JP2004132868A - 回転体の回転位置決め装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】光学センサやロータリエンコーダを使用することのない安価な回転体の回転位置決め装置をを提供する。
【解決手段】円盤形状であって偏心位置にキー溝Waを有するワークWの回転位置決め装置は、ワークWを回転自在に保持するワーク保持部3と、回転軸7に固定され固定ピン9aを有する軸固定円盤9と、回転軸7に回転自在に軸支された回転爪10と、回転爪10を回転方向で当接することにより停止させるストッパ15と、ワークWのキー溝Waに係合可能な位置決め爪12dを有するワーク係合部12とを有する。そして、軸固定円盤9と回転爪10とストッパ15の関係により、回転軸7が1回転する間に、ワーク係合部12の位置決め爪12dとワークWのキー溝Waとが嵌合する。その後、回転軸7はワークWと共に回転し、回転軸7がストッパ15により停止したときに、ワークWは所定の位置に位置決めされることになる。
【選択図】図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、回転体の回転位置決め装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の回転体の回転位置決め装置は、例えば、特開平6−13450号公報に開示されている。これは、まず、回転体である回転体は、ほぼ円盤形状であって、外周側にVノッチまたはオリエンタル・フラットが形成されている。そして、回転体の外径に等しい内面を有する回転補正具(回転体保持部)上に回転体を載置する。さらに、この回転補正具の下方には、ロータリエンコーダを有するモータにより回転可能な回転ステージが設けられており、回転ステージの回転により回転体を回転可能としている。また、回転補正具の下方には、回転体に形成されたVノッチまたはオリエンタル・フラットの位置を検出可能な光学センサが設けられている。
【0003】
このような構成からなる回転体の回転位置決め装置は、回転ステージを回転して光学センサによりVノッチまたはオリエンタル・フラットの位置を検出する。そして、Vノッチまたはオリエンタル・フラットの位置を検出した際のモータの回転位置をロータリエンコーダにより検出する。この検出結果に基づき、回転ステージを所定回転させて、回転体の回転位置決めを行う。
【0004】
【特許文献1】
特開平6−13450号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の回転体の回転位置決め装置は、光学センサやロータリエンコータを使用しており、非常に高価な装置である。
【0006】
本発明は、このような事情に鑑みて為されたものであり、光学センサやロータリエンコーダを使用することなく、安価な回転体の回転位置決め装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
そこで、上記課題を解決するために、本発明の回転体の回転位置決め装置は、回転体保持手段と、回転軸と、回転係合手段と、軸固定係合手段と、ストッパと、回転体係合手段と、駆動手段とを有する。そして、回転軸は、少なくとも1回転した後に、ストッパ及び回転係合手段により停止することを特徴とする。ここで、回転体は、略円盤形状であって、偏心位置に回転位置決め部を有する。回転体保持手段は、回転体を回転自在に保持する手段である。回転軸は、回転体の回転軸まわりに回転自在な軸である。回転係合手段は、回転軸に回転自在に軸支された軸支部と、軸支部から径方向に一箇所延設された係合爪とからなる手段である。軸固定係合手段は、回転軸に固定され、回転係合手段の係合爪と回転方向で係合する手段である。ストッパは、回転係合手段と回転方向で当接することにより回転係合手段の回転を停止するものである。回転体係合手段は、回転軸の一端側に配設され、回転体の回転位置決め部に係合可能な回転位置決め係合部を有する手段である。駆動手段は、回転軸を回転駆動する手段である。
【0008】
つまり、回転軸の回転に伴って軸固定係合手段が回転する。この軸固定係合手段の回転に連れられて回転係合手段が回転する。そうすると、回転係合手段がストッパに当接して、回転を停止する。続いて、軸固定係合手段が回転係合手段に当接して、回転を停止する。従って、回転軸は、少なくとも1回転し、回転軸の回転前における軸固定係合手段とストッパとの位置に応じて最大2回転する。
【0009】
このとき、回転体係合手段は、回転軸の回転に伴って回転する。従って、回転体係合手段が1回転する間に、回転体係合手段の回転位置決め係合部が回転体の回転位置決め部に係合する。例えば、回転位置決め部がキー溝で、回転位置決め係合部がこのキー溝に係合する爪である場合には、キー溝と爪が係合する。そして、回転軸が停止すると、回転体係合手段及び回転体が停止する。すなわち、その停止した回転位置に回転体を位置決めすることになる。
【0010】
従って、このような構成からなる回転体の回転位置決め装置は、ストッパの位置の変更により、回転体の回転位置を自由に決定することができる。さらに、この装置は、光学センサやロータリエンコーダを使用していないため、非常に安価な装置となる。なお、光学センサやロータリエンコーダを使用しなくとも、上述のとおり確実に回転体の回転位置決めをすることができる。
【0011】
また、本発明の回転体の回転位置決め装置は、さらに、中間係合手段を有するようにし、回転軸は少なくとも2回転した後にストッパ及び回転係合手段及び中間係合手段により停止するようにしてもよい。中間係合手段は、回転係合手段と軸固定係合手段との間に配設され、回転軸に回転自在に軸支された中間軸支部と、中間軸支部に固定され回転係合手段の係合爪及び軸固定係合手段に係合する中間係合爪とからなる手段である。
【0012】
これにより、回転軸を2回転以上回転させた後に停止させることができる。すなわち、回転体は、1回転以上回転した後に位置決めされる。例えば、回転体を固定台上に載置しておき、回転体を1回転以上させて固定台に固定するような場合に、適用することができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
次に、実施形態を挙げ、本発明をより詳しく説明する。
【0014】
本発明の回転体の位置決め装置1を図1に示す。なお、本実施形態においては、ワーク(回転体)Wの形状が、図1に示すように、ほぼ円筒形状であって、内周面に一箇所位置決め用のキー溝Waが形成されたものである場合について説明する。
【0015】
図1に示すように、回転体の位置決め装置1は、ベース2の下台2a上にほぼ円筒形状のワーク保持部(回転体保持手段)3が固定されている。このワーク保持部3は、内径がワークWの外形とほぼ同等となるように形成されている。そして、ベース2の上台2b上には、昇降台4の昇降を可能とするシリンダ5が固定されている。さらに、ベース2の下台2aと上台2bとの間に昇降台4の昇降を案内する昇降台案内軸6が2本設けられている。
【0016】
昇降台4には、回転軸7が回転可能に軸支されており、この回転軸7の上端側にはモータ(駆動手段)8が取付けられている。このモータ8には、例えばエアモータを使用している。なお、この回転軸7の回転中心と上述したワーク保持部3の中心とは一致している。また、モータ8は、昇降台4上に固定されている。
【0017】
そして、回転軸7のほぼ中央付近には、円盤形状の軸固定円盤(軸固定係合手段)9が固定されている。すなわち、軸固定円盤9は、回転軸7と共に回転する。さらに、この軸固定円盤9は、上面側で回転中心から偏心した位置に、固定ピン9aを有している。そして、軸固定円盤9上には、回転爪10が載置されている。この回転爪10は、ほぼ円筒形状からなり回転軸7に軸支された軸支部10aと、軸支部10aから径方向に一箇所延設された爪部(係合爪)10bとからなる。この爪部10bは、軸固定円盤9の固定ピン9aが配設されている偏心位置を超える位置まで延設されている。すなわち、回転爪10は、回転軸7のまわりを自由に回転し、固定ピン9aと回転方向で係合する。
【0018】
さらに、回転軸7の下端側には、ワーク係合部(回転体係合手段)12が回転軸7の外周面を上下方向に摺動可能に配設されている。このワーク係合部12は、回転軸7の外周面を摺動する円筒部12aと円筒部12aの下端側に設けられた円盤形状の円盤部12bとからなる。さらに、ワーク係合部12の円筒部12aには、上下方向に長い長穴部12cが3箇所形成されている。この長穴部12cは、回転軸7の下端側の外周面に3箇所設けられた昇降用ピン11と係合している。また、ワーク係合部12の円盤部12bの円盤形状の外径は、ワークWの内径とほぼ同等になるように形成されている。さらに、円盤部12bの外周端には、位置決め爪(回転位置決め係合部)12dが一箇所形成されている。この位置決め爪12dは、ワークWのキー溝Waと係合する形状に形成されている。
【0019】
さらに、回転軸7の外周面であって、軸固定円盤9とワーク係合部12との間には、弾性体13が設けられており、ワーク係合部12を下方側へ付勢している。この弾性体13には、例えばコイルスプリングを使用している。
【0020】
そして、昇降台4には、コの字形状のストッパ台14が取付けられており、このストッパ台14の隣接する2面にストッパ15が取付けられている。このストッパ15は、回転爪10と同じ高さで、かつ、回転爪10が回転した際に回転爪10の爪部10bと当接する位置に取付けられている。
【0021】
次に、上述のように構成された回転体の位置決め装置1の動作について図1及び図2を参照して説明する。
【0022】
まず、図1に示すようにワークWをワーク保持部3の内側に設置する。このとき、ワークWのキー溝Waはどの方向を向いていてもよい。次に、図2(a)に示すように、モータ8を図の左まわりに回転駆動して、回転爪10及び固定ピン9aがストッパ15の一方側と当接する位置まで回転軸7を回転させる。この状態を初期状態とする。
【0023】
次に、シリンダ5を駆動させることにより、昇降台4を昇降台案内軸6に従って下降させる。そして、ワーク係合部12の円盤部12bがワークWの上面に弾性体13の弾性力により押圧する位置で昇降台4を停止させる。すなわち、ワーク係合部12は、回転軸7に対して僅かに上昇している。このとき、ワーク係合部12の位置決め爪12dは、ワークWのキー溝Waとは嵌合することなく、ワークWの外周上面に接触している。
【0024】
そして、図2(b)に示すように、モータ8を図の右まわりに回転駆動して、回転軸7を図の右まわりに回転させる。回転軸7の回転に伴って、回転軸7に固定されている軸固定円盤9も同方向に回転する。さらに、軸固定円盤9の回転により、回転爪10も同方向に回転する。さらに回転し続けると、図2(c)に示すように、回転爪10の爪部10bはストッパ15の他方側と当接する。そして、図2(d)に示すように、さらに回転軸7を同方向に回転させると、軸固定円盤9は回転し続ける。このとき、回転爪10は、ストッパ15の他方側に当接した状態で停止している。
【0025】
そして、回転軸7を同方向にさらに回転させると、図2(e)に示すように、既にストッパ15の他方側に当接して停止している回転爪10に当接する。従って、軸固定円盤9は、右まわりには回転できないため停止する。同時に、回転軸7も停止する。
【0026】
従って、回転軸7は、1回転と4分の3回転することになる。この間、ワーク係合部12も、回転軸7の回転と共に回転する。つまり、回転軸7が1回転するまでの間に、ワーク係合部12の位置決め爪12dとワークWのキー溝Waとが嵌合する。すなわち、ワーク係合部12は、位置決め爪12dとキー溝Waとが嵌合するまでの間、ワークWの上面を押圧しながら回転する。その後、ワーク係合部12は、ワークWと共に回転軸7が停止するまで回転する。そして、回転軸7が停止したとき、図1に示すキー溝目標位置Wa’にキー溝Waが位置することになる。
【0027】
さらに、次のワークWの回転位置決めを行う場合には、再び初期状態戻し、上記動作を行うことにより、ワークWの回転位置決めを行うことができる。
【0028】
このように少なくともワーク係合部12を1回転以上させることにより、ワークWのキー溝Waとワーク係合部12の位置決め爪12dとを嵌合させることができる。そして、ストッパ15の他方側によりワーク係合部12を停止させる位置を目標位置にすることで、確実にワークWを位置決めすることができる。
【0029】
なお、ストッパ15の位置を変更したり、ストッパ15の高さを変更することにより、ワークWの回転位置決め位置を変更することができる。また、上記実施形態においては、ワークWの回転位置決め部としてキー溝Waを有するものとして説明したが、この他にノッチやオリエンタル・フラットを形成したものであってもよい。さらに、ピンや穴を回転位置決め部としたものであってもよい。この場合は、ワークWの回転位置決め部に合わせてワーク係合部12の回転位置決め係合部を変更する。
【0030】
また、他の実施形態として、図3に示すように、中間回転爪(中間係合手段)21を有するようにしてもよい。中間回転爪21は、ほぼ円筒形状からなり回転軸7に軸支された中間軸支部21aと、中間軸支部21aから径方向に一箇所延設された中間爪部(中間係合爪)21bと、中間爪部21bの上に中間爪ピン2(中間係合爪)1cとからなる。この中間回転爪21は、回転軸7のまわりを自由に回転し、固定ピン9aと回転方向で係合すると共に、回転爪10と係合する。
【0031】
このように構成された回転位置決め装置の動作は、回転軸7が回転することにより、軸固定円盤9、中間回転爪21及び回転爪10が回転する。そして、回転軸7が1回転する前に、回転爪10がストッパ15の他方側に当接することにより、回転爪10は停止する。続いて、さらに回転軸7が回転することにより、軸固定円盤9及び中間回転爪21が回転する。そして、回転軸7が1回転を超して2回転する前に、中間回転爪21の中間爪ピン21cが停止している回転爪10の爪部10bに当接することにより、中間回転爪21は停止する。続いて、さらに回転軸7が回転することにより、軸固定円盤9が回転する。そして、回転軸7が2回転を超して3回転する前に、軸固定円盤9の固定ピン9aが停止している中間回転爪21の中間爪部21bに当接することにより、軸固定円盤9は停止する。
【0032】
この動作に伴って、ワーク係合部12が2回転以上で3回転未満の回転をする。つまり、ワークWは、1回転以上回転した後に位置決めされる。例えば、ワークWを図示しない固定台上に載置しておき、ワークWを1回転以上させて固定台に固定するような場合に、適用することができる。
【0033】
【発明の効果】
本発明の回転体の回転位置決め装置によれば、光学センサやロータリエンコーダを使用することなく、回転体の回転位置決めを行うことができるので、非常に安価な装置とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の回転体の回転位置決め装置を示す図である。
【図2】回転位置決め動作の説明図である。
【図3】他の実施形態の回転体の回転位置決め装置を示す図である。
【符号の説明】
2 ・・・ ベース
3 ・・・ ワーク保持部(回転体保持手段)
4 ・・・ 昇降台
5 ・・・ シリンダ
7 ・・・ 回転軸
8 ・・・ モータ(駆動手段)
9  ・・・ 軸固定円盤(軸固定係合手段)
10 ・・・ 回転爪(回転係合手段)
10a ・・・ 軸支部
10b ・・・ 爪部(係合爪)
11 ・・・ 昇降用ピン
12 ・・・ ワーク係合部(回転体係合手段)
12d ・・・ 位置決め爪(回転位置決め係合部)
13 ・・・ 弾性体
15 ・・・ ストッパ
21 ・・・ 中間回転爪
21a ・・・ 中間軸支部
21b ・・・ 中間爪部
W ・・・ ワーク(回転体)
Wa ・・・ キー溝(回転位置決め部)

Claims (2)

  1. 略円盤形状であって偏心位置に回転位置決め部を有する回転体の回転方向の位置決めを行う回転体の回転位置決め装置において、
    前記回転体を回転自在に保持する回転体保持手段と、
    前記回転体の回転軸まわりに回転自在な回転軸と、
    前記回転軸に回転自在に軸支された軸支部と該軸支部から径方向に一箇所延設された係合爪とからなる回転係合手段と、
    前記回転軸に固定され前記回転係合手段の前記係合爪と回転方向で係合回転する軸固定係合手段と、
    前記回転係合手段と回転方向で当接することにより前記回転係合手段の回転を停止するストッパと、
    前記回転軸の一端側に配設され前記回転体の前記回転位置決め部に係合可能な回転位置決め係合部を有する回転体係合手段と、
    前記回転軸を回転駆動する駆動手段とを備え、
    前記回転軸は少なくとも1回転した後に前記ストッパ及び前記回転係合手段により停止することを特徴とする回転体の回転位置決め装置。
  2. さらに、前記回転係合手段と前記軸固定係合手段との間に配設され、前記回転軸に回転自在に軸支された中間軸支部と、該中間軸支部に固定され前記回転係合手段の前記係合爪及び前記軸固定係合手段に係合する中間係合爪とからなる中間係合手段を有し、
    前記回転軸は少なくとも2回転した後に前記ストッパ及び前記回転係合手段及び前記中間係合手段により停止することを特徴とする請求項1記載の回転体の回転位置決め装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2020104183A (ja) * 2018-12-26 2020-07-09 ファナック株式会社 工作機械および工具マガジンの原点検出方法
CN112097618A (zh) * 2020-10-12 2020-12-18 山东燕山精密机械有限公司 一种快速检验叶轮键槽对称度的装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016015492A (ja) * 2012-03-20 2016-01-28 ビーコ・インストゥルメンツ・インコーポレイテッド キー付きウエハキャリア
US9816184B2 (en) 2012-03-20 2017-11-14 Veeco Instruments Inc. Keyed wafer carrier
JP2020104183A (ja) * 2018-12-26 2020-07-09 ファナック株式会社 工作機械および工具マガジンの原点検出方法
JP7000305B2 (ja) 2018-12-26 2022-01-19 ファナック株式会社 工作機械および工具マガジンの原点検出方法
CN112097618A (zh) * 2020-10-12 2020-12-18 山东燕山精密机械有限公司 一种快速检验叶轮键槽对称度的装置

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