JP2004193173A

JP2004193173A - 気相成長装置及び気相成長方法

Info

Publication number: JP2004193173A
Application number: JP2002355898A
Authority: JP
Inventors: Shigeyoshi Umemiya; 茂良梅宮; Masao Kondo; 正雄近藤
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 2002-12-06
Filing date: 2002-12-06
Publication date: 2004-07-08
Anticipated expiration: 2022-12-06
Also published as: JP4880175B2

Abstract

【課題】ＭＯＣＶＤ法に適用した際に製造コストを低減することができる気相成長装置及び気相成長方法を提供する。
【解決手段】成膜ガス用配管１１に成膜ガスを供給し、不活性ガス用配管１２に不活性ガスを供給する。このようなガスの供給を行うと、基体１３の中央部に配置されている成膜ガス用ノズル１６から噴出された成膜ガスがステージ上に載置されたウェハの表面を流れるのに対し、不活性ガス用ノズル１７から噴出された不活性ガスは、ウェハの表面に到達することなくウェハの上方に拡がる。この結果、成膜ガスのウェハの上方への拡散が抑制される。このため、成膜ガスの利用効率が向上し、製造コストを低減することが可能となる。
【選択図】図３

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の製造工程における薄膜等の形成に好適な気相成長装置及び気相成長方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＤＲＡＭ（ＤｙｎａｍｉｃＲａｎｄｏｍＡｃｃｅｓｓＭｅｍｏｒｙ）やＦＲＡＭ（ＦｅｒｒｏｅｌｅｃｔｒｉｃＲａｎｄｏｍＡｃｃｅｓｓＭｅｍｏｒｙ）のキャパシタを製造するための装置及びキャパシタを構成する膜の成膜方法について、様々なものが提案されている。しかし、実際に量産の際に使用され、実用化されているものは、ゾル・ゲル法やスパッタ法による成膜方法及びこのための装置である。
【０００３】
近年、メモリの集積度が次第にあがってきており、０．１８μｍルールのＤＲＡＭやＦＲＡＭ用のキャパシタを製造するには、ゾル・ゲル法やスパッタ法では、膜厚の薄膜化や段差被覆性の向上を達成することは困難となっている。このため、ＭＯＣＶＤ（ＭｅｔａｌＯｒｇａｎｉｃＣｈｅｍｉｃａｌＶａｐｏｒＤｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法による薄膜の製造装置及び製造方法の開発に期待がよせられている。このような状況下で、例えば特開２００１−３１３２７１号公報に、ＭＯＣＶＤ法による半導体製造方法が開示されている。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００１−３１３２７１号公報
【特許文献２】
特開平７−１６９７０３号公報
【特許文献３】
特開平９−３１６６４４号公報
【特許文献４】
特開平１０−６４８３１号公報
【特許文献５】
特開２００１−２１４２７４号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ＭＯＣＶＤ法を使用して量産可能な薄膜を製造するには、膜厚及び組成を均一にし、酸化物の生成過程で発生しがちなパーティクルを抑えるといった技術的な課題もあるだけでなく、ゾル・ゲル法及びスパッタ法に比べて、原料である有機金属が非常に高価であるという問題点がある。この結果、ＭＯＣＶＤ法により半導体装置を製造すると、コストが著しく高くなってしまう。
【０００６】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであって、ＭＯＣＶＤ法に適用した際に製造コストを低減することができる気相成長装置及び気相成長方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本願発明者は、従来のＭＯＣＶＤ法における成膜ガスの使用効率について検討した。この結果、シャワーヘッドから噴き出された成膜ガスは、成膜室（チャンバ）全体に広がってしまい、基板表面に到達した成膜ガスのみが成膜に使用されされ、他の基板表面に到達しない大部分の成膜ガスはそのまま排気されていた。そして、実際に薄膜の形成に使用されるモル量は、原料の供給モル量に対して数％程度であった。このように、従来のＭＯＣＶＤ法では、高価な有機金属原料の９割以上が排気されていることが見出された。図１は、本願発明者が得たガスの流線を示す模式図である。図１に示すように、シャワーヘッドのノズル２１から噴き出された成膜ガスの僅か一部はステージ２２の上面まで到達しているが、成膜ガスの大部分は、ステージ２２の上面に到達することなく、下方に流れてしまっている。この下方に流れた成膜ガスは、そのまま成膜室から排気され成膜に使用されることはない。
【０００８】
そこで、本願発明者は、原料の利用効率を向上させるべく鋭意検討した結果、以下に示す発明の諸態様に想到した。
【０００９】
本発明に係る気相成長装置は、その上にウェハが載置されるステージと、原料ガス及びこの原料ガスと反応する反応ガスを含有する成膜ガスを前記ステージに向けて供給するシャワーヘッドと、を有する。この気相成長装置においては、前記シャワーヘッドに、少なくとも前記ステージの中心に向けて前記成膜ガスを噴出する第１のガス噴出手段と、前記反応ガス及び不活性ガスからなる群から選択された少なくとも１種の非原料ガスを、前記第１のガス噴出手段の周囲から前記ステージに向けて噴出する第２のガス噴出手段と、が設けられている。
【００１０】
本発明に係る気相成長方法は、ウェハの温度を成膜可能な温度に保持し、その後、少なくとも前記ウェハの中心に向けて、原料ガス及びこの原料ガスと反応する反応ガスを含有する成膜ガスを噴出する。このとき、同時に、前記反応ガス及び不活性ガスからなる群から選択された少なくとも１種の非原料ガスを、前記成膜ガスの周囲から前記ウェハに向けて噴出する。
【００１１】
本発明においては、原料ガス及び反応ガスを含有する成膜ガスがステージ上に載置されたウェハに噴出されると共に、その周囲に向けて非原料ガスが噴出される。この結果、図１に示すように、成膜ガスがウェハ表面を流れると共に、非原料ガスが成膜ガスの上方への拡散を抑制する。従って、成膜ガスの利用効率が著しく向上する。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態に係る気相成長装置及び気相成長方法について添付の図面を参照して具体的に説明する。
【００１３】
（ＭＯＣＶＤシステム）
先ず、ＭＯＣＶＤシステムについて説明する。図２は、ＭＯＣＶＤシステムの構成を示す模式図である。
【００１４】
このＭＯＣＶＤシステムには、成膜室（チャンバ）１、この成膜室１の上部に配置されたシャワーヘッド２、成膜室１に原料ガスを供給する気化器３、原料ガスと反応する反応ガス（Ｏ_２）の流量（流速）を調節するマスフローコントロールバルブ４、反応ガスを加熱する熱交換器５、原料ガスと反応ガスとを混合するガス混合器６、コールドトラップ７、真空ポンプ８及び除害装置９が設けられている。シャワーヘッド２には、不活性ガス、例えばＮ_２のラインが直接連結されている。コールドトラップ７までの配管は、適宜配管加熱手段１０により加熱される。
【００１５】
気化器３には、Ｐｂ、Ｚｒ、Ｔｉの有機金属原料が夫々溶媒に一定の濃度で溶け込んだ溶液が一定の流量で供給される。また、原料の流量を変化させた時でも全流量を一定に保つため、一定量の溶媒も気化器３に供給されている。これらの流量調整は、液体のマスフローコントローラ（図示せず）にて行われる。そして、気化器３内では、供給された各液体原料が溶媒とともに気化され、原料ガスとなって、温度管理された配管を通じてガス混合器６に供給される。また、気化器３の出口には窒素パージ用のラインが接続されており、成膜時と非成膜時とで、成膜室１に流入するガスの流量を一定にすることが可能となっている。
【００１６】
一方、反応ガス（Ｏ_２）は、マスフローコントローラ４を介して一定の流量でガス混合器６に供給される。このとき、反応ガスの温度は、熱交換器５によって原料の気化温度まで上昇させられる。
【００１７】
そして、ガス混合器６の中で、原料ガスと反応ガスとが混合され、混合ガスがシャワーヘッド２に流れる。
【００１８】
成膜室１では、ウェハへの成膜時には、例えばウェハの温度を５００乃至６５０℃に保持しておく。このような状態で、シャワーヘッド２から混合ガスがステージ（図示せず）に向けて、即ちこのステージ上に載置されたウェハに向けて供給されると、混合ガス中の有機金属ガスがウェハ表面において、ウェハの熱エネルギによって分解され、薄膜（例えば、ＰＺＴ薄膜）が形成される。成膜に使用されなかった成膜ガスは真空ポンプ８により吸引され、排気ポートを通じて、コールドトラップ７による回収又は除害装置９による分解が行われる。そして、無害化されて大気中に排気される。
【００１９】
（シャワーヘッド）
次に、シャワーヘッド２の構造について説明する。図３は、本発明の第１の実施形態に係る気相成長装置のシャワーヘッドの構造を示す図であって、（ａ）は下面図、（ｂ）は側面図である。
【００２０】
第１の実施形態においては、例えば１本の成膜ガス用配管１１及び６本の不活性ガス用配管１２が基体１３に連結されている。基体１３の直径は、例えば２０．３ｃｍ（８インチ）程度である。成膜ガス用配管１１は基体１３の中心部に配置されており、６本の不活性ガス用配管１２は成膜ガス用配管１１を中心とする正六角形を形成するようにして配置されている。
【００２１】
基体１３の内部は、成膜ガス用配管１１に連通する成膜ガス用空間１４と不活性ガス用配管１２に連通する不活性ガス用空間１５とに区画されている。成膜ガス用空間１４の平面形状は、例えば成膜ガス用配管１１を中心とする最大径が２０ｍｍ程度の正六角形状であり、不活性ガス用空間１５により取り囲まれている。基体１３の下側には、成膜ガス用空間１４に連通する成膜ガス用ノズル１６、及び不活性ガス用空間１５に連通する不活性ガス用ノズル１７が取り付けられている。
【００２２】
なお、図３（ｂ）では、便宜上、成膜ガス用配管１１の手前に存在する不活性ガス用配管１２を省略している。
【００２３】
このように構成されたシャワーヘッドを使用して気相成長を行う場合には、成膜ガス用配管１１に成膜ガスを供給し、不活性ガス用配管１２に不活性ガスを供給する。このようなガスの供給を行うと、図１に示す流線に沿って、各ノズルから噴出されたガスが流れる。従って、基体１３の中央部に配置されている成膜ガス用ノズル１６から噴出された成膜ガスがステージ上に載置されたウェハの表面を流れるのに対し、不活性ガス用ノズル１７から噴出された不活性ガスは、ウェハの表面に到達することなくウェハの上方に拡がる。この結果、成膜ガスのウェハの上方への拡散が抑制される。このため、成膜ガスの利用効率が向上し、製造コストを低減することが可能となる。
【００２４】
このように構成されたシャワーヘッドは、例えば直径が１５．２ｃｍ（６インチ）程度のウェハ上に、気相成長法により薄膜を形成するのに好適である。
【００２５】
ここで、図３に示す構造のシャワーヘッドを具備する気相成長装置を使用して実際に成膜を行った結果について説明する。
【００２６】
原料には、Ｐｂ（ＤＰＭ）_２（ジ−ピバロイルメタナート−鉛）、Ｚｒ（ＤＭＨＤ）_４（ジ−メチルヘキサンディオネート−ジルコニウム）及びＴｉ（Ｏ−ｉＰｒ）_２（イソ−プロポキシ−チタニウム）を使用し、溶媒にはＴＨＦ（テトラ−ヒドロフラン）を使用した。ステージ上に、直径が１５．２ｃｍ（６インチ）のウェハを載置した。基体の直径は約２０．３ｃｍ（８インチ）とし、成膜ガス用ノズルは基体の中心から半径が１０ｍｍの円内に配置した。
【００２７】
また、ウェハの温度を５８０℃、気化器での気化温度を１９０℃、気化器と成膜室（チャンバ）との間の配管の温度を２２０℃、混合器に供給する酸素の温度を２００℃に設定した。成膜圧力は６６７Ｐａに調節した。
【００２８】
そして、成膜ガス用ノズル１６から、成膜ガスとして、有機金属原料及び溶媒が気化したガス、キャリアガス（Ｎ_２）及び反応ガス（Ｏ_２）の混合ガスを１０００ｓｃｃｍ流し、不活性ガス用ノズル１７から、不活性ガスとして窒素ガスを２５００ｓｃｃｍ流して、ＰＺＴ膜の成膜を行った。このとき、原料の供給速度は、０．６ｍｌ／分とした。
【００２９】
そして、成膜後に、ウェハの図４に示す９点（×印）において、ＰＺＴ膜の膜厚及び組成を測定した。この結果を下記表１に示す。
【００３０】
【表１】

【００３１】
表１に示すように、本発明の実施形態１におけるシャワーヘッドを使用した結果、均一なＰＺＴ膜を形成することができた。
【００３２】
次に、本発明の第２の実施形態におけるシャワーヘッド２の構造について説明する。図５は、本発明の第２の実施形態に係る気相成長装置のシャワーヘッドの構造を示す図であって、（ａ）は下面図、（ｂ）は側面図である。なお、図５（ｂ）では、便宜上、成膜ガス用配管１１の手前に存在する不活性ガス用配管１２を省略している。
【００３３】
本実施形態においては、第１の実施形態とは異なり、成膜ガス用ノズル１６が設けられておらず、成膜ガス用配管１１が基体１３を貫通している。
【００３４】
このように構成された第２の実施形態においては、成膜ガスは、成膜ガス用ノズル１６を介することなく、成膜ガス用配管１１から直接ウェハに向けて供給される。一方、不活性ガス用ノズル１７からは、第１の実施形態と同様に不活性ガスが供給される。
【００３５】
そして、第１の実施形態と同様に、基体１３の中央部に配置されている成膜ガス用配管１１から噴出された成膜ガスがステージ上に載置されたウェハの表面を流れる。これに対し、不活性ガス用ノズル１７から噴出された不活性ガスは、ウェハの表面に到達することなくウェハの上方に拡がる。この結果、成膜ガスのウェハの上方への拡散が抑制される。
【００３６】
実際に、本願発明者が、図５に示す構造のシャワーヘッドを具備する気相成長装置を使用して実際に成膜を行った結果、第１の実施形態と同様の結果が得られた。
【００３７】
次に、本発明の第３の実施形態におけるシャワーヘッド２の構造について説明する。第１及び第２の実施形態では、ウェハの面積が特に大きい場合等には、ウェハの外周部において成膜ガスの濃度が低くなってウェハの中心部と外周部との間で成膜された膜の厚さが不均一となることもあり得る。本実施形態は、このような場合に好適なものである。図６は、本発明の第２の実施形態に係る気相成長装置のシャワーヘッドの構造を示す図であって、（ａ）は下面図、（ｂ）は側面図である。
【００３８】
本実施形態においては、例えば１本の成膜ガス用配管１１及び３本の不活性ガス用配管１２が基体１３に連結されている。成膜ガス用配管１１には、３本の成膜ガス用分岐配管１８が連結され、不活性ガス用配管１２には、夫々１本の不活性ガス用分岐配管１９が連結されている。成膜ガス用配管１１は基体１３の中心部に配置されており、３本の不活性ガス用配管１２は成膜ガス用配管１１を中心とする正三角形を形成するようにして配置されている。
【００３９】
また、３本の成膜ガス用分岐配管１８も成膜ガス用配管１１を中心とする正三角形を形成するようにして配置されている。但し、この三角形は、成膜ガス用配管１１を中心として、不活性ガス用配管１２が形成する三角形を６０℃回転させて縮小したものとなっている。更に、総計で３本の不活性ガス用分岐配管１８も成膜ガス用配管１１を中心とする正三角形を形成するようにして配置されている。但し、この三角形は、不活性ガス用配管１２が形成する三角形を、成膜ガス用分岐配管１８が形成する三角形よりも縮小したものとなっている。
【００４０】
本実施形態では、中心から順に、基体１３の内部は、成膜ガス用配管１１に連通する成膜ガス用空間１４ａと、不活性ガス用分岐配管１９に連通する不活性ガス用空間１５ｂと、成膜ガス用分岐配管１８に連通する成膜ガス用空間１４ｂと、不活性ガス用配管１２に連通する不活性ガス用空間１５ａとに区画されている。
【００４１】
成膜ガス用空間１４ａの平面形状は、例えば成膜ガス用配管１１を中心とする最大径が２０ｍｍ程度の六角形状であり、不活性ガス用空間１５ｂにより取り囲まれている。不活性ガス用空間１５ｂは成膜ガス用空間１４ｂにより取り囲まれている。そして、成膜ガス用空間１４ｂは不活性ガス用空間１５ａにより取り囲まれている。成膜ガス用ノズル１６は成膜ガス用空間１４ａ又は１４ｂに連通し、不活性ガス用ノズル１７は不活性ガス用空間１５ａ又は１５ｂに連通している。
【００４２】
このように構成されたシャワーヘッドを使用して気相成長を行う場合には、成膜ガス用配管１１に成膜ガスを供給し、不活性ガス用配管１２に不活性ガスを供給する。このようなガスの供給を行うと、第１の実施形態と同様に、主に成膜ガス用空間１４ａに連通した成膜ガス用ノズル１６から供給された成膜ガスがウェハの表面を流れる。この成膜ガス中の原料ガス及び反応ガスは、成膜により消費されるため、ウェハの外周部に近づくほど、これらの濃度は低下する。このような状況においても、本実施形態においては、成膜ガス用空間１４ａに連通した成膜ガス用ノズル１６だけでなく、成膜ガス用空間１４ｂに連通した成膜ガス用ノズル１６からも成膜ガスが供給される。従って、この成膜ガスにより、成膜ガス用空間１４ａに連通した成膜ガス用ノズル１６から供給された成膜ガスの濃度の低下が補償される。
【００４３】
従って、ウェハが大きい場合等、第１又は第２の実施形態では、均一な厚さの膜を形成することが困難であると考えられるような場合であっても、本実施形態によれば、安定して均一な厚さの膜を形成することが可能である。
【００４４】
なお、上述の実施形態においては、非原料ガスとして不活性ガスのみを用いているが、非原料ガスとして、反応ガスのみを用いてもよく、また、不活性ガスと反応ガスとの混合ガスを用いてもよい。
【００４５】
また、原料ガスとしては、例えばＰｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｌａ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｔａ及びＢｉのいずれかを含有するものを用いることができる。
【００４６】
以下、本発明の諸態様を付記としてまとめて記載する。
【００４７】
（付記１）その上にウェハが載置されるステージと、
原料ガス及びこの原料ガスと反応する反応ガスを含有する成膜ガスを前記ステージに向けて供給するシャワーヘッドと、
を有する気相成長装置において、
前記シャワーヘッドは、
少なくとも前記ステージの中心に向けて前記成膜ガスを噴出する第１のガス噴出手段と、
前記反応ガス及び不活性ガスからなる群から選択された少なくとも１種の非原料ガスを、前記第１のガス噴出手段の周囲から前記ステージに向けて噴出する第２のガス噴出手段と、
を有することを特徴とする気相成長装置。
【００４８】
（付記２）前記第１のガス噴出手段は、前記成膜ガスを噴出する複数個の第１のノズルを有することを特徴とする付記１に記載の気相成長装置。
【００４９】
（付記３）前記第２のガス噴出手段は、前記第１のガス噴出手段を取り囲んで配置され、前記非原料ガスを噴出する複数個の第２のノズルを有することを特徴とする付記１又は２に記載の気相成長装置。
【００５０】
（付記４）前記反応ガスは、酸素ガスであることを特徴とする付記１乃至３のいずれか１項に記載の気相成長装置。
【００５１】
（付記５）前記成膜ガスは、更にキャリアガスを含有することを特徴とする付記１乃至４のいずれか１項に記載の気相成長装置。
【００５２】
（付記６）前記キャリアガスは、窒素ガスであることを特徴とする付記５に記載の気相成長装置。
【００５３】
（付記７）前記原料ガスは、Ｐｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｌａ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｔａ及びＢｉからなる群から選択された少なくとも１種の元素を含有する有機金属ガスであることを特徴とする付記１乃至６のいずれか１項に記載の気相成長装置。
【００５４】
（付記８）前記第１のガス噴出手段は、
前記ステージの中心に向けて前記成膜ガスを噴出する中心噴出手段と、
夫々前記ステージの中心から離間した１又は２以上の領域に前記成膜ガスを噴出する１又は２以上の周辺噴出手段と、
を有し、
前記第２のガス噴出手段は、前記中心噴出手段及び前記周辺噴出手段により挟まれた各領域、並びに前記周辺噴出手段のうちで最も外側に位置するものの周辺の領域から、前記非原料ガスを噴出することを特徴とする付記１乃至７のいずれか１項に記載の気相成長装置。
【００５５】
（付記９）前記中心噴出手段及び前記周辺噴出手段と前記第２のガス噴出手段とは、前記シャワーヘッドの中心部から外周部にかけて交互に配置されていることを特徴とする付記８に記載の気相成長装置。
【００５６】
（付記１０）ウェハの温度を成膜可能な温度に保持する工程と、
少なくとも前記ウェハの中心に向けて、原料ガス及びこの原料ガスと反応する反応ガスを含有する成膜ガスを噴出すると共に、前記反応ガス及び不活性ガスからなる群から選択された少なくとも１種の非原料ガスを、前記成膜ガスの周囲から前記ウェハに向けて噴出する工程と、
を有することを特徴とする気相成長方法。
【００５７】
（付記１１）前記成膜ガスを、複数個の第１のノズルから噴出することを特徴とする付記１０に記載の気相成長方法。
【００５８】
（付記１２）前記非原料ガスを、前記第１のノズルを取り囲んで配置された複数個の第２のノズルから噴出することを特徴とする付記１１に記載の気相成長方法。
【００５９】
（付記１３）前記反応ガスとして、酸素ガスを使用することを特徴とする付記１０乃至１２のいずれか１項に記載の気相成長方法。
【００６０】
（付記１４）前記成膜ガスに、更にキャリアガスを含有させることを特徴とする付記１０乃至１３のいずれか１項に記載の気相成長方法。
【００６１】
（付記１５）前記キャリアガスとして、窒素ガスを使用することを特徴とする付記１４に記載の気相成長方法。
【００６２】
（付記１６）前記原料ガスとして、Ｐｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｌａ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｔａ及びＢｉからなる群から選択された少なくとも１種の元素を含有する有機金属ガスを使用することを特徴とする付記１０乃至１５のいずれか１項に記載の気相成長方法。
【００６３】
（付記１７）複数の領域から、前記成膜ガスを、前記ウェハの中心に向けて噴出すると共に、前記ウェハの中心から離間した１又は２以上の領域に噴出し、
前記非原料ガスを、前記複数の領域により挟まれた各領域、及び前記複数の領域のうちで前記ウェハの最も外側に前記成膜ガスを噴出するものの周辺の領域から、前記ウェハに向けて噴出することを特徴とする付記１０乃至１６のいずれか１項に記載の気相成長方法。
【００６４】
（付記１８）前記成膜ガス及び前記非原料ガスを、互いに交互に配置された領域から噴出することを特徴とする付記１７に記載の気相成長方法。
【００６５】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、成膜ガスの利用効率を向上することができる。この結果、本発明をＭＯＣＶＤ法に適用した際に、半導体装置の製造コストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願発明者が得たガスの流線を示す模式図である。
【図２】ＭＯＣＶＤシステムの構成を示す模式図である。
【図３】本発明の第１の実施形態に係る気相成長装置のシャワーヘッドの構造を示す図であって、（ａ）は下面図、（ｂ）は側面図である。
【図４】ウェハ上の測定点を示す模式図である。
【図５】本発明の第２の実施形態に係る気相成長装置のシャワーヘッドの構造を示す図であって、（ａ）は下面図、（ｂ）は側面図である。
【図６】本発明の第２の実施形態に係る気相成長装置のシャワーヘッドの構造を示す図であって、（ａ）は下面図、（ｂ）は側面図である。
【符号の説明】
１；成膜室
２；シャワーヘッド
３；気化器
４；マスフローコントロールバルブ
５；熱交換器
６；ガス混合器
７；コールドトラップ
８；真空ポンプ
９；除害装置
１０；配管加熱手段
１１；成膜ガス用配管
１２；不活性ガス用配管
１３；基体
１４、１４ａ、１４ｂ；成膜ガス用空間
１５、１５ａ、１５ｂ；不活性ガス用空間
１６；成膜ガス用ノズル
１７；不活性ガス用ノズル
１８；成膜ガス用分岐配管
１９；不活性ガス用分岐配管
２１；ノズル
２２；ステージ

Claims

その上にウェハが載置されるステージと、
原料ガス及びこの原料ガスと反応する反応ガスを含有する成膜ガスを前記ステージに向けて供給するシャワーヘッドと、
を有する気相成長装置において、
前記シャワーヘッドは、
少なくとも前記ステージの中心に向けて前記成膜ガスを噴出する第１のガス噴出手段と、
前記反応ガス及び不活性ガスからなる群から選択された少なくとも１種の非原料ガスを、前記第１のガス噴出手段の周囲から前記ステージに向けて噴出する第２のガス噴出手段と、
を有することを特徴とする気相成長装置。
前記第１のガス噴出手段は、前記成膜ガスを噴出する複数個の第１のノズルを有することを特徴とする請求項１に記載の気相成長装置。
前記第２のガス噴出手段は、前記第１のガス噴出手段を取り囲んで配置され、前記非原料ガスを噴出する複数個の第２のノズルを有することを特徴とする請求項１又は２に記載の気相成長装置。
前記第１のガス噴出手段は、
前記ステージの中心に向けて前記成膜ガスを噴出する中心噴出手段と、
夫々前記ステージの中心から離間した１又は２以上の領域に前記成膜ガスを噴出する１又は２以上の周辺噴出手段と、
を有し、
前記第２のガス噴出手段は、前記中心噴出手段及び前記周辺噴出手段により挟まれた各領域、並びに前記周辺噴出手段のうちで最も外側に位置するものの周辺の領域から、前記非原料ガスを噴出することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の気相成長装置。
前記中心噴出手段及び前記周辺噴出手段と前記第２のガス噴出手段とは、前記シャワーヘッドの中心部から外周部にかけて交互に配置されていることを特徴とする請求項４に記載の気相成長装置。
ウェハの温度を成膜可能な温度に保持する工程と、
少なくとも前記ウェハの中心に向けて、原料ガス及びこの原料ガスと反応する反応ガスを含有する成膜ガスを噴出すると共に、前記反応ガス及び不活性ガスからなる群から選択された少なくとも１種の非原料ガスを、前記成膜ガスの周囲から前記ウェハに向けて噴出する工程と、
を有することを特徴とする気相成長方法。
前記成膜ガスを、複数個の第１のノズルから噴出することを特徴とする請求項６に記載の気相成長方法。
前記非原料ガスを、前記第１のノズルを取り囲んで配置された複数個の第２のノズルから噴出することを特徴とする請求項７に記載の気相成長方法。
複数の領域から、前記成膜ガスを、前記ウェハの中心に向けて噴出すると共に、前記ウェハの中心から離間した１又は２以上の領域に噴出し、
前記非原料ガスを、前記複数の領域により挟まれた各領域、及び前記複数の領域のうちで前記ウェハの最も外側に前記成膜ガスを噴出するものの周辺の領域から、前記ウェハに向けて噴出することを特徴とする請求項６乃至８のいずれか１項に記載の気相成長方法。
前記成膜ガス及び前記非原料ガスを、互いに交互に配置された領域から噴出することを特徴とする請求項９に記載の気相成長方法。