膜厚を厚くする必要性について図4で説明すると、はんだリフロー及び製品に加わる熱により上層導体6中にはんだのSnが拡散し金属間化合物15が形成される。この金属間化合物は脆い物で熱により成長し、熱や振動のストレスにより上層導体6と絶縁層7f間にクラック16が発生し接続強度が低下してしまう。その抑制方法の一手段として膜厚を厚くする必要がある。はんだリフロー1回で約3μmのSnの拡散があり150℃の高温放置試験では1000時間で約8μmの拡散が確認できている。従って、従来技術での上層導体形成では10数μmが限界であり熱影響により拡散が進むと導体の殆どが金属間化合物で占められ接続強度が著しく低下する。
【0018】
また、図2及び図5に示すクサビ導体5を絶縁層の貫通穴より大きく形成し端部を絶縁層で覆う構造とすることにより導体と絶縁層の接する面積を大きくし更なる接続強度の確保が可能になる。
【0019】
以上の構造により、厚膜多層配線基板とチップ電子部品の接続部の熱による金属間化合物形成に対応できる接続信頼性の優れた厚膜多層配線基板が提供できる。
【0020】
【発明の効果】
本発明によれば、金属間化合物形成による接続強度低下を抑制した接続信頼性に優れた厚膜多層配線基板を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】一実施例の断面図である。
【図2】(a)〜(c)は一実施例の局部断面図である。
【図3】(a)〜(c)は局部断面図である。
【図4】金属間化合物成長を示す図である。
【図5】金属間化合物成長を示す図である。
【符号の説明】
1…厚膜多層配線基板、2…セラミック絶縁基板、3a〜c…内層導体(Ag系)、4…コンタクト導体(Ag系)、5…クサビ導体(Ag系)、6…上層導体(Ag系)、7a〜f…絶縁層、8…オーバーコートガラス、9…内層抵抗体、10…はんだ、11…MCM(マルチ チップ モジュール)、12…チップ電子部品、15…Sn拡散層(金属間化合物)、16…クラック。
Claims (3)
- セラミック絶縁基板上にAg系導体,厚膜抵抗体及び絶縁層から成る厚膜多層配線基板上に、チップ電子部品及び半導体パッケージ(MCM等を含む)を搭載した厚膜多層配線基板において、搭載する電子部品等と厚膜多層配線基板の接続部厚膜導体の厚さを10μmから25μmであることを特徴とする厚膜多層配線基板。
- 厚膜多層配線基板の最上層絶縁層の貫通穴中に導体を形成し該導体を表層導体として用いる構造を特徴とする請求項第1項に記載の厚膜多層配線基板。
- 表層の接続導体の直下にクサビ導体を形成しそのクサビ導体の端部を絶縁層で覆う構造を特徴とする請求項第1項に記載の厚膜多層配線基板。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150095551A (ko) * | 2014-02-13 | 2015-08-21 | 타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드 | 매립형 표면 장착 소자를 구비한 반도체 패키지 및 그 제조 방법 |
TWI641095B (zh) * | 2017-08-30 | 2018-11-11 | 欣興電子股份有限公司 | 散熱基板的結構及製造方法與封裝結構與方法 |
CN110492018A (zh) * | 2019-08-09 | 2019-11-22 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种显示装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01209735A (ja) * | 1988-02-17 | 1989-08-23 | Nec Corp | 混成集積回路 |
JPH08169776A (ja) * | 1994-12-19 | 1996-07-02 | Sumitomo Metal Ind Ltd | セラミックス多層基板 |
JPH11121897A (ja) * | 1997-10-14 | 1999-04-30 | Fujitsu Ltd | 複数の回路素子を基板上に搭載するプリント配線基板の製造方法及びプリント配線基板の構造 |
JP2002171072A (ja) * | 2000-09-19 | 2002-06-14 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 配線基板 |
JP2002368423A (ja) * | 2001-06-05 | 2002-12-20 | Sumitomo Metal Electronics Devices Inc | セラミック基板 |
-
2003
- 2003-01-06 JP JP2003000041A patent/JP2004214428A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01209735A (ja) * | 1988-02-17 | 1989-08-23 | Nec Corp | 混成集積回路 |
JPH08169776A (ja) * | 1994-12-19 | 1996-07-02 | Sumitomo Metal Ind Ltd | セラミックス多層基板 |
JPH11121897A (ja) * | 1997-10-14 | 1999-04-30 | Fujitsu Ltd | 複数の回路素子を基板上に搭載するプリント配線基板の製造方法及びプリント配線基板の構造 |
JP2002171072A (ja) * | 2000-09-19 | 2002-06-14 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 配線基板 |
JP2002368423A (ja) * | 2001-06-05 | 2002-12-20 | Sumitomo Metal Electronics Devices Inc | セラミック基板 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150095551A (ko) * | 2014-02-13 | 2015-08-21 | 타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드 | 매립형 표면 장착 소자를 구비한 반도체 패키지 및 그 제조 방법 |
KR101692120B1 (ko) | 2014-02-13 | 2017-01-02 | 타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드 | 매립형 표면 장착 소자를 구비한 반도체 패키지 및 그 제조 방법 |
TWI641095B (zh) * | 2017-08-30 | 2018-11-11 | 欣興電子股份有限公司 | 散熱基板的結構及製造方法與封裝結構與方法 |
US10497847B2 (en) | 2017-08-30 | 2019-12-03 | Unimicron Technology Corp. | Structure and manufacturing method of heat dissipation substrate and package structure and method thereof |
CN110492018A (zh) * | 2019-08-09 | 2019-11-22 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种显示装置 |
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