JP2004172211A - パワーモジュール - Google Patents
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Abstract
【課題】製作が簡単で、作製精度がよく、インダクタンスの小さい小型のパワーモジュール構造を得る。
【解決手段】本発明パワーモジュールは、パワー半導体素子1と、ダイオード2と、絶縁回路基板4と、放熱ベース5と、制御IC3と、制御回路基板10とからなり、制御回路基板の片面にパワー半導体素子とダイオードと制御ICと制御端子とをバンプ実装し、制御回路基板上のパターン配線で接続したものである。
また、パワー半導体素子と、ダイオードと、絶縁回路基板と、放熱ベースと、制御ICと、制御回路基板とからなり、制御回路基板の両面にパワー半導体素子とダイオードと制御ICとをバンプ実装した配線パターン11間をスルーホール13で接続したものである。
【選択図】 図1
【解決手段】本発明パワーモジュールは、パワー半導体素子1と、ダイオード2と、絶縁回路基板4と、放熱ベース5と、制御IC3と、制御回路基板10とからなり、制御回路基板の片面にパワー半導体素子とダイオードと制御ICと制御端子とをバンプ実装し、制御回路基板上のパターン配線で接続したものである。
また、パワー半導体素子と、ダイオードと、絶縁回路基板と、放熱ベースと、制御ICと、制御回路基板とからなり、制御回路基板の両面にパワー半導体素子とダイオードと制御ICとをバンプ実装した配線パターン11間をスルーホール13で接続したものである。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、サーボアンプやインバータに用いられると共に、パワー変換回路を構成するパワーモジュールに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来のパワーモジュールにおいては、回路の組易さや実装し易さを目的とし、パワー半導体素子とダイオードを実装した絶縁回路基板と制御ICを実装した制御回路基板を放熱ベース上にそれぞれ二次元的に並べて実装し、素子間の接続をアルミワイヤで配線していた。
図5は、このパワーモジュールを示すの側断面図である。図において、1はパワー半導体素子で、2はダイオードで、3は制御ICで、4は絶縁回路基板で、5は放熱ベースで、6は制御端子、7は出力端子、10は制御回路基板、21はアルミワイヤである。以上の構成において、パワー半導体素子1とダイオード2と出力端子7は絶縁回路基板4にはんだ付け実装し、この絶縁回路基板4を放熱ベース5にはんだ付けした。さらに放熱ベース5には制御IC3を実装した制御回路基板10を接着し、各素子間と制御端子6はそれぞれアルミワイヤ21で電気的に接続しパワーモジュールを構成していた。
上記のようなパワーモジュールの構成において、制御端子6に外部装置から制御信号を送り制御IC3を駆動させる。制御IC3からの指令によりパワー半導体素子1とダイオード2をスイッチングさせインバータ動作を行い、出力端子7から負荷装置を運転することができる (例えば、特許文献1参照)。
【0003】
【特許文献1】特開2000−323630号公報(第1―2頁、第1図)
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のパワーモジュールにおいては、素子間の電気的接続をアルミワイヤで行っていたため、実装する素子数が多くなりアルミワイヤの配線本数が多くなると、配線の取り回しが複雑になり配線工数が増えるという問題があった。また、アルミワイヤ配線をやりやすくするために、素子配置が二次元に制約され、搭載素子数が多くなるとパワーモジュールの外形が大きくなるという問題があった。さらに素子間をつなぐアルミワイヤ配線は曲線形状となるために素子間を最短距離で繋ぐことができず、インダクタンスが大きくなる問題があった。
そこで、本発明の目的は、素子間配線を一括に行い、しかも素子間配線長を最短にすることにより、製作が簡単で、作製精度がよく、インダクタンスが小さく、かつ小型のパワーモジュール構造を提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項1記載の発明はパワー半導体素子と、ダイオードと、絶縁回路基板と、放熱ベースと、制御ICと、制御回路基板とからなるパワーモジュールにおいて、前記制御回路基板の片面に前記パワー半導体素子と前記ダイオードと前記制御ICと前記制御端子とをバンプ実装し、前記制御回路基板上のパターン配線で接続したものである。
請求項1記載の発明によれば、制御回路基板に配線パターンを設け、素子と配線間をバンプで接続するようにしているため、素子間配線が直線となり配線長を短くでき、しかもバンプ接続により一括に接続することができる。
請求項2記載の発明は、パワー半導体素子と、ダイオードと、絶縁回路基板と、放熱ベースと、制御ICと、制御回路基板とからなるパワーモジュールにおいて、前記制御回路基板の両面に前記パワー半導体素子と前記ダイオードと前記制御ICとをバンプ実装した配線パターン間をスルーホールで接続したものである。
請求項2記載の発明によれば、制御回路基板の両面に実装した素子間の接続を制御回路基板に設けたスルーホールで配線することで素子間の配線長を3次元的に最短でつなぐことができる。この結果、素子間配線のインダクタンスを低減できる。また制御回路を3次元的に構成できるためパワーモジュールを小型化することができる。
請求項3記載の発明は、前記制御回路基板に制御端子と出力端子を実装し、前記制御回路基板を固定する取り付け台を設けたものである。
請求項3記載の発明によれば、制御回路基板に制御端子と出力端子と半導体素子を一括に実装することができる。さらに取り付け台で制御回路基板の3次元的な位置を正確に、しかも簡単に固定することができる。
【0006】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図に基づいて説明する。
(第1の実施形態)
図1は、本発明の第1の実施形態を示すパワーモジュールの側断面図である。
制御回路基板10は、厚さ1.6mmの片面銅張ガラスエポキシ基板を使い、配線パターン11を加工し、この配線パターン11の電極部分にSn−Pb系の低温はんだバンプ12を形成した。先ずパワーモジュールの放熱ベース5にAlNの絶縁回路基板4を実装し、その上にパワー半導体素子1とダイオード2と出力端子7をSn−Ag系の高温はんだ9ではんだ付けした。次に放熱ベース5にエポキシ樹脂製のスペーサ8を接着固定し、その上に制御IC3と制御端子6を接着固定した。このときパワー半導体素子1とダイオード2と制御IC3と制御端子6の上面はすべて同じ高さになるように調整して実装した。次にこれらパワー半導体素子1とダイオード2と制御IC3と制御端子6のそれぞれの電極部分とはんだバンプ12を形成した制御回路基板10のバンプ12位置が一致するように制御回路基板10を搭載し、全体を250℃で5分間加熱してはんだバンプ12を溶融し、はんだ接合したパワーモジュールを製作した。
本実施形態によれば、本発明のパワーモジュールはパワー半導体素子1とダイオード2と絶縁回路基板4と放熱ベース5と制御IC3と制御回路基板10からなるパワーモジュールにおいて、前記制御回路基板10の片面に制御IC3とパワー半導体素子1とダイオード2と制御端子6をバンプ実装し、制御回路基板10上のパターン配線11で接続したことを特徴とするパワーモジュールにすることで、従来例のアルミワイヤ配線に比べ素子間配線を直線にでき配線長を短くすることができた。しかもバンプ接続により一括に配線することができた。
【0007】
(第2の実施形態)
図2は、本発明の第2の実施形態を示すパワーモジュールの側断面図である。制御回路基板10は、厚さ1.6mmの両面銅張ガラスエポキシ基板を使い、配線パターン11を両面に加工し、この配線パターン11の電極部分にSn−Pb系の低温はんだバンプ12を形成した。さらに、両面の配線パターン11間にφ1mmのスルーホール13を形成し電気的に接続した。先ず放熱ベース5に実装した絶縁回路基板4上にパワー半導体素子1とダイオード2と出力端子7をSn−Ag系の厚さ0.1mmのシート状高温はんだ9ではんだ付けした。次に放熱ベース5にエポキシ樹脂製のスペーサ8を接着固定し、その上に制御端子6を接着固定した。このときパワー半導体素子1とダイオード2と制御端子6の上面はすべて同じ高さになるように調整して実装した。次にこれらパワー半導体素子1とダイオード2とと制御端子6の電極部分とはんだバンプ12を形成した制御回路基板10の下面のバンプ12の位置が一致するように制御回路基板10を搭載した。次に制御回路基板10上面のバンプ12と制御IC3の電極部分が一致するように制御IC3を制御回路基板10の上面に搭載した。全体を250℃で5分間加熱してはんだバンプ12を溶融し、はんだ接合したパワーモジュールを製作した。ただし、制御回路基板10に使用した基板の材料はセラミックス製の絶縁回路基板でもよく、また基板は多層配線基板でもよく、さらに基板を薄くすればスルーホール配線を短くすることもできる。
本実施形態によれば、請求項1記載のパワーモジュールにおいて、制御回路基板の両面にパワー半導体素子とダイオードと制御ICをバンプ実装し、両面をスルーホールで配線したことを特徴とするパワーモジュールにすることで、制御回路基板の両面に実装した素子間の接続を制御回路基板に設けたスルーホールで配線するため、従来例のアルミワイヤ配線に比べ素子間の配線長を3次元的に最短でつなげ、素子間配線のインダクタンスを低減できた。また制御回路を3次元的に構成することができたためパワーモジュール寸法を小型化することができた。
【0008】
(第3の実施形態)
図3は、本発明の第3の実施形態を示すパワーモジュールの側断面図、図4はこのパワーモジュールの実装方法を示す工程図である。。
先ず制御基板実装工程を説明する。図4に示すパワーモジュールの制御回路基板10は厚さ1.6mmの両面銅張ガラスエポキシ基板を使い、配線パターン11を両面に加工し、両面の配線パターン11間にφ1mmのスルーホール13を形成し電気的に接続した。また、制御回路基板10に出力端子固定穴15を設けた。次にこの配線パターン11の電極部分にSn−Ag系の高温はんだバンプ12を形成し、パワー半導体素子1とダイオード2と制御IC3をマウントした。次に制御端子6と出力端子7の電極部にSn−Ag系の高温クリームはんだを塗布し、制御端子6を載せ、出力端子7は出力端子固定穴15に挿入し固定した。この状態で制御回路基板10を一括リフローによりはんだバンプ12とはんだクリームを溶融させてはんだ付けした。このときパワー半導体素子1とダイオード2と出力端子7の下面はすべて同じ高さになるように調整して実装した。次に絶縁回路基板実装工程を説明する。真空炉中で放熱ベース5上に厚さ0.1mmのシート状のSn−Ag系の高温はんだ9を敷き、その上に絶縁回路基板4を載せ真空炉中で330℃で5分間加熱しはんだ付けした。次に放熱ベース5の周囲に樹脂製の基板取り付け台16を接着固定した。最後にこれらの組み立て工程を説明する。先ず真空炉中で絶縁回路基板4上に厚さ0.1mmのSn−Pb系のシート状の低温はんだ14をパワー半導体素子用とダイオード用と出力端子用にそれぞれ大きさの異なるものを敷いた。その上に制御回路基板10を基板取り付け台に合わせて乗せた。このときパワー半導体素子1とダイオード2と出力端子7の下面はシート状低温はんだ14の位置と一致するように調整されている。その後全体を真空炉中で250℃で5分間加熱してシート状低温はんだ14を溶融し、はんだ接合したパワーモジュールを製作した。
本実施形態によれば、請求項2記載の制御回路基板に制御端子と出力端子を実装し、制御回路基板を固定する取り付け台を設けたことを特徴とするパワーモジュールであるため、従来例のアルミワイヤ配線に比べ、制御回路基板に制御端子と出力端子と半導体素子を一括に実装できるため大幅に組立工数を削減することができる。しかも容易に3次元的に組み立てることができる。さらに取り付け台を設けることで制御回路基板の3次元的な位置を正確に、しかも簡単に固定することができる。
【0009】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によればつぎの効果がある。
請求項1記載のパワーモジュールは、制御回路基板の片面にパワー半導体素子とダイオードと制御ICと制御端子をバンプ実装し、制御回路基板上のパターン配線で接続したので、素子間配線が直線となり配線長を短くでき、しかもバンプ接続により一括に接続することができる。
請求項2記載のパワーモジュールは、制御回路基板の両面にパワー半導体素子とダイオードと制御ICをバンプ実装した配線パターン間をスルーホールで接続したので、素子間の配線長を3次元的に最短でつなぐことができる。したがって、素子間配線のインダクタンスを低減でき、制御回路を3次元的に構成できるためパワーモジュールを小型化することができる。
請求項3記載のパワーモジュールは、制御回路基板に制御端子と出力端子を実装し、制御回路基板を固定する取り付け台を設けたので、制御回路基板に制御端子と出力端子と半導体素子を一括に実装することができる。さらに取り付け台で制御回路基板の3次元的な位置を正確に、しかも簡単に固定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態を示すパワーモジュールの側断面図である。
【図2】本発明の第2の実施形態を示すパワーモジュールの側断面図である。
【図3】本発明の第3の実施形態を示すパワーモジュールの側断面図である。
【図4】本発明の第3の実施例の実装方法を示す工程図である。
【図5】従来のパワーモジュールを示す側断面図である。
【符号の説明】
1 パワー半導体素子
2 ダイオード
3 制御IC
4 絶縁回路基板
5 放熱ベース
6 制御端子
7 出力端子
8 スペーサ
9 高温はんだ
10 制御回路基板
11 配線パターン
12 バンプ
13 スルーホール
14 低温はんだ
15 出力端子固定穴
16 基板取り付け台
21 アルミワイヤ
【発明の属する技術分野】
本発明は、サーボアンプやインバータに用いられると共に、パワー変換回路を構成するパワーモジュールに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来のパワーモジュールにおいては、回路の組易さや実装し易さを目的とし、パワー半導体素子とダイオードを実装した絶縁回路基板と制御ICを実装した制御回路基板を放熱ベース上にそれぞれ二次元的に並べて実装し、素子間の接続をアルミワイヤで配線していた。
図5は、このパワーモジュールを示すの側断面図である。図において、1はパワー半導体素子で、2はダイオードで、3は制御ICで、4は絶縁回路基板で、5は放熱ベースで、6は制御端子、7は出力端子、10は制御回路基板、21はアルミワイヤである。以上の構成において、パワー半導体素子1とダイオード2と出力端子7は絶縁回路基板4にはんだ付け実装し、この絶縁回路基板4を放熱ベース5にはんだ付けした。さらに放熱ベース5には制御IC3を実装した制御回路基板10を接着し、各素子間と制御端子6はそれぞれアルミワイヤ21で電気的に接続しパワーモジュールを構成していた。
上記のようなパワーモジュールの構成において、制御端子6に外部装置から制御信号を送り制御IC3を駆動させる。制御IC3からの指令によりパワー半導体素子1とダイオード2をスイッチングさせインバータ動作を行い、出力端子7から負荷装置を運転することができる (例えば、特許文献1参照)。
【0003】
【特許文献1】特開2000−323630号公報(第1―2頁、第1図)
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のパワーモジュールにおいては、素子間の電気的接続をアルミワイヤで行っていたため、実装する素子数が多くなりアルミワイヤの配線本数が多くなると、配線の取り回しが複雑になり配線工数が増えるという問題があった。また、アルミワイヤ配線をやりやすくするために、素子配置が二次元に制約され、搭載素子数が多くなるとパワーモジュールの外形が大きくなるという問題があった。さらに素子間をつなぐアルミワイヤ配線は曲線形状となるために素子間を最短距離で繋ぐことができず、インダクタンスが大きくなる問題があった。
そこで、本発明の目的は、素子間配線を一括に行い、しかも素子間配線長を最短にすることにより、製作が簡単で、作製精度がよく、インダクタンスが小さく、かつ小型のパワーモジュール構造を提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項1記載の発明はパワー半導体素子と、ダイオードと、絶縁回路基板と、放熱ベースと、制御ICと、制御回路基板とからなるパワーモジュールにおいて、前記制御回路基板の片面に前記パワー半導体素子と前記ダイオードと前記制御ICと前記制御端子とをバンプ実装し、前記制御回路基板上のパターン配線で接続したものである。
請求項1記載の発明によれば、制御回路基板に配線パターンを設け、素子と配線間をバンプで接続するようにしているため、素子間配線が直線となり配線長を短くでき、しかもバンプ接続により一括に接続することができる。
請求項2記載の発明は、パワー半導体素子と、ダイオードと、絶縁回路基板と、放熱ベースと、制御ICと、制御回路基板とからなるパワーモジュールにおいて、前記制御回路基板の両面に前記パワー半導体素子と前記ダイオードと前記制御ICとをバンプ実装した配線パターン間をスルーホールで接続したものである。
請求項2記載の発明によれば、制御回路基板の両面に実装した素子間の接続を制御回路基板に設けたスルーホールで配線することで素子間の配線長を3次元的に最短でつなぐことができる。この結果、素子間配線のインダクタンスを低減できる。また制御回路を3次元的に構成できるためパワーモジュールを小型化することができる。
請求項3記載の発明は、前記制御回路基板に制御端子と出力端子を実装し、前記制御回路基板を固定する取り付け台を設けたものである。
請求項3記載の発明によれば、制御回路基板に制御端子と出力端子と半導体素子を一括に実装することができる。さらに取り付け台で制御回路基板の3次元的な位置を正確に、しかも簡単に固定することができる。
【0006】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図に基づいて説明する。
(第1の実施形態)
図1は、本発明の第1の実施形態を示すパワーモジュールの側断面図である。
制御回路基板10は、厚さ1.6mmの片面銅張ガラスエポキシ基板を使い、配線パターン11を加工し、この配線パターン11の電極部分にSn−Pb系の低温はんだバンプ12を形成した。先ずパワーモジュールの放熱ベース5にAlNの絶縁回路基板4を実装し、その上にパワー半導体素子1とダイオード2と出力端子7をSn−Ag系の高温はんだ9ではんだ付けした。次に放熱ベース5にエポキシ樹脂製のスペーサ8を接着固定し、その上に制御IC3と制御端子6を接着固定した。このときパワー半導体素子1とダイオード2と制御IC3と制御端子6の上面はすべて同じ高さになるように調整して実装した。次にこれらパワー半導体素子1とダイオード2と制御IC3と制御端子6のそれぞれの電極部分とはんだバンプ12を形成した制御回路基板10のバンプ12位置が一致するように制御回路基板10を搭載し、全体を250℃で5分間加熱してはんだバンプ12を溶融し、はんだ接合したパワーモジュールを製作した。
本実施形態によれば、本発明のパワーモジュールはパワー半導体素子1とダイオード2と絶縁回路基板4と放熱ベース5と制御IC3と制御回路基板10からなるパワーモジュールにおいて、前記制御回路基板10の片面に制御IC3とパワー半導体素子1とダイオード2と制御端子6をバンプ実装し、制御回路基板10上のパターン配線11で接続したことを特徴とするパワーモジュールにすることで、従来例のアルミワイヤ配線に比べ素子間配線を直線にでき配線長を短くすることができた。しかもバンプ接続により一括に配線することができた。
【0007】
(第2の実施形態)
図2は、本発明の第2の実施形態を示すパワーモジュールの側断面図である。制御回路基板10は、厚さ1.6mmの両面銅張ガラスエポキシ基板を使い、配線パターン11を両面に加工し、この配線パターン11の電極部分にSn−Pb系の低温はんだバンプ12を形成した。さらに、両面の配線パターン11間にφ1mmのスルーホール13を形成し電気的に接続した。先ず放熱ベース5に実装した絶縁回路基板4上にパワー半導体素子1とダイオード2と出力端子7をSn−Ag系の厚さ0.1mmのシート状高温はんだ9ではんだ付けした。次に放熱ベース5にエポキシ樹脂製のスペーサ8を接着固定し、その上に制御端子6を接着固定した。このときパワー半導体素子1とダイオード2と制御端子6の上面はすべて同じ高さになるように調整して実装した。次にこれらパワー半導体素子1とダイオード2とと制御端子6の電極部分とはんだバンプ12を形成した制御回路基板10の下面のバンプ12の位置が一致するように制御回路基板10を搭載した。次に制御回路基板10上面のバンプ12と制御IC3の電極部分が一致するように制御IC3を制御回路基板10の上面に搭載した。全体を250℃で5分間加熱してはんだバンプ12を溶融し、はんだ接合したパワーモジュールを製作した。ただし、制御回路基板10に使用した基板の材料はセラミックス製の絶縁回路基板でもよく、また基板は多層配線基板でもよく、さらに基板を薄くすればスルーホール配線を短くすることもできる。
本実施形態によれば、請求項1記載のパワーモジュールにおいて、制御回路基板の両面にパワー半導体素子とダイオードと制御ICをバンプ実装し、両面をスルーホールで配線したことを特徴とするパワーモジュールにすることで、制御回路基板の両面に実装した素子間の接続を制御回路基板に設けたスルーホールで配線するため、従来例のアルミワイヤ配線に比べ素子間の配線長を3次元的に最短でつなげ、素子間配線のインダクタンスを低減できた。また制御回路を3次元的に構成することができたためパワーモジュール寸法を小型化することができた。
【0008】
(第3の実施形態)
図3は、本発明の第3の実施形態を示すパワーモジュールの側断面図、図4はこのパワーモジュールの実装方法を示す工程図である。。
先ず制御基板実装工程を説明する。図4に示すパワーモジュールの制御回路基板10は厚さ1.6mmの両面銅張ガラスエポキシ基板を使い、配線パターン11を両面に加工し、両面の配線パターン11間にφ1mmのスルーホール13を形成し電気的に接続した。また、制御回路基板10に出力端子固定穴15を設けた。次にこの配線パターン11の電極部分にSn−Ag系の高温はんだバンプ12を形成し、パワー半導体素子1とダイオード2と制御IC3をマウントした。次に制御端子6と出力端子7の電極部にSn−Ag系の高温クリームはんだを塗布し、制御端子6を載せ、出力端子7は出力端子固定穴15に挿入し固定した。この状態で制御回路基板10を一括リフローによりはんだバンプ12とはんだクリームを溶融させてはんだ付けした。このときパワー半導体素子1とダイオード2と出力端子7の下面はすべて同じ高さになるように調整して実装した。次に絶縁回路基板実装工程を説明する。真空炉中で放熱ベース5上に厚さ0.1mmのシート状のSn−Ag系の高温はんだ9を敷き、その上に絶縁回路基板4を載せ真空炉中で330℃で5分間加熱しはんだ付けした。次に放熱ベース5の周囲に樹脂製の基板取り付け台16を接着固定した。最後にこれらの組み立て工程を説明する。先ず真空炉中で絶縁回路基板4上に厚さ0.1mmのSn−Pb系のシート状の低温はんだ14をパワー半導体素子用とダイオード用と出力端子用にそれぞれ大きさの異なるものを敷いた。その上に制御回路基板10を基板取り付け台に合わせて乗せた。このときパワー半導体素子1とダイオード2と出力端子7の下面はシート状低温はんだ14の位置と一致するように調整されている。その後全体を真空炉中で250℃で5分間加熱してシート状低温はんだ14を溶融し、はんだ接合したパワーモジュールを製作した。
本実施形態によれば、請求項2記載の制御回路基板に制御端子と出力端子を実装し、制御回路基板を固定する取り付け台を設けたことを特徴とするパワーモジュールであるため、従来例のアルミワイヤ配線に比べ、制御回路基板に制御端子と出力端子と半導体素子を一括に実装できるため大幅に組立工数を削減することができる。しかも容易に3次元的に組み立てることができる。さらに取り付け台を設けることで制御回路基板の3次元的な位置を正確に、しかも簡単に固定することができる。
【0009】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によればつぎの効果がある。
請求項1記載のパワーモジュールは、制御回路基板の片面にパワー半導体素子とダイオードと制御ICと制御端子をバンプ実装し、制御回路基板上のパターン配線で接続したので、素子間配線が直線となり配線長を短くでき、しかもバンプ接続により一括に接続することができる。
請求項2記載のパワーモジュールは、制御回路基板の両面にパワー半導体素子とダイオードと制御ICをバンプ実装した配線パターン間をスルーホールで接続したので、素子間の配線長を3次元的に最短でつなぐことができる。したがって、素子間配線のインダクタンスを低減でき、制御回路を3次元的に構成できるためパワーモジュールを小型化することができる。
請求項3記載のパワーモジュールは、制御回路基板に制御端子と出力端子を実装し、制御回路基板を固定する取り付け台を設けたので、制御回路基板に制御端子と出力端子と半導体素子を一括に実装することができる。さらに取り付け台で制御回路基板の3次元的な位置を正確に、しかも簡単に固定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態を示すパワーモジュールの側断面図である。
【図2】本発明の第2の実施形態を示すパワーモジュールの側断面図である。
【図3】本発明の第3の実施形態を示すパワーモジュールの側断面図である。
【図4】本発明の第3の実施例の実装方法を示す工程図である。
【図5】従来のパワーモジュールを示す側断面図である。
【符号の説明】
1 パワー半導体素子
2 ダイオード
3 制御IC
4 絶縁回路基板
5 放熱ベース
6 制御端子
7 出力端子
8 スペーサ
9 高温はんだ
10 制御回路基板
11 配線パターン
12 バンプ
13 スルーホール
14 低温はんだ
15 出力端子固定穴
16 基板取り付け台
21 アルミワイヤ
Claims (3)
- パワー半導体素子と、ダイオードと、絶縁回路基板と、放熱ベースと、制御ICと、制御回路基板とからなるパワーモジュールにおいて、
前記制御回路基板の片面に前記パワー半導体素子と前記ダイオードと前記制御ICと前記制御端子とをバンプ実装し、前記制御回路基板上のパターン配線で接続したことを特徴とするパワーモジュール。 - パワー半導体素子と、ダイオードと、絶縁回路基板と、放熱ベースと、制御ICと、制御回路基板とからなるパワーモジュールにおいて、
前記制御回路基板の両面に前記パワー半導体素子と前記ダイオードと前記制御ICとをバンプ実装した配線パターン間をスルーホールで接続したことを特徴とするパワーモジュール。 - 前記制御回路基板に制御端子と出力端子を実装し、前記制御回路基板を固定する取り付け台を設けたことを特徴とする請求項2記載のパワーモジュール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002333683A JP2004172211A (ja) | 2002-11-18 | 2002-11-18 | パワーモジュール |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002333683A JP2004172211A (ja) | 2002-11-18 | 2002-11-18 | パワーモジュール |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004172211A true JP2004172211A (ja) | 2004-06-17 |
Family
ID=32698330
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002333683A Pending JP2004172211A (ja) | 2002-11-18 | 2002-11-18 | パワーモジュール |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004172211A (ja) |
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