JP2004191189A - ブリッジ型抵抗回路装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ブリッジ回路10の点A,B,C,Dに電源−出力端子11,12,13,14を設け、これらの端子11〜14には、第1,第2の切換位置間で切換えられる切換スイッチ17を接続する。そして、第1の切換位置では、点C,D間の電圧を増幅回路24により電圧信号V1に増幅し、第2の切換位置では、点A,B間の電圧を電圧信号V2に増幅する。また、故障診断回路28は、電圧信号V1,V2の差が所定の許容範囲ΔVを超えたときに故障と診断する。これにより、センサ素子2に故障診断用の回路等を配置する必要がなくなり、これを小型化できると共に、配線パターン9、配線22等の損傷を確実に検出することができる。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば圧力、流量センサ等を構成するブリッジ回路として好適に用いられるブリッジ型抵抗回路装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、ブリッジ型抵抗回路装置は各種のセンサに用いられており、このようなセンサとしては、例えばシリコン基板に4個のピエゾ抵抗体等からなるブリッジ回路を形成し、基板に加わる圧力をピエゾ抵抗体の撓み変形量として検出するようにした半導体型の圧力センサが知られている(例えば、特許文献1参照)。
【0003】
【特許文献1】
特開2001−272293号公報
【0004】
この種の従来技術による圧力センサは、例えばセンサ素子を構成するシリコン基板に薄肉部が形成され、ブリッジ回路は、この薄肉部に配置されている。この場合、ブリッジ回路は、4個のピエゾ抵抗体が環状に直列接続された環状直列回路として形成され、これらの抵抗体の間には、電源およびグランドに接続される2個の電源端子と、ブリッジ回路から外部に電圧信号を出力する2個の出力端子とが設けられている。
【0005】
また、センサ素子は、例えば信号処理回路等の近傍に配置され、ブリッジ回路の電源端子と出力端子とは、ワイヤボンディング等の手段によって信号処理回路と接続されるものである。
【0006】
そして、圧力センサの作動時には、シリコン基板の薄肉部が圧力によって撓み変形すると、その撓み変形量に応じて各ピエゾ抵抗体の抵抗値が変化し、ブリッジ回路の各出力端子の電圧が変化する。これにより、各出力端子の電圧が圧力の検出信号として信号処理回路に出力されるものである。
【0007】
ここで、例えば圧力センサに過大な圧力等が加わると、薄肉部とピエゾ抵抗体に亀裂、ひび割れ等の損傷が生じてセンサが故障することがあり、このような故障時には、センサから正確な検出信号を出力できなくなる。
【0008】
このため、シリコン基板には、ブリッジ回路の近傍に2個の基準抵抗と故障診断端子とが設けられている。この場合、各基準抵抗は、圧力によって抵抗値が変化しないように、薄肉部の外側に配置され、ブリッジ回路の各電源端子間に互いに直列に接続されている。また、故障診断端子は、これらの基準抵抗間に設けられ、信号処理回路に接続されている。
【0009】
そして、圧力センサの作動時には、故障診断端子の電圧が各基準抵抗の抵抗値と電源電圧とによって定められるため、この電圧値は、圧力と関係ない所定の電圧値(基準電圧Vs)に保持される。また、信号処理回路は、基準電圧Vsと、ブリッジ回路の各出力端子からそれぞれ入力される電圧(出力電圧Va,Vb)とを用いて、例えば下記数1の式が成立するか否かを判定する。
【0010】
【数1】
|Va−Vb|=2×|Va−Vs|=2×|Vb−Vs|
【0011】
そして、信号処理回路は、前記数1の式が成立するときにブリッジ回路が正常であると診断し、成立しないときに故障と診断するものである。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した従来技術では、センサ素子を構成するシリコン基板に2個の基準抵抗と故障診断端子とを設け、これらを用いてブリッジ回路の故障を診断する構成としている。
【0013】
このため、センサ素子には、各基準抵抗と故障診断端子の配置スペースだけでなく、これらをブリッジ回路と接続するために配線を引回すスペース等を確保しなければならず、センサ素子が大型化するという問題がある。
【0014】
また、従来技術では、例えばブリッジ回路、各基準抵抗等に給電を行う電源側の配線等が断線した場合に、基準電圧Vsと出力電圧Va,Vbとが全て零となり、センサが故障しているにも拘らず、前記数1の式が成立してしまう。このため、センサが正常であって圧力が付加されていない状態と、電源側の断線による故障状態とを区別できないという問題もある。
【0015】
本発明は上述した従来技術の問題に鑑みなされたもので、本発明の目的は、環状直列回路の近傍に故障診断用の抵抗体、配線等を配置する必要がなくなり、環状直列回路を搭載する基板等を小型化できると共に、電源側の断線等を含めて環状直列回路等の故障を確実に診断できるようにしたブリッジ型抵抗回路装置を提供することにある。
【0016】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために請求項1の発明は、可変抵抗を含めて4個の抵抗体が環状に直列接続された環状直列回路と、前記環状直列回路を構成する4個の抵抗体のうち隣接する2個の抵抗体を直列に接続した2組の直列回路の間に設けられた第1の電源−出力端子と、前記環状直列回路を構成する4個の抵抗体のうち前記2組の直列回路とは1個の抵抗体をずらして隣接する2個の抵抗体により構成される2組の直列回路の間に設けられた第2の電源−出力端子と、第1の切換位置に切換えたときに前記第1の電源−出力端子を電源端子として用いると共に前記第2の電源−出力端子を出力端子として用い、第2の切換位置に切換えたときに前記第1の電源−出力端子を出力端子として用いると共に前記第2の電源−出力端子を電源端子として用いる切換手段と、前記第1の電源−出力端子を出力端子としたときの当該出力端子間の電圧と、前記第2の電源−出力端子を出力端子としたときの当該出力端子間の電圧とを比較して前記環状直列回路が正常であるか否かを診断する故障診断回路とからなる構成を採用している。
【0017】
このように構成することにより、第1の切換位置では、各第1の電源−出力端子を用いて環状直列回路に給電し、環状直列回路から各第2の電源−出力端子を介して外部の回路等に電圧信号を出力することができる。また、第2の切換位置では、各第2の電源−出力端子を用いて環状直列回路に給電し、環状直列回路から各第1の電源−出力端子を介して外部の回路等に電圧信号を出力できる。
【0018】
この場合、例えば環状直列回路の各抵抗体の抵抗値を等しくすることにより、環状直列回路は、電源および外部の回路等に対する各抵抗体の接続状態が第1,第2の切換位置で等価な関係となる。このため、各抵抗体が正常であるときには、切換手段を切換えたとしても、第1,第2の切換位置で環状直列回路から等しい電圧信号を出力することができる。
【0019】
これに対し、例えば第1,第2の電源−出力端子に接続される配線等が断線した場合には、環状直列回路の等価性がなくなるので、第1,第2の切換位置での電圧信号に差が生じる。これにより、故障診断回路は、第1,第2の切換位置で環状直列回路の電圧信号を比較することにより、環状直列回路、配線等の故障を診断することができる。
【0020】
また、請求項2の発明によると、環状直列回路、第1,第2の電源−出力端子および切換手段を一体の回路ユニットとして形成し、故障診断回路は該回路ユニットと接続される回路基板に搭載し、該回路基板により前記切換手段を第1,第2の切換位置間で切換える構成としている。
【0021】
これにより、故障診断回路は、例えばコントロールユニット等の回路基板に搭載でき、この回路基板は、環状直列回路から出力される検出信号を用いて各種の制御を行うことができる。また、回路基板は、この制御処理中に必要に応じて切換手段を切換えることにより、環状直列回路等の故障を診断することができる。
【0022】
従って、例えば故障診断を行うタイミングや頻度、診断の基準等をコントロールユニット等によって適切に設定でき、これらを制御内容等に応じて容易に変更することができる。これにより、回路ユニットの汎用性を高め、例えば複数種類の回路基板に対して回路ユニットを共通化することができる。
【0023】
また、請求項3の発明によると、切換手段を第1,第2の切換位置間で周期的に切換える構成とし、故障診断回路により環状直列回路の故障診断を周期的に行う構成としている。
【0024】
これにより、環状直列回路の作動時には、出力端子から外部の回路等に電圧信号を出力しつつ、このときの電圧信号を用いて環状直列回路等の故障を周期的に診断することができる。従って、回路の動作に影響を与えることなく、故障診断を高い頻度で行うことができる。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態によるブリッジ型抵抗回路装置を、添付図面に従って詳細に説明する。
【0026】
ここで、図1ないし図5は第1の実施の形態を示し、本実施の形態では、圧力センサに適用した場合を例に挙げて述べる。
【0027】
1は圧力センサを構成する回路ユニットとしてのセンサユニットで、該センサユニット1は、後述のセンサ素子2と信号処理回路15とにより構成され、これらを一体のユニットとしてケーシング(図示せず)等に収容することにより形成されている。
【0028】
2は圧力センサの本体部分を構成するセンサ素子で、該センサ素子2は、図2、図3に示す如く、後述のセンサ基板3、薄肉部4、ピエゾ抵抗体5,6等を含んで構成されている。
【0029】
3は例えばシリコン材料等により形成されたセンサ基板で、該センサ基板3には、その裏面側から表面側に向けて四角形状の凹溝3Aが形成され、基板3のうち凹溝3Aの表面側に位置する部位は、周囲の部位よりも薄肉に形成された四角形状の薄肉部4となっている。そして、薄肉部4は、その両面側に加わる圧力差に応じて撓み変形するものである。
【0030】
5,6はセンサ基板3の薄肉部4に2個ずつ設けられた可変抵抗としてのピエゾ抵抗体で、これら4個のピエゾ抵抗体5,6は、例えば不純物イオン等を薄肉部4に注入することにより、その撓み変形量に応じて抵抗値が変化する細長い撓み検出素子として形成され、薄肉部4の四辺にそれぞれ配置されている。
【0031】
この場合、薄肉部4に圧力が印加され、各ピエゾ抵抗体5,6が撓み変形するときには、例えば図2中の左,右両側に位置する2個のピエゾ抵抗体6の抵抗値が増大し、上,下両側に位置する2個のピエゾ抵抗体5の抵抗値が減少する構成となっている。また、各ピエゾ抵抗体5同士の抵抗値、各ピエゾ抵抗体6同士の抵抗値はそれぞれ等しく形成され、これら4個の抵抗値は、薄肉部4が撓み変形していないときに等しい初期値となるように設定されている。
【0032】
また、ピエゾ抵抗体5,6の両端側には、イオン注入等の手段により幅広で低抵抗な素子接続部7がそれぞれ設けられ、互いに隣接する素子接続部7は、センサ基板3の表面側に絶縁膜8を介して設けられた4個の配線パターン9によってそれぞれ接続されている。
【0033】
10は例えば4個のピエゾ抵抗体5,6により構成された環状直列回路としてのブリッジ(ホイートストンブリッジ)回路で、該ブリッジ回路10は、図1、図2に示す如く、各ピエゾ抵抗体5,6を素子接続部7と配線パターン9とによって環状に直列接続することにより形成され、これらの抵抗体5,6は交互に並んで配置されている。
【0034】
また、これら4個のピエゾ抵抗体5,6のうち、図1中の左側で互いに隣接する2個の抵抗体5,6は直列回路10Aを構成し、右側で隣接する2個の抵抗体5,6は他の直列回路10Aを構成している。そして、2組の直列回路10Aはブリッジ回路10の点A,Bで互いに並列に接続され、これらの直列回路10Aの間には、後述する第1の電源−出力端子11,12が設けられている。
【0035】
また、4個のピエゾ抵抗体5,6のうち、上側で隣接する2個の抵抗体5,6と、下側で隣接する2個の抵抗体5,6とは、図4に示す如く、各直列回路10Aに対して1個の抵抗体をずらして隣接する2組の直列回路10Bを構成している。そして、各直列回路10Bはブリッジ回路10の点C,Dで互いに並列に接続され、これらの直列回路10Bの間には、後述する第2の電源−出力端子13,14が設けられている。
【0036】
11,12はブリッジ回路10の点A,Bに設けられた第1の電源−出力端子(以下、端子11,12という)で、該第1の端子11,12は、例えばセンサ基板3の表面側にワイヤボンディング用の電極パッド等として形成され、配線パターン9と接続されている。
【0037】
13,14はブリッジ回路10の点C,Dに設けられた第2の電源−出力端子(以下、端子13,14という)で、該第2の端子13,14は、端子11,12とほぼ同様に、配線パターン9と接続されている。
【0038】
そして、ブリッジ回路10は、図1に示す如く、後述の切換スイッチ17が第1の切換位置にあるときに、電源16から端子11,12を介して電圧V0が給電され、端子13,14から後述の検出回路26に向けて圧力に対応した電圧信号を出力する。また、切換スイッチ17が第2の切換位置に切換えられたときには、図4に示す如く、ブリッジ回路10は、電源16から端子13,14を介して給電され、端子11,12から検出回路26に電圧信号を出力するものである。
【0039】
ここで、切換スイッチ17が第1の切換位置にある場合と第2の切換位置にある場合とを比較すると、各ピエゾ抵抗体5,6は、電源16および検出回路26に対する接続状態が第1,第2の切換位置で等価な関係となる。このため、ブリッジ回路10等が正常であるときには、切換スイッチ17を切換えたとしても、ブリッジ回路10から検出回路26に出力される電圧信号の値は、後述するように一定の許容範囲内でほぼ等しくなる。
【0040】
これに対し、例えば配線パターン9のいずれかが損傷したり、後述する各配線22のいずれかが断線したときには、第1,2の切換位置でブリッジ回路10の等価性がなくなるため、切換スイッチ17を切換えると、ブリッジ回路10から検出回路26に出力される電圧信号の値が変化するようになる。これにより、後述の故障診断回路28は、第1,第2の切換位置における電圧信号の出力状態を比較することにより、ブリッジ回路10の故障診断を行うものである。
【0041】
15は電源16と共にブリッジ回路10に付設された信号処理回路で、該信号処理回路15は、図1に示す如く、後述の切換スイッチ17、切換制御回路23、増幅回路24、調整回路25、検出回路26、故障診断回路28等により構成されている。
【0042】
17はセンサ素子2の端子11〜14に接続して設けられた切換手段としての切換スイッチで、該切換スイッチ17は、例えばトランジスタ、リレー等からなる4個のスイッチ部18,19,20,21により構成され、これらのスイッチ部18〜21は、例えばワイヤボンディング等の手段により複数の配線22を介して端子11〜14と個別に接続されている。
【0043】
そして、スイッチ部18〜21は、切換制御回路23から切換信号が入力されることにより、第1の切換位置(図1参照)または第2の切換位置(図4参照)へと一斉に切換えられる。この場合、第1の切換位置では、端子11がスイッチ部18等を介して電源16の陽極側に接続され、端子12がスイッチ部19等を介して電源16の陰極側(グランド)に接続される。また、端子13,14は、スイッチ部20,21、増幅回路24等を介して検出回路26に接続される。
【0044】
これにより、切換スイッチ17は、第1の切換位置で端子11,12をブリッジ回路10の電源端子として用い、端子13,14をブリッジ回路10の出力端子として用いるものである。
【0045】
一方、第2の切換位置では、例えば端子13がスイッチ部20等を介して電源16の陽極側に接続され、端子14がスイッチ部21等を介してグランドに接続される。また、端子11,12は、スイッチ部18,19、増幅回路24等を介して検出回路26に接続される構成となっている。
【0046】
これにより、切換スイッチ17は、第2の切換位置で端子11,12をブリッジ回路10の出力端子として用い、端子13,14をブリッジ回路10の電源端子として用いるものである。
【0047】
23は切換スイッチ17に接続された切換制御回路で、該切換制御回路23は、切換スイッチ17のスイッチ部18〜21に切換信号(図5参照)を出力し、これらを第1,第2の切換位置間で切換えるものである。
【0048】
この場合、切換信号は、例えば測定圧力の変動周期よりも十分に短い周期をもって周期的に出力され、切換スイッチ17は、第1,第2の切換位置に周期的に切換えられる。また、切換信号は、検出回路26にも出力される。
【0049】
24はブリッジ回路10の出力側に切換スイッチ17を介して接続された増幅回路で、該増幅回路24は、ブリッジ回路10から端子13,14(または端子11,12)を介して入力される電圧の差を増幅し、増幅した電圧信号を後述の検出回路26と故障診断回路28とに出力する。
【0050】
ここで、増幅回路24は、図5に示す如く、第1の切換位置で電圧信号V1を出力し、第2の切換位置で電圧信号V2を出力する。そして、全てのピエゾ抵抗体5,6が正常であるときには、前述したようにブリッジ回路10が第1,第2の切換位置で等価性をもつため、電圧信号V1,V2の値の差が所定の許容範囲ΔV内に納まる構成となっている。これにより、故障診断回路28は、電圧信号V1,V2と許容範囲ΔVとを用いて故障診断を行うことができる。
【0051】
この場合、電圧信号V1,V2には、全てのピエゾ抵抗体5,6が正常な状態であっても、例えば電圧の測定精度の限界等によって測定誤差が生じることがあり、電圧信号V1,V2にそれぞれ測定誤差が生じると、両者の差を求めるときに測定誤差が加算される場合がある。また、電圧信号V1,V2の間には、各ピエゾ抵抗体5,6の抵抗値等の特性ばらつきによる誤差(抵抗体誤差とする)が生じることもある。このため、故障診断用の許容範囲ΔVは、測定誤差をVminとし、抵抗体誤差をαとして、例えば下記数2の式により設定されている。
【0052】
【数2】
ΔV=2×Vmin+α
【0053】
25は増幅回路24に設けられた調整回路で、該調整回路25は、増幅回路24による電圧信号V1,V2の出力状態(例えば増幅率、電圧値のオフセット等)を調整し、第1の切換位置でのブリッジ回路10の特性ばらつき等を補償するものである。
【0054】
26はブリッジ回路10から増幅回路24を介して出力される電圧を検出する検出回路で、該検出回路26は、増幅回路24の出力側に接続されている。そして、検出回路26は、図5に示す如く、増幅回路24の電圧信号V1,V2に対して、切換制御回路23から入力される切換信号に同期した信号処理を行い、検出信号Voutを出力端子27から外部に出力するものである。
【0055】
この場合、配線パターン9等が正常であるときに、電圧信号V1,V2の差は許容範囲ΔV内に納まる小さなものであるため、検出回路26は、第1の切換位置で、例えば増幅回路24の電圧信号V1を検出信号Voutとして出力し、第2の切換位置でも、電圧信号V1を検出信号Voutとして出力、保持する。これにより、切換スイッチ17の切換動作に伴って検出信号Voutが電圧信号V1,V2間で変動するのを防止することができる。また、配線パターン9等が故障と診断されたときには、検出信号Voutの出力が停止される。
【0056】
28は配線パターン9、配線22等の故障を診断する故障診断回路で、該故障診断回路28は、電圧信号V1,V2の交流成分を取出すためのコンデンサ29を介して増幅回路24の出力側に接続されている。そして、故障診断回路28は、第1の切換位置での電圧信号V1と、第2の切換位置での電圧信号V2とを比較し、これらの値の差が許容範囲ΔV内に納まるか否かを判定する。
【0057】
これにより、故障診断回路28は、電圧信号V1,V2の差が許容範囲ΔV内に納まるときに、配線パターン9、配線22等を正常と診断し、電圧信号V1,V2の差が許容範囲ΔVを超えたときには、ブリッジ回路10等が故障したと診断する。そして、故障診断時には、検出回路26による検出信号Voutの出力を停止すると共に、例えば警報の発生、フェールセーフ処理等の処理を行う故障対策用回路(図示せず)等を作動させるものである。
【0058】
本実施の形態による圧力センサは上述如き構成を有するもので、次に、図5を参照しつつ、その作動について説明する。
【0059】
まず、圧力センサの作動時には、切換制御回路23から切換信号が出力されることにより、切換スイッチ17が第1,第2の切換位置間で周期的に切換えられる。そして、センサ基板3に圧力が加わったときには、薄肉部4がピエゾ抵抗体5,6と一緒に撓み変形し、これらの抵抗値が変化する。この結果、第1の切換位置では、ブリッジ回路10の点C,D間に電圧が生じ、この電圧は増幅回路24により増幅されて電圧信号V1となる。また、第2の切換位置では、ブリッジ回路10の点A,B間に生じる電圧が増幅されて電圧信号V2となる。
【0060】
そして、配線パターン9、配線22等が正常であるときには、電源16および検出回路26に対する各ピエゾ抵抗体5,6の接続状態が第1,2の切換位置で等価な関係となる。このため、電圧信号V1,V2は、許容範囲ΔV内で僅かな差が生じることはあっても、互いにほぼ等しい状態で圧力に応じて変化し、検出回路26は、例えば電圧信号V1を検出信号Voutとして出力することができる。
【0061】
一方、各配線パターン9、配線22のいずれかが断線した場合には、第1,2の切換位置でブリッジ回路10の出力電圧の等価性がなくなるため、例えば第1の切換位置では、電圧信号V1が図5中の異常値Veに変化するようになり、電圧信号V1,V2の差は許容範囲ΔVよりも大きくなる。この結果、故障診断回路28によって配線パターン9、配線22等が故障したことを診断でき、例えば警報の発生、フェールセーフ処理等の処理を行うことができる。
【0062】
かくして、本実施の形態によれば、ブリッジ回路10の点A〜Dに端子11〜14を設け、これらの端子11〜14は切換スイッチ17等を介して電源16、検出回路26に接続する構成としたので、故障診断回路28は、第1の切換位置でブリッジ回路10から増幅回路24を介して出力される電圧信号V1と、第2の切換位置で出力される電圧信号V2とを比較することができる。
【0063】
これにより、故障診断回路28は、各配線パターン9のいずれかが断線した場合だけでなく、各配線22のいずれかが断線した場合にも、これらの故障を確実に診断でき、信頼性の高い故障診断を行うことができる。
【0064】
そして、センサ基板3と信号処理回路15との間には、端子11〜14と接続する4本の配線22を配置するだけでよいから、例えばセンサ基板3に故障診断用の回路、配線等を配置する必要がなくなり、センサ基板3の配線構造を簡略化できると共に、その寸法を小型化することができる。
【0065】
また、切換制御回路23により切換スイッチ17を周期的に切換えるようにしたので、圧力センサの作動時には、検出回路26から圧力の検出信号Voutを出力しつつ、電圧信号V1,V2を比較して故障を診断でき、ブリッジ回路10等の動作に影響を与えることなく、故障診断を高い頻度で行うことができる。
【0066】
また、検出回路26は、電圧信号V1,V2に対して切換スイッチ17の切換動作と同期した信号処理を行うことにより、例えば調整回路25によって増幅率、オフセット等を補償した第1の切換位置における電圧信号V1を検出信号Voutとして出力するようにしている。
【0067】
これにより、ブリッジ回路10等が正常であるときには、電圧信号V1,V2間に許容範囲ΔV内の誤差等が存在する状態でも、電圧信号V1だけを検出信号Voutとして出力することができる。これにより、切換スイッチ17の切換動作によって検出信号Voutに不要な脈動等が生じるのを防止でき、その出力状態を安定させることができる。
【0068】
次に、図6は本発明による第2の実施の形態を示し、本実施の形態の特徴は、センサユニットと別個の回路基板に検出回路を設け、この回路基板により切換手段を切換える構成としたことにある。なお、本実施の形態では、前記第1の実施の形態と同一の構成要素に同一の符号を付し、その説明を省略するものとする。
【0069】
31は例えば自動車等の車両に圧力センサの回路ユニットとして搭載されるセンサユニットで、該センサユニット31は、第1の実施の形態とほぼ同様に、センサ素子2と、後述の信号処理回路32とからなり、この信号処理回路32は、切換スイッチ17、増幅回路24、調整回路25等を含んで構成されている。
【0070】
しかし、センサユニット31は、例えば車両のエンジン等を制御する後述のコントロールユニット33に接続され、このコントロールユニット33には、後述の切換制御回路35、検出回路36、故障診断回路37等が搭載されている。そして、センサユニット31は、エンジン制御に必要な各種の圧力(例えば燃料、作動油等の油圧や、吸入空気、排気ガスの圧力等)を検出し、コントロールユニット33に検出信号を出力するものである。
【0071】
33はセンサユニット31の出力端子27に接続される回路基板としてのコントロールユニットで、該コントロールユニット33は、A/D変換回路34と、第1の実施の形態とほぼ同様に形成された切換制御回路35、検出回路36、故障診断回路37等とにより構成されている。
【0072】
この場合、A/D変換回路34は、切換スイッチ17の切換動作と同期したタイミングでセンサユニット31の検出信号等をアナログ信号からデジタル信号に変換するものである。また、各回路35,36,37は、例えばCPU等により実行されるソフトウェアとして構成してもよい。
【0073】
そして、コントロールユニット33は、センサユニット31から出力される検出信号(電圧信号V1,V2)等を用いて車両のエンジン制御を行うと共に、この制御処理中には、切換制御回路35を作動させてセンサユニット31に切換信号を出力することにより、必要に応じたタイミングで故障診断回路37によるセンサの故障診断を行うものである。
【0074】
かくして、このように構成される本実施の形態でも、前記第1の実施の形態とほぼ同様の作用効果を得ることができる。そして、特に本実施の形態では、コントロールユニット33に切換制御回路35、検出回路36および故障診断回路37を搭載する構成としている。
【0075】
これにより、コントロールユニット33は、例えばブリッジ回路10から出力される検出信号を用いて各種の制御を行いつつ、切換制御回路35により必要に応じて切換スイッチ17を切換えることができ、この切換動作時には、故障診断回路37によって配線パターン9等の故障を診断することができる。
【0076】
従って、例えば故障診断を行うタイミングや頻度、故障の診断基準等をコントロールユニット33側によって適切に設定でき、これらの診断内容をコントロールユニット33の制御内容等に応じて容易に変更することができる。これにより、センサユニット31の汎用性を高め、例えば複数種類のコントロールユニット33に対してセンサユニット31を共通化することができる。
【0077】
次に、図7は本発明による第3の実施の形態を示し、本実施の形態の特徴は、第1,第2の切換位置に対応して第1,第2の調整回路を個別に設ける構成としたことにある。なお、本実施の形態では、前記第1の実施の形態と同一の構成要素に同一の符号を付し、その説明を省略するものとする。
【0078】
41は例えば自動車等の車両に圧力センサの回路ユニットとして搭載されるセンサユニットで、該センサユニット41は、第1の実施の形態とほぼ同様に、センサ素子2と、後述の信号処理回路42とにより構成されている。また、信号処理回路42は、切換スイッチ17、切換制御回路23、増幅回路24と、後述の調整回路43,44、補助切換スイッチ45とを含んで搭載されている。
【0079】
43は信号処理回路42に搭載された第1の調整回路で、該第1の調整回路43は、切換スイッチ17が第1の切換位置となったときに、補助切換スイッチ45によって増幅回路24に接続される。そして、調整回路43は、第1の切換位置で増幅回路24から後述の検出回路47に出力される電圧信号V1の出力状態を調整し、例えば信号処理回路42、各ピエゾ抵抗体5,6の特性ばらつき等による信号値の誤差を補償するものである。
【0080】
44は信号処理回路42に搭載された第2の調整回路で、該第2の調整回路44は、補助切換スイッチ45によって第2の切換位置で増幅回路24に接続される。そして、調整回路44は、調整回路43とほぼ同様に、第2の切換位置で増幅回路24から出力される電圧信号V2の出力状態を調整し、その誤差を調整回路43と個別に補償するものである。
【0081】
45は増幅回路24と調整回路43,44との間に配置された補助切換スイッチで、該補助切換スイッチ45は、切換制御回路23により切換スイッチ17と同期して切換えられ、第1の切換位置で調整回路43を増幅回路24に接続し、第2の切換位置で調整回路44を増幅回路24に接続する。
【0082】
46はセンサユニット41の出力端子27に接続される回路基板としてのコントロールユニットで、該コントロールユニット46は、第2の実施の形態とほぼ同様に、検出回路47、故障診断回路48、コンデンサ49等を含んで構成され、例えば車両のエンジン制御、センサの故障診断等を行うものである。
【0083】
ここで、故障診断回路48は、電圧信号V1,V2の差が所定の許容範囲ΔV′内に納まるか否かに応じて故障診断を行う。この場合、ピエゾ抵抗体5,6の特性ばらつき等による電圧信号V1,V2の誤差(第1の実施の形態で用いた前記数2の式の抵抗体誤差α)は、調整回路43,44によって予め補償されているため、許容範囲ΔV′は、測定誤差Vminを用いて下記数3の式により設定することができる。
【0084】
【数3】
ΔV′=2×Vmin
【0085】
かくして、このように構成される本実施の形態でも、前記第1の実施の形態とほぼ同様の作用効果を得ることができる。そして、特に本実施の形態では、信号処理回路42に、調整回路43,44と、補助切換スイッチ45とを搭載する構成としている。
【0086】
これにより、調整回路43,44は、電圧信号V1,V2の出力状態を個別に調整できるから、これらに含まれる抵抗体誤差αを容易に補償でき、ブリッジ回路等が正常であるときには、電圧信号V1,V2の出力状態を高い精度で一致させることができる。従って、例えば許容範囲ΔV′を抵抗体誤差α分だけ小さく設定でき、故障診断をより正確に行うことができる。
【0087】
次に、図8は本発明による第4の実施の形態を示し、本実施の形態の特徴は、第1,第2の切換位置に対応して第1,第2の増幅回路および調整回路を個別に設ける構成としたことにある。なお、本実施の形態では、前記第1の実施の形態と同一の構成要素に同一の符号を付し、その説明を省略するものとする。
【0088】
51は例えば自動車等の車両に圧力センサとして搭載されるセンサユニットで、該センサユニット51は、第1の実施の形態とほぼ同様に、センサ素子2と、後述の信号処理回路52とにより構成されている。また、信号処理回路52は、切換スイッチ17、切換制御回路23と、後述の増幅回路53,54、調整回路55,56、補助切換スイッチ57とを含んで搭載されている。
【0089】
53は信号処理回路42に搭載された第1の増幅回路で、該第1の増幅回路53は、切換スイッチ17が第1の切換位置となったときに、スイッチ部20,21を介してセンサ素子2の端子13,14にそれぞれ接続され、ブリッジ回路10の点C,D間の電圧を増幅すると共に、増幅した電圧を電圧信号V1として後述の検出回路59に出力するものである。
【0090】
54は第2の増幅回路で、該第2の増幅回路54は、切換スイッチ17が第2の切換位置となったときに、スイッチ部18,19を介してセンサ素子2の端子11,12にそれぞれ接続され、ブリッジ回路10の点A,B間の電圧を増幅すると共に、増幅した電圧を電圧信号V2として検出回路59に出力する。
【0091】
55は増幅回路53に設けられた第1の調整回路で、該第1の調整回路55は、電圧信号V1の出力状態を調整し、例えば信号処理回路52、各ピエゾ抵抗体5,6の特性ばらつき等による信号値の誤差を補償するものである。
【0092】
56は増幅回路54に設けられた第2の調整回路で、該第2の調整回路56は、電圧信号V2の出力状態を調整し、その誤差を調整回路55と個別に補償する。
【0093】
57は増幅回路53,54と出力端子27との間に配置された補助切換スイッチで、該補助切換スイッチ57は、切換制御回路23により切換スイッチ17と同期して切換えられ、第1の切換位置で増幅回路53の出力側を出力端子27に接続し、第2の切換位置で増幅回路54の出力側を出力端子27に接続する。
【0094】
58はセンサユニット51の出力端子27に接続される回路基板としてのコントロールユニットで、該コントロールユニット58は、第3の実施の形態とほぼ同様に、検出回路59、故障診断回路60、コンデンサ61等を含んで構成され、例えば車両のエンジン制御、センサの故障診断等を行うものである。
【0095】
かくして、このように構成される本実施の形態でも、前記第1,第3の実施の形態とほぼ同様の作用効果を得ることができる。そして、特に本実施の形態では、第1,第2の切換位置において、増幅回路53,54と、調整回路55,56を個別に設ける構成としている。
【0096】
これにより、配線パターン9等の故障だけでなく、増幅回路53,54のいずれかが故障した場合にも、電圧信号V1,V2に大きな差を生じさせることができる。従って、増幅回路53,54も故障診断の診断対象に含めることができ、信頼性をより高めることができる。
【0097】
なお、前記第3,第4の実施の形態では、コントロールユニット46,58に故障診断回路48,60を搭載する構成とした。しかし、これらの実施の形態でも、第1の実施の形態と同様に、故障診断回路を必要に応じてセンサユニット側に搭載する構成としてもよい。
【0098】
また、第2ないし第4の実施の形態では、エンジン制御用のコントロールユニット33,46,58を例に挙げて述べた。しかし、本発明はこれに限らず、例えば車両の変速装置、ブレーキ装置、操舵装置等を制御するコントロールユニットに適用してもよく、車載用以外の回路基板(システム)にも適用できるものである。
【0099】
また、実施の形態では、圧力センサに適用した場合を例に挙げて述べた。しかし、本発明はこれに限らず、例えば荷重、振動、加速度等を含めた各種の外力をブリッジ回路により検出する外力センサに適用してもよい。また、本発明は、例えばブリッジ型に接続した感温抵抗体等に気体の流れを接触させることにより、気体の流量を感温抵抗体の温度(抵抗値)の変化として検出する構成とした流量センサ等にも適用できるものである。
【0100】
さらに、上記実施の形態から把握し得る請求項以外の技術思想について、以下にその構成及び作用効果を記載する。
【0101】
(イ)請求項1,2または3に記載のブリッジ型抵抗回路装置において、第1の切換位置で出力端子間の電圧を調整する第1の調整回路を設け、第2の切換位置で出力端子間の電圧を調整する第2の調整回路を設ける構成としたことを特徴とするブリッジ型抵抗回路装置。
【0102】
この場合、第1,第2の切換位置における環状直列回路の出力電圧には、各抵抗体の特性(抵抗値)のばらつき等により誤差が生じることがある。そして、第1,第2の調整回路は、これらの切換位置で電圧を個別に調整できるから、各抵抗体の特性ばらつき等による電圧の誤差を補償することができる。
【0103】
これにより、環状直列回路等が正常であるときには、第1,第2の切換位置における出力端子間の電圧を高い精度で一致させることができ、これらの電圧に差が生じたときには、故障診断をより正確に行うことができる。
【0104】
(ロ)請求項1,2または3に記載のブリッジ型抵抗回路装置において、第1の切換位置で出力端子間の電圧を増幅する第1の増幅回路を設け、第2の切換位置で出力端子間の電圧を増幅する第2の増幅回路を設ける構成としたことを特徴とするブリッジ型抵抗回路装置。
【0105】
上記構成によると、環状直列回路等の故障だけでなく、第1,第2の増幅回路のいずれかが損傷した場合にも、第1,第2の切換位置で環状直列回路による出力電圧に大きな差を生じさせることができる。これにより、増幅回路も故障診断回路による診断対象に含めることができ、信頼性をより高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態による圧力センサを示す全体構成図である。
【図2】図1中のセンサ素子を示す平面図である。
【図3】図2中の矢示III−III方向からみたセンサ素子の断面図である。
【図4】切換スイッチを第2の切換位置に切換えた状態を示す全体構成図である。
【図5】切換信号の出力状態、増幅回路の出力電圧、故障の診断状態およびセンサの検出信号を示す特性線図である。
【図6】本発明の第2の実施の形態による圧力センサを示す全体構成図である。
【図7】本発明の第3の実施の形態による圧力センサを示す全体構成図である。
【図8】本発明の第4の実施の形態による圧力センサを示す全体構成図である。
【符号の説明】
1,31,41,51 センサユニット(回路ユニット)
2 センサ素子
3 センサ基板
5,6 ピエゾ抵抗体(抵抗体)
9 配線パターン
10 ブリッジ回路(環状直列回路)
10A,10B 直列回路
11,12 第1の電源−出力端子
13,14 第2の電源−出力端子
15,32,42,52 信号処理回路
16 電源
17 切換スイッチ(切換手段)
24,53,54 増幅回路
25,43,44,55,56 調整回路
26,36,47,59 検出回路
28,37,48,60 故障診断回路
33,46,58 コントロールユニット(回路基板)
Claims (3)
- 可変抵抗を含めて4個の抵抗体が環状に直列接続された環状直列回路と、
前記環状直列回路を構成する4個の抵抗体のうち隣接する2個の抵抗体を直列に接続した2組の直列回路の間に設けられた第1の電源−出力端子と、
前記環状直列回路を構成する4個の抵抗体のうち前記2組の直列回路とは1個の抵抗体をずらして隣接する2個の抵抗体により構成される2組の直列回路の間に設けられた第2の電源−出力端子と、
第1の切換位置に切換えたときに前記第1の電源−出力端子を電源端子として用いると共に前記第2の電源−出力端子を出力端子として用い、第2の切換位置に切換えたときに前記第1の電源−出力端子を出力端子として用いると共に前記第2の電源−出力端子を電源端子として用いる切換手段と、
前記第1の電源−出力端子を出力端子としたときの当該出力端子間の電圧と、前記第2の電源−出力端子を出力端子としたときの当該出力端子間の電圧とを比較して前記環状直列回路が正常であるか否かを診断する故障診断回路とから構成してなるブリッジ型抵抗回路装置。 - 前記環状直列回路、第1,第2の電源−出力端子および切換手段を一体の回路ユニットとして形成し、前記故障診断回路は該回路ユニットと接続される回路基板に搭載し、該回路基板により前記切換手段を前記第1,第2の切換位置間で切換える構成としてなる請求項1に記載のブリッジ型抵抗回路装置。
- 前記切換手段を前記第1,第2の切換位置間で周期的に切換える構成とし、前記故障診断回路により前記環状直列回路の故障診断を周期的に行う構成としてなる請求項1または2に記載のブリッジ型抵抗回路装置。
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