JP2004168649A - SiC基板およびSiC基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のSiC基板の製造方法は、第1および第2の主面を備え、機械的平面加工あるいは切削加工により生じた加工変質層3aを前記第1の主面に有するSiC基板1から、前記加工変質層3aの少なくとも一部を気相エッチング法により除去する工程を包含する。
【選択図】図4
Description
図4(a)に示すように、SiC基板1を用意する。図1および図2を参照して説明したように、SiC基板1は、SiCの塊体1からワイヤーソーなどによって切削加工されて切り出される。SiC基板1の第1の主面1aおよび第2の主面1bには切削加工による加工変質層3aおよび3bがそれぞれ形成されている。
第1の実施形態と同様、図6(a)に示すように、SiC基板1を用意する。SiC基板1の第1の主面1aおよび第2の主面1bには切削加工または機械的平坦加工による加工変質層3aおよび3bがそれぞれ形成されている。
第2の実施形態と同様の手順により、SiC基板1を用意し(図7(a))、加工変質層3aおよび3bを反応性エッチングにより除去する。これにより、図7(b)に示すように、実質的に平坦で、加工変質層のないSiC基板1’を用意する。SiC基板1’の第1の主面1’aおよび第2の主面1’bは、切削可能により得られる程度の面粗度を有している。
第1の実施形態において図4(c)に示すように、鏡面に仕上げられた第2の主面11bを有するSiCの単結晶基板1に対して第1の主面1a側から反応性イオンエッチングにより加工変質層3aをエッチングしてゆき、そのエッチング量とSiC基板1の平面度との関係を調べた。
2 SiCの塊体
3a、3b 加工変質層
1a、4a、11a、12a 第1の主面
1b、4b、11b、12b 第2の主面
Claims (15)
- 第1および第2の主面を備え、機械的平面加工あるいは切削加工により生じた加工変質層を前記第1の主面に有するSiC基板から、前記加工変質層の少なくとも一部を気相エッチング法により除去する工程(a)を包含するSiC基板の製造方法。
- 前記気相エッチング法が反応性イオンエッチング法である請求項1に記載のSiC基板の製造方法。
- 前記第2の主面は前記SiC基板において素子を形成する面である請求項1に記載のSiC基板の製造方法。
- 前記第2の主面を鏡面研磨する工程(b)をさらに包含する請求項1から3のいずれかに記載のSiC基板の製造方法。
- 前記SiC基板は機械的平面加工あるいは切削加工による加工変質層を前記第2の主面を有し、前記第2の主面の加工変質層の少なくとも一部を気相エッチング法により除去する工程(c)と、前記工程(a)および(c)の後、前記第1の主面および第2の主面のうち、少なくとも前記第2の主面を鏡面研磨する工程(d)をさらに包含する請求項1から3のいずれかに記載のSiC基板の製造方法。
- 前記SiC基板は、前記機械的平面加工あるいは切削加工による加工変質層を第2の主面に有し、
前記第2の主面の加工変質層を機械的研磨および化学的機械研磨によって除去し、前記第2の主面を鏡面に仕上げる工程(e)をさらに包含する請求項1から3のいずれかに記載のSiC基板の製造方法。 - 前記工程(a)により得られる前記第1の主面は10nm〜1μmの面粗度Raを有している請求項1から6のいずれかに記載のSiC基板の製造方法。
- SiCの塊体から前記SiC基板を切断する工程をさらに包含し、前記第1の主面および第2の主面は前記切断工程により形成されたものである請求項1から7のいずれかに記載のSiC基板の製造方法。
- 前記工程(a)において、前記SiC基板の反りの変化を許容するように前記SiC基板を保持する請求項1から8のいずれかに記載のSiC基板の製造方法。
- 前記気相エッチング法においてフッ素を含むガスを用いる請求項1から8のいずれかに記載のSiC基板の製造方法。
- 前記フッ素を含むガスはCF4またはSF6である請求項10に記載のSiC基板の製造方法。
- 前記気相エッチング法において前記加工変質層を0.5〜20μm/Hrの範囲のエッチング速度で除去する請求項10に記載のSiC基板の製造方法。
- 前記SiC基板は非晶質、多結晶または単結晶である請求項10に記載のSiC基板の製造方法。
- 請求項1から13に規定される製造方法により製造されたSiC基板。
- 実質的に並行な2つの主面を備え、前記2つの主面の一方のみが鏡面仕上げされており、反りが±50μm以下であるSiC基板。
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