JP2004146455A - 洗浄装置および洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】洗浄装置は、被洗浄基板1を搬送する搬送ローラ2と、被洗浄基板1の被洗浄面の表面に洗浄液5を噴出するジェットノズル3と、被洗浄基板1の被洗浄面の裏面に超音波を印加した洗浄液8を噴射する超音波ノズル7とを備え、ジェットノズル3から洗浄液5を高速で噴出して被洗浄基板1の表面に付着しているパーティクル6を回転移動させ、超音波ノズル7からの超音波振動で回転移動しているパーティクル6を被洗浄基板1の表面より浮上させ、該パーティクル6に作用する揚力によりパーティクル6を流れの境界層から離脱させ、装置外に排出する。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、洗浄装置および洗浄方法に関し、たとえば、液晶表示素子、PDP(プラズマディスプレイパネル)等のフラットパネルディスプレイの洗浄や半導体装置の製造工程で使用可能な洗浄装置および洗浄方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
液晶表示素子、PDP(プラズマディスプレイパネル)等のフラットパネルディスプレイや半導体装置の製造工程で用いられる従来の洗浄方法としては、回転するブラシを被洗浄基板表面にこすりつけるブラシ洗浄、洗浄液に超音波を照射して発生したキャビティーの崩壊時の衝撃力を利用したキャビテーション洗浄、高周波の振動加速度を利用する超音波洗浄、洗浄液を高速で噴射して流れの剪断力を利用する高速流れ洗浄がある。
【0003】
また、特開2000−188273号公報には、回転している半導体基板の被洗浄面に向けて高圧洗浄液を噴出しつつ高周波を印加する工程を含む半導体基板の洗浄方法が開示されている。
【0004】
【特許文献1】
特開2000−188273号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
液晶表示素子、PDP(プラズマディスプレイパネル)等のフラットパネルディスプレイは、多面取りにおける生産性向上のため、今後ますます基板の大型化が進む一方、市場ニーズとして表示品位の高密度高精細化が要求される。しかし、従来の洗浄装置および洗浄方法では以下の課題が残されている。
【0006】
高密度高精細化のために1μm以下のサブミクロンレベルのパーティクル除去能力が要求されるが、ブラシ洗浄、キャビテーション洗浄、超音波洗浄、高速流れ洗浄では粒径が1μmサイズ以下のパーティクルの除去が困難である。特に大型化する基板に対して、面内を均一に洗浄することは困難である。
【0007】
また、上記の特開2000−188273号公報に記載の発明では、回転している6インチ程度の小型のシリコン基板に円筒形ノズルから洗浄液を高速に噴射し、キャビテーションにより発生する高周波を用いてパーティクルを除去しているが、たとえばフラットパネルディスプレイに用いられる対角1mを超えるような大型基板を上記の方法で洗浄することは現実的ではない。
【0008】
そこで、本発明の目的は、たとえば液晶表示素子、PDP(プラズマディスプレイパネル)等のフラットパネルディスプレイや半導体装置の製造工程で用いられるガラス基板やシリコン基板等を洗浄する際に、粒径が1μm以下のサブミクロンサイズのパーティクルを除去可能な洗浄装置および洗浄方法を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る洗浄装置は、1つの局面では、被洗浄基板の被洗浄面に洗浄液を噴出する第1ノズルと、被洗浄基板の被洗浄面の裏面に超音波を印加した液体を噴射する第2ノズルとを備える。
【0010】
本発明に係る洗浄装置は、他の局面では、被洗浄基板を搬送する搬送機構と、被洗浄基板の被洗浄面に洗浄液を噴出するジェットノズルと、被洗浄基板の被洗浄面の裏面に超音波を印加した液体を噴射する超音波ノズルとを備える。
【0011】
上記のように被洗浄基板の被洗浄面側と裏面側とにそれぞれノズルを備えることにより、一方のノズルから被洗浄面に洗浄液を噴出してパーティクルを回転移動させながら、該パーティクルを振動させて被洗浄面から浮上させることができる。
【0012】
上記ジェットノズルの数は、単数であっても複数であってもよい。ジェットノズルを複数設けた場合、被洗浄基板の搬送方向に並べて配置し、各ジェットノズルの噴出口が被洗浄基板の搬送方向に対し略直角方向を向くようにすることが好ましい。このとき各ジェットノズルは被洗浄基板中央部から被洗浄基板端部に向かって洗浄液を交互に逆方向に噴出する。
【0013】
ジェットノズルを被洗浄基板の搬送方向に対し略直角方向に複数並べて配置してもよい。この場合、搬送方向に対し略直角方向に並ぶジェットノズルは洗浄液を同方向に噴出する。
【0014】
洗浄液の噴出方向におけるジェットノズルの中心線(洗浄液の流れの中心線)が被洗浄基板の被洗浄面と交わる位置が、液体の噴出方向における超音波ノズルの中心線(液体の流れの中心線)が被洗浄面の裏面と交わる位置に対して、被洗浄基板搬送方向の10mm〜20mm下流であることが好ましい。
【0015】
ジェットノズルから噴射される洗浄液の被洗浄基板の表面における流速は、好ましくは、150m/s以上200m/s以下である。また、超音波ノズルから発振される超音波の周波数成分は、好ましくは、1MHz以上のものを含む。
【0016】
ジェットノズルの噴出口の幅寸法は、好ましくは、被洗浄基板の搬送方向と直交する方向における被洗浄基板の幅寸法よりも大きい。超音波ノズルの噴出口の幅寸法も、被洗浄基板の搬送方向と直交する方向における被洗浄基板の幅寸法より大きいことが好ましい。
【0017】
洗浄液の噴出方向におけるジェットノズルの中心線と、被洗浄基板の表面とのなす角度は、好ましくは10〜20度程度の範囲である。
【0018】
ジェットノズルから噴射する洗浄液と、超音波ノズルから噴射する液体とは、同じ成分の液体で構成してもよいが、異なる成分の液体で構成してもよい。たとえば、上記洗浄液としては洗浄力の優れた液体を採用し、上記液体としては被洗浄基板の被洗浄面の裏面への超音波の伝播特性が良好な液体を採用することが考えられる。具体的には、上記洗浄液や液体として、超純水、アルカリ水素水、オゾン水、過酸化水素水、硫酸、塩酸、硝酸、亜臨界水、超臨界水、磁化水のいずれかまたはこれらの混合液を採用可能である。
【0019】
本発明に係る洗浄方法は、1つの局面では、被洗浄基板の表面に第1ノズルから洗浄液を噴射しながら被洗浄基板の裏面に第2ノズルから液体を介して超音波を印加することにより、被洗浄基板の表面を洗浄することを特徴とする。
【0020】
本発明に係る洗浄方法は、他の局面では、次の各工程を備える。ジェットノズルから噴射される洗浄液により被洗浄基板の表面に付着したパーティクルを回転移動させる。超音波ノズルから発振される超音波振動によりパーティクルを被洗浄基板の表面から浮上させる。パーティクルをマグヌス効果により洗浄液の流れの境界層から離脱させる。境界層から離脱したパーティクルを洗浄液の主流により装置外に除去する。ここで、境界層とは、被洗浄基板表面近傍の相対的に低速な流れの領域をいい、主流とは境界層以外の相対的に高速な流れの領域をいう。
【0021】
上記のように被洗浄基板の表面に一方のノズルから洗浄液を噴射しながら被洗浄基板の裏面に超音波を印加することにより、被洗浄面上でパーティクルを回転移動させながら、該パーティクルを振動させて被洗浄面から浮上させることができる。
【0022】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【0023】
(実施の形態1)
図1は本発明の1つの実施の形態における洗浄装置の側面図であり、図2は該洗浄装置の平面図である。
【0024】
図1および図2に示すように、本実施の形態における洗浄装置は、被洗浄基板1を搬送する搬送機構としての搬送ローラ2と、被洗浄基板1の被洗浄面に洗浄液を噴出するジェットノズル3と、被洗浄基板の被洗浄面の裏面に超音波を印加した液体を噴射する超音波ノズル7とを備える。
【0025】
被洗浄基板1は、搬送ローラ2上を図中矢印で示す搬送方向9に搬送される。被洗浄基板1の上方にジェットノズル3が被洗浄基板1の表面に対して一定の角度で被洗浄基板1の搬送方向に傾斜して配置されている。上記ジェットノズル3のスリット状の噴出口4から洗浄液5が高速で被洗浄基板1の搬送方向9と逆方向(図1および図2における噴出方向10)に噴出される。
【0026】
さらに被洗浄基板1の裏面に超音波ノズル7が被洗浄基板1に対して垂直に配置されている。この超音波ノズル7の噴出口から超音波を印加した洗浄液8が上方向に噴出され、被洗浄基板1の裏面を洗浄すると同時に被洗浄基板1の表面のパーティクル6を振動、浮上させて被洗浄基板1の表面より除去する。なお、超音波を被洗浄基板1の裏面に伝播できるものであれば、洗浄液8以外の液体を超音波ノズル7から噴出してもよい。
【0027】
サブミクロンサイズのパーティクル6を除去する洗浄力を実現するためには、被洗浄基板1の表面における洗浄液5の流速は150m/s以上が望ましい。
【0028】
パーティクル6の粒径が小さくなるのに反比例して被洗浄基板1への付着力は増大するのに対して、流れの剪断応力は速度勾配に比例するので、パーティクル6をその付着力に打ち勝って除去するためにはジェットノズル3からの洗浄液5の流速を向上させる必要がある。
【0029】
たとえば従来のアモルファス・シリコン液晶の洗浄では粒径3μm以上のパーティクル6を除去すればよいので、ジェットノズル3からの洗浄液5の流速は100m/s程度で十分である。それに対して、低温ポリシリコン液晶、CG(Continuous Grain)シリコン液晶等の洗浄では、設計ルールの微細化により粒径0.5μm以上のパーティクル6を除去する必要があり、パーティクル6の付着力と流れの剪断応力の釣り合いを理論計算すると、ジェットノズル3からの洗浄液5の流速は150m/s以上が必要になる。
【0030】
ジェットノズル3からの洗浄液5の流速が大きくなるほど流れの剪断応力による洗浄力は向上するが、その反面、被洗浄基板1を流れの抵抗に逆らって搬送することが困難になる、被洗浄基板1の表面に生成された薄膜がダメージを受ける、流れの摩擦力により静電気が発生するという問題がある。したがって、ジェットノズル3からの洗浄液5の最大流速は200m/s以下が望ましい。
【0031】
実際に洗浄実験において、ジェットノズル3からの洗浄液5の最大流速が200m/s以下の場合、被洗浄基板1の搬送、薄膜のダメージおよび静電気に関しては問題がないことは確認できている。
【0032】
ジェットノズル3の被洗浄基板1に対する傾斜角度θ(洗浄液5の噴出方向におけるジェットノズル3の中心線あるいはジェットノズル3から噴出される洗浄液5の流れの中心線と、被洗浄基板1の表面とのなす角度)は、ジェットノズル3からの洗浄液5の噴流が被洗浄基板1に衝突した際のエネルギーロスを小さくするために、被洗浄基板1に対しある程度水平に近いほうが望ましい。具体的には、上記傾斜角度θは、被洗浄基板1に対して10〜20度の範囲が望ましい。
【0033】
一般に噴流の被洗浄基板1表面方向の流速成分は洗浄液5の噴出流速のコサイン成分になるので、ジェットノズル3の設置角度(傾斜角度θ)が20度の場合に流速の減衰は10%以下であるのに対して、設置角度が20度以上になると流速の減衰が10%以上と大きくなり、洗浄力が低下する。一方、設置角度が10度以下になると、被洗浄基板1とジェットノズル3からの洗浄液5の接触が不十分で洗浄力が低下し、また洗浄装置内の設置スペースも大きくなるので、この点からも設置角度は10〜20度の範囲が望ましい。
【0034】
ジェットノズル3からの洗浄液5と超音波ノズル7からの洗浄液8の成分が同じか否かは、洗浄目的によって異なる。たとえば、購入直後の被洗浄基板1を受入洗浄する場合には、被洗浄基板1の両面はほぼ同程度に汚染されているので、ジェットノズル3からの洗浄液5と超音波ノズル7からの洗浄液8は同じ成分のものを用いる。成膜処理等のプロセス後の被洗浄基板1の洗浄の場合、表面が非常に汚染されているのでジェットノズル3からの洗浄液5は強力な洗浄力を持つ薬液(アルカリ水素水、オゾン水、過酸化水素水、硫酸、塩酸、硝酸、亜臨界水、超臨界水、磁化水等のいずれか、またはこれらの混合液)を使用し、裏面はあまり汚染されていないので超音波ノズル7からの洗浄液8としては超純水を使用することが考えられる。
【0035】
次に、本発明の洗浄メカニズムについて図3に従って説明する。
▲1▼ジェットノズル3から噴射された洗浄液5が被洗浄基板1に衝突し、被洗浄基板1の表面に沿って流れる際の剪断応力により被洗浄基板1の表面に付着しているパーティクル6が被洗浄基板1の表面上を回転移動する。ここでジェットノズル3の噴出口4の幅寸法を被洗浄基板1の幅寸法より大きくすることで被洗浄基板1の表面全面を洗浄し、さらに端面も洗浄することができる。
【0036】
▲2▼被洗浄基板1の下方に設置された超音波ノズル7から1MHz以上の周波数成分を含む超音波を印加した洗浄液8あるいは液体を被洗浄基板1の裏面に噴射することにより、回転移動しているパーティクル6が振動して、被洗浄基板1の表面より浮上する。また、超音波ノズル7の噴出口の幅寸法を被洗浄基板1の幅寸法より大きくすることで被洗浄基板1の裏面全面を洗浄し、さらにその端面も洗浄することができる。
【0037】
パーティクル6と被洗浄基板1の間に作用する付着力は分子間力(ファンデル・ワールス力)が支配的であり、分子間力は物体間の距離の2乗に反比例して減少するので、パーティクル6の浮上距離がわずかであっても作用する分子間力は急激に減少する。たとえば、粒径0.5μmのパーティクル6に対して、周波数1MHzの超音波を7.5W/cm2のパワーで印加すると、パーティクル6は振動加速度による外力を受けて、約20nm(ナノ・メートル)の距離だけ被洗浄基板1の表面より浮上する。この浮上により分子間力は約1000分の1に減少するので、パーティクル6の除去は極めて容易になる。
【0038】
他方、超音波による振動加速度は周波数の2乗に比例するので、周波数がたとえば半分の500KHzになると振動加速度は1/4に減少して洗浄力が大幅に低下する。したがって、洗浄液8あるいは液体に印加する超音波の周波数は1MHz以上であることが望ましい。
【0039】
洗浄液8あるいは液体に印加する超音波の周波数が大きいほど振動加速度が大きくなり洗浄液5によるパーティクル6の除去能力は高くなるので、周波数は高いほど望ましく特に上限はない。参考までに本実施の形態で用いるスリットタイプの超音波振動子の最大周波数は現状で1.5MHz程度であり、その除去能力は1MHzと大差はないと考えられる。
【0040】
一般に流れの境界層12の流速分布は洗浄液5の粘性により、被洗浄基板1の表面で流速0m/sになり、表面から離れるに従って急激に流速が上昇して主流を形成する。境界層12の厚さは流れのレイノルズ数の平方根に反比例し、たとえば主流の流速が150m/sの場合、噴流が被洗浄基板1と衝突する位置から10mm離れた位置では、境界層12の厚さは3〜4μmとなる。
【0041】
▲3▼洗浄液5の流れの境界層12の中で回転しながら浮上したパーティクル6について、パーティクル6の上側の流れはパーティクル6の回転方向と同じであるのに対して、下側の流れはパーティクル6の回転方向と逆になるので、パーティクル6の下側の流速は上側の流速よりも遅くなる。その結果、ベルヌーイの定理よりパーティクル6の下側の圧力は上側の圧力より高くなるので、パーティクル6に揚力が作用してパーティクル6が浮上を続けて境界層12より離脱し、洗浄液5の流れの主流領域11に移動する。このように流れの中を回転しながら移動するパーティクル6に揚力が働く現象を「マグヌス効果」と呼ぶが、この「マグヌス効果」は野球でピッチャーがボールに回転を与えながら投げると、ボールが進行方向に対して垂直方向に曲がるのと同じ原理である。
【0042】
▲4▼主流領域11では洗浄液5は表面流速とほぼ同様に高速で流れているので、低速な境界層12を離脱したパーティクル6は主流に乗って高速で装置外に搬出され、被洗浄基板1に再付着して汚染することはない。
【0043】
サブミクロンのパーティクル6は境界層12の厚さよりも小さいので、境界層12の剪断応力により回転モーメントが働きパーティクル6は回転する。被洗浄基板1の表面のパーティクル6を移動させる際には、すべり移動と回転移動が考えられるが、対応するすべり摩擦係数ところがり摩擦係数を比較すると、ころがり摩擦係数はすべり摩擦係数と比較して1000分の1から10000分の1と桁違いに小さいので、強固に付着していてすべり移動が困難なパーティクル6も、回転移動させることは容易である。
【0044】
一般の超音波洗浄においても、パーティクル6に超音波を印加するとパーティクル6は振動力により浮上するが、その浮上時間は瞬間的であり長時間持続しないので、いったん剥離したパーティクル6も再付着する可能性が高いが、本発明では高速噴流で回転移動しているパーティクル6を超音波で浮上させるので、上記で説明したマグヌス効果によりパーティクル6に揚力が働き、再付着することはない。従って、高速ジェット流れと超音波振動の相乗効果により洗浄力が向上し、サブミクロンのパーティクル6が除去可能になる。
【0045】
ここでジェットノズル3と超音波ノズル7の位置関係について説明する。本実施の形態では、剪断流れにより回転移動するパーティクル6に超音波を発振してパーティクル6を被洗浄基板1の表面より浮上させることが重要なので、噴流の中心が被洗浄基板1と接触する位置(たとえば図1において洗浄液5の噴出方向におけるジェットノズル3の中心線が被洗浄基板1の表面と交わる位置)は、洗浄液8の噴出方向における超音波ノズル7の中心線が被洗浄基板1の裏面と交わる位置(図1参照)よりも被洗浄基板1の搬送方向の10mm〜20mm下流であることが必要であり、パーティクル6が回転移動する助走距離と衝突噴流の安定性を考慮すると、その距離は10〜20mm程度が望ましい。
【0046】
(実施の形態2)
次に本発明の実施の形態2について説明する。実施の形態1ではジェットノズル3からの洗浄液5の噴射方向が被洗浄基板1の進行方向と平行な方向であったが、この方式では表面を流れる洗浄液5の抵抗を被洗浄基板1が受けるので、搬送方法によっては被洗浄基板1が搬送されない、もしくは搬送方向が曲がるという問題点が発生し得る。
【0047】
そこで、その場合の対策について図4を参照して説明する。本実施の形態2では、ジェットノズル3を被洗浄基板1の中央部上に設置し、ジェットノズル3からの洗浄液5の噴射方向10(ジェットノズル3の噴出口4の向き)を、被洗浄基板1の搬送方向と略直角方向の水平面上に向ける。これにより、被洗浄基板1の中央部から被洗浄基板1の端部に向かって洗浄液5を交互に逆方向に噴出することができる。このとき、洗浄液5の流れの抵抗は被洗浄基板1の搬送方向9に対しと直角方向に働くので、被洗浄基板1の搬送を邪魔しない。
【0048】
被洗浄基板1は搬送ローラ2の回転により搬送されるが、実施の形態1で説明したように、すべり摩擦係数はころがり摩擦係数よりも桁違いに大きいので、進行方向の直角方向から働く力に対しては影響を受けにくく、被洗浄基板1の進行方向が曲がる可能性は小さい。また摩擦係数の小さい材質の搬送ローラ2を使用する場合には、搬送用のガイド(図示せず)を設けることにより、被洗浄基板1を直進して搬送させることが可能である。
【0049】
ジェットノズル3から噴射された洗浄液5の被洗浄基板1表面における流速は、実施の形態1と同様の理由で150〜200m/sであることが望ましい。超音波ノズル7から発振される超音波の周波数成分は、実施の形態1と同様の理由で1MHz以上を含むことが望ましい。超音波ノズル7の噴出口の幅寸法は、実施の形態1と同様の理由で被洗浄基板1の搬送方向と直交する方向の被洗浄基板1の幅寸法よりも大きいことが望ましい。ジェットノズル3の中心線と被洗浄基板1の表面とのなす角度は、実施の形態1と同様の理由で10〜20度の範囲であることが望ましい。ジェットノズル3から噴射する洗浄液5として、超純水、アルカリ水素水、オゾン水、過酸化水素水、硫酸、塩酸、硝酸、亜臨界水、超臨界水、磁化水のいずれかまたはこれらの混合液を使用することが望ましい。超音波ノズル7から噴射する洗浄液8として、超純水、アルカリ水素水、オゾン水、過酸化水素水、硫酸、塩酸、硝酸、亜臨界水、超臨界水、磁化水のいずれかまたはこれらの混合液を使用することが望ましい。
【0050】
パーティクル6の除去のメカニズムは実施の形態1と同様であるので、以下の説明は省略する。図4ではジェットノズル3からの洗浄液5の噴出方向が逆方向となるようにジェットノズル3を被洗浄基板1の搬送方向9に2個並べて配置することにより、被洗浄基板1に回転モーメントが作用するのを防止し、被洗浄基板1を直進搬送することが可能になる。
【0051】
また、実施の形態1ではジェットノズル3の噴出口4の幅寸法は被洗浄基板1の搬送方向と直交する方向の被洗浄基板1の寸法以上としているので、被洗浄基板1のサイズが大型化するにつれて洗浄液5の使用量が増大するが、本実施の形態2ではジェットノズル3の噴出口4の幅寸法を小さくすることができるので、大量の洗浄液5を必要としないというメリットがある。
【0052】
さらに、図5に示すように被洗浄基板1の搬送方向9にジェットノズル3を4個以上の偶数個配置してもよい。図5の例では、ジェットノズル3の噴出口4の向きを交互に逆向きとし、被洗浄基板1に回転モーメントが作用するのを防止している。それにより、被洗浄基板1を直進搬送することが可能になる。
【0053】
なお、これまでの説明では各ジェットノズル3の流量が一定としてきたが、ジェットノズル3の流量を変えることにより、ジェットノズル3の個数を3個以上の奇数個とすることも可能である。
【0054】
(実施の形態3)
次に本発明の実施の形態3について説明する。ジェットノズル3から噴射された洗浄液5は下流に行くに従って流速が低下するので、パーティクル6の除去能力が低下する。よって実施の形態2の方式では、被洗浄基板1がさらに大型化すると被洗浄基板1の端部が充分に洗浄できない場合がある。そこで、この場合の対策について、図6を参照して説明する。
【0055】
図6に示すように、4個のジェットノズル3を2個ずつ被洗浄基板1の搬送方向と略直角方向に直列に配置し、各列のジェットノズル3の噴出口4の向きを同じ向きとする。このとき、各列のジェットノズル3間の間隔を適切に調節することにより、洗浄液5の流れの下流で流速が低下することなく、被洗浄基板1の全面を洗浄することができる。
【0056】
本実施の形態の方式は被洗浄基板1のサイズに応じて直列に配置するジェットノズル3の個数を変えればよく、たとえば被洗浄基板1の第5世代サイズ1100mm×1300mmおよび第6世代サイズ1500mm×1700mmに対応するためには、図7に示すように、各列のジェットノズル3の個数を3個以上に増やせばよい。
【0057】
また、列毎のジェットノズル3の流量を変えることにより、ジェットノズル3の個数を列毎に変更して配置することも可能である。さらに図6および図7では列数が2列の場合で説明したが、本実施の形態において列数を2列に限定する必要はなく、4列、6列等の偶数列を配置すれば、回転モーメントが作用するのを防止し、被洗浄基板1を直進搬送することが可能になる。
【0058】
ジェットノズル3から噴射された洗浄液5の被洗浄基板1表面における流速は、実施の形態1と同様の理由で150〜200m/sであることが望ましい。超音波ノズル7から発振される超音波の周波数成分は、実施の形態1と同様の理由で1MHz以上を含むことが望ましい。超音波ノズル7の噴出口の幅寸法は、実施の形態1と同様の理由で被洗浄基板1の搬送方向と直交する方向の幅寸法よりも大きいことが望ましい。ジェットノズル3の中心線と被洗浄基板1表面がなす角度は、実施の形態1と同様の理由で10〜20度の範囲であることが望ましい。
【0059】
ジェットノズル3から噴射する洗浄液5として、超純水、アルカリ水素水、オゾン水、過酸化水素水、硫酸、塩酸、硝酸、亜臨界水、超臨界水、磁化水のいずれかまたはこれらの混合液を使用することが望ましい。超音波ノズル7から噴射する洗浄液8として、超純水、アルカリ水素水、オゾン水、過酸化水素水、硫酸、塩酸、硝酸、亜臨界水、超臨界水、磁化水のいずれかまたはこれらの混合液を使用することが望ましい。パーティクル6の除去メカニズムは実施の形態1と同様であるので、その説明は省略する。
【0060】
以上、この発明の実施の形態について説明したが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【0061】
【発明の効果】
本発明の洗浄装置および洗浄方法によれば、回転移動中のパーティクルを振動させて被洗浄面から浮上させることができるので、たとえばマグヌス効果によりパーティクルに揚力を与えることができ、被洗浄面へのパーティクルの再付着を防止しながら装置外にパーティクルを搬出することができる。その結果、サブミクロンのパーティクルをも除去することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1における洗浄装置の側面図である。
【図2】本発明の実施の形態1における洗浄装置の平面図である。
【図3】パーティクルの除去メカニズムの説明図である。
【図4】本発明の実施の形態2における洗浄装置の平面図である。
【図5】本発明の実施の形態2の応用例の平面図である。
【図6】本発明の実施の形態3における洗浄装置の平面図である。
【図7】本発明の実施の形態3の応用例の平面図である。
【符号の説明】
1 被洗浄基板、2 搬送ローラ、3 ジェットノズル、4 噴出口、5,8洗浄液、6 パーティクル、7 超音波ノズル、9 搬送方向、10 噴射方向、11 主流領域、12 境界層。
Claims (14)
- 被洗浄基板の被洗浄面に洗浄液を噴出する第1ノズルと、
前記被洗浄基板の被洗浄面の裏面に超音波を印加した液体を噴射する第2ノズルと、
を備えた洗浄装置。 - 被洗浄基板を搬送する搬送機構と、
前記被洗浄基板の被洗浄面に洗浄液を噴出するジェットノズルと、
前記被洗浄基板の被洗浄面の裏面に超音波を印加した液体を噴射する超音波ノズルと、
を備えた洗浄装置。 - 前記ジェットノズルを前記被洗浄基板の搬送方向に複数並べて配置し、
前記ジェットノズルの噴出口が前記被洗浄基板の搬送方向に対し略直角方向を向くように前記ジェットノズルを設置し、各ジェットノズルは被洗浄基板中央部から被洗浄基板端部に向かって洗浄液を交互に逆方向に噴出する、請求項2に記載の洗浄装置。 - 前記ジェットノズルを前記被洗浄基板の搬送方向と略直角方向に複数並べて配置し、
前記搬送方向に対し略直角方向に並ぶ前記ジェットノズルは洗浄液を同方向に噴出する、請求項3に記載の洗浄装置。 - 前記洗浄液の噴出方向における前記ジェットノズルの中心線が前記被洗浄基板の被洗浄面と交わる位置が、前記液体の噴出方向における前記超音波ノズルの中心線が前記被洗浄面の裏面と交わる位置に対して、被洗浄基板搬送方向の10mm〜20mm下流である、請求項2に記載の洗浄装置。
- 前記ジェットノズルから噴射される洗浄液の前記被洗浄基板の表面における流速は150m/s以上200m/s以下である、請求項2から請求項5のいずれかに記載の洗浄装置。
- 前記超音波ノズルから発振される超音波の周波数成分は1MHz以上を含む、請求項2から請求項6のいずれかに記載の洗浄装置。
- 前記ジェットノズルの噴出口の幅寸法が、前記被洗浄基板の搬送方向と直交する方向における前記被洗浄基板の幅寸法よりも大きい、請求項2に記載の洗浄装置。
- 前記超音波ノズルの噴出口の幅寸法が、前記被洗浄基板の搬送方向と直交する方向における前記被洗浄基板の幅寸法よりも大きい、請求項2ないし4に記載の洗浄装置。
- 前記洗浄液の噴出方向における前記ジェットノズルの中心線と、前記被洗浄基板の表面とのなす角度が10〜20度の範囲である、請求項2から請求項9のいずれかに記載の洗浄装置。
- 前記ジェットノズルから噴射する洗浄液は、超純水、アルカリ水素水、オゾン水、過酸化水素水、硫酸、塩酸、硝酸、亜臨界水、超臨界水、磁化水のいずれかまたはこれらの混合液である、請求項2から請求項10のいずれかに記載の洗浄装置。
- 前記超音波ノズルから噴射する液体は、超純水、アルカリ水素水、オゾン水、過酸化水素水、硫酸、塩酸、硝酸、亜臨界水、超臨界水、磁化水のいずれかまたはこれらの混合液である、請求項2から請求項11のいずれかに記載の洗浄装置。
- 被洗浄基板の表面に第1ノズルから洗浄液を噴射しながら前記被洗浄基板の裏面に第2ノズルから液体を介して超音波を印加することにより、前記被洗浄基板の表面を洗浄することを特徴とする洗浄方法。
- ジェットノズルから噴射される洗浄液により被洗浄基板の表面に付着したパーティクルを回転移動させる工程と、
超音波ノズルから発振される超音波振動により前記パーティクルを前記被洗浄基板の表面から浮上させる工程と、
前記パーティクルをマグヌス効果により前記洗浄液の流れの境界層から離脱させる工程と、
前記境界層から離脱した前記パーティクルを前記洗浄液の主流により装置外に除去する工程と、
を備えた洗浄方法。
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